JPH11111604A - 露光装置用放電ランプの点灯開始方法、および露光装置 - Google Patents
露光装置用放電ランプの点灯開始方法、および露光装置Info
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- JPH11111604A JPH11111604A JP9274498A JP27449897A JPH11111604A JP H11111604 A JPH11111604 A JP H11111604A JP 9274498 A JP9274498 A JP 9274498A JP 27449897 A JP27449897 A JP 27449897A JP H11111604 A JPH11111604 A JP H11111604A
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- discharge lamp
- temperature
- electric discharge
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 導体片や補助電極が設けられていない放電ラ
ンプの点灯開始特性を向上させる。 【解決手段】 放電ランプ２の陰極４（図１参照）に熱
を印加し、陰極４を熱電子放出が活性化される温度にま
で加熱する（Ｓ１）。陰極４が前記温度に達した場合に
は、放電ランプ２の両電極３，４（図１参照）間に電圧
を印加し、放電ランプ２の点灯をスタートさせる（Ｓ
４）。
ンプの点灯開始特性を向上させる。 【解決手段】 放電ランプ２の陰極４（図１参照）に熱
を印加し、陰極４を熱電子放出が活性化される温度にま
で加熱する（Ｓ１）。陰極４が前記温度に達した場合に
は、放電ランプ２の両電極３，４（図１参照）間に電圧
を印加し、放電ランプ２の点灯をスタートさせる（Ｓ
４）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レチクルマスクや
フォトマスク等の原版基板を放電ランプからの照明光で
投影して半導体や液晶の露光を行う露光装置の放電ラン
プの点灯開始方法、および露光装置に関する。
フォトマスク等の原版基板を放電ランプからの照明光で
投影して半導体や液晶の露光を行う露光装置の放電ラン
プの点灯開始方法、および露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の露光装置を示す概略構成
図である。
図である。
【０００３】図５に示すように、従来の露光装置１０１
は、光源である照明部１０２と、ウエハ１０６に露光さ
れる回路パターン（不図示）が照明光透過部と照明光非
透過部とで形成されたレチクルマスク１０４と、ウエハ
１０６が載置されるステージ１０７とを有する。さら
に、露光装置１０１には、照明部１０２から放射された
照明光をレチクルマスク１０４に集光させるコンデンサ
レンズ１０３と、レチクルマスク１０４の照明光透過部
を透過した照明光をウエハ１０６上に照射させる縮小投
影レンズ１０５とが備えられている。
は、光源である照明部１０２と、ウエハ１０６に露光さ
れる回路パターン（不図示）が照明光透過部と照明光非
透過部とで形成されたレチクルマスク１０４と、ウエハ
１０６が載置されるステージ１０７とを有する。さら
に、露光装置１０１には、照明部１０２から放射された
照明光をレチクルマスク１０４に集光させるコンデンサ
レンズ１０３と、レチクルマスク１０４の照明光透過部
を透過した照明光をウエハ１０６上に照射させる縮小投
影レンズ１０５とが備えられている。
【０００４】上記のように構成された露光装置１０１で
は、照明部１０２から照明光が放射されると、コンデン
サレンズ１０３で集光されてレチクルマスク１０４に照
射される。レチクルマスク１０４に照射された照明光は
照明光透過部のみを透過し、これにより回路パターンが
投影される。投影された回路パターンは、縮小投影レン
ズ１０５によって１／４〜１／７程度に縮小された状態
でウエハ１０６上に結像される。続いて、レチクルマス
ク１０４とステージ１０７とを、駆動手段（不図示）に
よって縮小投影レンズ１０５の縮小率に相当する速度差
で同期移動させることにより、レチクルマスク１０４に
形成されている回路パターン全体がウエハ１０６の表面
に露光される。
は、照明部１０２から照明光が放射されると、コンデン
サレンズ１０３で集光されてレチクルマスク１０４に照
射される。レチクルマスク１０４に照射された照明光は
照明光透過部のみを透過し、これにより回路パターンが
投影される。投影された回路パターンは、縮小投影レン
ズ１０５によって１／４〜１／７程度に縮小された状態
でウエハ１０６上に結像される。続いて、レチクルマス
ク１０４とステージ１０７とを、駆動手段（不図示）に
よって縮小投影レンズ１０５の縮小率に相当する速度差
で同期移動させることにより、レチクルマスク１０４に
形成されている回路パターン全体がウエハ１０６の表面
に露光される。
【０００５】次に、図５に示した露光装置における照明
部の詳細な構成について、図６を参照して説明する。図
６は、図５に示した露光装置の照明部を示す構成図であ
る。
部の詳細な構成について、図６を参照して説明する。図
６は、図５に示した露光装置の照明部を示す構成図であ
る。
【０００６】図６に示すように、従来の露光装置に備え
られている照明部１０２は、陰極１１０と陽極１０９と
を有する放電ランプ１０８が固定台１１２の上に固定さ
れて構成されている。また、放電ランプ１０８の管壁１
０８ａには導体片１１１が取り付けられている。
られている照明部１０２は、陰極１１０と陽極１０９と
を有する放電ランプ１０８が固定台１１２の上に固定さ
れて構成されている。また、放電ランプ１０８の管壁１
０８ａには導体片１１１が取り付けられている。
【０００７】放電ランプ１０８は、陰極１１０と陽極１
０９との間で放電させることにより点灯し、照明光が放
射される。ところが、陰極１１０と陽極１０９との間に
放電を起こさせるためには、両電極間に高電圧を印加し
なければならない。さらに、放電ランプ１０８の管壁１
０８ａに電荷が生じると放電ランプ１０８内での放電性
が阻害されるため、放電ランプ１０８が点灯しにくくな
る。そこで、本従来例のように放電ランプ１０８の管壁
１０８ａに導体片１１１を取り付ける構成とすることに
より、管壁１０８ａに生じる電荷の影響を除去し、放電
ランプ１０８の点灯開始特性の向上が図られていた。
０９との間で放電させることにより点灯し、照明光が放
射される。ところが、陰極１１０と陽極１０９との間に
放電を起こさせるためには、両電極間に高電圧を印加し
なければならない。さらに、放電ランプ１０８の管壁１
０８ａに電荷が生じると放電ランプ１０８内での放電性
が阻害されるため、放電ランプ１０８が点灯しにくくな
る。そこで、本従来例のように放電ランプ１０８の管壁
１０８ａに導体片１１１を取り付ける構成とすることに
より、管壁１０８ａに生じる電荷の影響を除去し、放電
ランプ１０８の点灯開始特性の向上が図られていた。
【０００８】なお、放電ランプ１０８の管壁１０８ａに
生じる電荷の影響を除去する手段としては、上記のよう
に放電ランプ１０８の管壁１０８ａに導体片１１１を取
り付ける構成の他に、導体片が放電ランプ内に設けられ
た構成や、放電の補助電極が放電ランプ内に設けられた
構成が用いられる場合もある。
生じる電荷の影響を除去する手段としては、上記のよう
に放電ランプ１０８の管壁１０８ａに導体片１１１を取
り付ける構成の他に、導体片が放電ランプ内に設けられ
た構成や、放電の補助電極が放電ランプ内に設けられた
構成が用いられる場合もある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、放電ラ
ンプに導体片や補助電極が設けられていると、放電ラン
プから放射される照明光の光路が遮られてしまうため、
照明光の照度低下や照度むらが起きていた。さらに、通
常の放電ランプに比べて導体片や補助電極が設けられた
放電ランプは高価であるため、そのような放電ランプを
繰り返し交換して用いると露光装置のランニングコスト
が増加してしまう。また、陰極と陽極との間隔が広く設
けられている放電ランプでは、導体片や補助電極を設け
ても放電ランプの点灯開始特性を十分に向上させること
ができない。
ンプに導体片や補助電極が設けられていると、放電ラン
プから放射される照明光の光路が遮られてしまうため、
照明光の照度低下や照度むらが起きていた。さらに、通
常の放電ランプに比べて導体片や補助電極が設けられた
放電ランプは高価であるため、そのような放電ランプを
繰り返し交換して用いると露光装置のランニングコスト
が増加してしまう。また、陰極と陽極との間隔が広く設
けられている放電ランプでは、導体片や補助電極を設け
ても放電ランプの点灯開始特性を十分に向上させること
ができない。
【００１０】そこで本発明は、放電ランプに導体片や補
助電極を設けなくても放電ランプの点灯開始特性を向上
させることができる露光装置用放電ランプの点灯開始方
法、および露光装置を提供することを目的とする。
助電極を設けなくても放電ランプの点灯開始特性を向上
させることができる露光装置用放電ランプの点灯開始方
法、および露光装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の露光装置用放電ランプの点灯方法は、陰極
と陽極とからなる放電電極を有し、マスクに形成された
回路パターンをウエハに投影露光する露光装置の光源と
して用いられる放電ランプの点灯開始方法であって、前
記陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱するス
テップと、前記陰極が前記温度に達したときに前記陰極
と前記陽極との間に電圧を印加するステップとを有す
る。
め、本発明の露光装置用放電ランプの点灯方法は、陰極
と陽極とからなる放電電極を有し、マスクに形成された
回路パターンをウエハに投影露光する露光装置の光源と
して用いられる放電ランプの点灯開始方法であって、前
記陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱するス
テップと、前記陰極が前記温度に達したときに前記陰極
と前記陽極との間に電圧を印加するステップとを有す
る。
【００１２】さらに、前記陰極を加熱するステップの後
に、前記陰極の温度を測定するステップを有する構成と
してもよい。
に、前記陰極の温度を測定するステップを有する構成と
してもよい。
【００１３】また、本発明の露光装置は、陰極と陽極と
からなる放電電極を有する放電ランプを備え、該放電ラ
ンプから放射される照明光により、マスクに形成された
回路パターンをウエハに投影露光する露光装置におい
て、前記陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱
するための加熱手段が設けられている。
からなる放電電極を有する放電ランプを備え、該放電ラ
ンプから放射される照明光により、マスクに形成された
回路パターンをウエハに投影露光する露光装置におい
て、前記陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱
するための加熱手段が設けられている。
【００１４】さらに、前記陰極の温度を測定するための
温度計が設けられている構成としてもよい。
温度計が設けられている構成としてもよい。
【００１５】上記の通り構成された本発明によれば、陰
極が加熱されて熱電子放出が活性化されるので、より低
い印加電圧でも放電開始が安定して行われるため、放電
ランプに導体片や補助電極を設けなくても放電ランプの
点灯開始特性が向上する。また、加熱された陰極の温度
を測定することにより、陰極の温度が熱電子放出が活性
化される温度に達しているか否かが容易に判断される。
極が加熱されて熱電子放出が活性化されるので、より低
い印加電圧でも放電開始が安定して行われるため、放電
ランプに導体片や補助電極を設けなくても放電ランプの
点灯開始特性が向上する。また、加熱された陰極の温度
を測定することにより、陰極の温度が熱電子放出が活性
化される温度に達しているか否かが容易に判断される。
【００１６】また、前記加熱手段は電気ヒーターである
構成であってもよく、前記加熱手段は高温エアーを送風
する高温エアー送風部である構成であってもよい。
構成であってもよく、前記加熱手段は高温エアーを送風
する高温エアー送風部である構成であってもよい。
【００１７】さらには、前記加熱手段は赤外線光を前記
陰極に直接照射する赤外線照射部である構成とすること
により、陰極に熱が直接印加され、陰極以外の部分はあ
まり加熱されないので、印加される熱の損失を少なくす
ることが可能となる。
陰極に直接照射する赤外線照射部である構成とすること
により、陰極に熱が直接印加され、陰極以外の部分はあ
まり加熱されないので、印加される熱の損失を少なくす
ることが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１９】（第１の実施形態）図１は、本発明の露光
装置の第１の実施形態における照明部を示す構成図であ
る。
装置の第１の実施形態における照明部を示す構成図であ
る。
【００２０】図１に示すように、本実施形態の露光装置
の照明部１は、陽極３と陰極４とからなる放電電極を有
する放電ランプ２の陰極口金５が、固定台１０の上に固
定されて構成されている。陰極４は、放電ランプ２の内
部で陰極口金５に接続されている。さらに、照明部１に
は、陰極口金５に高温エアー９を吹き付ける高温エアー
ノズル８と、陰極口金５の温度を検知する温度センサ６
を備えた温度計本体７が設けられている。
の照明部１は、陽極３と陰極４とからなる放電電極を有
する放電ランプ２の陰極口金５が、固定台１０の上に固
定されて構成されている。陰極４は、放電ランプ２の内
部で陰極口金５に接続されている。さらに、照明部１に
は、陰極口金５に高温エアー９を吹き付ける高温エアー
ノズル８と、陰極口金５の温度を検知する温度センサ６
を備えた温度計本体７が設けられている。
【００２１】なお、露光装置のコンデンサレンズ、レチ
クルマスク、縮小投影レンズ、およびウエハが載置され
るステージの各構成は、図５を参照して説明した従来の
露光装置１０１と同様であるので詳しい説明は省略す
る。
クルマスク、縮小投影レンズ、およびウエハが載置され
るステージの各構成は、図５を参照して説明した従来の
露光装置１０１と同様であるので詳しい説明は省略す
る。
【００２２】陰極４は、ある一定の温度に到達するとそ
の表面からの熱電子放出が活性化されるという特性を有
するので、より低い印加電圧でも放電ランプ２の放電が
安定して開始されるようになる。そこで、熱電子放出が
活性化される陰極４の温度Ｔ1を実験等によって予め求
めておき、放電ランプ２を点灯させる際に陰極４をＴ1
に達するまで加熱することにより、放電ランプの点灯開
始特性を向上させることができる。
の表面からの熱電子放出が活性化されるという特性を有
するので、より低い印加電圧でも放電ランプ２の放電が
安定して開始されるようになる。そこで、熱電子放出が
活性化される陰極４の温度Ｔ1を実験等によって予め求
めておき、放電ランプ２を点灯させる際に陰極４をＴ1
に達するまで加熱することにより、放電ランプの点灯開
始特性を向上させることができる。
【００２３】次に、図１に示した放電ランプ２の点灯動
作について説明する。図２は、図１に示した放電ランプ
の点灯動作例を示すフローチャートである。
作について説明する。図２は、図１に示した放電ランプ
の点灯動作例を示すフローチャートである。
【００２４】まず、高温エアーノズル８から高温エアー
９を放電ランプ２の陰極口金５に吹き付け、陰極口金５
を加熱する。放電ランプ２の内部では陰極口金５に陰極
４が接続されているので、陰極口金５に加えられた熱は
陰極４に伝導される。その結果、放電ランプ２の陰極４
に熱の印加（プリヒート）が行われる（Ｓ１）。
９を放電ランプ２の陰極口金５に吹き付け、陰極口金５
を加熱する。放電ランプ２の内部では陰極口金５に陰極
４が接続されているので、陰極口金５に加えられた熱は
陰極４に伝導される。その結果、放電ランプ２の陰極４
に熱の印加（プリヒート）が行われる（Ｓ１）。
【００２５】続いて、加熱された陰極口金５の温度を温
度センサ６および温度計本体７を用いて測定する（Ｓ
２）。上述したように、陰極口金５に加えられた熱が陰
極４に伝導されて陰極４が加熱されるので、陰極口金５
の温度と陰極４の温度との間には相関関係がある。従っ
て、陰極４の温度がＴ1に達するときの陰極口金５の温
度Ｔ2を予め求めておけば、測定された陰極口金５の温
度がＴ2を越えているか否かによって、陰極４の温度が
Ｔ1に達しているか否かを判断することができる（Ｓ
３）。
度センサ６および温度計本体７を用いて測定する（Ｓ
２）。上述したように、陰極口金５に加えられた熱が陰
極４に伝導されて陰極４が加熱されるので、陰極口金５
の温度と陰極４の温度との間には相関関係がある。従っ
て、陰極４の温度がＴ1に達するときの陰極口金５の温
度Ｔ2を予め求めておけば、測定された陰極口金５の温
度がＴ2を越えているか否かによって、陰極４の温度が
Ｔ1に達しているか否かを判断することができる（Ｓ
３）。
【００２６】陰極口金５の温度を測定した結果、陰極口
金５の温度がＴ2に達している場合には、放電ランプ２
の両電極３，４間に照明用電源（不図示）を用いて電圧
を印加し、放電ランプ２の点灯をスタートさせる（Ｓ
４）。また、陰極口金５の温度がＴ2に達していない場
合には、再び陰極口金５を加熱して陰極４のプリヒート
を行う（Ｓ１）。
金５の温度がＴ2に達している場合には、放電ランプ２
の両電極３，４間に照明用電源（不図示）を用いて電圧
を印加し、放電ランプ２の点灯をスタートさせる（Ｓ
４）。また、陰極口金５の温度がＴ2に達していない場
合には、再び陰極口金５を加熱して陰極４のプリヒート
を行う（Ｓ１）。
【００２７】放電ランプ２の点灯をスタートさせた後
に、放電ランプ２が点灯されたかどうかを判断する（Ｓ
５）。放電ランプ２が点灯されていれば、一連の点灯動
作を終了する。また、放電ランプ２が点灯されていなけ
れば陰極４のプリヒート処理（Ｓ１）に戻り、点灯動作
を再び最初から行う。
に、放電ランプ２が点灯されたかどうかを判断する（Ｓ
５）。放電ランプ２が点灯されていれば、一連の点灯動
作を終了する。また、放電ランプ２が点灯されていなけ
れば陰極４のプリヒート処理（Ｓ１）に戻り、点灯動作
を再び最初から行う。
【００２８】上記説明したように、陰極４を一定温度ま
で加熱してから放電ランプ２を点灯する構成とすること
により、陰極の熱電子放出が活性化され、より低い印加
電圧でも放電開始が安定して行われるため、放電ランプ
に導体片や補助電極を設けなくても放電ランプの点灯開
始特性が向上する。さらに、放電ランプから放射される
照明光の光路が遮られなくなるので、照明光の照度低下
や照度むらの発生を防止することができる。さらには、
導体片や補助電極が設けられていない通常の放電ランプ
を用いることができるので、露光装置のランニングコス
トを抑制することができる。また、放電ランプの両電極
の間隔が広く設けられている場合でも、陰極の熱電子放
出が活性化され、放電開始が安定して行われるため、放
電ランプの点灯開始特性を向上させることができる。
で加熱してから放電ランプ２を点灯する構成とすること
により、陰極の熱電子放出が活性化され、より低い印加
電圧でも放電開始が安定して行われるため、放電ランプ
に導体片や補助電極を設けなくても放電ランプの点灯開
始特性が向上する。さらに、放電ランプから放射される
照明光の光路が遮られなくなるので、照明光の照度低下
や照度むらの発生を防止することができる。さらには、
導体片や補助電極が設けられていない通常の放電ランプ
を用いることができるので、露光装置のランニングコス
トを抑制することができる。また、放電ランプの両電極
の間隔が広く設けられている場合でも、陰極の熱電子放
出が活性化され、放電開始が安定して行われるため、放
電ランプの点灯開始特性を向上させることができる。
【００２９】次に、図１に示した照明部１の変形例につ
いて図３を参照して説明する。
いて図３を参照して説明する。
【００３０】図３は、図１に示した照明部の変形例を示
す構成図である。図３に示すように、本変形例の照明部
１１は、ニクロム線等が巻回されて形成された電気ヒー
ター１８が固定台２０に設けられている。電気ヒーター
１８にはヒーター用電源１９が接続されている。その
他、放電ランプ１２、陽極１３、陰極１４、陰極口金１
５、温度センサ１６、および温度計本体１７の各構成
は、図１に示した照明部１と同様であるので詳しい説明
は省略する。
す構成図である。図３に示すように、本変形例の照明部
１１は、ニクロム線等が巻回されて形成された電気ヒー
ター１８が固定台２０に設けられている。電気ヒーター
１８にはヒーター用電源１９が接続されている。その
他、放電ランプ１２、陽極１３、陰極１４、陰極口金１
５、温度センサ１６、および温度計本体１７の各構成
は、図１に示した照明部１と同様であるので詳しい説明
は省略する。
【００３１】上記のように構成された照明部１１では、
ヒーター用電源１９から電気ヒーター１８に通電させて
電気ヒーター１８を発熱させると、まず固定台２０が加
熱される。固定台２０が加熱されると、熱は放電ランプ
１２の陰極口金１５に伝導される。前述したように放電
ランプ２の内部では陰極口金１５に陰極１４が接続され
ているので、陰極口金１５に伝導された熱はさらに陰極
１４に伝導される。これにより、陰極１４に熱の印加
（プリヒート）が行われる。
ヒーター用電源１９から電気ヒーター１８に通電させて
電気ヒーター１８を発熱させると、まず固定台２０が加
熱される。固定台２０が加熱されると、熱は放電ランプ
１２の陰極口金１５に伝導される。前述したように放電
ランプ２の内部では陰極口金１５に陰極１４が接続され
ているので、陰極口金１５に伝導された熱はさらに陰極
１４に伝導される。これにより、陰極１４に熱の印加
（プリヒート）が行われる。
【００３２】従って、図１を参照して説明した照明部１
と同様に、陰極の熱電子放出が活性化され、放電開始が
安定して行われるため、放電ランプに導体片や補助電極
を設けなくても放電ランプの点灯開始特性が向上する等
の効果を得ることができる。
と同様に、陰極の熱電子放出が活性化され、放電開始が
安定して行われるため、放電ランプに導体片や補助電極
を設けなくても放電ランプの点灯開始特性が向上する等
の効果を得ることができる。
【００３３】次に、図１に示した照明部１の他の変形例
について図４を参照して説明する。
について図４を参照して説明する。
【００３４】図４は、図１に示した照明部の他の変形例
を示す構成図である。図４に示すように、本変形例の照
明部２１には、赤外光３０を出射する赤外線光源２８
と、赤外線光源２８から出射された赤外光３０を集光し
て陰極２４の先端に照射させる集光光学系２９とからな
る赤外線照射部３１が備えられている。その他、放電ラ
ンプ２２、陽極２３、陰極２４、陰極口金２５、温度セ
ンサ２６、温度計本体２７、および固定台３２の各構成
は、図１に示した照明部１と同様であるので詳しい説明
は省略する。
を示す構成図である。図４に示すように、本変形例の照
明部２１には、赤外光３０を出射する赤外線光源２８
と、赤外線光源２８から出射された赤外光３０を集光し
て陰極２４の先端に照射させる集光光学系２９とからな
る赤外線照射部３１が備えられている。その他、放電ラ
ンプ２２、陽極２３、陰極２４、陰極口金２５、温度セ
ンサ２６、温度計本体２７、および固定台３２の各構成
は、図１に示した照明部１と同様であるので詳しい説明
は省略する。
【００３５】本変形例の照明部２１では、赤外線光源２
８から出射された赤外光３０が集光光学系２９で集光さ
れて陰極２４の先端に直接照射されることにより、陰極
２４に熱の印加（プリヒート）が行われる。従って、図
１を参照して説明した照明部１と同様に、陰極の熱電子
放出が活性化され、放電開始が安定して行われるため、
放電ランプに導体片や補助電極を設けなくても放電ラン
プの点灯開始特性が向上する等の効果を得ることができ
る。
８から出射された赤外光３０が集光光学系２９で集光さ
れて陰極２４の先端に直接照射されることにより、陰極
２４に熱の印加（プリヒート）が行われる。従って、図
１を参照して説明した照明部１と同様に、陰極の熱電子
放出が活性化され、放電開始が安定して行われるため、
放電ランプに導体片や補助電極を設けなくても放電ラン
プの点灯開始特性が向上する等の効果を得ることができ
る。
【００３６】さらに、図１に示した照明部１や図３に示
した照明部１１とは異なり、熱伝導によらず熱が陰極２
４の先端に直接印加される。そのため、陰極２４の先端
以外の部分はあまり加熱されないので、印加される熱の
損失を少なくすることができる。
した照明部１１とは異なり、熱伝導によらず熱が陰極２
４の先端に直接印加される。そのため、陰極２４の先端
以外の部分はあまり加熱されないので、印加される熱の
損失を少なくすることができる。
【００３７】また、放電ランプ内には不活性ガスが充填
されているが、一般に、放電ランプ内のガス圧が高くな
ると陰極からの熱電子放出が起こりにくくなり、放電を
開始させるためにより高い電圧を放電ランプに印加する
ことが必要とされる。しかしながら、本変形例によれば
熱が陰極２４に直接印加されるため、伝導熱によってガ
スが暖められて放電ランプ２２内のガス圧が上昇するこ
とがほとんどなく、陰極２４からの熱電子放出を阻害す
るおそれがない。
されているが、一般に、放電ランプ内のガス圧が高くな
ると陰極からの熱電子放出が起こりにくくなり、放電を
開始させるためにより高い電圧を放電ランプに印加する
ことが必要とされる。しかしながら、本変形例によれば
熱が陰極２４に直接印加されるため、伝導熱によってガ
スが暖められて放電ランプ２２内のガス圧が上昇するこ
とがほとんどなく、陰極２４からの熱電子放出を阻害す
るおそれがない。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、放電ラ
ンプの陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱す
ることにより、より低い印加電圧でも放電開始が安定し
て行われるため、放電ランプに導体片や補助電極を設け
なくても放電ランプの点灯開始特性を向上させることが
できる。
ンプの陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱す
ることにより、より低い印加電圧でも放電開始が安定し
て行われるため、放電ランプに導体片や補助電極を設け
なくても放電ランプの点灯開始特性を向上させることが
できる。
【００３９】また、露光装置の加熱手段として赤外線光
を前記陰極に直接照射する赤外線照射部を用いることに
より、陰極に熱が直接印加され、陰極以外の部分はあま
り加熱されないので、印加される熱の損失を少なくする
ことができる。
を前記陰極に直接照射する赤外線照射部を用いることに
より、陰極に熱が直接印加され、陰極以外の部分はあま
り加熱されないので、印加される熱の損失を少なくする
ことができる。
【図１】本発明の露光装置の第１の実施形態における照
明部を示す構成図である。
明部を示す構成図である。
【図２】図１に示した放電ランプの点灯動作例を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】図１に示した照明部の変形例を示す構成図であ
る。
る。
【図４】図１に示した照明部の他の変形例を示す構成図
である。
である。
【図５】従来の露光装置を示す概略構成図である。
【図６】図５に示した露光装置の照明部を示す構成図で
ある。
ある。
１，１１，２１ 照明部 ２，１２，２２ 放電ランプ ３，１３，２３ 陽極 ４，１４，２４ 陰極 ５，１５，２５ 陰極口金 ６，１６，２６ 温度センサ ７，１７，２７ 温度計本体 ８ 高温エアー送風部 ９ 高温エアー １０，２０，３２ 固定台 １８ 電気ヒーター １９ ヒーター用電源 ２８ 赤外線光源 ２９ 集光光学系 ３０ 赤外光 ３１ 赤外線照射部
Claims (7)
- 【請求項１】 陰極と陽極とからなる放電電極を有し、
マスクに形成された回路パターンをウエハに投影露光す
る露光装置の光源として用いられる放電ランプの点灯開
始方法であって、 前記陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱する
ステップと、 前記陰極が前記温度に達したときに前記陰極と前記陽極
との間に電圧を印加するステップとを有する露光装置用
放電ランプの点灯開始方法。 - 【請求項２】 前記陰極を加熱するステップの後に、前
記陰極の温度を測定するステップを有する請求項１に記
載の露光装置用放電ランプの点灯開始方法。 - 【請求項３】 陰極と陽極とからなる放電電極を有する
放電ランプを備え、該放電ランプから放射される照明光
により、マスクに形成された回路パターンをウエハに投
影露光する露光装置において、 前記陰極を熱電子放出が活性化される温度まで加熱する
ための加熱手段が設けられていることを特徴とする露光
装置。 - 【請求項４】 前記加熱手段は電気ヒーターである請求
項３に記載の露光装置。 - 【請求項５】 前記加熱手段は高温エアーを送風する高
温エアー送風部である請求項３に記載の露光装置。 - 【請求項６】 前記加熱手段は赤外線光を前記陰極に直
接照射する赤外線照射部である請求項３に記載の露光装
置。 - 【請求項７】 前記陰極の温度を測定するための温度計
が設けられている請求項３から６のいずれか１項に記載
の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9274498A JPH11111604A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | 露光装置用放電ランプの点灯開始方法、および露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9274498A JPH11111604A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | 露光装置用放電ランプの点灯開始方法、および露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111604A true JPH11111604A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17542534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9274498A Pending JPH11111604A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | 露光装置用放電ランプの点灯開始方法、および露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11111604A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217093A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
-
1997
- 1997-10-07 JP JP9274498A patent/JPH11111604A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217093A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
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