JPH11110733A - 磁気記録媒体及び非磁性合金膜 - Google Patents
磁気記録媒体及び非磁性合金膜Info
- Publication number
- JPH11110733A JPH11110733A JP30765997A JP30765997A JPH11110733A JP H11110733 A JPH11110733 A JP H11110733A JP 30765997 A JP30765997 A JP 30765997A JP 30765997 A JP30765997 A JP 30765997A JP H11110733 A JPH11110733 A JP H11110733A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- alloy
- recording medium
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 十分にノイズが低く、かつ高保磁力が得られ
るＭＲヘッド用媒体に適した磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 非磁性基板１、非磁性下地膜２、磁性膜
３及び保護膜４を基本構成とする磁気記録媒体におい
て、前記磁性膜はＣoを主成分とする合金で構成される
膜であり、前記非磁性下地膜はＡl-Ｃo-Ｎi合金からな
る第１下地膜２１の上に、ＣrまたはＣｒとＴi、Ｍo、Ａ
l、Ｔa、Ｗ、Ｎi、Ｂ、ＳiおよびＶの１種または２種以上か
らなるＣr合金で構成される第２下地膜２２を積層して
なるものであることを特徴とする磁気記録媒体。
るＭＲヘッド用媒体に適した磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 非磁性基板１、非磁性下地膜２、磁性膜
３及び保護膜４を基本構成とする磁気記録媒体におい
て、前記磁性膜はＣoを主成分とする合金で構成される
膜であり、前記非磁性下地膜はＡl-Ｃo-Ｎi合金からな
る第１下地膜２１の上に、ＣrまたはＣｒとＴi、Ｍo、Ａ
l、Ｔa、Ｗ、Ｎi、Ｂ、ＳiおよびＶの１種または２種以上か
らなるＣr合金で構成される第２下地膜２２を積層して
なるものであることを特徴とする磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ドラム、磁気テ
ープ、磁気ディスク等の磁気記録媒体に係り、媒体ノイ
ズを低減させた磁気記録媒体に関する。
ープ、磁気ディスク等の磁気記録媒体に係り、媒体ノイ
ズを低減させた磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年磁気ディスク装置等の大密度化に伴
い再生感度の高い磁気抵抗効果を用いた磁気ヘッド（以
下ＭＲヘッドと略記する）に適合した磁気記録媒体（以
下媒体と略記することがある）が必要とされている。Ｍ
Ｒヘッドは従来の電磁誘導型ヘッドに比べてヘッドノイ
ズが低いため、媒体においても装置全体のＳ／Ｎを改善
するには、媒体ノイズの低下が極めて重要な課題となっ
ている。
い再生感度の高い磁気抵抗効果を用いた磁気ヘッド（以
下ＭＲヘッドと略記する）に適合した磁気記録媒体（以
下媒体と略記することがある）が必要とされている。Ｍ
Ｒヘッドは従来の電磁誘導型ヘッドに比べてヘッドノイ
ズが低いため、媒体においても装置全体のＳ／Ｎを改善
するには、媒体ノイズの低下が極めて重要な課題となっ
ている。
【０００３】現在一般に用いられるハードディスク装置
（ＨＤＤ）用磁気記録ディスクにおいては、非磁性基板
上に非磁性下地膜（Ｃr、Ｃr合金等）、磁性膜（ＣoＣr
Ｔa、ＣoＣrＰtＴa合金等）、保護膜（カーボン等）が順
次成膜されており、その上に液体潤滑剤からなる潤滑膜
が形成されている。
（ＨＤＤ）用磁気記録ディスクにおいては、非磁性基板
上に非磁性下地膜（Ｃr、Ｃr合金等）、磁性膜（ＣoＣr
Ｔa、ＣoＣrＰtＴa合金等）、保護膜（カーボン等）が順
次成膜されており、その上に液体潤滑剤からなる潤滑膜
が形成されている。
【０００４】このような磁気記録媒体における記録再生
特性を最適化するために、特公平５−２３５６４号では
下地Ｃrの厚みを５０〜２００オングストロームするこ
とで角形比を上げることが提案されている。また、特開
平１−２３２５２２号に記載されているように下地膜Ｃ
r中にＣu、Ｎb、Ｔi、Ｖ、Ｚr、Ｍo、Ｚn、Ｗ、Ｔaから選ばれる
１種以上の金属を添加することで磁気特性、特に保磁力
を上げることが提案されている。
特性を最適化するために、特公平５−２３５６４号では
下地Ｃrの厚みを５０〜２００オングストロームするこ
とで角形比を上げることが提案されている。また、特開
平１−２３２５２２号に記載されているように下地膜Ｃ
r中にＣu、Ｎb、Ｔi、Ｖ、Ｚr、Ｍo、Ｚn、Ｗ、Ｔaから選ばれる
１種以上の金属を添加することで磁気特性、特に保磁力
を上げることが提案されている。
【０００５】さらに、ヨーロッパ特許ＥＰ ０ ７０４
８３９ Ａ１では、Ｂ２構造を持つ合金（ＡlＮi、ＡlＣ
o、ＡlＦe等）を下地膜として用いることで、磁性膜の結
晶粒径が小さくなり、ノイズが改善できることを提案し
ている。
８３９ Ａ１では、Ｂ２構造を持つ合金（ＡlＮi、ＡlＣ
o、ＡlＦe等）を下地膜として用いることで、磁性膜の結
晶粒径が小さくなり、ノイズが改善できることを提案し
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記特公平５−２３５
６４号のようにＣｒ下地膜の厚みを５０〜２００オング
ストロームにした場合、Ｃrの結晶構造が（２００）に
配向しないため、十分な保磁力が得られず、ＭＲヘッド
に適した媒体とはなりえない。前記特開平１−２３２５
２２号では、その膜厚が５００〜３０００オングストロ
ームになっているため、Ｃr粒子が成長してしまう。そ
のためＣr膜上にエピタキシャル成長するＣo磁性膜の粒
子も粗大化し、ノイズを低減することができない。ま
た、非磁性下地膜としてＣrまたはＣr合金を用いている
が、基板の平滑化に伴い、テクスチャリング等によるデ
ィスクの異方性制御効果が弱まり、保磁力の低下、それ
に伴う再生出力の低下が起こるという問題があった。
６４号のようにＣｒ下地膜の厚みを５０〜２００オング
ストロームにした場合、Ｃrの結晶構造が（２００）に
配向しないため、十分な保磁力が得られず、ＭＲヘッド
に適した媒体とはなりえない。前記特開平１−２３２５
２２号では、その膜厚が５００〜３０００オングストロ
ームになっているため、Ｃr粒子が成長してしまう。そ
のためＣr膜上にエピタキシャル成長するＣo磁性膜の粒
子も粗大化し、ノイズを低減することができない。ま
た、非磁性下地膜としてＣrまたはＣr合金を用いている
が、基板の平滑化に伴い、テクスチャリング等によるデ
ィスクの異方性制御効果が弱まり、保磁力の低下、それ
に伴う再生出力の低下が起こるという問題があった。
【０００７】前記ヨーロッパ特許ＥＰ ０ ７０４ ８３
９ Ａ１で提案しているＢ２構造を持つＡｌ合金（ＡlＮ
i、ＡlＣo、ＡlＦe等）を下地膜として用いる手法では、
Ａl-Ｎi合金、Ａl-Ｃo合金等で磁性膜の結晶粒が小さく
なり、ノイズは改善されることが確認されているが、Ａ
l-Ｎi合金では保磁力を大きくしにくいこと、Ａl-Ｃo合
金では保磁力角形比を大きくしにくいことから、結果と
して再生出力が小さくなるために高密度記録を行うため
には課題を残していた。こうした問題点に鑑み、本発明
の目的は、十分にノイズが低く、かつ高保磁力が得られ
るＭＲヘッド用媒体に適した磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
９ Ａ１で提案しているＢ２構造を持つＡｌ合金（ＡlＮ
i、ＡlＣo、ＡlＦe等）を下地膜として用いる手法では、
Ａl-Ｎi合金、Ａl-Ｃo合金等で磁性膜の結晶粒が小さく
なり、ノイズは改善されることが確認されているが、Ａ
l-Ｎi合金では保磁力を大きくしにくいこと、Ａl-Ｃo合
金では保磁力角形比を大きくしにくいことから、結果と
して再生出力が小さくなるために高密度記録を行うため
には課題を残していた。こうした問題点に鑑み、本発明
の目的は、十分にノイズが低く、かつ高保磁力が得られ
るＭＲヘッド用媒体に適した磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】Ａl-Ｃo合金及びＡl-Ｎi
合金におけるＡl-Ｃo、Ａl-Ｎiの組成比を変化させた場
合の磁気ディスクの磁気特性の変化を図１（Ａl-Ｃo合
金）、図２（Ａl-Ｎi合金）に示す。なお、測定に用い
た磁気ディスクは、下地膜をＡl-Ｃo合金またはＡl-Ｎi
合金とした以外は、後述の実施例と同様の方法により製
造したものであり、また磁気特性の測定も後述の実施例
と同様に行った。
合金におけるＡl-Ｃo、Ａl-Ｎiの組成比を変化させた場
合の磁気ディスクの磁気特性の変化を図１（Ａl-Ｃo合
金）、図２（Ａl-Ｎi合金）に示す。なお、測定に用い
た磁気ディスクは、下地膜をＡl-Ｃo合金またはＡl-Ｎi
合金とした以外は、後述の実施例と同様の方法により製
造したものであり、また磁気特性の測定も後述の実施例
と同様に行った。
【０００９】Ａl-Ｃo合金では、３２００Ｏｅを超える
高保磁力は得られるものの、保磁力角形比（Ｓ*）は最
高でも６８％程度と低いため、高保磁力にもかかわらず
再生出力が低くなってしまう。一方、Ａl-Ｎi合金で
は、７５％を超える保磁力角形比（Ｓ*）を得ることが
できるが、Ａl-Ｃo合金に比べ保磁力が２７００Ｏｅ以
下と低いため、高密度域での記録再生特性に課題が残
る。
高保磁力は得られるものの、保磁力角形比（Ｓ*）は最
高でも６８％程度と低いため、高保磁力にもかかわらず
再生出力が低くなってしまう。一方、Ａl-Ｎi合金で
は、７５％を超える保磁力角形比（Ｓ*）を得ることが
できるが、Ａl-Ｃo合金に比べ保磁力が２７００Ｏｅ以
下と低いため、高密度域での記録再生特性に課題が残
る。
【００１０】以上の通り、Ａl-Ｃo合金又はＡl-Ｎi合金
を単独で下地膜として用いた場合には、満足する特性を
得ることができない。そこで本発明者は、Ａl-Ｃo合金
及びＡl-Ｎi合金を混合することにより、Ａl-Ｃo合金の
高保磁力とＡl-Ｎi合金の高保磁力角形比を兼備させる
ことを検討した。具体的には、図１、図２におけるＡl-
Ｃo合金及びＡl-Ｎi合金のうちで最も高い特性が得られ
る組成であるＡl60Ｃo40(at%、すなわち原子数パーセン
ト、以下at%は省略)、およびＡl50Ｎi50合金を混合した
Ａl-Ｃo-Ｎiの３元系合金を用いることで、Ａl50Ｎi50
合金の課題であった高保磁力が得られない点を改善し、
高保磁力、低ノイズの磁気記録媒体を提供できることを
知見した。
を単独で下地膜として用いた場合には、満足する特性を
得ることができない。そこで本発明者は、Ａl-Ｃo合金
及びＡl-Ｎi合金を混合することにより、Ａl-Ｃo合金の
高保磁力とＡl-Ｎi合金の高保磁力角形比を兼備させる
ことを検討した。具体的には、図１、図２におけるＡl-
Ｃo合金及びＡl-Ｎi合金のうちで最も高い特性が得られ
る組成であるＡl60Ｃo40(at%、すなわち原子数パーセン
ト、以下at%は省略)、およびＡl50Ｎi50合金を混合した
Ａl-Ｃo-Ｎiの３元系合金を用いることで、Ａl50Ｎi50
合金の課題であった高保磁力が得られない点を改善し、
高保磁力、低ノイズの磁気記録媒体を提供できることを
知見した。
【００１１】本発明磁気記録媒体は以上の知見に基づく
ものであり、非磁性基板、非磁性下地膜、磁性膜及び保
護膜を基本構成とする磁気記録媒体において、前記磁性
膜はＣoを主成分とする合金で構成される膜であり、前
記非磁性下地膜はＡl-Ｃo-Ｎi合金からなる第１下地膜
の上に、ＣrまたはＣｒとＴi、Ｍo、Ａl、Ｔa、Ｗ、Ｎi、Ｂ、
ＳiおよびＶの１種または２種以上からなるＣr合金で構
成される第２下地膜を積層してなるものであることを特
徴としている。
ものであり、非磁性基板、非磁性下地膜、磁性膜及び保
護膜を基本構成とする磁気記録媒体において、前記磁性
膜はＣoを主成分とする合金で構成される膜であり、前
記非磁性下地膜はＡl-Ｃo-Ｎi合金からなる第１下地膜
の上に、ＣrまたはＣｒとＴi、Ｍo、Ａl、Ｔa、Ｗ、Ｎi、Ｂ、
ＳiおよびＶの１種または２種以上からなるＣr合金で構
成される第２下地膜を積層してなるものであることを特
徴としている。
【００１２】本発明における非磁性下地膜では、第１下
地膜であるＡl-Ｃo-Ｎi合金の組成としては、４５at％
≦Ａl≦７０at％、０.５at％≦Ｃo≦１５at％であり、
残部実質Ｎiつまり２０at％≦Ｎi≦５４．５at％である
ことが望ましく、この範囲で高保磁力、高保磁力角形比
（Ｓ*）を兼備することができる。より望ましい範囲
は、５１.５at％≦Ａl≦６５at％、４at％≦Ｃo≦８at
％であり、残部実質Ｎiつまり２５at％≦Ｎi≦４８at％
である。
地膜であるＡl-Ｃo-Ｎi合金の組成としては、４５at％
≦Ａl≦７０at％、０.５at％≦Ｃo≦１５at％であり、
残部実質Ｎiつまり２０at％≦Ｎi≦５４．５at％である
ことが望ましく、この範囲で高保磁力、高保磁力角形比
（Ｓ*）を兼備することができる。より望ましい範囲
は、５１.５at％≦Ａl≦６５at％、４at％≦Ｃo≦８at
％であり、残部実質Ｎiつまり２５at％≦Ｎi≦４８at％
である。
【００１３】このＡl-Ｃo-Ｎi合金の組成を決定する場
合、前述のようにＡl-Ｃo合金及びＡl-Ｎi合金のうちで
最も高い特性が得られる組成であるＡl60Ｃo40及びＡl5
0Ｎi50合金をどの程度で混合するかを基準に検討する手
法が考えられる。基本的には、Ａl50Ｎi50合金に対する
Ａl60Ｃo40合金の混合比率が少ないと保磁力の向上が期
待できず、逆に多すぎると保磁力は大きくなるが、保磁
力角形比（Ｓ*）が低下してしまい、高出力が得られな
いために、ＭＲヘッド用の媒体として不適合となる。こ
のような観点から、Ａl50Ｎi50合金に対するＡl60Ｃo40
合金の混合比率が１.０at％≦Ａl60Ｃo40≦３０at％の
範囲の組成とすることが望ましい。高出力、低ノイズの
媒体を作製するためには１０at％≦Ａl60Ｃo40≦１５at
％の混合比率による組成とすることがより望ましい。
合、前述のようにＡl-Ｃo合金及びＡl-Ｎi合金のうちで
最も高い特性が得られる組成であるＡl60Ｃo40及びＡl5
0Ｎi50合金をどの程度で混合するかを基準に検討する手
法が考えられる。基本的には、Ａl50Ｎi50合金に対する
Ａl60Ｃo40合金の混合比率が少ないと保磁力の向上が期
待できず、逆に多すぎると保磁力は大きくなるが、保磁
力角形比（Ｓ*）が低下してしまい、高出力が得られな
いために、ＭＲヘッド用の媒体として不適合となる。こ
のような観点から、Ａl50Ｎi50合金に対するＡl60Ｃo40
合金の混合比率が１.０at％≦Ａl60Ｃo40≦３０at％の
範囲の組成とすることが望ましい。高出力、低ノイズの
媒体を作製するためには１０at％≦Ａl60Ｃo40≦１５at
％の混合比率による組成とすることがより望ましい。
【００１４】本発明における非磁性基板としては、磁気
記録媒体用基板として一般に用いられるＮiＰメッキ膜
が形成されたＡl合金（以下、ＮiＰメッキＡl基板と呼
ぶ）に加え、表面平滑性に優れるガラス基板、シリコン
基板等を用いることができる。ＭＲヘッド用の磁気記録
媒体においては、記録密度の増加に伴い、ヘッドの低フ
ライングハイト化が要求されるため、基板表面の高い平
滑性が必要となる。すなわち、本発明に用いられる非磁
性基板は、平均表面荒さＲaが２０オングストローム以
下であることが望ましい。
記録媒体用基板として一般に用いられるＮiＰメッキ膜
が形成されたＡl合金（以下、ＮiＰメッキＡl基板と呼
ぶ）に加え、表面平滑性に優れるガラス基板、シリコン
基板等を用いることができる。ＭＲヘッド用の磁気記録
媒体においては、記録密度の増加に伴い、ヘッドの低フ
ライングハイト化が要求されるため、基板表面の高い平
滑性が必要となる。すなわち、本発明に用いられる非磁
性基板は、平均表面荒さＲaが２０オングストローム以
下であることが望ましい。
【００１５】本発明における磁性膜では、Ｃo合金膜が
主に用いられるが、特にＣo−Ｃr−Ｔa合金、Ｃo−Ｃr
−Ｐt合金、Ｃo−Ｃr−Ｐt−Ｔa合金を用いることが望
ましい。本発明の非磁性下地膜の効果を最大限に引き出
すためには、Ｃo−Ｃr−Ｐt−Ｔa合金がより望ましい。
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａ合金の組成としては、Ｃｏ
(100-X-Y-Z)ＣｒXＰｔYＴａzで示される組成式で、１３
at％≦Ｘ≦２０at％、１at％≦Ｙ≦１２at％、２at％≦
Ｚ≦７at％の範囲とするのが望ましい。Ｃｒを１３at％
以上、２０at％以下とするのは、１３at％未満だとＣｒ
の偏析によるＣｏ粒子の分散が不十分であり、２０at％
を越えると保磁力Ｈｃの低下が著しくなりＭＲヘッド用
媒体に適さなくなる傾向があるからである。Ｐｔを１at
％以上、１２at％以下とするのは、１at％未満では高い
保磁力Ｈｃが得られないからであり、１２at％を越える
とノイズが大きくなる傾向にあるからである。Ｔａを２
at％以上、７at％以下とするのは、２at％未満ではノイ
ズが増加する傾向にあり、７at％を越えると高い保磁力
Ｈｃを得ることが困難となるからである。
主に用いられるが、特にＣo−Ｃr−Ｔa合金、Ｃo−Ｃr
−Ｐt合金、Ｃo−Ｃr−Ｐt−Ｔa合金を用いることが望
ましい。本発明の非磁性下地膜の効果を最大限に引き出
すためには、Ｃo−Ｃr−Ｐt−Ｔa合金がより望ましい。
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａ合金の組成としては、Ｃｏ
(100-X-Y-Z)ＣｒXＰｔYＴａzで示される組成式で、１３
at％≦Ｘ≦２０at％、１at％≦Ｙ≦１２at％、２at％≦
Ｚ≦７at％の範囲とするのが望ましい。Ｃｒを１３at％
以上、２０at％以下とするのは、１３at％未満だとＣｒ
の偏析によるＣｏ粒子の分散が不十分であり、２０at％
を越えると保磁力Ｈｃの低下が著しくなりＭＲヘッド用
媒体に適さなくなる傾向があるからである。Ｐｔを１at
％以上、１２at％以下とするのは、１at％未満では高い
保磁力Ｈｃが得られないからであり、１２at％を越える
とノイズが大きくなる傾向にあるからである。Ｔａを２
at％以上、７at％以下とするのは、２at％未満ではノイ
ズが増加する傾向にあり、７at％を越えると高い保磁力
Ｈｃを得ることが困難となるからである。
【００１６】本発明の第１下地膜の膜厚は、２５〜１５
００オングストロームの範囲とするのが好ましい。第１
下地膜の膜厚は前記範囲内であれば、どのような膜厚で
もかまわないが、４００〜１０００オングストロームが
より望ましい。
００オングストロームの範囲とするのが好ましい。第１
下地膜の膜厚は前記範囲内であれば、どのような膜厚で
もかまわないが、４００〜１０００オングストロームが
より望ましい。
【００１７】本発明の第２下地膜の膜厚は１〜１０００
オングストロームの範囲とするのがが好ましい。第２下
地膜の膜厚は前記範囲内であればどのような膜厚でもか
まわないが、５０〜２００オングストロームがより望ま
しい。
オングストロームの範囲とするのがが好ましい。第２下
地膜の膜厚は前記範囲内であればどのような膜厚でもか
まわないが、５０〜２００オングストロームがより望ま
しい。
【００１８】Ｃｏ合金磁性膜の厚さも特に限定されるも
のではないが、ＭＲヘッド用の磁気記録媒体の場合に
は、残留磁化膜厚積ＢｒＴを５０〜１３０Ｇμｍとなる
ように調整することが望ましい。残留磁化膜厚積ＢｒＴ
が５０Ｇμｍ未満であると適切な出力が得にくくなるか
らであり、また１３０Ｇμｍを越えるとＭＲヘッド用媒
体に適した特性を得にくくなるからである。
のではないが、ＭＲヘッド用の磁気記録媒体の場合に
は、残留磁化膜厚積ＢｒＴを５０〜１３０Ｇμｍとなる
ように調整することが望ましい。残留磁化膜厚積ＢｒＴ
が５０Ｇμｍ未満であると適切な出力が得にくくなるか
らであり、また１３０Ｇμｍを越えるとＭＲヘッド用媒
体に適した特性を得にくくなるからである。
【００１９】本発明の磁気記録媒体においては、ヘッド
と媒体表面の接触による損傷を防ぐため、磁性膜の上に
保護膜を積層する。保護膜の材料としては、カーボン等
公知の材料を用いることができる。
と媒体表面の接触による損傷を防ぐため、磁性膜の上に
保護膜を積層する。保護膜の材料としては、カーボン等
公知の材料を用いることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を示す。た
だし、本発明は以下の実施例に限定されるものではな
く、特許請求項の範囲に記載の構成を変更しない限りど
のようにでも実施することができる。
だし、本発明は以下の実施例に限定されるものではな
く、特許請求項の範囲に記載の構成を変更しない限りど
のようにでも実施することができる。
【００２１】［実施例１］ＮiＰメッキＡl基板に表面粗
さＲa１５オングストロームのテクスチャリングを施し
た後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置内にセットした。
真空到達度２×１０-7Ｔorrまで排気した後、第１下地
膜としてＡl60Ｎi34.5Ｃo5.5合金膜を７００オングスト
ローム成膜し、第２下地膜としてＣr膜を２００オング
ストローム成膜した後、引き続きＣo75Ｃr16Ｐt6Ｔa3合
金磁性膜を成膜した。さらに、磁性膜の上には保護膜と
してカーボンを１５０オングストローム成膜した。成膜
時のＡr圧力は各々３mＴorrとした。磁性膜の膜厚は残
留磁化膜厚積（ＢrＴ）で１１５Ｇμmであった。なお、
得られた磁気記録媒体の構造は図３に模式的に示した。
図中、１は非磁性基板、２は非磁性下地膜、２１は第１
下地膜、２２は第２下地膜、３は磁性膜、４は保護膜で
ある。
さＲa１５オングストロームのテクスチャリングを施し
た後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置内にセットした。
真空到達度２×１０-7Ｔorrまで排気した後、第１下地
膜としてＡl60Ｎi34.5Ｃo5.5合金膜を７００オングスト
ローム成膜し、第２下地膜としてＣr膜を２００オング
ストローム成膜した後、引き続きＣo75Ｃr16Ｐt6Ｔa3合
金磁性膜を成膜した。さらに、磁性膜の上には保護膜と
してカーボンを１５０オングストローム成膜した。成膜
時のＡr圧力は各々３mＴorrとした。磁性膜の膜厚は残
留磁化膜厚積（ＢrＴ）で１１５Ｇμmであった。なお、
得られた磁気記録媒体の構造は図３に模式的に示した。
図中、１は非磁性基板、２は非磁性下地膜、２１は第１
下地膜、２２は第２下地膜、３は磁性膜、４は保護膜で
ある。
【００２２】この実施例１により作製された磁気記録媒
体の磁気特性は、振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用い
て測定し、保磁力（Ｈc）は３０２７Ｏe、保磁力角形比
（Ｓ *）は７８．４％であった。磁気記録媒体の記録再
生特性は、再生に磁気抵抗（ＭＲ）素子を有する複合型
薄膜磁気ヘッドを用い、線記録密度を１４８．５kＦＣ
Ｉにて測定した。実施例１の磁気記録媒体の記録再生出
力は２４８μＶ、ノイズは２．２８μＶであった。
体の磁気特性は、振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用い
て測定し、保磁力（Ｈc）は３０２７Ｏe、保磁力角形比
（Ｓ *）は７８．４％であった。磁気記録媒体の記録再
生特性は、再生に磁気抵抗（ＭＲ）素子を有する複合型
薄膜磁気ヘッドを用い、線記録密度を１４８．５kＦＣ
Ｉにて測定した。実施例１の磁気記録媒体の記録再生出
力は２４８μＶ、ノイズは２．２８μＶであった。
【００２３】［実施例２］第１下地膜としてＡl65Ｎi25
Ｃo10合金を６００オングストローム成膜した以外は前
記実施例１と同様にして磁気記録媒体を作製した。この
実施例２により作製された磁気記録媒体の磁気特性およ
び記録再生特性についても前記実施例１と同様に測定
し、保磁力（Ｈc）は３３２０Ｏe、保磁力角形比
（Ｓ*）は７２．０％、磁気記録媒体の記録再生特性
は、記録再生出力２３９μＶ、ノイズは２．３１μＶで
あった。
Ｃo10合金を６００オングストローム成膜した以外は前
記実施例１と同様にして磁気記録媒体を作製した。この
実施例２により作製された磁気記録媒体の磁気特性およ
び記録再生特性についても前記実施例１と同様に測定
し、保磁力（Ｈc）は３３２０Ｏe、保磁力角形比
（Ｓ*）は７２．０％、磁気記録媒体の記録再生特性
は、記録再生出力２３９μＶ、ノイズは２．３１μＶで
あった。
【００２４】［実施例３］第１下地膜としてＡl51.5Ｎi
47.5Ｃo1合金を６００オングストローム成膜した以外は
前記実施例１と同様にして磁気記録媒体を作製した。こ
の比較例１により作製された磁気記録媒体の磁気特性お
よび記録再生特性についても前記実施例１と同様に測定
し、保磁力（Ｈc）は、２７８３Ｏe、保磁力角形比（Ｓ
*）は８０．３％、磁気記録媒体の記録再生特性は、記
録再生出力２４４μＶ、ノイズは２．３４μＶであっ
た。
47.5Ｃo1合金を６００オングストローム成膜した以外は
前記実施例１と同様にして磁気記録媒体を作製した。こ
の比較例１により作製された磁気記録媒体の磁気特性お
よび記録再生特性についても前記実施例１と同様に測定
し、保磁力（Ｈc）は、２７８３Ｏe、保磁力角形比（Ｓ
*）は８０．３％、磁気記録媒体の記録再生特性は、記
録再生出力２４４μＶ、ノイズは２．３４μＶであっ
た。
【００２５】［比較例１］ＮiＰメッキＡl基板に表面粗
さＲa１５オングストロームのテクスチャリングを施し
た後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置内にセットした。
真空到達度２×１０-7Ｔorrまで排気した後、第１下地
膜としてＡl60Ｃo40合金膜を６００オングストローム成
膜し、第２下地膜としてＣr膜を２００オングストロー
ム成膜した後、引き続きＣo75Ｃr16Ｐt6Ｔa3合金磁性膜
を成膜した。さらに、磁性膜の上には保護膜としてカー
ボンを１５０オングストローム成膜した。成膜時のＡr
圧力は各々３mＴorrとした。磁性膜の膜厚は残留磁化膜
厚積（ＢrＴ）で１１５Ｇμmであった。この比較例１に
より作製された磁気記録媒体の磁気特性および記録再生
特性についても前記実施例１と同様に測定し、保磁力
（Ｈc）は３２８２Ｏe、保磁力角形比（Ｓ*）は６７．
８％、出力は２１０μＶ、ノイズは２．５１μＶであっ
た。
さＲa１５オングストロームのテクスチャリングを施し
た後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置内にセットした。
真空到達度２×１０-7Ｔorrまで排気した後、第１下地
膜としてＡl60Ｃo40合金膜を６００オングストローム成
膜し、第２下地膜としてＣr膜を２００オングストロー
ム成膜した後、引き続きＣo75Ｃr16Ｐt6Ｔa3合金磁性膜
を成膜した。さらに、磁性膜の上には保護膜としてカー
ボンを１５０オングストローム成膜した。成膜時のＡr
圧力は各々３mＴorrとした。磁性膜の膜厚は残留磁化膜
厚積（ＢrＴ）で１１５Ｇμmであった。この比較例１に
より作製された磁気記録媒体の磁気特性および記録再生
特性についても前記実施例１と同様に測定し、保磁力
（Ｈc）は３２８２Ｏe、保磁力角形比（Ｓ*）は６７．
８％、出力は２１０μＶ、ノイズは２．５１μＶであっ
た。
【００２６】［比較例２］第１下地膜としてＡl50Ｎi50
合金膜を６００オングストローム成膜した以外は、前記
比較例１と同様にして磁気記録媒体を作製した。この比
較例２により作製された磁気記録媒体の磁気特性及び記
録再生特性についても前記実施例１と同様に測定し、保
磁力（Ｈc）２６９２Ｏe、保磁力角形比（Ｓ*）は７
７．６％であった。記録再生出力は２３１μＶ、ノイズ
は２．４８μＶであった。
合金膜を６００オングストローム成膜した以外は、前記
比較例１と同様にして磁気記録媒体を作製した。この比
較例２により作製された磁気記録媒体の磁気特性及び記
録再生特性についても前記実施例１と同様に測定し、保
磁力（Ｈc）２６９２Ｏe、保磁力角形比（Ｓ*）は７
７．６％であった。記録再生出力は２３１μＶ、ノイズ
は２．４８μＶであった。
【００２７】以上の実施例１〜３、比較例１〜２の評価
結果を以下にまとめて示す。 Ｎｏ 第１下地層 Ｈｃ Ｓ* 再生出力 ノイズ （at％） (Oe) （％） （μＶ） （μＶ） 実施例１ Ａl60Ｎi34.5Ｃo5.5 ３０２７ ７８.４ ２４８ ２.２８ 実施例２ Ａl65Ｎi25Ｃo10 ３３２０ ７２.０ ２３９ ２.３１ 実施例３ Ａl51.5Ｎi47.5Ｃo1 ２７８３ ８０.３ ２４４ ２.３４ 比較例１ Ａl60Ｃo40 ３２８２ ６７.８ ２１０ ２.５１ 比較例２ Ａl50Ｎi50 ２６９２ ７７.６ ２３１ ２.４８
結果を以下にまとめて示す。 Ｎｏ 第１下地層 Ｈｃ Ｓ* 再生出力 ノイズ （at％） (Oe) （％） （μＶ） （μＶ） 実施例１ Ａl60Ｎi34.5Ｃo5.5 ３０２７ ７８.４ ２４８ ２.２８ 実施例２ Ａl65Ｎi25Ｃo10 ３３２０ ７２.０ ２３９ ２.３１ 実施例３ Ａl51.5Ｎi47.5Ｃo1 ２７８３ ８０.３ ２４４ ２.３４ 比較例１ Ａl60Ｃo40 ３２８２ ６７.８ ２１０ ２.５１ 比較例２ Ａl50Ｎi50 ２６９２ ７７.６ ２３１ ２.４８
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は磁気記録
媒体の媒体ノイズを増加することなく、高出力が得られ
るＭＲヘッド対応の高密度磁気記録媒体として利用する
ことができる。
媒体の媒体ノイズを増加することなく、高出力が得られ
るＭＲヘッド対応の高密度磁気記録媒体として利用する
ことができる。
【図１】 Ａl-Ｃo合金の組成の変化と磁気ディスクの
特性の変化を示すグラフである。
特性の変化を示すグラフである。
【図２】 Ａl-Ｎi合金の組成の変化と磁気ディスクの
特性の変化を示すグラフである。
特性の変化を示すグラフである。
【図３】 本発明磁気ディスクの断面構造を示す図であ
る。
る。
１・・非磁性基板 ２・・非磁性下地膜 ２１・・第
１下地膜 ２２・・第２下地膜 ３・・磁性膜 ４・・保護
膜
１下地膜 ２２・・第２下地膜 ３・・磁性膜 ４・・保護
膜
Claims (7)
- 【請求項１】 非磁性基板、非磁性下地膜、磁性膜及び
保護膜を基本構成とする磁気記録媒体において、前記磁
性膜はＣoを主成分とする合金で構成される膜であり、
前記非磁性下地膜はＡl-Ｃo-Ｎi合金からなる第１下地
膜の上に、ＣrまたはＣｒとＴi、Ｍo、Ａl、Ｔa、Ｗ、Ｎi、
Ｂ、ＳiおよびＶの１種または２種以上からなるＣr合金
で構成される第２下地膜を積層してなるものであること
を特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 第１下地膜のＡl-Ｃo-Ｎi合金膜は、４
５at％≦Ａl≦７０at％、０.５at％≦Ｃo≦１５at％、
２０at％≦Ｎi≦５４.５at％の組成を有する請求項１に
記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 第１下地膜の膜厚が、２５〜１５００オ
ングストロームである請求項１又は２に記載の磁気記録
媒体。 - 【請求項４】 第２下地層の膜厚が、１〜１０００オン
グストロームである請求項１〜３のいずれかに記載の磁
気記録媒体。 - 【請求項５】 非磁性基板が、ＮiＰをメッキしたＡl基
板である請求項１〜４のいずれかに記載の磁気記録媒
体。 - 【請求項６】 非磁性基板が、ガラス基板である請求項
１〜４のいずれかに記載の磁気記録媒体。 - 【請求項７】 ４５at％≦Ａl≦７０at％、０.５at％≦
Ｃo≦１５at％、２０at％≦Ｎi≦５４.５at％の組成を
有することを特徴とする非磁性合金膜。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30765997A JPH11110733A (ja) | 1997-08-06 | 1997-11-10 | 磁気記録媒体及び非磁性合金膜 |
| US09/104,345 US6090496A (en) | 1997-08-06 | 1998-06-25 | Magnetic recording medium and non-magnetic alloy film |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-212339 | 1997-08-06 | ||
| JP21233997 | 1997-08-06 | ||
| JP30765997A JPH11110733A (ja) | 1997-08-06 | 1997-11-10 | 磁気記録媒体及び非磁性合金膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11110733A true JPH11110733A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=26519160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30765997A Withdrawn JPH11110733A (ja) | 1997-08-06 | 1997-11-10 | 磁気記録媒体及び非磁性合金膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11110733A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6593009B2 (en) | 2001-03-02 | 2003-07-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands N.V. | Magnetic thin film media with a pre-seed layer of CrTi |
| US6689496B1 (en) | 2000-04-07 | 2004-02-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium, method of producing magnetic recording medium, and magnetic storage apparatus |
| US6852430B2 (en) | 2001-03-02 | 2005-02-08 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Magnetic thin film media with a pre-seed layer of CrTi |
-
1997
- 1997-11-10 JP JP30765997A patent/JPH11110733A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6689496B1 (en) | 2000-04-07 | 2004-02-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium, method of producing magnetic recording medium, and magnetic storage apparatus |
| US6593009B2 (en) | 2001-03-02 | 2003-07-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands N.V. | Magnetic thin film media with a pre-seed layer of CrTi |
| US6852430B2 (en) | 2001-03-02 | 2005-02-08 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Magnetic thin film media with a pre-seed layer of CrTi |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Oikawa et al. | Microstructure and magnetic properties of CoPtCr-SiO/sub 2/perpendicular recording media | |
| JP2561655B2 (ja) | 面内磁気記録媒体 | |
| US7368185B2 (en) | Perpendicular magnetic recording media and magnetic storage apparatus using the same | |
| JP5103097B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
| US6881503B2 (en) | Perpendicular magnetic recording media with laminated magnetic layer structure | |
| US20070082414A1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium, method for production of the same, and magnetic recording apparatus | |
| KR20070067600A (ko) | 내식성을 개선하기 위한 초박형 핵형성 막을 가진 수직자기 기록 디스크 및 이 디스크의 제조 방법 | |
| JPH08171716A (ja) | 磁性合金及びその製造方法 | |
| US6682834B2 (en) | Magnetic storage medium having a high recording density | |
| JP3684231B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP3900999B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3822387B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2005521980A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| US6689497B1 (en) | Stabilized AFC magnetic recording media with reduced lattice mismatch between spacer layer(s) and magnetic layers | |
| JP2003123243A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JP2006260633A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
| JP2003203330A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US6168861B1 (en) | High coercivity, high signal-to-noise ratio dual magnetic layer media | |
| JP3588039B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
| JPH11110733A (ja) | 磁気記録媒体及び非磁性合金膜 | |
| JP3576372B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US6090496A (en) | Magnetic recording medium and non-magnetic alloy film | |
| US6255006B1 (en) | Magnetic recording medium | |
| JP2003067909A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3157806B2 (ja) | 磁気記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050201 |