JPH11130252A

JPH11130252A - 基板保持具

Info

Publication number: JPH11130252A
Application number: JP29244397A
Authority: JP
Inventors: Kiyoaki Yamada; 清明山田; Yasuhiro Inokuchi; 泰啓井ノ口
Original assignee: Kokusai Electric Corp
Current assignee: Kokusai Electric Corp
Priority date: 1997-10-24
Filing date: 1997-10-24
Publication date: 1999-05-18

Abstract

(57)【要約】【課題】１つの基板保持具で、サイズの異なる複数の
基板を保持可能なようにする。【解決手段】基板保持具は、上部に基板を載せるよう
にしてこの基板を保持する２つの基板保持部２１，２２
と、この２つの基板保持部２１，２２を支持する支持部
２３とを有する。基板保持部２１，２２と支持部２３と
は別体として形成されている。そして、基板保持部２
１，２２は、ねじ２４，２５，２６，２７により間隔Ｌ
１を変更可能なように支持部２３に取り付けられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送装置にお
いて、基板搬送時に、基板を保持する基板保持具に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体デバイスのウェーハや液
晶表示デバイスのガラス基板等の固体デバイスの基板に
所定の処理を施す基板処理装置においては、カセットと
ロードロック室や基板処理室等との間で基板を搬送する
基板搬送装置が設けられている。

【０００３】この基板搬送装置は、基板保持具を有し、
この基板保持具により基板を保持しながら基板を搬送す
るようになっている。この基板保持具は、通常、基板を
上方に載せるようにして基板を保持するようになってい
る。

【０００４】図３は、従来の基板保持具の構成を示す斜
視図である。図示の基板保持具は、基板Ｗを保持する２
つの基板保持部１１、１２と、この基板保持部１１，１
２を支持する支持部１３とを有する。基板保持部１１，
１２は、支持部１３に一体的に形成されている。

【０００５】このような構成では、基板Ｗは、基板保持
部１１、１２の上方に載置されるようにして、この基板
保持部１１，１２に保持される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の基板保持具では、基板保持部１１，１２の間隔
を変更することができないので、サイズの異なる基板Ｗ
を保持する場合は、基板保持部１１，１２の間隔が異な
る複数の基板保持具を用意しなければならないという問
題があった。

【０００７】そこで、本発明は、１つで、サイズの異な
る複数の基板に保持可能な基板保持具を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の基板保持具は、複数の基板保持部と支
持部とを別体として形成するとともに、複数の基板保持
部の間隔を変更することができるようにすることによ
り、１つ基板保持具で、サイズの異なる複数の基板を保
持することができるようにしたものである。

【０００９】すなわち、請求項１記載の基板保持具は、
上部に基板を載せるようにしてこの基板を保持する複数
の基板保持部と、この複数の基板保持部とは別体として
形成され、この複数の基板保持部を支持する支持部と、
複数の基板保持部をその間隔を変更可能ように支持部に
取り付ける取付け手段とを備えたことを特徴とする。

【００１０】この基板保持具では、基板のサイズに応じ
て、複数の基板保持部の間隔を変更することができる。
これにより、１つの基板保持具で、サイズの異なる複数
の基板を保持することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を詳細に説明する。

【００１２】図１は、本発明の一実施の形態の基板保持
具の構成を示す分解斜視図である。

【００１３】図示の基板保持具は、基板Ｗを保持するた
めの２つの基板保持部２１，２２と、この基板保持部２
１，２２を支持する支持部２３とを有する。基板保持部
２１，２２と支持部２３とは、別体として形成されてい
る。基板保持部２１は、例えば、ねじ２４，２５を使っ
て支持部２３に着脱自在に取り付けられている。基板保
持部２２も、ねじ２６，２７を使って支持部２３に着脱
自在に取り付けられている。

【００１４】この場合、基板保持部２１，２２は、ほぼ
平行に取り付けられるようになっている。また、基板保
持部２１，２２の取付け位置は、複数設けられるように
なっている。そして、基板保持部２１，２２は、これら
複数の取付け位置に選択的に取り付けられるようになっ
ている。これにより、基板保持部２１，２２の間隔Ｌ１
が変更されるようになっている。

【００１５】図には、基板保持部２１，２２の取付け位
置として、それぞれ３つの取付け位置を設定する場合を
代表として示す。ここで、３２（１），３２（２），３
２（３）は、基板保持部２１の取付け位置を示し、３３
（１），３３（２），３３（３）は、基板保持部２２の
取付け位置を示す。

【００１６】なお、基板保持部２１，２２は、例えば、
アルミナ、石英、ＳｉＣ等により細長い薄板状に形成さ
れている。また、支持部２３は、例えば、アルミナ、石
英、ＳｉＣ等によりＴ字形の薄板状に形成されている。
そして、基板保持部２１は、一端部にて、支持部２３の
水平部（Ｔ字形の水平部）２３１の一端部２３１（１）
に取り付けられるようになっている。したがって、この
一端部２３１（１）には、上述した３つの取付け位置３
２（１），３２（２），３２（３）が設定されている。
この場合、この３つの取付け位置３２（１），３２
（２），３２（３）は、水平部２３１の延在方向Ｘ１−
Ｘ２に所定間隔ずつずらすように設定されている。

【００１７】同様に、基板保持部２２は、一端部にて、
支持部２３の水平部（Ｔ字形の水平部）２３１の他端部
２３１（２）に取り付けられるようになっている。した
がって、この他端部２３１（２）には、上述した３つの
取付け位置３３（１），３３（２），３３（３）が設定
されている。この場合、この３つの取付け位置３３
（１），３３（２），３３（３）は、水平部２３１の延
在方向Ｘ１−Ｘ２に所定間隔ずつずらすように設定され
ている。

【００１８】基板保持部２１の一端部には、これを支持
部２３に取り付けるための取付け部２１１が形成されて
いる。この取付け部２１１の幅Ｌ２は、基板保持部２１
の他の部分の幅Ｌ３より大きくなるように設定されてい
る。そして、この取付け部２１１には、ねじ２４，２５
を挿入するための２つの孔２８，２９が設けられてい
る。

【００１９】同様に、基板保持部２２の一端部には、こ
れを支持部２３に取り付けるための取付け部２２１が形
成されている。この取付け部２２１の幅Ｌ２も、基板保
持部２２の他の部分の幅Ｌ３より大きくなるように設定
されている。そして、この取付け部２２１には、ねじ２
６，２７を挿入するための２つの孔３０，３１が設けら
れている。

【００２０】基板保持部２１を支持部２３に取り付ける
ための各取付け位置３２（ｎ）（ｎ＝１，２，３）に
は、ねじ２４，２５が螺合されるねじ孔３４（ｎ），３
５（ｎ）が設けられている。同様に、基板保持部２１を
支持部２３に取り付けるための各取付け位置３３（ｎ）
には、ねじ２６，２７が螺合されるねじ孔３６（ｎ），
３７（ｎ）が設けられている。

【００２１】以上が、本発明の一実施の形態の基板保持
具の構成である。このような構成では、小型の基板Ｗ
（Ｓ）を保持する場合は、基板保持部２１は、図２
（ａ）に示すように、３つの取付け位置３２（１），３
２（２），３２（３）のうち内側の取付け位置３２
（１）に取り付けられる。この取付けは、ねじ２４，２
５をそれぞれ孔２８，２９（図１参照）を介してねじ孔
３４（１），３５（１）に螺合することにより行われ
る。

【００２２】同様に、基板保持部２２も、３つの取付け
位置３３（１），３３（２），３３（３）のうち内側の
取付け位置３３（１）に取り付けられる。この取付け
は、ねじ２６，２７をそれぞれ孔３０，３１（図１参
照）を介してねじ孔３６（１），３７（１）に螺合する
ことにより行われる。

【００２３】これにより、この場合は、基板保持部２
１，２２の間隔Ｌ１（図１参照）は、小型の基板Ｗ
（Ｓ）を保持するのに適した間隔Ｌ１（Ｓ）に設定され
る。この場合、基板Ｗ（Ｓ）は、基板保持部２１，２２
の上面に載せるようにして保持される。

【００２４】また、中型の基板Ｗ（Ｍ）を保持する場合
は、図２（ｂ）に示すように、基板保持部２１は、真ん
中の取付け位置３２（２）に取り付けられる。この取付
けは、ねじ２４，２５をそれぞれ孔２８，２９を介して
ねじ孔３４（２），３５（２）に螺合することにより行
われる。同様に、基板保持部２２も、真ん中の取付け位
置３３（２）に取り付けられる。この取付けは、ねじ２
４，２５をそれぞれ孔３０，３１を介してねじ孔３６
（２），３７（２）に螺合することにより行われる。こ
れにより、この場合は、基板保持部２１，２２の間隔Ｌ
１は、中型の基板Ｗ（Ｍ）を保持するのに適した間隔Ｌ
１（Ｍ）に設定される。

【００２５】また、大型の基板Ｗ（Ｌ）を保持する場合
は、図２（ｃ）に示すように、基板保持部２１は、外側
の取付け位置３２（３）に取り付けられる。この取付け
は、ねじ２４，２５をそれぞれ孔２８，２９を介してね
じ孔３４（３），３５（３）に螺合することにより行わ
れる。同様に、基板保持部２２も、外側の取付け位置３
３（３）に取り付けられる。この取付けは、ねじ２４，
２５をそれぞれ孔３０，３１を介してねじ孔３６
（３），３７（３）に螺合することにより行われる。こ
れにより、この場合は、基板保持部２１，２２の間隔Ｌ
１は、大型の基板Ｗ（Ｌ）を保持するのに適した間隔Ｌ
１（Ｌ）に設定される。

【００２６】以上詳述した本実施の形態によれば、基板
保持部２１，２２と支持部２３とを別体として形成する
とともに、基板保持部２１，２２をその間隔Ｌ１を変更
可能なように支持部２３に取り付けるようにしたので、
１つの基板保持具で、サイズの異なる複数の基板Ｗを保
持することができる。

【００２７】以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明
したが、本発明は、上述したような実施の形態に限定さ
れるものではない。

【００２８】（１）例えば、先の実施の形態では、２つ
の基板保持部の取付け位置を変更可能にする場合を説明
した。しかしながら、本発明は、一方の基板保持部の取
付け位置のみを変更可能なようにし、他方の基板保持部
は、例えば、支持部に一体的に形成するようにしてもよ
い。このような構成によれば、基板Ｗのサイズが変更さ
れた場合、１つの基板保持部の取付け位置のみを変更す
ればよいので、この変更作業を簡単に行うことができ
る。

【００２９】（２）また、先の実施の形態では、基板保
持部を２つ設ける場合を説明した。しかしながら、本発
明では、これを３つ以上設けるようにしてもよい。この
場合は、両端または一方の端に存在する基板保持部の取
付け位置のみ変更可能なようにし、残りの基板保持部
は、例えば、支持部に一体的に形成するようにしてもよ
い。

【００３０】（３）また、先の実施の形態では、２つの
基板保持部を平行移動させることによりこれらの間隔を
変更する場合を説明した。しかしながら、本発明は、例
えば、２つの基板保持部を回転移動させることにより、
これらの間隔を変更するようにしてもよい。すなわち、
２つの基板保持部を扇形に開閉することにより、両者の
間隔を変更するようにしてもよい。

【００３１】このような構成によれば、例えば、２つの
基板保持部を締め付けるためのねじ等を緩めるだけで２
つの基板保持部の間隔を変更することができる。これに
より、基板保持部を支持部から取り外す必要がないの
で、間隔の変更作業を簡単に行うことができる。

【００３２】なお、この場合も、一方の基板保持部のみ
を回転移動可能とし、他方の基板保持部は支持部に一体
的に形成するようにしてもよい。また、この場合も、３
つ以上の基板保持部を設けるようにしてもよい。３つ以
上の基板保持部を設ける場合は、両端または一方の端に
存在する基板保持部のみを回転移動可能にするようにし
てもよい。

【００３３】（４）このほかにも、本発明は、その要旨
を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論
である。

【００３４】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の基板
保持具によれば、複数の基板保持部と支持部とを別体と
して形成するとともに、複数の基板保持部をその間隔を
変更可能なように支持部に取り付けるようにしたので、
１つの基板保持具で、サイズの異なる複数の基板を保持
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の基板保持具の構成を示
す分解斜視図である。

【図２】本発明の一実施の形態の基板保持具の基板保持
形態を説明するための斜視図である。

【図３】従来の基板保持具の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

２１，２２…基板保持部、２３…支持部、２４，２５，
２６，２７…ねじ、２８，２９，３０，３１…孔、３２
（１），３２（２），３２（３），３３（１），３３
（２），３３（３）…取付け位置、３４（１），３４
（２），３４（３），３５（１），３５（２），３５
（３），３６（１），３６（２），３６（３），３７
（１），３７（２），３７（３）…ねじ孔。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上部に基板を載せるようにしてこの基板
を保持する複数の基板保持部と、この複数の基板保持部とは別体として形成され、この複
数の基板保持部を支持する支持部と、前記複数の基板保持部をその間隔を変更可能ように前記
支持部に取り付ける取付け手段とを備えたことを特徴と
する基板保持具。