JPH11110832A - 超音波振動工具を有する数値制御装置 - Google Patents
超音波振動工具を有する数値制御装置Info
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- JPH11110832A JPH11110832A JP9267468A JP26746897A JPH11110832A JP H11110832 A JPH11110832 A JP H11110832A JP 9267468 A JP9267468 A JP 9267468A JP 26746897 A JP26746897 A JP 26746897A JP H11110832 A JPH11110832 A JP H11110832A
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- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/406—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 等ピッチ加工が可能であり、かつ、スタイラ
スの摩耗を検出することができる超音波振動工具を有す
るＮＣ装置を提供する。 【解決手段】 ＰＬＬ回路３６は、超音波振動工具６の
共振周波数に等しい周波数の超音波信号Ｓを出力し、ま
た、スタイラス１７が摩耗することによって共振周波数
が変化した時は、出力信号Ｓの周波数が追従して変化す
る。したがって、信号Ｓの周波数はスタイラス１７の摩
耗量に対応する値となる。周波数検知回路４０は、この
信号Ｓの周波数を検出し、該周波数を示すデータをＣＰ
Ｕ２１へ出力する。等ピッチ加工を行う場合は、ＣＰＵ
２１が同期／切替回路３５を切り替え、ＰＬＬ回路３６
の出力信号Ｓを補間演算回路２３へ供給する。これによ
り、モータ１、２の移動速度と、超音波振動工具６のス
タイラス１７の振動速度との同期がとれることから、等
ピッチのドット加工が可能となる。
スの摩耗を検出することができる超音波振動工具を有す
るＮＣ装置を提供する。 【解決手段】 ＰＬＬ回路３６は、超音波振動工具６の
共振周波数に等しい周波数の超音波信号Ｓを出力し、ま
た、スタイラス１７が摩耗することによって共振周波数
が変化した時は、出力信号Ｓの周波数が追従して変化す
る。したがって、信号Ｓの周波数はスタイラス１７の摩
耗量に対応する値となる。周波数検知回路４０は、この
信号Ｓの周波数を検出し、該周波数を示すデータをＣＰ
Ｕ２１へ出力する。等ピッチ加工を行う場合は、ＣＰＵ
２１が同期／切替回路３５を切り替え、ＰＬＬ回路３６
の出力信号Ｓを補間演算回路２３へ供給する。これによ
り、モータ１、２の移動速度と、超音波振動工具６のス
タイラス１７の振動速度との同期がとれることから、等
ピッチのドット加工が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、金型表
面上にマイクロインデンテ−ション（微細刻印）加工を
施すことにより、金型表面上に直接虹面（例えば、ＣＤ
の溝形成面）を形成させることを可能とする超音波振動
工具を有する数値制御（ＮＣ）装置に関する。
面上にマイクロインデンテ−ション（微細刻印）加工を
施すことにより、金型表面上に直接虹面（例えば、ＣＤ
の溝形成面）を形成させることを可能とする超音波振動
工具を有する数値制御（ＮＣ）装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の超音波振動工具を有するＮＣ装置
の構成を図２〜図４により説明する。原理的に軸数には
影響されず、θ軸制御であっても良いが、ここでは説明
の都合上直交２軸ＮＣ装置を代表例として説明する。図
２において、１はＸ軸モ−タ、２はＹ軸モ−タ、３はＸ
軸ボ−ルネジ、４はＹ軸ボ−ルネジ、６は超音波振動工
具、７は被加工材料（以下ワ−クと言う）である。超音
波振動工具６は、Ｘ軸ボ−ルネジ３上を移動できるよう
に取り付けられており、Ｙ軸モ−タ２とＹ軸ボ−ルネジ
４上を移動するＸ軸モ−タ１の補間制御によってワ−ク
７上にドットを刻印する。
の構成を図２〜図４により説明する。原理的に軸数には
影響されず、θ軸制御であっても良いが、ここでは説明
の都合上直交２軸ＮＣ装置を代表例として説明する。図
２において、１はＸ軸モ−タ、２はＹ軸モ−タ、３はＸ
軸ボ−ルネジ、４はＹ軸ボ−ルネジ、６は超音波振動工
具、７は被加工材料（以下ワ−クと言う）である。超音
波振動工具６は、Ｘ軸ボ−ルネジ３上を移動できるよう
に取り付けられており、Ｙ軸モ−タ２とＹ軸ボ−ルネジ
４上を移動するＸ軸モ−タ１の補間制御によってワ−ク
７上にドットを刻印する。
【０００３】この従来の超音波振動工具６の振動制御回
路を図３に、Ｘ軸モ−タ１とＹ軸モ−タ２の駆動回路を
図４により説明する。図３において、１１は超音波信号
を発生する発振回路、１２は増幅回路、１３はインピー
ダンスの整合をとる整合回路、６は超音波振動工具、１
５は圧電素子、１６はホ−ン、１７はスタイラスであ
る。
路を図３に、Ｘ軸モ−タ１とＹ軸モ−タ２の駆動回路を
図４により説明する。図３において、１１は超音波信号
を発生する発振回路、１２は増幅回路、１３はインピー
ダンスの整合をとる整合回路、６は超音波振動工具、１
５は圧電素子、１６はホ−ン、１７はスタイラスであ
る。
【０００４】発振回路１１で発生された信号は、増幅回
路１２で増幅され、整合回路１３を介して圧電素子１５
を振動させる。この時、ホ−ン１６とスタイラス１７に
よって決まる固有音響インピ−ダンスＣと、全長Ｌとに
基づく関係式ｆ=Ｃ／４Ｌを満たす周波数ｆで圧電素子
１５が振動すれば、超音波振動工具６は共振関係により
超音波振動を発生する。
路１２で増幅され、整合回路１３を介して圧電素子１５
を振動させる。この時、ホ−ン１６とスタイラス１７に
よって決まる固有音響インピ−ダンスＣと、全長Ｌとに
基づく関係式ｆ=Ｃ／４Ｌを満たす周波数ｆで圧電素子
１５が振動すれば、超音波振動工具６は共振関係により
超音波振動を発生する。
【０００５】次に、図４において、２１はＣＰＵ（中央
処理装置）、２２はＤＰＭ（デュアル・ポート・メモ
リ）、２３は補間演算回路、２４はＦＧＣ（ファンクシ
ョンジェネレータ；周波数変調器）、２５はセンサ入力
回路、２６は制御出力回路、２７、２８はサーボアン
プ、１、２は図２で説明したモ−タ、３０、３１はモー
タ１、２の各回転角度に比例した数のパルスを出力する
回転センサである。
処理装置）、２２はＤＰＭ（デュアル・ポート・メモ
リ）、２３は補間演算回路、２４はＦＧＣ（ファンクシ
ョンジェネレータ；周波数変調器）、２５はセンサ入力
回路、２６は制御出力回路、２７、２８はサーボアン
プ、１、２は図２で説明したモ−タ、３０、３１はモー
タ１、２の各回転角度に比例した数のパルスを出力する
回転センサである。
【０００６】このような構成において、ＣＰＵ２１によ
ってＤＰＭ２２上に書き込まれた座標デ−タは、補間演
算回路２３において補間演算処理され、、ＦＧＣ２４か
ら出力される同期パルスＣＰに同期したタイミングで制
御出力回路２６へ出力される。制御出力回路２６は、補
間演算回路２３の出力に基づいてモータ駆動信号を作成
し、同期パルスＣＰにしたがったタイミングでサーボア
ンプ２７、２８へ出力する。これにより、モータ１、２
が回転駆動される。これらのモータ１、２の回転角度は
回転センサ３０、３１によって検出され、その回転セン
サ３０、３１の出力がサーボアンプ２７、２８へフィー
ドバックされると共に、センサ入力回路２５へ供給され
る。センサ入力回路２５は、回転センサ３０、３１の出
力を受け、該出力に基づく回転角度信号を補間演算回路
２３へ出力する。補間演算回路２３は、このセンサ入力
回路２５の出力から超音波振動工具６の現在位置を認識
する。
ってＤＰＭ２２上に書き込まれた座標デ−タは、補間演
算回路２３において補間演算処理され、、ＦＧＣ２４か
ら出力される同期パルスＣＰに同期したタイミングで制
御出力回路２６へ出力される。制御出力回路２６は、補
間演算回路２３の出力に基づいてモータ駆動信号を作成
し、同期パルスＣＰにしたがったタイミングでサーボア
ンプ２７、２８へ出力する。これにより、モータ１、２
が回転駆動される。これらのモータ１、２の回転角度は
回転センサ３０、３１によって検出され、その回転セン
サ３０、３１の出力がサーボアンプ２７、２８へフィー
ドバックされると共に、センサ入力回路２５へ供給され
る。センサ入力回路２５は、回転センサ３０、３１の出
力を受け、該出力に基づく回転角度信号を補間演算回路
２３へ出力する。補間演算回路２３は、このセンサ入力
回路２５の出力から超音波振動工具６の現在位置を認識
する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の超音波振動工具を有するＮＣ装置にあっては、超音
波振動工具を駆動する回路（図３）と、超音波振動工具
６を移動させる回路（図４）が非同期であるため、図５
に示すように、超音波加工時においてドットピッチが等
ピッチにならず、特に、虹面加工を行う場合に好ましく
ない問題があった。また、上述した従来の装置は、スタ
イラス１７が摩耗し、共振周波数がずれた場合にこれを
検出することができず、このため、長時間使用すると、
振動不良を起こす問題があった。
来の超音波振動工具を有するＮＣ装置にあっては、超音
波振動工具を駆動する回路（図３）と、超音波振動工具
６を移動させる回路（図４）が非同期であるため、図５
に示すように、超音波加工時においてドットピッチが等
ピッチにならず、特に、虹面加工を行う場合に好ましく
ない問題があった。また、上述した従来の装置は、スタ
イラス１７が摩耗し、共振周波数がずれた場合にこれを
検出することができず、このため、長時間使用すると、
振動不良を起こす問題があった。
【０００８】この発明はこのような点を考慮してなされ
たもので、その目的は、等ピッチ加工が可能な超音波振
動工具を有するＮＣ装置を提供することにあり、また、
他の目的は、スタイラスの摩耗を検出することができる
超音波振動工具を有するＮＣ装置を提供することにあ
る。
たもので、その目的は、等ピッチ加工が可能な超音波振
動工具を有するＮＣ装置を提供することにあり、また、
他の目的は、スタイラスの摩耗を検出することができる
超音波振動工具を有するＮＣ装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、超音波信号を発生する超音波信号発生手段と、前記
超音波信号発生手段の出力によって駆動される超音波振
動工具と、前記超音波振動工具を移動させるモータと、
同期信号を発生する同期信号発生手段と、前記超音波信
号発生手段の出力または前記同期信号発生手段の出力の
いずれか一方を出力する選択手段と、前記選択手段の出
力に同期した速度で前記モータを駆動するモータ駆動手
段とを具備してなる超音波振動工具を有する数値制御装
置である。
は、超音波信号を発生する超音波信号発生手段と、前記
超音波信号発生手段の出力によって駆動される超音波振
動工具と、前記超音波振動工具を移動させるモータと、
同期信号を発生する同期信号発生手段と、前記超音波信
号発生手段の出力または前記同期信号発生手段の出力の
いずれか一方を出力する選択手段と、前記選択手段の出
力に同期した速度で前記モータを駆動するモータ駆動手
段とを具備してなる超音波振動工具を有する数値制御装
置である。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の超音波振動工具を有する数値制御装置において、前記
超音波信号発生手段の出力周波数を検出する周波数検出
手段を設けたことを特徴とする。請求項３に記載の発明
は、請求項１に記載の超音波振動工具を有する数値制御
装置において、前記モータ駆動手段が、前記超音波振動
工具の移動先指令値を補間する補間演算手段を有し、前
記補間演算手段の出力に基づいて前記モータを駆動する
ことを特徴とする。
の超音波振動工具を有する数値制御装置において、前記
超音波信号発生手段の出力周波数を検出する周波数検出
手段を設けたことを特徴とする。請求項３に記載の発明
は、請求項１に記載の超音波振動工具を有する数値制御
装置において、前記モータ駆動手段が、前記超音波振動
工具の移動先指令値を補間する補間演算手段を有し、前
記補間演算手段の出力に基づいて前記モータを駆動する
ことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１は、同実施形態によるＮ
Ｃ装置の構成を示すブロック図であり、この図におい
て、前述した図３、図４の各部と対応する部分には同一
の符号を付し、その説明を省略する。
施形態について説明する。図１は、同実施形態によるＮ
Ｃ装置の構成を示すブロック図であり、この図におい
て、前述した図３、図４の各部と対応する部分には同一
の符号を付し、その説明を省略する。
【００１２】図１において、符号３５は同期／切替回路
であり、ＦＧＣ２４から出力される同期パルスＣＰまた
はＰＬＬ（フェイズロックドループ）回路３６の出力信
号Ｓのいずれか一方を、ＣＰＵ２１から出力される選択
データに従って選択し、補間演算回路２３へ同期ＣＬＫ
として出力する。ＰＬＬ回路３６は、位相比較回路３
７、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）３８、ＶＣＯ（ボルテ
ージ・コントロールド・オッシレータ）３９から構成さ
れている。位相比較回路３７は、圧電素子１５の電流波
形の位相とＶＣＯ３９の出力信号Ｓの位相とを比較し、
その結果をＬＰＦ３８を介してＶＣＯ３９へ出力する。
ＶＣＯ３９はＬＰＦ３８の出力に比例する周波数で発振
し、その発振出力を超音波信号Ｓとして出力する。周波
数検知回路４０は、ＰＬＬ回路３６の出力信号Ｓの周波
数を検出し、検出した周波数を示す周波数データをＣＰ
Ｕ２１へ出力する。
であり、ＦＧＣ２４から出力される同期パルスＣＰまた
はＰＬＬ（フェイズロックドループ）回路３６の出力信
号Ｓのいずれか一方を、ＣＰＵ２１から出力される選択
データに従って選択し、補間演算回路２３へ同期ＣＬＫ
として出力する。ＰＬＬ回路３６は、位相比較回路３
７、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）３８、ＶＣＯ（ボルテ
ージ・コントロールド・オッシレータ）３９から構成さ
れている。位相比較回路３７は、圧電素子１５の電流波
形の位相とＶＣＯ３９の出力信号Ｓの位相とを比較し、
その結果をＬＰＦ３８を介してＶＣＯ３９へ出力する。
ＶＣＯ３９はＬＰＦ３８の出力に比例する周波数で発振
し、その発振出力を超音波信号Ｓとして出力する。周波
数検知回路４０は、ＰＬＬ回路３６の出力信号Ｓの周波
数を検出し、検出した周波数を示す周波数データをＣＰ
Ｕ２１へ出力する。
【００１３】次に、図１に示す回路の動作を説明する。
まず、ＰＬＬ回路３６は、超音波振動工具６の共振周波
数に等しい周波数の超音波信号Ｓを出力し、また、スタ
イラス１７が摩耗することによって共振周波数が変化し
た時は、出力信号Ｓの周波数が追従して変化する。した
がって、信号Ｓの周波数はスタイラス１７の摩耗量に対
応する値となる。周波数検知回路４０は、この信号Ｓの
周波数を検出し、該周波数を示すデータをＣＰＵ２１へ
出力する。ＣＰＵ２１はこのデータから、スタイラス１
７の摩耗量を検出することができる。
まず、ＰＬＬ回路３６は、超音波振動工具６の共振周波
数に等しい周波数の超音波信号Ｓを出力し、また、スタ
イラス１７が摩耗することによって共振周波数が変化し
た時は、出力信号Ｓの周波数が追従して変化する。した
がって、信号Ｓの周波数はスタイラス１７の摩耗量に対
応する値となる。周波数検知回路４０は、この信号Ｓの
周波数を検出し、該周波数を示すデータをＣＰＵ２１へ
出力する。ＣＰＵ２１はこのデータから、スタイラス１
７の摩耗量を検出することができる。
【００１４】次に、虹面加工以外の加工が行われる場
合、ＣＰＵ２１は同期／切替回路３５を切り替え、ＦＧ
Ｃ２４から出力される同期パルスＣＰを補間演算回路２
３へ供給する。これにより、以後、従来の装置と同様
に、同期パルスＣＰに同期した速度でモータ１、２が駆
動される。この場合、ＣＰＵ２１がＦＧＣ２４へ制御信
号を出力することによって同期パルスＣＰの周波数を変
えれば、モータ１、２の速度変更が可能であるが、等ピ
ッチのドット加工は保証されない。
合、ＣＰＵ２１は同期／切替回路３５を切り替え、ＦＧ
Ｃ２４から出力される同期パルスＣＰを補間演算回路２
３へ供給する。これにより、以後、従来の装置と同様
に、同期パルスＣＰに同期した速度でモータ１、２が駆
動される。この場合、ＣＰＵ２１がＦＧＣ２４へ制御信
号を出力することによって同期パルスＣＰの周波数を変
えれば、モータ１、２の速度変更が可能であるが、等ピ
ッチのドット加工は保証されない。
【００１５】次に、虹面加工を行う場合は、ＣＰＵ２１
が同期／切替回路３５を切り替え、ＰＬＬ回路３６の出
力信号Ｓを補間演算回路２３へ供給する。これにより、
以後、信号Ｓに同期した速度でモータ１、２が駆動され
る。この場合、モータ１、２の移動速度と、超音波振動
工具６のスタイラス１７の振動速度との同期がとれるこ
とから、等ピッチのドット加工が保証されるが、モータ
１、２の移動速度をＣＰＵ２１が変えることはできな
い。図６に上述した等ピッチのドット加工の軌跡の一例
および各部の波形を示す。図６（イ）は同期／切替回路
３５から出力される同期ＣＬＫの波形図、（ロ）はモー
タ１へ＋Ｘ方向への移動を指示するパルス、（ハ）はモ
ータ１へ−Ｘ方向への移動を指示するパルス、（ニ）は
モータ２へ＋Ｙ方向への移動を指示するパルス、（ホ）
はモータ２へ−Ｙ方向への移動を指示するパルスであ
り、図面右側のドット図は上記パルスによるドットの移
動を示している。
が同期／切替回路３５を切り替え、ＰＬＬ回路３６の出
力信号Ｓを補間演算回路２３へ供給する。これにより、
以後、信号Ｓに同期した速度でモータ１、２が駆動され
る。この場合、モータ１、２の移動速度と、超音波振動
工具６のスタイラス１７の振動速度との同期がとれるこ
とから、等ピッチのドット加工が保証されるが、モータ
１、２の移動速度をＣＰＵ２１が変えることはできな
い。図６に上述した等ピッチのドット加工の軌跡の一例
および各部の波形を示す。図６（イ）は同期／切替回路
３５から出力される同期ＣＬＫの波形図、（ロ）はモー
タ１へ＋Ｘ方向への移動を指示するパルス、（ハ）はモ
ータ１へ−Ｘ方向への移動を指示するパルス、（ニ）は
モータ２へ＋Ｙ方向への移動を指示するパルス、（ホ）
はモータ２へ−Ｙ方向への移動を指示するパルスであ
り、図面右側のドット図は上記パルスによるドットの移
動を示している。
【００１６】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、超音波
信号を発生する超音波信号発生手段と、前記超音波信号
発生手段の出力によって駆動される超音波振動工具と、
前記超音波振動工具を移動させるモータと、同期信号を
発生する同期信号発生手段と、前記超音波信号発生手段
の出力または前記同期信号発生手段の出力のいずれか一
方を出力する選択手段と、前記選択手段の出力に同期し
た速度で前記モータを駆動するモータ駆動手段とを具備
しているので、超音波振動工具の振動とモータ駆動とを
同期させることが可能となり、これにより、等ピッチ加
工が可能となる効果が得られる。
信号を発生する超音波信号発生手段と、前記超音波信号
発生手段の出力によって駆動される超音波振動工具と、
前記超音波振動工具を移動させるモータと、同期信号を
発生する同期信号発生手段と、前記超音波信号発生手段
の出力または前記同期信号発生手段の出力のいずれか一
方を出力する選択手段と、前記選択手段の出力に同期し
た速度で前記モータを駆動するモータ駆動手段とを具備
しているので、超音波振動工具の振動とモータ駆動とを
同期させることが可能となり、これにより、等ピッチ加
工が可能となる効果が得られる。
【００１７】請求項２に記載の発明によれば、超音波信
号発生手段の出力周波数を検出する周波数検出手段を設
けたので、スタイラスの摩耗量を検出することができる
効果が得られる。
号発生手段の出力周波数を検出する周波数検出手段を設
けたので、スタイラスの摩耗量を検出することができる
効果が得られる。
【図１】 この発明の一実施形態の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図２】 超音波振動工具とそれを移動させるＮＣ装置
の概略構成を示す説明図である。
の概略構成を示す説明図である。
【図３】 従来の超音波振動工具を駆動する駆動回路の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図４】 従来の超音波振動工具を移動させる回路の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図５】 従来の超音波振動工具によるドット加工状態
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図６】 図１に示す実施形態によるドット加工例およ
び各部の波形を示す図である。
び各部の波形を示す図である。
１，２…モータ ６…超音波振動工具 １７…スタイラス ２１…ＣＰＵ ２２…ＤＰＭ ２３…補間演算回路 ２４…ＦＧＣ ２６…制御出力回路 ２７，２８…サーボアンプ ３５…同期／切替回路 ３６…ＰＬＬ回路 ４０…周波数検知回路
Claims (3)
- 【請求項１】 超音波信号を発生する超音波信号発生手
段と、 前記超音波信号発生手段の出力によって駆動される超音
波振動工具と、 前記超音波振動工具を移動させるモータと、 同期信号を発生する同期信号発生手段と、 前記超音波信号発生手段の出力または前記同期信号発生
手段の出力のいずれか一方を出力する選択手段と、 前記選択手段の出力に同期した速度で前記モータを駆動
するモータ駆動手段と、 を具備してなる超音波振動工具を有する数値制御装置。 - 【請求項２】 前記超音波信号発生手段の出力周波数を
検出する周波数検出手段を設けたことを特徴とする請求
項１に記載の超音波振動工具を有する数値制御装置。 - 【請求項３】 前記モータ駆動手段は、前記超音波振動
工具の移動先指令値を補間する補間演算手段を有し、前
記補間演算手段の出力に基づいて前記モータを駆動する
ことを特徴とする請求項１に記載の超音波振動工具を有
する数値制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9267468A JPH11110832A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 超音波振動工具を有する数値制御装置 |
| US09/156,840 US6036578A (en) | 1997-09-30 | 1998-09-18 | Numerical control unit incorporating ultrasonically oscillating tool |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9267468A JPH11110832A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 超音波振動工具を有する数値制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11110832A true JPH11110832A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17445271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9267468A Pending JPH11110832A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 超音波振動工具を有する数値制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6036578A (ja) |
| JP (1) | JPH11110832A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100894499B1 (ko) * | 2008-05-14 | 2009-04-22 | (주)디자인메카 | 초음파 나노 개질기를 이용한 베어링 가공장치 및 가공방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5935743B2 (ja) * | 1979-01-24 | 1984-08-30 | 株式会社井上ジャパックス研究所 | 超音波研削加工装置 |
| DE3932966C1 (ja) * | 1989-10-03 | 1991-04-04 | Richard Wolf Gmbh, 7134 Knittlingen, De | |
| JPH0463668A (ja) * | 1990-07-03 | 1992-02-28 | Brother Ind Ltd | 超音波加工機の振幅制御装置 |
| EP0470730B1 (en) * | 1990-08-08 | 1996-04-17 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Ultrasonic grinder system for ceramic filter and trimming method therefor |
| US5478270A (en) * | 1994-01-25 | 1995-12-26 | International Business Machines Corporation | Ultrasonic micro machining slider air bearings with diamond faced patterned die |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP9267468A patent/JPH11110832A/ja active Pending
-
1998
- 1998-09-18 US US09/156,840 patent/US6036578A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6036578A (en) | 2000-03-14 |
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