JPH11120907A - プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法Info
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- JPH11120907A JPH11120907A JP9285887A JP28588797A JPH11120907A JP H11120907 A JPH11120907 A JP H11120907A JP 9285887 A JP9285887 A JP 9285887A JP 28588797 A JP28588797 A JP 28588797A JP H11120907 A JPH11120907 A JP H11120907A
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- H01J2211/00—Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
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- H01J2211/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、プラスマディスプレイパネル（以
下ＰＤＰ）において放電空間を区画するための隔壁の形
成方法に関し、面倒な研磨処理を行なうことなく、隣接
する放電空間での放電結合による誤点灯のない高品質表
示を可能とする隔壁の形成方法を提供することを目的と
している。 【解決手段】 プラズマディスプレイパネルの放電空間
を区画する帯状の隔壁を形成する方法において、固形粒
子１２がバインダー１３によって結合される材料からな
り、平面視帯状でその両端部が先細る傾斜部２を有する
所定高さの乾燥膜を形成した後、該乾燥膜の焼成処理を
行なって、当該帯状隔壁を形成することを特徴としてい
る。
下ＰＤＰ）において放電空間を区画するための隔壁の形
成方法に関し、面倒な研磨処理を行なうことなく、隣接
する放電空間での放電結合による誤点灯のない高品質表
示を可能とする隔壁の形成方法を提供することを目的と
している。 【解決手段】 プラズマディスプレイパネルの放電空間
を区画する帯状の隔壁を形成する方法において、固形粒
子１２がバインダー１３によって結合される材料からな
り、平面視帯状でその両端部が先細る傾斜部２を有する
所定高さの乾燥膜を形成した後、該乾燥膜の焼成処理を
行なって、当該帯状隔壁を形成することを特徴としてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラスマディスプ
レイパネル（以下ＰＤＰ）において放電空間を画定する
ための隔壁の形成方法に関する。
レイパネル（以下ＰＤＰ）において放電空間を画定する
ための隔壁の形成方法に関する。
【０００２】ＰＤＰは、大型の表示装置として注目され
ており、その表示品質を高めることが求められている。
隔壁は、高精細化に伴いその幅やピッチが微細となって
いるが、表示品質を高めるためにはこのような隔壁を精
度良く形成することが必要である。
ており、その表示品質を高めることが求められている。
隔壁は、高精細化に伴いその幅やピッチが微細となって
いるが、表示品質を高めるためにはこのような隔壁を精
度良く形成することが必要である。
【０００３】
【従来の技術】ＰＤＰは、ガラス等からなる一対の基板
を微小間隔を設けて対向配置し、放電用のガスを導入し
た状態で周囲を封止することによって、内部に放電空間
を形成した自己発光型の表示パネルである。
を微小間隔を設けて対向配置し、放電用のガスを導入し
た状態で周囲を封止することによって、内部に放電空間
を形成した自己発光型の表示パネルである。
【０００４】ＡＣ駆動で３電極構造の面放電型ＰＤＰの
構造を図８（一部を切り出した状態の斜視図）を参照し
ながら説明する。ガラスからなる前面基板３０の内面に
は、基板面に沿った面放電を生じさせるための平行な直
線状の表示電極Ｘ，Ｙが、マトリクス表示のラインＬ毎
に一対ずつ配列されている。表示電極Ｘ，Ｙは、フォト
リソグラフィ技術によって形成されるもので、それぞれ
がＩＴＯ（Indium Tin Oxide）薄膜からなる幅の広い直
線状の透明電極３２とその端縁部に積層された３層構造
(Cr/Cu/Cr)の金属薄膜からなる幅の狭い直線状のバス電
極３３とから構成されている。
構造を図８（一部を切り出した状態の斜視図）を参照し
ながら説明する。ガラスからなる前面基板３０の内面に
は、基板面に沿った面放電を生じさせるための平行な直
線状の表示電極Ｘ，Ｙが、マトリクス表示のラインＬ毎
に一対ずつ配列されている。表示電極Ｘ，Ｙは、フォト
リソグラフィ技術によって形成されるもので、それぞれ
がＩＴＯ（Indium Tin Oxide）薄膜からなる幅の広い直
線状の透明電極３２とその端縁部に積層された３層構造
(Cr/Cu/Cr)の金属薄膜からなる幅の狭い直線状のバス電
極３３とから構成されている。
【０００５】また、表示電極Ｘ，Ｙを放電空間に対して
被覆するように、ＡＣ駆動のための誘電体層（ＰｂＯ系
低融点ガラス層）３４がスクリーン印刷などにより設け
られている。そして、誘電体層３４の表面にはＭｇＯ
（酸化マグネシウム）からなる保護膜３５が蒸着されて
いる。
被覆するように、ＡＣ駆動のための誘電体層（ＰｂＯ系
低融点ガラス層）３４がスクリーン印刷などにより設け
られている。そして、誘電体層３４の表面にはＭｇＯ
（酸化マグネシウム）からなる保護膜３５が蒸着されて
いる。
【０００６】一方、背面基板３１の内面には、複数のア
ドレス電極３６が表示電極Ｘ，Ｙと直交するように一定
ピッチで配列されている。このアドレス電極３６もフォ
トリソグラフィ技術により形成されるもので、バス電極
３３同様、多層構造(Cr/Cu/Cr)の金属薄膜により構成さ
れている。
ドレス電極３６が表示電極Ｘ，Ｙと直交するように一定
ピッチで配列されている。このアドレス電極３６もフォ
トリソグラフィ技術により形成されるもので、バス電極
３３同様、多層構造(Cr/Cu/Cr)の金属薄膜により構成さ
れている。
【０００７】アドレス電極３６上を含む背面基板３１の
ほぼ全面には、スクリーン印刷などにより誘電体層３７
が形成され、その上層には、高さが１５０μｍ程度の直
線帯状の複数の隔壁３８が、各アドレス電極３６を挟む
ようにつ設けられている。
ほぼ全面には、スクリーン印刷などにより誘電体層３７
が形成され、その上層には、高さが１５０μｍ程度の直
線帯状の複数の隔壁３８が、各アドレス電極３６を挟む
ようにつ設けられている。
【０００８】そして、この隔壁間の細長い放電空間３９
内にはアドレス電極３６の上部を含めた誘電体層３７の
表面及び隔壁３８の側面を被覆するように、フルカラー
表示のためのＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色の
蛍光体４０がスクリーン印刷などにより設けられてい
る。
内にはアドレス電極３６の上部を含めた誘電体層３７の
表面及び隔壁３８の側面を被覆するように、フルカラー
表示のためのＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色の
蛍光体４０がスクリーン印刷などにより設けられてい
る。
【０００９】また、放電空間３９中には、放電時に紫外
線を照射して蛍光体励起するＮｅ−Ｘｅ（ＮｅとＸｅの
混合ガス）等の放電ガスが数百torr程度の圧力で封入さ
れている。
線を照射して蛍光体励起するＮｅ−Ｘｅ（ＮｅとＸｅの
混合ガス）等の放電ガスが数百torr程度の圧力で封入さ
れている。
【００１０】上記隔壁３８は、放電空間３９をライン方
向（表示電極Ｘ，Ｙと平行な画素配列方向）に区画する
と共に、上下方向の放電ギャップを規定するものであ
り、次の手順で形成される。
向（表示電極Ｘ，Ｙと平行な画素配列方向）に区画する
と共に、上下方向の放電ギャップを規定するものであ
り、次の手順で形成される。
【００１１】図９は、従来技術に係るマスクパターンを
示す図であり、サンドブラストと呼ばれる研削処理を経
て隔壁を形成する工程を説明するものである。従来の隔
壁は、図９（ａ）の断面図に示すように、アドレス電極
４３及び誘電体層４４を形成したガラス基板４１上に隔
壁となるガラスペースト４５をスクリーン印刷等によっ
て被着させた後、このガラスペースト４５にマスク４２
を介して砥粒４９を高速で噴射させて、マスクの存在し
ない領域を研削することにより形成する。
示す図であり、サンドブラストと呼ばれる研削処理を経
て隔壁を形成する工程を説明するものである。従来の隔
壁は、図９（ａ）の断面図に示すように、アドレス電極
４３及び誘電体層４４を形成したガラス基板４１上に隔
壁となるガラスペースト４５をスクリーン印刷等によっ
て被着させた後、このガラスペースト４５にマスク４２
を介して砥粒４９を高速で噴射させて、マスクの存在し
ない領域を研削することにより形成する。
【００１２】マスク４２は、フィルム状の感光性レジス
トを露光及び現像することにより所定パターンに形成し
たものであり、軟質で弾力性を有しているため、砥粒４
９により研削されない。
トを露光及び現像することにより所定パターンに形成し
たものであり、軟質で弾力性を有しているため、砥粒４
９により研削されない。
【００１３】このマスク４２を介して微細な砥粒４９を
ガラスペースト４５に向けて高速で噴射（サンドブラス
ト）すると、ガラスペースト４５のマスク４２のない部
分が砥粒４９により削り取られて残った部分が隔壁とな
る。
ガラスペースト４５に向けて高速で噴射（サンドブラス
ト）すると、ガラスペースト４５のマスク４２のない部
分が砥粒４９により削り取られて残った部分が隔壁とな
る。
【００１４】従来の隔壁形成に使用していたマスク４２
は、図９（ｂ）の上面図に示すように、隔壁形状と同様
な平面視帯状（ストライプ状）をしている。このよう
に、サンドブラスト処理によりガラスペーストを隔壁の
パターンに形成した後、ガラスペースト中のバインダー
（結合材）を燃焼除去させる焼成処理を施すことによ
り、ガラス製の隔壁を完成させる。
は、図９（ｂ）の上面図に示すように、隔壁形状と同様
な平面視帯状（ストライプ状）をしている。このよう
に、サンドブラスト処理によりガラスペーストを隔壁の
パターンに形成した後、ガラスペースト中のバインダー
（結合材）を燃焼除去させる焼成処理を施すことによ
り、ガラス製の隔壁を完成させる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】図１０は、上述した焼
成処理を行なう前と後の隔壁の状態を示す図であり、そ
れぞれ異なる方向の断面図を示している。
成処理を行なう前と後の隔壁の状態を示す図であり、そ
れぞれ異なる方向の断面図を示している。
【００１６】図１０（ａ−１）（ａ−２）は、焼成前の
状態を示しており、サンドブラスト処理によって均等に
研削され、表面は平坦で角部においてもほぼ直角の状態
になっている。尚、図１０（ａ−２）は図１０（ａ−
１）の直角方向の断面図であり、隔壁５０の長手方向の
端部を示している。
状態を示しており、サンドブラスト処理によって均等に
研削され、表面は平坦で角部においてもほぼ直角の状態
になっている。尚、図１０（ａ−２）は図１０（ａ−
１）の直角方向の断面図であり、隔壁５０の長手方向の
端部を示している。
【００１７】図１０（ｂ−１）（ｂ−２）は、焼成後の
状態を示しており、ガラスペースト４５（図９参照）中
のバインダーの燃焼等により収縮して隔壁５１の形状が
焼成前に対して変化している。
状態を示しており、ガラスペースト４５（図９参照）中
のバインダーの燃焼等により収縮して隔壁５１の形状が
焼成前に対して変化している。
【００１８】図１０（ｂ−１）に示す断面図のように、
その形状は高さ方向の中間部において内側に入り込む形
状である。また長手方向の端部においては、図１０（ｂ
−２）に示すように盛り上がり部６０が形成される状態
となっている。この盛り上がり部６０の発生により後述
する致命的な欠陥を引き起こすことになる。
その形状は高さ方向の中間部において内側に入り込む形
状である。また長手方向の端部においては、図１０（ｂ
−２）に示すように盛り上がり部６０が形成される状態
となっている。この盛り上がり部６０の発生により後述
する致命的な欠陥を引き起こすことになる。
【００１９】盛り上がり部６０は、焼成中における隔壁
表面の張力の違い等によって生ずるものと考えられ、そ
の現象を以下に説明する。図１０（ｂ−２）において、
破線で焼成前の隔壁を示しているが、焼成処理中の隔壁
上面に発生する張力は、まず長手方向の中央部側のＡ点
では、矢印で示すように左右両方向に同様な力となって
いる。これに対して最端部のＣ点では、一方向のみ、即
ち図では左方向のみにしか張力が加わらない。
表面の張力の違い等によって生ずるものと考えられ、そ
の現象を以下に説明する。図１０（ｂ−２）において、
破線で焼成前の隔壁を示しているが、焼成処理中の隔壁
上面に発生する張力は、まず長手方向の中央部側のＡ点
では、矢印で示すように左右両方向に同様な力となって
いる。これに対して最端部のＣ点では、一方向のみ、即
ち図では左方向のみにしか張力が加わらない。
【００２０】そして、最端部に近いＢ点では、一方向で
はないものの左右に引っ張られる張力に差を生じてい
る。焼成処理により隔壁５０は、全体的に収縮しようと
するが、長手方向の端部においては、外側（図では右
側）に引っ張られる張力が弱いことから、内側（図では
左側）への収縮が大きくなる。また、焼成前に下層の誘
電体層４４に固着されている部分はその状態を維持する
ため、上部のみが収縮することになる。
はないものの左右に引っ張られる張力に差を生じてい
る。焼成処理により隔壁５０は、全体的に収縮しようと
するが、長手方向の端部においては、外側（図では右
側）に引っ張られる張力が弱いことから、内側（図では
左側）への収縮が大きくなる。また、焼成前に下層の誘
電体層４４に固着されている部分はその状態を維持する
ため、上部のみが収縮することになる。
【００２１】このように、隔壁５０の大部分が均等に収
縮するのに対して、隔壁５０の端部は内側へ偏って収縮
するため、その分の歪みが上方へ押し上げられ盛り上が
り部６０を形成することになる。
縮するのに対して、隔壁５０の端部は内側へ偏って収縮
するため、その分の歪みが上方へ押し上げられ盛り上が
り部６０を形成することになる。
【００２２】図１１は、隔壁５１の盛り上がり部６０に
よる課題を説明するためのＰＤＰの部分断面図である。
アドレス電極４３と誘電体層４４及び上記隔壁５１が形
成された背面側のガラス基板４１は、表示電極Ｘ，Ｙ、
誘電体層５３及び保護膜５４を備える表示面側のガラス
基板５２にシール材５５により放電空間５６を有するよ
うに貼り合わせられてＰＤＰを構成する。
よる課題を説明するためのＰＤＰの部分断面図である。
アドレス電極４３と誘電体層４４及び上記隔壁５１が形
成された背面側のガラス基板４１は、表示電極Ｘ，Ｙ、
誘電体層５３及び保護膜５４を備える表示面側のガラス
基板５２にシール材５５により放電空間５６を有するよ
うに貼り合わせられてＰＤＰを構成する。
【００２３】本来、隔壁５１は、表示面側ガラス基板上
の保護膜５４に密着することにより、隣接する隔壁間に
細長い放電空間を区画するものであるが、端部に盛り上
がり部６０が存在することにより、密着せずに隙間５７
を形成することになる。
の保護膜５４に密着することにより、隣接する隔壁間に
細長い放電空間を区画するものであるが、端部に盛り上
がり部６０が存在することにより、密着せずに隙間５７
を形成することになる。
【００２４】このため、放電空間が確実に区画されず
に、特定の放電空間内の任意放電セルを放電させようと
しても、隙間５７を介して放電が隣接する放電空間にま
で及ぶ放電結合が発生して、表示に不要な放電セルの点
灯を引き起こす。
に、特定の放電空間内の任意放電セルを放電させようと
しても、隙間５７を介して放電が隣接する放電空間にま
で及ぶ放電結合が発生して、表示に不要な放電セルの点
灯を引き起こす。
【００２５】盛り上がり部が形成される端部の研磨を行
なうことも考えられるが、部分的に研磨するという面倒
な工程が増えると共に、研磨時のストレスによって隔壁
が損傷される恐れが生じる。
なうことも考えられるが、部分的に研磨するという面倒
な工程が増えると共に、研磨時のストレスによって隔壁
が損傷される恐れが生じる。
【００２６】本発明は、上記課題を解決して、面倒な研
磨処理を行なうことなく、放電結合による誤点灯のない
高品質表示を可能とする隔壁の形成方法を提供すること
を目的としている。
磨処理を行なうことなく、放電結合による誤点灯のない
高品質表示を可能とする隔壁の形成方法を提供すること
を目的としている。
【００２７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、プラズマディスプレイパネルの放電空間を
区画する帯状の隔壁を形成する方法において、固形粒子
がバインダーによって結合される材料からなり、平面視
帯状でその両端部が先細る傾斜部を有する所定高さの乾
燥膜を形成した後、該乾燥膜の焼成処理を行って、当該
帯状の隔壁を形成することを特徴としている。
の本発明は、プラズマディスプレイパネルの放電空間を
区画する帯状の隔壁を形成する方法において、固形粒子
がバインダーによって結合される材料からなり、平面視
帯状でその両端部が先細る傾斜部を有する所定高さの乾
燥膜を形成した後、該乾燥膜の焼成処理を行って、当該
帯状の隔壁を形成することを特徴としている。
【００２８】上記本発明のプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法によれば、工程を増やすことなく帯状隔
壁の端部の盛り上がりを防止することができ、一対の基
板を貼り合わせた状態で放電領域を確実に画定すること
ができる。
の隔壁形成方法によれば、工程を増やすことなく帯状隔
壁の端部の盛り上がりを防止することができ、一対の基
板を貼り合わせた状態で放電領域を確実に画定すること
ができる。
【００２９】そのため、放電結合による乱れのない高精
細表示が可能となる。
細表示が可能となる。
【００３０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例に係
るマスクパターンを示す平面図であり、図１（ａ）は全
体図、図１（ｂ）は部分拡大図である。
照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例に係
るマスクパターンを示す平面図であり、図１（ａ）は全
体図、図１（ｂ）は部分拡大図である。
【００３１】本実施例は、全面均等な膜（ベタ膜とも呼
ばれる）の所定領域を研削する、所謂サンドブラスト処
理を経て隔壁を形成するものであり、予めガラス基板１
上の隔壁材料膜（ガラスペースト膜）表面に図１に示す
如きパターン形状のマスク２を形成する。隔壁はガラス
基板１に縞（ストライプ）状に形成されるため、マスク
２もガラス基板１に対してストライプ状に設けるもので
あり、本実施例においてはその両端部形状に特徴を有し
ている。
ばれる）の所定領域を研削する、所謂サンドブラスト処
理を経て隔壁を形成するものであり、予めガラス基板１
上の隔壁材料膜（ガラスペースト膜）表面に図１に示す
如きパターン形状のマスク２を形成する。隔壁はガラス
基板１に縞（ストライプ）状に形成されるため、マスク
２もガラス基板１に対してストライプ状に設けるもので
あり、本実施例においてはその両端部形状に特徴を有し
ている。
【００３２】つまり、図１（ｂ）に示すように、両端部
は先端に向かって細くなるように傾斜部３を有するとと
もに、この傾斜部３の近傍にくびれ部４が備えられてい
る。このような端部形状のパターンを介してサンドブラ
スト処理、更に焼成処理を行なうことにより、詳細は後
で述べるが、精度良く隔壁を形成することが可能とな
る。
は先端に向かって細くなるように傾斜部３を有するとと
もに、この傾斜部３の近傍にくびれ部４が備えられてい
る。このような端部形状のパターンを介してサンドブラ
スト処理、更に焼成処理を行なうことにより、詳細は後
で述べるが、精度良く隔壁を形成することが可能とな
る。
【００３３】尚、図１では省略しているが、ガラス基板
１上にはアドレス電極や誘電体層、及び隔壁となるガラ
スペースト膜が順次形成され、その上にマスク２が設け
られている。また、サンドブラスト後の隔壁形状はマス
ク２と実質同じであるため、後の隔壁形状の説明におい
て図１を参照する。
１上にはアドレス電極や誘電体層、及び隔壁となるガラ
スペースト膜が順次形成され、その上にマスク２が設け
られている。また、サンドブラスト後の隔壁形状はマス
ク２と実質同じであるため、後の隔壁形状の説明におい
て図１を参照する。
【００３４】図２は、本発明の実施例に係る隔壁形成工
程を説明するための断面図である。尚、図２においても
アドレス電極及び誘電体層は省略している。まず、ガラ
ス基板１上に、図で示していないアドレス電極と誘電体
層を形成した後、図２（ａ）に示すように、誘電体層上
のほぼ全面に隔壁の材料である膜厚１５０μｍ程度のガ
ラスペースト５とマスクとなるドライフィルム６とを順
次形成する。
程を説明するための断面図である。尚、図２においても
アドレス電極及び誘電体層は省略している。まず、ガラ
ス基板１上に、図で示していないアドレス電極と誘電体
層を形成した後、図２（ａ）に示すように、誘電体層上
のほぼ全面に隔壁の材料である膜厚１５０μｍ程度のガ
ラスペースト５とマスクとなるドライフィルム６とを順
次形成する。
【００３５】ガラスペースト５は、ガラスの微粒子をバ
インダーによって結合し有機溶剤によりペースト状にし
た材料をスクリーン印刷やスロットコータ法などによっ
て形成した後、乾燥させることで有機溶剤を蒸発させて
乾燥膜としている。このようにガラスペースト５は、乾
燥後はペースト状ではないが、以降の説明においても便
宜上ガラスペーストと称する。
インダーによって結合し有機溶剤によりペースト状にし
た材料をスクリーン印刷やスロットコータ法などによっ
て形成した後、乾燥させることで有機溶剤を蒸発させて
乾燥膜としている。このようにガラスペースト５は、乾
燥後はペースト状ではないが、以降の説明においても便
宜上ガラスペーストと称する。
【００３６】また、ドライフィルム６は、感光性レジス
トからなるフィルム状のもので接着材を介してガラスペ
ースト５上に貼着されている。次に、図２（ｂ）に示す
ように、ドライフィルム６上にストライプ状の開口部を
有する露光用マスク７を載置した状態で、紫外線８を照
射する。紫外線８は、露光用マスク７の開口部を通過し
て、この開口部に対応するドライフィルム６の所定領域
を感光させる。
トからなるフィルム状のもので接着材を介してガラスペ
ースト５上に貼着されている。次に、図２（ｂ）に示す
ように、ドライフィルム６上にストライプ状の開口部を
有する露光用マスク７を載置した状態で、紫外線８を照
射する。紫外線８は、露光用マスク７の開口部を通過し
て、この開口部に対応するドライフィルム６の所定領域
を感光させる。
【００３７】この後現像を行なうが、本実施例で用いる
ドライフィルム６は、ネガティブ型のレジストからなる
ものであるため、上記露光により感光した領域が残って
パターンとなる。現像後、露光用マスク７を除去するこ
とにより、図２（ｃ）に示す如くガラスペースト５上に
ストライプ状のマスク２が形成された状態となる。この
状態が図１に対応している。なお、マスクの長さは５０
〜６０μｍ、幅は１００〜１２０μｍである。
ドライフィルム６は、ネガティブ型のレジストからなる
ものであるため、上記露光により感光した領域が残って
パターンとなる。現像後、露光用マスク７を除去するこ
とにより、図２（ｃ）に示す如くガラスペースト５上に
ストライプ状のマスク２が形成された状態となる。この
状態が図１に対応している。なお、マスクの長さは５０
〜６０μｍ、幅は１００〜１２０μｍである。
【００３８】本実施例では、露光用マスク７を用いて全
面露光を行なっているが、レーザ描写によるレーザ露光
によってドライフィルムを感光させることも可能であ
る。以上のように形成したマスク２を介してガラスペー
スト５に砥粒９を衝突させることで、サンドブラスト処
理を行なう。
面露光を行なっているが、レーザ描写によるレーザ露光
によってドライフィルムを感光させることも可能であ
る。以上のように形成したマスク２を介してガラスペー
スト５に砥粒９を衝突させることで、サンドブラスト処
理を行なう。
【００３９】砥粒９は硬質の微粒子からなるものであ
り、図示せぬ噴射ノズルから高速に噴射され、軟質なマ
スク２を研削することなく、硬質なガラスペースト５の
みを研削する。
り、図示せぬ噴射ノズルから高速に噴射され、軟質なマ
スク２を研削することなく、硬質なガラスペースト５の
みを研削する。
【００４０】所定時間、砥粒９の噴射を行なうと、マス
ク２の存在しない領域のガラスペースト５が研削され、
図２（ｄ）に示すガラスペーストからなる帯状の隔壁１
０が形成される。この時の隔壁１０の平面視形状は、図
１に示すマスク２の形状とほぼ同一となる。
ク２の存在しない領域のガラスペースト５が研削され、
図２（ｄ）に示すガラスペーストからなる帯状の隔壁１
０が形成される。この時の隔壁１０の平面視形状は、図
１に示すマスク２の形状とほぼ同一となる。
【００４１】その後、マスク２を除去して焼成処理を行
なうことにより、図２（ｅ）に示すように、強固な状態
の隔壁１１を完成させる。焼成処理は、ガラスペースト
中のバインダーを燃焼させると共に、ガラスの固形粒子
表面を溶解させることで、固形粒子同士を強固に固着さ
せるための処理である。以下に焼成処理のメカニズムを
説明する。
なうことにより、図２（ｅ）に示すように、強固な状態
の隔壁１１を完成させる。焼成処理は、ガラスペースト
中のバインダーを燃焼させると共に、ガラスの固形粒子
表面を溶解させることで、固形粒子同士を強固に固着さ
せるための処理である。以下に焼成処理のメカニズムを
説明する。
【００４２】図３は、焼成工程における隔壁内部の状態
を模式的に示す図である。図３（ａ）はサンドブラスト
後の隔壁の状態を示すものであり、ガラスの固形粒子１
２がバインダー１３によって結合されている。
を模式的に示す図である。図３（ａ）はサンドブラスト
後の隔壁の状態を示すものであり、ガラスの固形粒子１
２がバインダー１３によって結合されている。
【００４３】この状態からまず、バインダー１３を燃焼
除去させる脱バインダー処理を３００度程度の温度によ
り行なう。図３（ｂ）にその状態を示しているが、バイ
ンダー１３が燃焼除去され固形粒子１２同士が若干近接
した状態となっている。
除去させる脱バインダー処理を３００度程度の温度によ
り行なう。図３（ｂ）にその状態を示しているが、バイ
ンダー１３が燃焼除去され固形粒子１２同士が若干近接
した状態となっている。
【００４４】その後、更に高温、例えば５００度程度の
温度により固形粒子１２の表面を溶解させるメルト処理
を行なうことにより、図３（ｃ）に示す如くそれぞれの
固形粒子１２同士を固着して強固な状態となす。
温度により固形粒子１２の表面を溶解させるメルト処理
を行なうことにより、図３（ｃ）に示す如くそれぞれの
固形粒子１２同士を固着して強固な状態となす。
【００４５】図３からわかるように、脱バインダー処理
及びメルト処理による焼成工程において、隔壁は収縮さ
れた状態で完成する。この焼成工程における収縮が不均
一となることで、盛り上がり部が形成される従来のよう
な不都合が生じるが、本実施例では、焼成前の隔壁形状
を考慮することにより、不均一な収縮を防止している。
及びメルト処理による焼成工程において、隔壁は収縮さ
れた状態で完成する。この焼成工程における収縮が不均
一となることで、盛り上がり部が形成される従来のよう
な不都合が生じるが、本実施例では、焼成前の隔壁形状
を考慮することにより、不均一な収縮を防止している。
【００４６】図４は、本発明の実施例に係る焼成処理を
行なう前と後の隔壁の状態を示す断面図である。本実施
例において、焼成前の隔壁１０の平面視形状は、図１に
示すマスク２と同様な形状であり、焼成を行なう際の隔
壁１０表面の張力は、図４（ａ）に矢印で示すようにほ
ぼ均等となる。
行なう前と後の隔壁の状態を示す断面図である。本実施
例において、焼成前の隔壁１０の平面視形状は、図１に
示すマスク２と同様な形状であり、焼成を行なう際の隔
壁１０表面の張力は、図４（ａ）に矢印で示すようにほ
ぼ均等となる。
【００４７】つまり、焼成前の隔壁１０には、端部に傾
斜部３が形成されていることから、最先端における表面
の張力は全く均等にはならないものの、先端から徐々に
張力の変化が生じる状態となっており、異なる方向に大
きく異なる張力が加わることはない。また、若干強くな
る中央部（図では左側）への張力をくびれ部４にて吸収
する構造にしていることから、従来の如き盛り上がり部
の発生は抑えられる。
斜部３が形成されていることから、最先端における表面
の張力は全く均等にはならないものの、先端から徐々に
張力の変化が生じる状態となっており、異なる方向に大
きく異なる張力が加わることはない。また、若干強くな
る中央部（図では左側）への張力をくびれ部４にて吸収
する構造にしていることから、従来の如き盛り上がり部
の発生は抑えられる。
【００４８】このような張力を有する状態で、焼成処理
を行なうことにより、隔壁１０は全体にほぼ均一に収縮
し、図４（ｂ）の如き平坦な状態でガラス化した帯状の
隔壁１１が完成する。図４（ｂ）における破線は焼成前
の隔壁を示すものであり、この図からわかるように、ガ
ラス基板１（実際は誘電体層）との接触面は収縮しな
い。
を行なうことにより、隔壁１０は全体にほぼ均一に収縮
し、図４（ｂ）の如き平坦な状態でガラス化した帯状の
隔壁１１が完成する。図４（ｂ）における破線は焼成前
の隔壁を示すものであり、この図からわかるように、ガ
ラス基板１（実際は誘電体層）との接触面は収縮しな
い。
【００４９】更に、隔壁表面における張力を平面視形状
に対応させて分かり易く説明する。図５（ａ）（ｂ）
は、平面視形状で傾斜部を有する本発明の隔壁と、従来
の隔壁との隔壁表面における焼成時の張力を示す図であ
り、それぞれ上図が平面図、下図が断面図である。
に対応させて分かり易く説明する。図５（ａ）（ｂ）
は、平面視形状で傾斜部を有する本発明の隔壁と、従来
の隔壁との隔壁表面における焼成時の張力を示す図であ
り、それぞれ上図が平面図、下図が断面図である。
【００５０】図５（ａ）は、本発明の隔壁１５を示すも
のであり、平行で幅の広いＡ点、傾斜部中間のＢ点、先
端のＣ点の張力をそれぞれ矢印で示している。図５
（ａ）からわかるように、その張力は徐々に小さくなる
が、それぞれの地点における張力は左右両方向で大きく
異なることなくほぼ均等に発生している。
のであり、平行で幅の広いＡ点、傾斜部中間のＢ点、先
端のＣ点の張力をそれぞれ矢印で示している。図５
（ａ）からわかるように、その張力は徐々に小さくなる
が、それぞれの地点における張力は左右両方向で大きく
異なることなくほぼ均等に発生している。
【００５１】そのため、焼成時の収縮が不均一になるこ
とがなく、上述したように平坦な隔壁の形成が可能とな
る。一方、図５（ｂ）は、従来の隔壁１６を示すもので
あり、上図に示すように平面視はどの地点においても幅
は平行な状態である。従って、図５（ａ）のＡ点及びＢ
点に対応するＡ’点及びＢ’点については、大きな張力
が左右両方向に発生しているが、図５（ａ）のＣ点に対
応するＣ先端のＣ’点は、幅の広いパターンが途切れた
状態であるため、左側のみに大きな張力が発生してい
る。
とがなく、上述したように平坦な隔壁の形成が可能とな
る。一方、図５（ｂ）は、従来の隔壁１６を示すもので
あり、上図に示すように平面視はどの地点においても幅
は平行な状態である。従って、図５（ａ）のＡ点及びＢ
点に対応するＡ’点及びＢ’点については、大きな張力
が左右両方向に発生しているが、図５（ａ）のＣ点に対
応するＣ先端のＣ’点は、幅の広いパターンが途切れた
状態であるため、左側のみに大きな張力が発生してい
る。
【００５２】そのため、課題の項で説明したとおり、焼
成時に不均一な収縮が起こり、当該先端部に盛り上がり
部が形成されることになる。尚、図５では理解を容易に
するために、くびれ部のない先端の尖った形状を例に説
明した。
成時に不均一な収縮が起こり、当該先端部に盛り上がり
部が形成されることになる。尚、図５では理解を容易に
するために、くびれ部のない先端の尖った形状を例に説
明した。
【００５３】図６は、本実施例に係る隔壁端部の盛り上
がり量を示すグラフであり、傾斜部の長さを変えて製作
した４種類の隔壁を有するガラス基板について、それぞ
れガラス基板内に形成される複数の隔壁のなかで、中央
部及び周辺部を含む６箇所の平均値を示すものである。
がり量を示すグラフであり、傾斜部の長さを変えて製作
した４種類の隔壁を有するガラス基板について、それぞ
れガラス基板内に形成される複数の隔壁のなかで、中央
部及び周辺部を含む６箇所の平均値を示すものである。
【００５４】なお、図６中の符号Ａが、傾斜部３とくび
れ部４とを有する本実施例の隔壁端部の盛り上がり量で
ある。図６に示すように、ストライプ状隔壁パターンに
何ら工夫を加えていない端部形状が方形となる従来の隔
壁では盛り上がり量（傾斜部の長さが０の点）が２０μ
ｍ程度であったのに対して、本実施例の隔壁パターンの
如く端部に傾斜部を有する形状にすると盛り上がり量は
小さくなる。特に傾斜部を１０００μｍ以上にすると、
端部の盛り上がり量は他方のガラス基板（表示面側ガラ
ス基板）との貼り合わせ時に影響を及ぼさない５μｍ程
度になる。
れ部４とを有する本実施例の隔壁端部の盛り上がり量で
ある。図６に示すように、ストライプ状隔壁パターンに
何ら工夫を加えていない端部形状が方形となる従来の隔
壁では盛り上がり量（傾斜部の長さが０の点）が２０μ
ｍ程度であったのに対して、本実施例の隔壁パターンの
如く端部に傾斜部を有する形状にすると盛り上がり量は
小さくなる。特に傾斜部を１０００μｍ以上にすると、
端部の盛り上がり量は他方のガラス基板（表示面側ガラ
ス基板）との貼り合わせ時に影響を及ぼさない５μｍ程
度になる。
【００５５】なお、傾斜部を５０００μｍ以上にした場
合、傾斜部が表示領域にかかると共に、先端部が細くな
りすぎて、焼成後にかけを生じる可能性があるため、好
ましくない。
合、傾斜部が表示領域にかかると共に、先端部が細くな
りすぎて、焼成後にかけを生じる可能性があるため、好
ましくない。
【００５６】従って、焼成前の隔壁を１０００μｍ〜５
０００μｍの長さを有する傾斜部を端部に形成する形状
にすると、盛り上がり部の発生を抑えることができ、２
枚の基板の貼り合わせ後、隔壁は対向するガラス基板上
の保護膜部分に密着し、放電空間を確実に区画すること
ができる。
０００μｍの長さを有する傾斜部を端部に形成する形状
にすると、盛り上がり部の発生を抑えることができ、２
枚の基板の貼り合わせ後、隔壁は対向するガラス基板上
の保護膜部分に密着し、放電空間を確実に区画すること
ができる。
【００５７】以上説明した実施例では、サンドブラスト
により隔壁を形成し、これを焼成するものであったが、
焼成前の隔壁は、サンドブラストによるものでなく、例
えば溝にガラスペーストを埋め込んで、乾燥後に溝を除
去する埋め込み処理によるものでも同様の効果を有す
る。
により隔壁を形成し、これを焼成するものであったが、
焼成前の隔壁は、サンドブラストによるものでなく、例
えば溝にガラスペーストを埋め込んで、乾燥後に溝を除
去する埋め込み処理によるものでも同様の効果を有す
る。
【００５８】図７は、本発明の他の実施例に係るマスク
パターン、即ち焼成前の隔壁形状を示す図である。前述
した実施例は、傾斜部とくびれ部を備えた構成であった
が、傾斜部及びくびれ部は、隔壁端部における張力のバ
ラツキをそれぞれ抑える効果を有しているため、一方の
みを備える形状であっても効果は得られる。
パターン、即ち焼成前の隔壁形状を示す図である。前述
した実施例は、傾斜部とくびれ部を備えた構成であった
が、傾斜部及びくびれ部は、隔壁端部における張力のバ
ラツキをそれぞれ抑える効果を有しているため、一方の
みを備える形状であっても効果は得られる。
【００５９】図７（ａ）に示すマスク２１は、先端に向
かってパターンが細くなるような傾斜部２２を有する形
状である。図７（ｂ）に示すマスク２３は、先端に近い
部分にくびれ部２４を有する形状である。
かってパターンが細くなるような傾斜部２２を有する形
状である。図７（ｂ）に示すマスク２３は、先端に近い
部分にくびれ部２４を有する形状である。
【００６０】更に図７（ｂ）に示すマスク２５は、先端
に向かって徐々にパターンが細くなるような第１傾斜部
２６と第２傾斜部２７を有する形状である。以上のよう
なマスク２１，２３，２５を用いて、それぞれサンドブ
ラスト処理を行なった後、焼成処理することで隔壁を完
成させる。
に向かって徐々にパターンが細くなるような第１傾斜部
２６と第２傾斜部２７を有する形状である。以上のよう
なマスク２１，２３，２５を用いて、それぞれサンドブ
ラスト処理を行なった後、焼成処理することで隔壁を完
成させる。
【００６１】図６のグラフ中の符号Ｂは、くびれ部を形
成しない傾斜部２２のみの隔壁における端部の盛り上が
り量を示している。傾斜部及びくびれ部の両方を備える
隔壁に比べて盛り上がり量（図６の符号Ａ参照）は若干
大きくなるが、２枚の基板を貼り合わせる時の影響のな
い程度の盛り上がりに抑えられている。また、グラフに
は示していないが、くびれ部２４のみの隔壁、第１，第
２の傾斜部２６，２７を有する隔壁においても、その盛
り上がり量を１０μｍ以下にすることができる。
成しない傾斜部２２のみの隔壁における端部の盛り上が
り量を示している。傾斜部及びくびれ部の両方を備える
隔壁に比べて盛り上がり量（図６の符号Ａ参照）は若干
大きくなるが、２枚の基板を貼り合わせる時の影響のな
い程度の盛り上がりに抑えられている。また、グラフに
は示していないが、くびれ部２４のみの隔壁、第１，第
２の傾斜部２６，２７を有する隔壁においても、その盛
り上がり量を１０μｍ以下にすることができる。
【００６２】さらに図示していないが、隔壁の端部形状
は膜厚（隔壁の高さ）が先端部で薄く（低く）なるよう
に形成することも可能で、その場合にも上記実施例と同
じような効果が得られる。
は膜厚（隔壁の高さ）が先端部で薄く（低く）なるよう
に形成することも可能で、その場合にも上記実施例と同
じような効果が得られる。
【００６３】
【発明の効果】本発明のプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法によれば、焼成前の形状を変える、つまり
マスクのパターンを変えるのみで、特に工程を追加する
ことなく、隔壁端部の盛り上がりを防止することがで
き、一対の基板を貼り合わせた状態で空間領域を確実に
区画することができる。
隔壁形成方法によれば、焼成前の形状を変える、つまり
マスクのパターンを変えるのみで、特に工程を追加する
ことなく、隔壁端部の盛り上がりを防止することがで
き、一対の基板を貼り合わせた状態で空間領域を確実に
区画することができる。
【００６４】そのため、隣接放電空間（放電セル）相互
間での放電結合による誤点灯のない高品質表示が可能と
なる。
間での放電結合による誤点灯のない高品質表示が可能と
なる。
【図１】本発明の実施例に係るマスクパターンを示す図
である。
である。
【図２】本発明の実施例に係る隔壁形成工程を示す断面
図である。
図である。
【図３】焼成工程おける隔壁内部の状態を模式的に示す
図である。
図である。
【図４】本発明の実施例に係る隔壁の完成状態を示す断
面図である。
面図である。
【図５】焼成時における隔壁表面に発生する張力を説明
するための図である。
するための図である。
【図６】本発明の実施例に係る隔壁端部の盛り上がり量
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図７】本発明の他の実施例に係るマスクパターンを示
す図である。
す図である。
【図８】プラズマディスプレイパネルの構造を説明する
ための斜視図である。
ための斜視図である。
【図９】従来技術に係るマスクパターンを示す図であ
る。
る。
【図１０】従来技術に係る隔壁の完成状態を示す図であ
る。
る。
【図１１】従来技術に係るプラズマディスプレイパネル
の部分断面図である。
の部分断面図である。
１ ガラス基板 ２ マスク ３ くびれ部 ４ 傾斜部 ５ ガラスペースト ６ ドライフィルム ７ 露光用マスク ８ 紫外線 ９ 砥粒 １０ 隔壁（焼成前） １１ 隔壁（焼成後） １２ 固形粒子 １３ バインダー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松原 義一 鹿児島県薩摩郡入来町副田5950番地 株式 会社九州富士通エレクトロニクス内 (72)発明者 中屋敷 勝美 鹿児島県薩摩郡入来町副田5950番地 株式 会社九州富士通エレクトロニクス内
Claims (9)
- 【請求項１】 プラズマディスプレイパネルの放電空間
を区画する帯状の隔壁を形成する方法において、 固形粒子がバインダーによって結合される材料からな
り、平面視帯状でその両端部が先細る傾斜部を有する所
定高さの乾燥膜を形成した後、該乾燥膜の焼成処理を行
って、当該帯状の隔壁を形成することを特徴とするプラ
ズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項２】 プラズマディスプレイパネルの放電空間
を区画する帯状の隔壁を形成する方法において、 固形粒子がバインダーによって結合される材料からな
り、平面視帯状でその両端部の近傍にくびれ部を有する
所定高さの乾燥膜を形成した後、該乾燥膜の焼成処理を
行って、当該帯状の隔壁を形成することを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項３】 プラズマディスプレイパネルの放電空間
を区画する帯状の隔壁を形成する方法において、 固形粒子がバインダーによって結合される材料からな
り、平面視帯状でその先端部が他の部分より低い所定厚
さの乾燥膜を形成した後、該乾燥膜の焼成処理を行っ
て、当該帯状の隔壁を形成することを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項４】 請求項１記載の傾斜部と、請求項２記載
のくびれ部を併せ持つ縞状乾燥膜を形成した後、該乾燥
膜の焼成処理を行なうことを特徴とするプラズマディス
プレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項５】 前記傾斜部は、先端までの長さが１００
０〜５０００μｍであることを特徴とする請求項１又は
４記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項６】 前記乾燥膜は、全面均等膜に対して、所
定パターンを有するマスクを介してサンドブラスト処理
を行なうことにより不要部を研削除去して形成すること
を特徴とする請求項１〜５記載のプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形成方法。 - 【請求項７】 前記焼成処理は、前記乾燥膜中のバイン
ダーを燃焼除去する脱バインダー処理と、前記固形粒子
表面を溶解させて個々の固形粒子を接続するメルト処理
からなることを特徴とする請求項１〜６記載のプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項８】 放電空間を区画する平行な帯状隔壁が複
数設けられた基板の該隔壁を形成する方法であって、 基板上のほぼ全面にガラスペースト膜を形成する工程
と、 前記ガラスぺースト膜上に、前記隔壁形状に対応する帯
状でかつ両端部が尖ったパターンのマスクを形成する工
程と、 前記マスクの存在しない表面の露出した前記ガラスペー
スト膜をサンドブラスト処理により研削除去する工程
と、 前記基板上に残存する両端部が尖った帯状のガラスペー
スト膜を焼成して、当該帯状の隔壁を形成する工程と、 を含んでなることを特徴とする隔壁形成方法。 - 【請求項９】 前記マスクは尖った両端部にさらにくび
れ部を有することを特徴とする請求項８記載の隔壁形成
方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28588797A JP3427699B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
| US09/082,935 US5989089A (en) | 1997-10-17 | 1998-05-22 | Method of fabricating separator walls of a plasma display panel |
| KR1019980029218A KR100276629B1 (ko) | 1997-10-17 | 1998-07-21 | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽의 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28588797A JP3427699B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11120907A true JPH11120907A (ja) | 1999-04-30 |
| JP3427699B2 JP3427699B2 (ja) | 2003-07-22 |
Family
ID=17697318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28588797A Expired - Fee Related JP3427699B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5989089A (ja) |
| JP (1) | JP3427699B2 (ja) |
| KR (1) | KR100276629B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100612355B1 (ko) * | 2004-04-22 | 2006-08-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100745168B1 (ko) * | 2000-06-09 | 2007-08-01 | 그랜드디스플레이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽형성방법 |
| JP4156789B2 (ja) * | 2000-11-02 | 2008-09-24 | 三星エスディアイ株式会社 | プラズマディスプレイの製造方法 |
| JP2002270100A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-20 | Sony Corp | プラズマ放電表示装置 |
| CN101075517B (zh) | 2001-04-09 | 2010-04-21 | 富士通株式会社 | 利用喷砂形成等离子体显示面板的间隔壁的形成方法 |
| TW200830931A (en) * | 2007-01-08 | 2008-07-16 | Tatung Co Ltd | Method for manufacturing the spacer for field emission device and base material utilized for the spacer |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3229708B2 (ja) * | 1993-04-30 | 2001-11-19 | 大日本印刷株式会社 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
-
1997
- 1997-10-17 JP JP28588797A patent/JP3427699B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-22 US US09/082,935 patent/US5989089A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-21 KR KR1019980029218A patent/KR100276629B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100612355B1 (ko) * | 2004-04-22 | 2006-08-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100276629B1 (ko) | 2001-02-01 |
| KR19990036570A (ko) | 1999-05-25 |
| JP3427699B2 (ja) | 2003-07-22 |
| US5989089A (en) | 1999-11-23 |
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