JPH11143068A

JPH11143068A - アルカリ現像型感光性樹脂組成物の塗設物

Info

Publication number: JPH11143068A
Application number: JP30721497A
Authority: JP
Inventors: Yasubumi Yoshimoto; 保文吉本; Hisashi Fujimoto; 尚志藤本
Original assignee: Fujifilm Electronic Materials Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Electronic Materials Co Ltd
Priority date: 1997-11-10
Filing date: 1997-11-10
Publication date: 1999-05-28

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、プリント配線板の製造に好適に
用いられる、経時安定性、現像性、剥離性に優れるアル
カリ現像型感光性樹脂組成物層を支持体上に有する塗設
物を提供する。【解決手段】支持体上に、酸ペンダント型エポキシア
クリレート、光重合開始剤、エポキシ樹脂及びステアリ
ン酸又はその金属塩を含有するアルカリ現像型感光性樹
脂組成物層を有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物の
塗設物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、酸ペンダント型エ
ポキシアクリレートを用いたアルカリ現像型感光性樹脂
組成物層を支持体上に有する塗設物に関する。詳しく
は、多層プリント配線基板の製造に好適に用いられ、現
像性、剥離性及び経時安定性に優れた、アルカリ現像型
感光性樹脂組成物層を支持体上に有する塗設物に関す
る。

【０００２】

【従来技術】多層プリント配線基板は、電気絶縁性の良
好なエポキシ樹脂骨格を持つ永久レジストを使用してビ
アホールを形成して製造する。特に、表面層において
は、フォトソルダーレジストを使用し、必要な部分だけ
金属メッキを付ける方法が一般的となっている。また、
多層プリント配線基板のレジストパターン形成法には、
ドライフィルム型フォトレジストや液状型フォトレジス
トがあり、ドライフィルム型フォトレジストとしては、
例えばアルカリ現像型のビルドアップ材料またはソルダ
ーレジスト材料をポリエチレンテレフタレートフィルム
に塗布したドライフィルムを、基板に張り付けて露光し
た後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がすこ
とによって多層プリント配線基板を製造する方法が採ら
れている。アルカリ現像型のビルドアップ材料またはソ
ルダーレジスト材料としては酸ペンダント型エポキシア
クリレートを主剤とし、硬化剤としてエポキシ樹脂を組
み合わせる方法が一般的に行われている。しかし、この
ようなビルドアップ材料またはソルダーレジスト材料で
はエポキシアクリレート主剤中のカルボキシル基と硬化
剤樹脂中のエポキシ基との反応性が速いため、通常２液
システムで販売され、顧客が使用時に必要な量だけ主剤
と硬化剤を混ぜ合わせて１日で使い終わるようにしてい
るのが現状である。また、このようなビルドアップ材料
またはソルダーレジスト材料をドライフィルム化しよう
とするとカルボキシル基とエポキシ基が混在化しどうし
ても保存安定性が悪くなる。更に液状の場合と異なり、
露光後のポリエチレンテレフタレートフィルムが剥がれ
にくく、更に現像性が悪くなるという問題点がある。ま
た、このポリエチレンテレフタレートフィルムの剥離性
を改善するために、天然ワックス、合成ワックス等が用
いられているが、未だ十分満足し得るものではない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、上記多層プリント配線基板の製造に用いられるレジ
スト材料において、ドライフイルム形態で使用した場合
に好適に用いられる酸ペンダント型エポキシアクリレー
トを含有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物層を支持
体上に有する塗設物を提供することである。本発明の更
なる目的は、上記従来の欠点を改良し、経時安定性、剥
離性及び現像性に優れた、アルカリ現像型感光性樹脂組
成物層を支持体上に有する塗設物を提供することであ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記問題点
を解決するため種々検討した結果、本発明の目的は、
（１）支持体上に、酸ペンダント型エポキシアクリレー
ト、光重合開始剤、エポキシ樹脂及びステアリン酸又は
その金属塩を含有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物
層を有することを特徴とするアルカリ現像型感光性樹脂
組成物の塗設物、により達成することができることを見
いだし、本発明に至った。

【０００５】本発明はドライフィルムの保存安定性、剥
離性および現像性をよくするために鋭意検討した結果、
系の中に内部離型剤として少量のステアリン酸またはそ
の金属塩を添加することにより飛躍的にその安定性を改
良し、従って、ポリエチレンテレフタレートフィルムの
剥れ性を改良することがことが出来たものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明で用いられるアルカリ現像
型感光性樹脂組成物（以下、単に「組成物」と称するこ
ともある）について説明する。この組成物には、酸ペン
ダント型エポキシアクリレート、光重合開始剤、エポキ
シ樹脂およびステアリン酸またはその金属塩を少なくと
も含有する。本発明における酸ペンダント型エポキシア
クリレートとしては、例えば、酸ペンダント型オルトク
レゾールノボラックエポキシアクリレート、酸ペンダン
ト型フェノールノボラックエポキシアクリレート、酸ペ
ンダント型ビスフェノールＡエポキシアクリレート、又
は酸ペンダント型ビスフェノールＦエポキシアクリレー
トなど、一般的に知られているものが用いられる。ま
た、下記一般式（Ｉ）で示される酸ペンダント型臭素化
エポキシアクリレートを好ましく用いることもできる。

【０００７】

【化１】

【０００８】上記式（Ｉ）中、Ｘ₁〜Ｘ₃は各々独立
に、水素原子、

【０００９】

【化２】

【００１０】を表し、但しＸ₁〜Ｘ₃のうち少なくとも
２つは水素原子以外の基を表す。ｎは０．３〜１．５を
表す。上記一般式（Ｉ）において、Ｘ₁〜Ｘ₃のうち少
なくとも２つは水素原子以外の基を表すが、好ましくは
Ｘ₁、Ｘ₃が水素原子以外の基であり、Ｘ₂が水素原子
である場合が好ましい。また、ｎは０．３〜１．５の数
字を表すが、好ましくは０．４〜１．０、より好ましく
は０．５〜０．８である。

【００１１】上記一般式（Ｉ）の酸ペンダント型臭素化
エポキシアクリレートは、従来の酸ペンダント型臭素化
エポキシアクリレートと比較して、ペンダントさせる酸
の構造と数を選択し、なおかつ繰り返し構造の数ｎを比
較的小さいものに特定化して、該化合物の分子量を低分
子量としたものである。

【００１２】上記一般式（Ｉ）で示される酸ペンダント
型臭素化エポキシアクリレートの製造方法としては、基
本的にエポキシ基１個に対し、１分子のアクリル酸を反
応させるが、臭素化エポキシ樹脂のエポキシ基１当量当
たりアクリル酸を０．８〜１．１当量となる範囲にある
ことが好ましい。

【００１３】本発明の組成物における酸ペンダント型エ
ポキシアクリレートの含有量としては、特に限定される
ものではなく、硬化剤のエポキシ樹脂のエポキシ当量に
よって変化する。具体的には、酸ペンダント型エポキシ
アクリレートのカルボキシル当量とエポキシ樹脂のエポ
キシ当量の比が、好ましくは１：０．８〜１：１．２と
なるように、組成物に各々を添加する。この範囲以外で
は、硬化後も未反応の官能基が存在し、好ましくない。

【００１４】本発明の組成物には、酸ペンダント型エポ
キシアクリレートは２種以上含まれてもよい。

【００１５】本発明で用いられる組成物に使用できる光
重合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメ
チルエーテル、ぺンゾインエチルエーテル、ベンゾイン
イソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテ
ル、ベンジルメチルケタールなどのベンゾインとそのア
ルキルエーテル類；アセトフェノン、２，２−ジメトキ
シ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２
−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ジエトキ
シアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニル
アセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン、１
−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチ
ル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフ
ォリノ−プロパン−１−オンなどのアセトフェノン類；
メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２
−タシャリーブチルアントラキノン、１−クロロアント
ラキノン、２−アミルアントラキノンなどのアントラキ
ノン類；チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサン
トン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジクロロチ
オキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジ
イソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン類；
アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケ
タールなどのケタール類；ベンゾフェノン、４，４−ビ
スメチルアミノベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類
及びアゾ化合物などが挙げられるが、なかでもアセトフ
ェノン類とチオキサントン類が好ましく、より好ましく
はアセトフェノン類とチオキサントン類の両方を使用す
ることが好ましい。

【００１６】これらは単独または２種以上の混合物とし
て使用でき、さらにはトリエタノールアミン、メチルジ
エタノールアミンなどの第３級アミン；２−ジメチルア
ミノエチル安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ルなどの安息香酸誘導体などの光開始助剤などと組み合
わせて使用することができる。上記光重合開始剤の組成
物中の添加量としては、酸ペンダント型エポキシアクリ
レートと後記光重合性ビニルモノマーも含めた総ビニル
基の数に対して比例して添加することが好ましいが、組
成物の全固形分の総重量に対して１．４〜２．６重量％
が好ましい。

【００１７】本発明の組成物は、硬化系成分としてエポ
キシ樹脂を用いる。本発明で用いるエポキシ樹脂として
は、具体的には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビ
スフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、ブロム化エポキシ樹脂、ビキレノール型エポキシ樹
脂、ビフェノール型エポキシ樹脂などのグリシジルエー
テル類；３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシル
メチル−３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサン
カルボキシレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメ
チル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレー
ト、１−エポキシエチル−３，４−エポキシシクロヘキ
サンなどの脂環式エポキシ樹脂；フタル酸ジグリシジル
エステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステ
ル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのグリシジルエ
ステル類；テトラグリシジルジアミノジフェニルメタ
ン、トリグリシジルｐ−アミノフェノール、Ｎ，Ｎ−ジ
グリシジルアニリンなどのグリシジルアミン類；１，３
−ジグリシジル−５，５−ジメチルヒダントイン、トリ
グリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹
脂などが挙げられる。

【００１８】上記エポキシ樹脂の中でも結晶性エポキシ
樹脂が好ましい。これにより、本発明の組成物の経時安
定性が良好となり、更に本発明の組成物をドライフイル
ムに用いた際にクラックのないものが得られる。ここで
結晶性エポキシ樹脂とは、分子量の分布が殆ど無く（主
な構造のものが９０％以上を占める）、常温で固形の比
較的低分子のエポキシ樹脂である。このようなエポキシ
樹脂は結晶性があるため、溶剤にも溶けにくく、従って
エポキシ基と非常に反応し易いカルボキシル基を有する
酸ペンダント型エポキシアクリレートと組み合わせて
も、比較的経時変化が少なく安定性がよい。結晶性エポ
キシ樹脂としては、油化シェルエポキシ（株）製ＹＸ−
４０００Ｈ等のビフェニル系グリシジルエーテル、東都
化成（株）製ＹＤＣ−１３１２等のハイドロキノン系グ
リシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート等
が挙げられる。結晶性エポキシ樹脂の中でもトリグリシ
ジルイソシアヌレートが上記効果がより優れる点でより
好ましい。

【００１９】また、本発明で用いる組成物は、ステアリ
ン酸又はその金属塩を含有する。ステアリン酸の金属塩
としては、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸マグ
ネシウム、ステアリン酸リチウム、リチウム１２ヒドロ
キシステアレート、ステアリン酸亜鉛、又はステアリン
酸バリウムなどがあげられる。これらのうち、特にステ
アリン酸、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸カ
ルシウム等が特に好ましい。これらのステアリン酸又は
その金属塩は、組成物の固形分中、０．２〜１０（重
量）％、好ましくは０．５〜２（重量）％の割合で含有
されることが好ましい。

【００２０】また、本発明で用いる組成物には、上記の
成分の他、必要に応じ更にエポキシ樹脂の硬化促進剤、
光重合性モノマーなどを含有することができる。

【００２１】エポキシ樹脂の硬化促進剤として具体的に
は、２−メチルイミダゾール、２−エチル−３−メチル
イミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−フェ
ニルイミダゾール、１−シアノエチルー２エチルイミダ
ゾール、１−シアノエチル−２ウンデシルイミダゾー
ル、等のイミダゾール化合物；メラミン、グアナミン、
アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、エチルジアミノ
トリアジン、２，４−ジアミノトリアジン、２，４−ジ
アミノ−６−トリルトリアジン、２、４−ジアミノ−６
−キシリルトリアジン等のトリアジン誘導体；トリメチ
ルアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルオ
クチルアミン、ピリジン、ｍ−アミノフェノール等の三
級アミン類；ポリフェノール類などが挙けられる。これ
らの硬化促進剤は単独または併用して使用する事が出来
る。また、既に酸ペンダント型エポキシアクリレートの
製造の際に、反応触媒として使用しているのが残存して
いる場合には特に改めて使用する必要はない。

【００２２】また、光重合性ビニルモノマーとしては、
例えば２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウ
リル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）ア
クリレート、テトラヒドロフルフリール（メタ）アクリ
レート、イソボロニル（メタ）アクリレート、フェニル
（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレー
ト、フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレ
ートなどの（メタ）アクリル酸のエステル類；ヒドロキ
シエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メ
タ）アクリレートなどのヒドロキシアルキル（メタ）ア
クリレート類；メトキシエチル（メタ）アクリレート、
エトキシエチル（メタ）アクリレートなどのアルコキシ
アルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート類；エ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブタンジオ
ールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
（メタ）アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ
（メタ）アクリレート；ジエチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）
アクリレート、ポリエチレングリコール２００ジ（メ
タ）アクリレート、ポリエトキシ化トリメチロールプロ
パントリ（メタ）アクリレート、ポリプロポキシ化トリ
メチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリエ
トキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ポ
リプロポキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレー
ト、ポリエトキシ化水添ビスフェノールＡジ（メタ）ア
クリレート、ポリプロポキシ化水添ビスフェノールＡジ
（メタ）アクリレート、ポリエトキシ化ジシクロペンタ
ニエルジ（メタ）アクリレート、ポリプロポキシ化ジシ
クロペンタニエルジ（メタ）アクリレートなどのポリオ
キシアルキレングリコールポリ（メタ）アクリレート
類；ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエス
テルジ（メタ）アクリレートなどのエステルタイプのポ
リ（メタ）アクリレート類；トリス〔（メタ）アクリロ
キシエチル〕イソシアヌレートなどのイソシアヌレート
型ポリ（メタ）アクリレート類；Ｎ，Ｎ−ジメチルアミ
ノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミ
ノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルア
ミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチルアミノエ
チル（メタ）アクリレートなどのアミノアルキル（メ
タ）アクリレート類；（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メ
チル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリ
ルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、
（メタ）アクリロイルモルホリンなどの（メタ）アクリ
ルアミド類；ビニルピロリドンなどが挙げられる。これ
らのなかでも絶縁塗膜の耐熱性に優れる点から３官能以
上のアクリレートが好ましい。

【００２３】なお、上記エポキシ樹脂の硬化促進剤の組
成物中の添加量は、エポキシ樹脂に対し、０〜１％が適
当であり、光重合性モノマーの組成物中の添加量は、多
い程感度、解像度が良好となるが、多すぎるとタックが
発生したり、重合度が高くなるため露光、現像後にクラ
ックが生じたりすることがあるため、上記光重合性モノ
マーの組成物中の添加量の目安としては、組成物中の固
形分１００重量部に対して８〜２０重量部が好ましく、
より好ましくは１０〜１８重量部である。

【００２４】本発明の組成物には、上記各成分以外に、
さらに必要に応じて各種の添加剤、例えばタルク、硫酸
バリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、チタン
酸バリウム、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、
シリカ、クレーなどの無機充填剤；アエロジルなどのチ
キソトロピー付与剤；フタロシアニンブルー、フタロシ
アニングリーン、酸化チタンなどの着色剤；シリコー
ン、フッ素系のレベリング剤や消泡剤；ハイドロキノ
ン、ハイドロキノンモノメチルエーテルなどの重合禁止
剤などを電気絶縁性及び塗膜性能を高める目的で添加す
ることが出来る。

【００２５】本発明においては上記の組成物を支持体上
に塗設して塗設物を得る。本発明の塗設物における支持
体としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ンナフタレート等通常使用されているものを用いること
ができる。その厚さは１５〜４０μｍが好ましい。この
ような支持体に上記のアルカリ現像型感光性樹脂組成物
層を塗設するには、支持体に上記組成物をスクリーン印
刷法や、静電塗装法、ロールコーター法、カーテンコー
ター法などにより塗布し、乾燥して得ることができる。
その乾燥して得られた組成物層の膜厚は、特に制限され
るものではないが、通常２０〜５０μｍが好ましい。

【００２６】組成物層を塗設する際には有機溶剤を用い
ることができる。ここで用いる有機溶剤としては、例え
ばトルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素；メタノー
ル、イソプロピルアルコールなどのアルコール類；酢酸
エチル、酢酸ブチルなどのエステル類；１，４−ジオキ
サン、テトラヒドロフランなどのエーテル類；メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類；
セロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、セロソルブ
アセテートなどのグリコール誘導体；シクロヘキサノ
ン、シクロヘキサノールなどの脂環式炭化水素及び石油
エーテル、石油ナフサなどの石油系溶剤などが挙げられ
る。

【００２７】多層プリント配線基板に本発明の塗設物を
ラミネートし、露光後支持体のポリエチレンテレフタレ
ート等を剥離、現像、次いで導体回路を形成し、これら
の工程を順次繰り返し積層していくことにより多層プリ
ント配線板とすることができる。

【００２８】

【実施例】以下、本発明の内容を実施例を用いて具体的
に説明するが、本発明の内容がこれらに限定されるもの
ではない。なお、実施例中、部及び％はそれぞれ重量部
及び重量％を示す。実施例１〜５、比較例１酸ペンダント型臭素化エポキシアクリレートとして、ネ
オポール８３１８（日本ユピカ（株）製）固形分７５
％、７５部を主剤とし、硬化剤として３官能エポキシ樹
脂のトリグリシジルイソシアヌレート・ＴＥＰＩＣ−Ｓ
（日産化学（株）製）１６．５部を使用し、他にアクリ
ルモノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアク
リレート・アロニックスＭ−４０２（東亜合成（株）
製）２０部、光重合開始剤として、ＩＲ−９０７（チバ
スペシャリティーケミカルズ社製）０．８部、及びＤＥ
ＴＸ−Ｓ（日本化薬社製）０．８部を、希釈溶剤として
メチルエチルケトン２３部を入れた系に、下記種々の内
部離型剤を組成物中の固形分に対して１％配合し、ポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に塗布、熱風循環式
乾燥機で９０℃で１分、９０℃で２分又は９０℃で５分
乾燥して溶剤を揮発し、厚さ２５μｍのドライフィルム
を得た。こうして得たドライフィルムを銅張積層板にラ
ミネートし、露光後ポリエチレンテレフタレートフィル
ムを剥がした時の剥れ性をテストした。その結果を以下
の表１に示す。

【００２９】

【表１】

【００３０】表中、Ｂｌａｎｋ；添加剤なし。Ｓｔ；ステアリン酸Ｃａ−Ｓｔ；ステアリン酸カルシウムＭｇ−Ｓｔ；ステアリン酸マグネシウムＬｉ−Ｓｔ；ステアリン酸リチウムＬｉ−ＯＨ−Ｓｔ；リチウム１２ヒドロキシステアレー
トを表し、また、○；何の抵抗もなくポリエチレンテレフタレート
フィルム（ＰＥＴフィルム）が剥離した △；わずかな抵抗がかかりＰＥＴフィルム表面のところ
どころに膜が付着した ×；ＰＥＴフィルム表面の面積の半分以上のところに薄
膜が付着していた ××；ＰＥＴフィルム表面の全面に薄膜が付着していた剥がす時の抵抗が大であった

【００３１】また、乾燥９０℃×１min で行ったものを
室温で１か月放置したものと乾燥９０℃×５min 行った
ものはラミネート・露光後のポリエチレンテレフタレー
トフィルムの剥れ性は同じであった。更に、いずれも現
像性、解像性については問題なく、ドライフィルムの可
使時間が長くなった。

【００３２】実施例６、比較例２〜６実施例１〜５において、内部離型剤のステアリン酸又は
その金属塩の代わりに天然ワックス又は合成ワックスを
使用し、９０℃で３分乾燥する以外は、実施例１〜５と
同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルムの剥れ
性をテストした。その結果を以下の表２に示す。表中の
○、△、×は表１におけるそれらと同様の意味を有す
る。

【００３３】

【表２】

【００３４】＊１：天然ワックス（カルナバワックス）…日興ファイ
ンプロダクツ（株）製＊２−４：合成ワックス（ポリエチレンワックス）…Al
lied Signal Inc.製＊５：ワックスが表面に浮いてフィルム作成時の表面状
態が悪い。

【００３５】

【発明の効果】本発明により、経時安定性、現像性、剥
離性に優れるアルカリ現像型感光性樹脂組成物層を支持
体上に有する塗設物を提供でき、これはプリント配線板
の製造に好適に用いられる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体上に、酸ペンダント型エポキシア
クリレート、光重合開始剤、エポキシ樹脂及びステアリ
ン酸又はその金属塩を含有するアルカリ現像型感光性樹
脂組成物層を有することを特徴とするアルカリ現像型感
光性樹脂組成物の塗設物。