JPH10338347A

JPH10338347A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH10338347A
Application number: JP9153691A
Authority: JP
Inventors: Yukinori Yuya; 幸則油谷; Katsumi Takashima; 克美高島
Original assignee: Kokusai Electric Corp
Current assignee: Kokusai Electric Corp
Priority date: 1997-06-11
Filing date: 1997-06-11
Publication date: 1998-12-22

Abstract

(57)【要約】【課題】基板保持具を安価に製造することができるこ
とは勿論、基板保持具の姿勢調整作業を簡単化すること
ができるようにする。【解決手段】基板保持プレート５０は、基板を保持す
るための基板保持部５１と、この基板保持部５１を支持
するための柄部５２と、基板保持部５１の姿勢を調整す
るための姿勢調整部５３とを有する。基板保持部５１
は、その上面に形成された円形の凹部５１１に基板を載
置することによりこの基板を保持する。この基板保持部
５１は、柄部５２の先端部に、姿勢調整部５３を介して
支持されている。姿勢調整部５３は、基板保持部５１と
柄部５２との境界位置に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板保持具を有
し、この基板保持具で基板を保持しながらこの基板を搬
送する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置や液晶表示装置等の
固体装置を製造する場合は、その製造工程の１つとし
て、半導体装置の半導体基板（ウェーハ）や液晶表示装
置の絶縁基板等の基板に成膜等の処理を施す基板処理工
程が必要となる。

【０００３】この基板処理工程では、通常、処理すべき
基板をロードロック室や処理室に搬入する場合、まず、
複数の基板をカセットと呼ばれる基板収納容器に収納し
た状態でカセット搬送装置または人手により基板処理装
置に搬入し、次に、このカセットから基板処理装置内に
設けられた基板搬送装置により基板を取り出してロード
ロック室や処理室に搬入するようになっている。

【０００４】また、この基板処理工程では、通常、処理
の終了した基板をロードロック室や処理室から搬出する
場合、まず、上記基板搬送装置により、ロードロック室
や処理室から基板を搬出してカセットに収納し、次に、
このカセットを上記カセット搬送装置または人手により
基板処理装置から搬出するようになっている。

【０００５】上記基板搬送装置は、通常、基板保持具を
有し、この基板保持具で基板を保持しながらこの基板を
搬送するようになっている。この場合、基板の保持形態
としては、通常、基板の下面を支持することにより基板
を保持する形態が用いられる。これは、基板処理装置に
搬入されたカセットやロードロック室に設けられたボー
トと呼ばれる基板収納具、さらには、処理室では、通
常、基板が水平な姿勢で保持されるからである。

【０００６】また、この基板保持具としては、通常、基
板保持プレート（あるいは基板搬送プレート）と呼ばれ
る板状の保持具が用いられる。これは、基板処理装置に
搬入されたカセットやロードロック室に設けられたボー
トでは、通常、複数の基板が狭い間隔で多段配置されて
いるからである。すなわち、このような構成では、基板
を保持する場合、狭い間隔で配置された２つの基板の間
に基板保持具を挿入しなければならないからである。

【０００７】図７は、上述した基板保持プレートの従来
の構成の一例を示す平面図であり、図８は、同じく、側
面図である、図示の基板保持プレート１０は、基板を保
持するための基板保持部１１とこの基板保持部１１を支
持するための柄部１２とを一体的に形成したものであ
る。

【０００８】図９は、基板保持プレートの従来の構成の
他の例を示す平面図であり、図１０は、同じく、側面図
である。図示の基板保持プレート２０は、基板を保持す
るための基板保持部２１とこの基板保持部２１を支持す
るための柄部２２とを別体として形成し、これらをボル
ト２３等で連結するようにしたものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板保
持プレートとして、図７に示すような基板保持プレート
１０や図９に示すような基板保持プレート２０を有する
基板搬送装置には、次のような問題があった。

【００１０】（１）まず、基板保持プレートとして、図
７に示すような基板保持プレート１０を有する基板搬送
装置には、次のような２つの問題（ａ），（ｂ）があっ
た。

【００１１】（ａ）第１の問題は、基板保持プレート１
０の製造経費が高くなるという問題である。

【００１２】すなわち、基板保持部１１は、通常、アル
ミナや石英によって形成される。これは、アルミナや石
英は、縦弾性係数が高いので撓みにくいという利点と、
耐熱が高いという利点と、純度が高いため、パーティク
ルが出にくいという利点とを有するからである。

【００１３】しかしながら、アルミナや石英は材料費が
高い。一方、図７に示す基板保持プレート１０のよう
に、基板保持部１１と柄部１２とを一体的に形成するよ
うな構成では、基板保持部１１だけでなく、柄部１２も
アルミナや石英によって形成しなければならない。した
がって、この基板保持プレート１０では、アルミナや石
英により得られる利点以上に、その製造経費が問題とな
ってしまう。

【００１４】（ｂ）第２の問題は、基板保持プレート１
０の姿勢を調整する作業が難しいという問題である。

【００１５】すなわち、基板保持プレート１０で基板を
保持するためには、狭い間隔で配列された２つの基板間
に基板保持プレート１０を正確に挿入する必要がある。
このためには、基板保持プレート１０の姿勢として、所
望の姿勢を正確に設定する必要がある。基板保持プレー
ト１０の姿勢として、所望の姿勢を正確に設定するに
は、基板保持プレート１０の姿勢を調整するための姿勢
調整部が必要になる。

【００１６】基板保持プレートして、図７に示す基板保
持プレート１０を有する従来の基板搬送装置では、この
姿勢調整部を基板搬送プレート１０の基端部（根元）に
設けるようになっていた。これは、基板保持プレート１
０の基板保持部１１と柄部１２とが一体的に形成されて
いるからである。

【００１７】しかしながら、このような構成では、基板
保持部１１の姿勢を調整する場合、基板保持部１１から
離れた位置で調整しなければならない。これは、通常、
柄部１２が長いからである。これにより、このような構
成では、姿勢調整作業中に基板保持部１１を目視しにく
いため、姿勢調整作業が難しくなる。特に、基板保持部
１１の姿勢を調整する場合は、通常、基板保持部１１を
２つの基板の間に挿入して行うため、この問題が深刻と
なる。

【００１８】（２）次に、基板保持プレートとして、図
９に示すような基板保持プレート２０を有する基板搬送
装置には、次のような問題があった。

【００１９】すなわち、この基板搬送装置で用いられる
基板保持プレート２０では、基板保持部２１と柄部２２
とが別体として形成されている。これにより、この基板
保持プレート２０では、基板保持部２１をアルミナや石
英で形成し、柄部２２をこれら以外の安価な材料で形成
することができる。これにより、この基板搬送装置で
は、基板保持プレート２０の製造経費を安くすることが
できる。

【００２０】しかしながら、この基板搬送装置では、基
板保持プレート２０の基板保持部２１と柄部２２とを別
体として形成されているにもかかわらず、基板保持部２
１の姿勢調整部を基板保持プレート２０の基端部に設け
るようになっていた。これにより、この基板搬送装置で
も、基板保持部２１の姿勢調整作業が難しいという問題
があった。

【００２１】そこで、本発明は、基板保持具を安く製造
することができることは勿論、基板保持具の姿勢調整作
業を簡単化することができる基板搬送装置を提供するこ
とを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板保持部と柄部とを別体として形成し、
両者の境界位置に基板保持部の姿勢調整手段を設けるよ
うにしたものである。

【００２３】すなわち、本発明は、基板保持具を有し、
この基板保持具で基板を保持しながらこの基板を搬送す
る基板搬送装置において、基板保持具が、基板を保持す
るための基板保持部と、この基板保持部とは別体として
形成されこの基板保持部を支持するための柄部と、基板
保持部と柄部との境界位置に設けられ基板保持部の姿勢
を調整するための姿勢調整手段とを備えたことを特徴と
する。

【００２４】本発明に係る基板搬送装置では、基板保持
部と柄部とを別体として形成するようにしたので、基板
保持部を安く製造することができる。また、姿勢調整手
段を基板保持部と柄部の境界位置に設けるようにしたの
で、基板保持部の姿勢を調整する場合、基板保持部に近
い位置で調整することができる。これにより、基板保持
部を目視し易くなるため、基板保持部の姿勢調整作業が
容易となる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明に係る基板搬送装置の実施の形態を詳細に説明する。

【００２６】図１〜図５は、本発明に係る基板搬送装置
の一実施の形態における基板保持プレートの構成を示す
図である。

【００２７】ここで、この図１〜図５に示す基板保持プ
レートの構成を説明する前に、図６を参照しながら、こ
の基板保持プレートを有する基板搬送装置の一例を説明
する。図６は、この基板搬送装置を備えた基板処理装置
の一例の構成を示す平面図である。

【００２８】図示の基板処理装置３０は、六角形の搬送
室３１の各辺に、第１，第２のカセット室３２（１），
３２（２）と、第１，第２の処理室３３（１），３３
（２）と、第１，第２の冷却室３４（１），３４（２）
とをそれぞれゲートバルブ３５（１），３５（２），３
６（１），３６（２），３７（１），３７（２）を介し
て連接し、搬送室３１に基板搬送装置４０を配置するよ
うにしたものである。

【００２９】基板搬送装置４０は、アーム４１と基板保
持プレート５０とを有する。アーム４１は、垂直方向の
回転軸の周りに回転自在に配設されるとともに、水平方
向に伸縮自在とされている。このアーム４１の先端に
は、基板保持プレート５０が支持されている。

【００３０】上記構成において、まず、基板処理装置３
０の動作を説明する。この基板処理装置３０では、ま
ず、複数の基板６１（１），６１（２）が収納されたカ
セット６２（１），６２（２）が、図示しないカセット
搬送装置または人手によりそれぞれ第１，第２のカセッ
ト室３２（１），３２（２）に搬入される。第１のカセ
ット室３２（１）に搬入されたカセット６２（１）に収
納されている複数の基板６１（１）は、基板搬送装置４
０により１枚ずつ取り出された後、例えば、第１の処理
室３３（１）に搬入される。これにより、基板６１
（１）に成膜等の処理が施される。

【００３１】この成膜等の処理が終了した基板６１
（１）は、基板搬送装置４０により第１の処理室３３
（１）から搬出された後、例えば、第１の冷却室３４
（１）に搬入される。これにより、成膜等の処理が終了
した基板６１（１）が冷却される。この冷却処理が終了
した基板６１（１）は、基板搬送装置５０により第１の
冷却室３４（１）から搬出された後、第１のカセット室
３２（１）に収納されているカセット６２（１）に戻さ
れる。

【００３２】以上の処理がカセット６２（１）に収納さ
れているすべての基板６１（１）について終了すると、
カセット６２（１）が図示しないカセット搬送装置また
は人手により第１のカセット室３２（１）から搬出され
る。なお、詳細な説明は省略するが、第２のカセット室
３２（２）に搬入されたカセット６２（２）に収納され
ている基板６１（２）についても同じような処理がなさ
れる。

【００３３】次に、基板搬送装置４０の動作を説明す
る。なお、以下の説明では、第１のカセット室３２
（１）から基板６１（１）を取り出し、これを第１の処
理室３３（１）に搬入する場合を説明する。

【００３４】この場合、まず、アーム４１の伸縮作用と
回転作用により、基板保持プレート５０の先端部が第１
のカセット室３２（１）に挿入される。第１のカセット
室３２（１）に挿入された基板保持プレート５０の先端
部は、さらに、カセット６２（１）に収納されている複
数の基板６１（１）のうちの隣接する２つの基板６１
（１）の間に挿入される。この挿入が終了すると、隣接
する２つの基板６１（１）のうちの上方の基板６１
（１）が、基板保持プレート５０の先端部に形成された
保持部に移載される。

【００３５】この移載が終了すると、アーム４１の伸縮
作用と回転作用により、基板保持プレート５０の先端部
が第１のカセット室３２（１）から抜き出される。これ
により、１枚の基板６１（１）が基板保持プレート５０
の保持部に保持された状態で、第１のカセット室３２
（１）から搬出される。

【００３６】このあと、アーム４１が回転し、基板保持
プレート５０が図６に実線で示すように、第１の処理室
３３（１）に対向付けられる。この状態になると、アー
ム４１の伸縮作用と回転作用により、基板保持プレート
５０の先端部が第１の処理室３３（１）に挿入される。
この挿入が終了すると、基板６１（１）が第１の処理室
３３（１）の内部に設けられた保持部に移載される。こ
の移載が終了すると、アーム４１の伸縮作用と回転作用
により、基板保持プレート５０の先端部が第１の処理室
３３（１）から抜き出される。

【００３７】以上が、本発明の特徴とする基板保持プレ
ート５０を備えた基板搬送装置４０とこの基板搬送装置
４０を備えた基板処理装置３０の構成及び動作である。

【００３８】次に、図１〜図５を参照しながら、本発明
の特徴とする基板保持プレート５０の構成を説明する。

【００３９】図１は、基板保持プレート５０を上方から
平面図であり、図２は、同じく、側方から見た側面図で
あり、図３は、図１の矢印Ｘ１方向に見た（前方から見
た）正面図であり、図４は、図１のラインＬ−Ｌに沿っ
て切断し、矢印方向に見た断面図である。

【００４０】なお、図において、Ｘ１は、第１のカセッ
ト室３２（１）等に対する基板保持プレート５０の挿入
方向を示し、Ｘ２は、第１のカセット室３２（１）等か
らの基板保持プレート５０の抜取り方向を示す。Ｘ３
は、Ｘ１方向に向って右方向を示し、Ｘ４は、同じく、
左方向を示す。Ｘ５は、上方向を示し、Ｘ６は、下方向
を示す。Ｘ７，Ｘ８は、詳細は後述するが、Ｘ１−Ｘ２
方向に沿って設定された所定の軸を回転軸とする回転方
向を示す。Ｘ９，Ｘ１０は、詳細は後述するが、Ｘ３−
Ｘ４方向に沿って設定された所定の軸を回転軸とする回
転方向を示す。

【００４１】図示のごとく、基板保持プレート５０は、
基板を保持するための基板保持部５１と、この基板保持
部５１を支持するための柄部５２と、基板保持部５１の
姿勢を調整するための姿勢調整部５３とを有する。

【００４２】基板保持部５１は、基板の下面を支持する
ことによりこの基板を保持する。具体的には、その上面
に形成された円形の凹部５１１に基板を載置することに
よりこの基板を保持する。この基板保持部５１は、柄部
５２の先端部５２１に、姿勢調整部５３を介して支持さ
れている。なお、図には、基板保持部５１を柄部５２か
ら外した状態を示す。柄部５２の基端部５２２は、図６
に示すアーム４１に支持されている。この支持は、例え
ば、図示しないボルトを介して行われる。１ｈ（１）〜
１ｈ（４）は、このボルトを挿入するための穴を示す。
姿勢調整部５３は、基板保持部５１と柄部５２との境界
位置に設けられている。

【００４３】この姿勢調整部５３は、基板保持部５１の
水平方向（左右）の角度（傾き）と垂直方向（上下）の
角度（傾き）とを調整することにより、基板保持部５１
の姿勢を調整する。

【００４４】ここで、基板保持部５１の水平方向の角度
とは、基板保持部５１のＸ１−Ｘ２方向の中心線を回転
軸とする基板保持部５１の回転角度である。これは、図
３に示すＸ７−Ｘ８方向の回転角度に相当する。また、
基板保持部５１の垂直方向の角度とは、基板保持部５１
のＸ２方向の端部に、Ｘ１−Ｘ２方向に垂直で、基板保
持部５１を含む平面に含まれる回転軸（基板保持部５１
のＸ２方向の端部を通るＸ３−Ｘ４方向の回転軸）を設
定した場合の基板保持部５１の回転角度である。これ
は、図２に示すＸ９−Ｘ１０方向の回転角度に相当す
る。

【００４５】図５は、姿勢調整部５３を分解した状態を
示す斜視図である。図示のごとく、姿勢調整部５３は、
水平角度調整部材５３１と、垂直角度調整部材５３２
と、２つのピン５３３，５３４と、５つのボルト５３５
（１），５３５（２），５３６（１），５３６（２），
５３７と、押さえ部材５３８とを有する。

【００４６】水平角度調整部材５３１は、概ね四角形の
棒をＬ字状に折曲したような形状を有する。このＬ字状
の水平角度調整部材５３１の一方の辺は、水平角度調整
部材５３１を柄部５２に取り付けるための取付け部１Ａ
として使われる。また、他方の辺は、垂直角度調整部材
５３２を支持するための支持部１Ｂとして使われる。こ
のような構成において、水平角度調整部材５３１は、取
付け部１ＡがＸ３−Ｘ４方向に沿って延在し、支持部１
ＢがＸ１−Ｘ２方向に沿って延在するように、柄部５２
の先端部（Ｘ１方向の端部）５２１の端面１Ｃの上部に
取り付けられる。

【００４７】この取付けは、ピン５３３とボルト５３５
（１），５３５（２）を使って行われる。すなわち、取
付け部１Ａには、Ｘ１−Ｘ２方向に沿って、ピン５３３
を挿入するためのピン挿入穴１ａと、ボルト５３５
（１），５３５（２）を挿入するためのボルト挿入穴２
ａ（１），２ａ（２）とが形成されている。また、柄部
５２の端面１Ｃの上部には、ピン５３３を挿入するため
のピン挿入穴１ｃと、ボルト５３５（１），５３５
（２）を螺合するためのねじ穴２ｃ（１），２ｃ（２）
とが形成されている。この場合、ボルト挿入穴２ａ
（１），２ａ（２）は、ピン挿入穴１ａをＸ３−Ｘ４方
向から挟むように設けられている。同様に、ねじ穴２ｃ
（１），２ｃ（２）は、ピン挿入穴１ｃをＸ３−Ｘ４方
向から挟むように設けられている。

【００４８】垂直角度調整部材５３２は、概ね平らな板
をＬ字状に折曲したような形状を有する。このＬ字状の
垂直角度調整部材５３２の一方の辺は、基板保持部５１
を支持するための支持部１Ｄとして使用される。また、
他方の辺は、垂直角度調整部材５３２を水平角度調整部
材５３１の取付け部１Ｂに取り付けるための取付け部１
Ｅとして使用される。このような構成において、垂直角
度調整部材５３２は、支持部１Ｄが水平角度調整部材５
３１の下方でＸ３−Ｘ４方向に沿って延在し、取付け部
１ＥがＸ５−Ｘ６方向に沿って延在するように、水平角
度調整部材５３１の支持部１Ｂに外側から取り付けられ
る。

【００４９】この取付けは、ピン５３４とボルト５３６
（１），５３６（２）を使って行われる。すなわち、取
付け部１Ｅには、Ｘ１−Ｘ２方向に沿って、ピン５３４
を挿入するためのピン挿入穴１ｅと、ボルト５３６
（１），５３６（２）を挿入するためのボルト挿入穴２
ｅ（１），２ｅ（２）とが形成されている。また、水平
角度調整部材５３１の支持部１Ｂには、ピン５３４を挿
入するためのピン挿入穴１ｂと、ボルト５３６（１），
５３６（２）を螺合するためのねじ穴２ｂ（１），２ｂ
（２）とが形成されている。この場合、ボルト挿入穴２
ｅ（１），２ｅ（２）は、ピン挿入穴１ｅをＸ１−Ｘ２
方向から挟むように設けられている。同様に、ねじ穴２
ｂ（１），２ｂ（２）は、ピン挿入穴１ｂをＸ１−Ｘ２
方向から挟むように設けられている。

【００５０】垂直角度調整部材５３２の支持部１Ｄの中
央には、低い円柱状の凸部１ｄが形成されている。この
凸部１ｄの中央部には、ボルト５３７が螺合されるねじ
穴２ｄが形成されている。また、支持部１Ｄの縁部に
は、Ｘ１方向の縁部を除いて、枠３ｄが形成されてい
る。

【００５１】押え部材５３８の中央には、ボルト５３７
を通す穴１Ｆが形成されている。基板保持部５１のＸ２
方向の端部には、基板保持部５１を垂直角度調整部材５
３２の支持部１Ｄに取り付けるための平板状の取付け部
５１２が形成されている。この取付け部５２は、垂直角
度調整部材５３２の支持部１Ｄに嵌まるような平板状に
形成されている。この取付け部５１２の中央部には、上
記凸部１ｄを通すための穴１Ｇが形成されている。

【００５２】上記構成において、図５を参照しながら、
まず、基板保持プレート５０の組立て作業を説明する。
この作業の手順としてはいろいろあるが、一例として、
例えば、次のような手順が考えられる。

【００５３】すなわち、まず、垂直角度調整部材５３２
を水平角度調整部材５３１に取り付ける。この取付け
は、ピン５３４とボルト５３６（１），５３６（２）を
使って行われる。すなわち、この場合、まず、垂直角度
調整部材５３２の取付け部１Ｅに形成されたピン挿入穴
１ｅを介して水平角度調整部材５３１の支持部１Ｂに形
成されたピン挿入穴１ｂにピン５３４を挿入する。これ
により、垂直角度調整部材５３２が水平角度調整部材５
３１に仮止めされる。次に、ボルト５３６（１），５３
６（２）をそれぞれ上記取付け部１Ｅに形成されたボル
ト挿入穴２ｅ（１），２ｅ（２）を介して上記支持部１
Ｂに形成されたねじ穴２ｂ（１），２ｂ（２）に螺合す
る。これにより、垂直角度調整部材５３２が水平角度調
整部材５３１に取り付けられたことになる。

【００５４】次に、水平角度調整部材５３１を柄部５２
の端面１Ｃの上部に取り付ける。この取付けは、ピン５
３３とボルト５３５（１），５３６（２）を使って行わ
れる。すなわち、この場合、まず、水平角度調整部材５
３１の取付け部１Ａに形成されたピン挿入穴１ａを介し
て柄部５２の端面１Ｃに形成されたピン挿入穴１ｃにピ
ン５３３を挿入する。これにより、水平角度調整部材５
３１が柄部５２に仮止めされる。次に、ボルト５３５
（１），５３５（２）をそれぞれ上記取付け部１Ａに形
成されたボルト挿入穴２ａ（１），２ａ（２）を介して
上記端面１Ｃに形成されたねじ穴２ｃ（１），２ｃ
（２）に螺合する。これにより、水平角度調整部材５３
１が柄部５３に取り付けられたことになる。

【００５５】最後に、基板保持部５１を水平角度調整部
材５３１の支持部１Ｄに取り付ける。この取付けは、ボ
ルト５３７と押え部材５３８とを使って行われる。すな
わち、この場合、まず、基板保持部５１の取付け部５１
２に形成された穴１Ｇに、垂直角度調整部材５３２の支
持部１Ｄに形成された凸部１ｄを通すようにして、支持
部１Ｄの上面に取付け部５１２を載置する。このあと、
押え板５３８の穴１Ｆを介してをボルト５３７をねじ穴
２ｄに螺合する。これにより、取付け部５１２が押え板
５３８により押えられる。その結果、基板保持部５１が
支持部１Ｄに支持される。以上が基板保持プレート５０
の組立て作業である。

【００５６】次に、基板保持部５１の姿勢調整作業を説
明する。

【００５７】まず、基板保持部５１の水平方向の角度を
調整する作業を説明する。この場合は、まず、ボルト５
３５（１），５３５（２）を緩く締めた状態で、水平角
度調整部材５３１をピン５３３の周りに回転させる。こ
れにより、水平角度調整部材５３１がＸ７−Ｘ８方向に
回転させられる。その結果、基板保持部５１がＸ７−Ｘ
８方向に回転させられる。次に、所望の回転角度が得ら
れた時点で、ボルト５３５（１），５３５（２）を強く
締める。これにより、基板保持部５１の水平方向の角度
が所望の角度に設定されたことになる。

【００５８】なお、この場合の調整範囲は、ボルト挿入
穴１ａ（１），１ａ（２）の径の大きさにより規制され
る。したがって、この径は、所望の調整範囲が得られる
ような大きさに設定されている。以上が、基板保持部５
１の水平方向の角度を調整する作業である。

【００５９】次に、基板保持部５１の垂直方向の傾きを
調整する作業を説明する。この場合は、まず、ボルト５
３６（１），５３６（２）を緩く締めた状態で、垂直角
度調整部材５３２をピン５３４の周りに回転させる。こ
れにより、垂直角度調整部材５３２がＸ９−Ｘ１０方向
に回転させられる。その結果、基板保持部５１がＸ９−
Ｘ１０方向に回転させられる。次に、所望の回転角度が
得られた時点で、ボルト５３６（１），５３６（２）を
強く締める。これにより、基板保持部５１の水平方向の
角度が所望の角度に設定されたことになる。

【００６０】なお、この場合の調整範囲は、ボルト挿入
穴１ｅ（１），１ｅ（２）の径の大きさにより規制され
る。したがって、この径は、所望の調整範囲が得られる
ような大きさに設定されている。以上が、基板保持部５
１の垂直方向の角度を調整する作業である。

【００６１】以上詳述した本実施の形態によれば、次の
ような効果を得ることができる。

【００６２】（１）まず、本実施の形態によれば、基板
保持プレート５０の基板保持部５１と柄部５２とを別体
として形成するようにしたので、基板保持プレート５０
の製造経費を安くすることができる。

【００６３】（２）また、本実施の形態によれば、基板
保持部５１と柄部５２との境界位置に、基板保持部５１
の姿勢を調整するための姿勢調整部５３を設けるように
したので、基板保持部５３の姿勢調整作業を行う場合、
基板保持部５３を目視しやすくすることができる。これ
により、基板保持部５１の姿勢調整作業を容易に行うこ
とができる。

【００６４】（３）また、本実施の形態によれば、基板
保持部５１と柄部５２との境界位置に、姿勢調整部５３
を設けるようにしたので、姿勢調整部５３を柄部５２の
基端部５２２に設ける場合に比べ、姿勢調整部５３を小
型化することができる。これは、このような場合は、姿
勢制御部５３は、基板保持部５１と柄部５２のうち、基
板保持部５１のみを支持すればよいからである。

【００６５】以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明
したが、本発明は、上述したような実施の形態に限定さ
れるものではない。

【００６６】（１）例えば、先の実施の形態では、基板
保持プレートの姿勢として、水平方向の角度と垂直方向
の角度とを調整する場合を説明した。しかしながら、本
発明では、これ以外の角度を調整するようにしてもよ
い。例えば、垂直方向の軸周りの角度を調整するように
してもよい。

【００６７】（２）また、先の実施の形態では、本発明
を、基板の保持形態として、基板の下面を支持すること
によりこれを保持するような形態を採用する基板搬送装
置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発明
は、これとは異なる保持形態を採用する基板搬送装置に
も適用することができる。例えば、本発明は、基板の縁
部を狭持することによりこれを保持するような形態を採
用する基板搬送装置にも適用することができる。

【００６８】（３）また、先の実施の形態では、本発明
を、水平に配置された基板を搬送する基板搬送装置に適
用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、例え
ば、垂直に配置された基板を搬送する基板搬送装置にも
適用することができる。これは、本発明は、上述したよ
うに、基板の保持形態として、例えば、基板の縁部を狭
持することによりこれを保持するような形態を採用する
基板搬送装置にも適用することができるからである。す
なわち、このような保持形態によれば、基板が垂直に保
持されている場合でも、基板を保持することができるか
らである。

【００６９】（４）また、先の実施の形態では、本発明
を、多段に配置された基板を搬送する基板搬送装置に適
用する場合を説明した。しかしながら、本発明は、１つ
だけ配置された基板を搬送する基板搬送装置にも適用す
ることができる。

【００７０】（５）また、先の実施の形態では、本発明
を、基板保持具として板状の基板保持具を用いる基板搬
送装置に適用する場合を説明した。しかしながら、本発
明は、板状以外の形状の基板保持具を用いる基板搬送装
置にも適用することができる。これは、本発明は、上述
したように、基板の保持形態として、基板の縁部を狭持
することによりこれを保持する形態を採用する基板搬送
装置や１つだけ配置された基板を搬送する基板搬送装置
にも適用可能だからである。すなわち、このような構成
によれば、基板保持具を２つの基板の間に挿入する必要
がないため、基板保持具をあえて板状に形成する必要が
ないからである。

【００７１】（６）このほかにも、本発明は、その要旨
を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論
である。

【００７２】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、基
板保持具の基板保持部と柄部とを別体として形成するよ
うにしたので、基板保持具の製造経費を安くすることが
できる。

【００７３】また、本発明によれば、基板保持部と柄部
との境界位置に、基板保持部の姿勢を調整する姿勢調整
手段を設けるようにしたので、基板保持部の姿勢調整作
業を行う場合、基板保持部を目視しやすくすることがで
きる。これにより、基板保持部の姿勢調整作業を容易に
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態にお
ける基板保持プレートの構成を示す平面図である。

【図２】本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態にお
ける基板保持プレートの構成を示す側面図である。

【図３】本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態にお
ける基板保持プレートの構成を示す正面図である。

【図４】本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態にお
ける基板保持プレートの構成を示す側断面図である。

【図５】本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態にお
ける基板保持プレートの構成を示す分解斜視図である。

【図６】本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態の構
成を示す平面図である。

【図７】従来の基板搬送装置における基板保持プレート
の一例の構成を示す平面図である。

【図８】従来の基板搬送装置における基板保持プレート
の一例の構成を示す側面図である。

【図９】従来の基板搬送装置における基板保持プレート
の他の例の構成を示す平面図である。

【図１０】従来の基板搬送装置における基板保持プレー
トの他の例の構成を示す側面図である。

【符号の説明】

３０…基板処理装置、３１…搬送室、３２（１），３２
（２）…カセット室、３３（１），３３（２）…処理
室、３４（１），３４（２）…冷却室、４０…基板搬送
装置、４１…アーム、５０…基板保持プレート、５１…
基板保持部、５２…柄部、５３…姿勢制御部、６１
（１），６１（２）…基板、６２（１），６２（２）…
カセット、５１１…凹部、５１２…取付け部、５２１…
先端部、５２２…基端部、５３１…水平角度調整部材、
５３２…垂直角度調整部材、５３３，５３４…ピン、５
３５（１），５３５（２），５３６（１），５３６
（２），５３７…ボルト、５３８…押え板、１Ａ，１Ｅ
…取付け部、１Ｂ…支持部、１Ｃ…端面、１ａ，１ｂ，
１ｃ，１ｅ…ピン挿入穴、２ａ（１），２ａ（２），２
ｅ（１），２ｅ（２）…ボルト挿入穴、２ｂ（１），２
ｂ（２），２ｃ（１），２ｃ（２），２ｄ…ねじ穴、１
ｄ…凸部、３ｄ…枠部、１Ｆ，１Ｇ，１ｈ（１）〜１ｈ
（４）…穴。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板保持具を有し、この基板保持具で基
板を保持しながらこの基板を搬送する基板搬送装置にお
いて、前記基板保持具は、前記基板を保持するための基板保持部と、この基板保持部とは別体として形成され、この基板保持
部を支持するための柄部と、前記基板保持部と前記柄部との境界位置に設けられ、前
記基板保持部の姿勢を調整するための姿勢調整手段とを
備えたことを特徴とする基板搬送装置。