JPH11147706A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH11147706A5
JPH11147706A5 JP1997308756A JP30875697A JPH11147706A5 JP H11147706 A5 JPH11147706 A5 JP H11147706A5 JP 1997308756 A JP1997308756 A JP 1997308756A JP 30875697 A JP30875697 A JP 30875697A JP H11147706 A5 JPH11147706 A5 JP H11147706A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
cooling
gas
sectional
cross
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1997308756A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH11147706A (ja
JP4058147B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP30875697A priority Critical patent/JP4058147B2/ja
Priority claimed from JP30875697A external-priority patent/JP4058147B2/ja
Publication of JPH11147706A publication Critical patent/JPH11147706A/ja
Publication of JPH11147706A5 publication Critical patent/JPH11147706A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4058147B2 publication Critical patent/JP4058147B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP30875697A 1997-11-11 1997-11-11 黒鉛材の純化処理炉 Expired - Lifetime JP4058147B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30875697A JP4058147B2 (ja) 1997-11-11 1997-11-11 黒鉛材の純化処理炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30875697A JP4058147B2 (ja) 1997-11-11 1997-11-11 黒鉛材の純化処理炉

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPH11147706A JPH11147706A (ja) 1999-06-02
JPH11147706A5 true JPH11147706A5 (en:Method) 2005-05-19
JP4058147B2 JP4058147B2 (ja) 2008-03-05

Family

ID=17984921

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30875697A Expired - Lifetime JP4058147B2 (ja) 1997-11-11 1997-11-11 黒鉛材の純化処理炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4058147B2 (en:Method)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102538449B (zh) * 2012-01-09 2013-11-20 宁波市鄞州圣安炉业有限公司 加热炉
CN106379880B (zh) * 2016-08-30 2018-06-26 山东伟基炭科技有限公司 一种超高温真空气体纯化炉系统
CN109000476B (zh) * 2018-07-17 2024-04-12 宁夏太谷能源管理科技服务有限公司 一种高效节能矿热炉
CN109231198A (zh) * 2018-11-27 2019-01-18 湖南顶立科技有限公司 一种物料提纯设备
JP7249974B2 (ja) * 2020-09-03 2023-03-31 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 熱処理炉および熱処理炉を用いた無機材料の製造方法
CN112225213B (zh) * 2020-10-14 2021-06-08 韶山恒升机械工业有限公司 高温石墨提纯炉
CN115709997A (zh) * 2022-10-25 2023-02-24 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 一种用于生产电子级多晶硅的石墨部件的净化方法
CN116062748B (zh) * 2023-01-12 2025-03-25 黑龙江省宝泉岭农垦帝源矿业有限公司 高纯石墨制备装置、制备方法及其载料机构和负压机构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH01142018A (ja) 金属加工部品を熱処理するための真空炉
JPH11147706A5 (en:Method)
JP7534456B2 (ja) 熱処理炉および熱処理炉を用いた無機材料の製造方法
JP4058147B2 (ja) 黒鉛材の純化処理炉
JP2000017305A (ja) 脱脂焼結炉
WO2016158029A1 (ja) 熱処理装置
KR101965415B1 (ko) 단계적인 압력과 서로 다른 열전달 분위기가 형성되는 다수 챔버를 이용한 이차 전지용 극판의 건조방법
JP4476712B2 (ja) 水冷式真空熱処理炉における酸化・着色防止方法
ATE202152T1 (de) Ofen zur wärmebehandlung von chargen metallischer werkstücke
JPH05106973A (ja) 真空炉
JP2859704B2 (ja) 真空熱処理炉
JPH0345117Y2 (en:Method)
CN115433817A (zh) 一种用于钢管的热处理装置
JPS60190511A (ja) 金属熱処理設備
JP2628264B2 (ja) 熱処理装置
JPS62139810A (ja) 焼戻炉の炉内清浄方法および装置
JPH0552485A (ja) 真空加熱炉及び真空加熱方法
JP2003171717A (ja) 2室型熱処理炉
JP2000223022A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造用炉
JP2923534B2 (ja) コイル状被処理材の焼鈍方法及び熱処理炉
JPH07283193A (ja) 洗浄液乾燥装置
JPH0418008B2 (en:Method)
JPH06271945A (ja) ベル型焼鈍炉の冷却方法およびその構造
JP2843471B2 (ja) 真空処理炉における仕切扉の気密構造
JPH07188788A (ja) メッキ材処理装置