JPH11104919A - 放電穴加工装置 - Google Patents
放電穴加工装置Info
- Publication number
- JPH11104919A JPH11104919A JP28272597A JP28272597A JPH11104919A JP H11104919 A JPH11104919 A JP H11104919A JP 28272597 A JP28272597 A JP 28272597A JP 28272597 A JP28272597 A JP 28272597A JP H11104919 A JPH11104919 A JP H11104919A
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- JP
- Japan
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- stage
- work
- electrode
- discharge hole
- hole machining
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- Pending
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】薄板状等のワークに極めて微細な穴を高精度に
穿設することができる放電穴加工装置を提供することに
ある。 【解決手段】ワークに微細な穴を穿設するための電極放
電穴加工装置において、ワークを保持するワークホルダ
ーが設けられたワークステージと、該ワークステージ
を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれぞれ移動調整
するためのＸステージ、Ｙステージ、Ｚステージと、前
記ワークホルダーの上方に配置されていて電極ユニット
をセットするためのロック部と、前記ワークを照明する
ための照明手段と、電極ワイヤの直下を斜め上から観測
し得るような光学系を有するカメラ画像処理装置とを備
えている。
穿設することができる放電穴加工装置を提供することに
ある。 【解決手段】ワークに微細な穴を穿設するための電極放
電穴加工装置において、ワークを保持するワークホルダ
ーが設けられたワークステージと、該ワークステージ
を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれぞれ移動調整
するためのＸステージ、Ｙステージ、Ｚステージと、前
記ワークホルダーの上方に配置されていて電極ユニット
をセットするためのロック部と、前記ワークを照明する
ための照明手段と、電極ワイヤの直下を斜め上から観測
し得るような光学系を有するカメラ画像処理装置とを備
えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄板状のワーク
に、例えば、直径が１００ミクロン以下というような微
細な穴を電極放電により穿設するための放電穴加工装置
に関する。
に、例えば、直径が１００ミクロン以下というような微
細な穴を電極放電により穿設するための放電穴加工装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄板状等のワークに所望径の穴を電極放
電加工により穿設する放電加工装置において、従来の装
置はワークをｘ軸方向とｙ軸方向に移動調整する機構が
設けられているが、ｚ軸方向への移動調整機構等はなか
った。一方、近時の精密加工等においては、薄板状のワ
ークに、例えば、直径が１００ミクロン以下というよう
な微細な穴を放電加工により穿設するような必要性もあ
るが、従来の放電加工装置においては加工部を高精度に
位置決めしたり、加工状態を観測する手段等はなく、ま
た、電極構成においても従来のものではこのような高精
度の加工には対応できない等の欠点があった。
電加工により穿設する放電加工装置において、従来の装
置はワークをｘ軸方向とｙ軸方向に移動調整する機構が
設けられているが、ｚ軸方向への移動調整機構等はなか
った。一方、近時の精密加工等においては、薄板状のワ
ークに、例えば、直径が１００ミクロン以下というよう
な微細な穴を放電加工により穿設するような必要性もあ
るが、従来の放電加工装置においては加工部を高精度に
位置決めしたり、加工状態を観測する手段等はなく、ま
た、電極構成においても従来のものではこのような高精
度の加工には対応できない等の欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
のような従来の欠点を解消し、薄板状等のワークに極め
て微細な穴を高精度に穿設することができる放電穴加工
装置を提供することにある。
のような従来の欠点を解消し、薄板状等のワークに極め
て微細な穴を高精度に穿設することができる放電穴加工
装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達するた
め、本発明の放電穴加工装置は、請求項１記載のものに
おいては、ワークに微細な穴を穿設するための電極放電
穴加工装置において、電極ワイヤの直下を斜め上から観
測し得るような光学系を有するカメラ画像処理装置を備
えていることを特徴とする。
め、本発明の放電穴加工装置は、請求項１記載のものに
おいては、ワークに微細な穴を穿設するための電極放電
穴加工装置において、電極ワイヤの直下を斜め上から観
測し得るような光学系を有するカメラ画像処理装置を備
えていることを特徴とする。
【０００５】請求項２記載のものにおいては、請求項１
記載の放電穴加工装置において、ワークを照明するため
の照明手段が設けられていることを特徴とする。
記載の放電穴加工装置において、ワークを照明するため
の照明手段が設けられていることを特徴とする。
【０００６】請求項３記載のものにおいては、ワークに
微細な穴を穿設するための電極放電穴加工装置におい
て、ワークを保持するワークホルダーが設けられたワー
クステージを、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれぞ
れ移動調整するためのＸステージ、Ｙステージ、Ｚステ
ージを備えていることを特徴とする。
微細な穴を穿設するための電極放電穴加工装置におい
て、ワークを保持するワークホルダーが設けられたワー
クステージを、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれぞ
れ移動調整するためのＸステージ、Ｙステージ、Ｚステ
ージを備えていることを特徴とする。
【０００７】請求項４記載のものにおいては、請求項３
記載の放電穴加工装置において、Ｚステージは、ステー
ジ台と、該ステージ台上に配置されていてネジ軸により
直線移動する架台と、該架台に取り付けたローラーと、
前記ステージ台に対して昇降自在に配置された昇降テー
ブルと、前記ローラーが当接するように昇降テーブルの
下面に配置された２段スロープ式の直線カムとからなる
ことを特徴とする。
記載の放電穴加工装置において、Ｚステージは、ステー
ジ台と、該ステージ台上に配置されていてネジ軸により
直線移動する架台と、該架台に取り付けたローラーと、
前記ステージ台に対して昇降自在に配置された昇降テー
ブルと、前記ローラーが当接するように昇降テーブルの
下面に配置された２段スロープ式の直線カムとからなる
ことを特徴とする。
【０００８】請求項５記載のものにおいては、ワークに
微細な穴を穿設するための電極放電穴加工装置におい
て、ワークの上方に電極ユニットをセットするためのガ
イド部と、電極ユニットを位置決めするためのロック部
と、電極ユニットと導通を得るためにロック部に設けら
れたロック扉部とが設けられていることを特徴とする。
微細な穴を穿設するための電極放電穴加工装置におい
て、ワークの上方に電極ユニットをセットするためのガ
イド部と、電極ユニットを位置決めするためのロック部
と、電極ユニットと導通を得るためにロック部に設けら
れたロック扉部とが設けられていることを特徴とする。
【０００９】請求項６記載のものにおいては、請求項５
記載の放電穴加工装置において、電極ユニットは、電極
ワイヤーと、該電極ワイヤーを挿入するパイプ状のガイ
ド部と、電極ワイヤーのＺ軸方向の位置決めをするため
にガイド部の後端部に設けられたクランプ突き当て部
と、前記ガイド部に設けられた電極ワイヤー固定用窓部
と、ガイド部のパイプ内部の電極ワイヤーを固定するた
めにパイプ内部に充填されたワックス等の固定用充填材
とで構成されていることを特徴とする。
記載の放電穴加工装置において、電極ユニットは、電極
ワイヤーと、該電極ワイヤーを挿入するパイプ状のガイ
ド部と、電極ワイヤーのＺ軸方向の位置決めをするため
にガイド部の後端部に設けられたクランプ突き当て部
と、前記ガイド部に設けられた電極ワイヤー固定用窓部
と、ガイド部のパイプ内部の電極ワイヤーを固定するた
めにパイプ内部に充填されたワックス等の固定用充填材
とで構成されていることを特徴とする。
【００１０】請求項７記載のものにおいては、ワークに
微細な穴を穿設するための電極放電穴加工装置におい
て、ワークを保持するワークホルダーが設けられたワー
クステージと、該ワークステージを、Ｘ軸方向、Ｙ軸方
向、Ｚ軸方向にそれぞれ移動調整するためのＸステー
ジ、Ｙステージ、Ｚステージと、前記ワークホルダーの
上方に配置されていて電極ユニットをセットするための
ロック部と、前記ワークを照明するための照明手段と、
電極ワイヤの直下を斜め上から観測し得るような光学系
を有するカメラ画像処理装置とを備えていることを特徴
とする。
微細な穴を穿設するための電極放電穴加工装置におい
て、ワークを保持するワークホルダーが設けられたワー
クステージと、該ワークステージを、Ｘ軸方向、Ｙ軸方
向、Ｚ軸方向にそれぞれ移動調整するためのＸステー
ジ、Ｙステージ、Ｚステージと、前記ワークホルダーの
上方に配置されていて電極ユニットをセットするための
ロック部と、前記ワークを照明するための照明手段と、
電極ワイヤの直下を斜め上から観測し得るような光学系
を有するカメラ画像処理装置とを備えていることを特徴
とする。
【００１１】
【発明の実施の態様】本発明に係る放電穴加工装置の実
施例を図１〜図６に基づいて説明するが、図は基本的な
構成を説明するための概略図である。図１は全体構成の
概略を示す斜視図であり、図において、１は機台、２は
該機台１上の立脚部３を介して設けられた取付ベース
板、４はワークＷを保持するワークホルダー、５はワー
クホルダー４が設けられたワークステージ、６は機台１
上に取り付けられたワーク移動調整機構の全体を示し、
ワークステージ５を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に
それぞれ移動調整するためのＸステージ７、Ｙステージ
８、Ｚステージ９とで構成されている。
施例を図１〜図６に基づいて説明するが、図は基本的な
構成を説明するための概略図である。図１は全体構成の
概略を示す斜視図であり、図において、１は機台、２は
該機台１上の立脚部３を介して設けられた取付ベース
板、４はワークＷを保持するワークホルダー、５はワー
クホルダー４が設けられたワークステージ、６は機台１
上に取り付けられたワーク移動調整機構の全体を示し、
ワークステージ５を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に
それぞれ移動調整するためのＸステージ７、Ｙステージ
８、Ｚステージ９とで構成されている。
【００１２】前記取付ベース板２には、電極ユニット１
９をセットするためのロック部１８を有する電極ブロッ
ク１０、照明装置１１、電極ワイヤの直下を斜め上から
観測し得るようにした光学系装置１２等が取り付けられ
ている。前記取付ベース板２に取り付けられた顕微鏡ホ
ルダー１３には測定用接眼レンズ１５を有する顕微鏡ユ
ニット１４及びＣＣＤカメラ１６等が搭載されると共
に、前記ワークホルダー４の上方に位置するようにミラ
ーボックス１７が設けられている。
９をセットするためのロック部１８を有する電極ブロッ
ク１０、照明装置１１、電極ワイヤの直下を斜め上から
観測し得るようにした光学系装置１２等が取り付けられ
ている。前記取付ベース板２に取り付けられた顕微鏡ホ
ルダー１３には測定用接眼レンズ１５を有する顕微鏡ユ
ニット１４及びＣＣＤカメラ１６等が搭載されると共
に、前記ワークホルダー４の上方に位置するようにミラ
ーボックス１７が設けられている。
【００１３】前記ＣＣＤカメラ１６にはカメラモニター
用ディスプレー（図示しない）が接続されると共に、ホ
ストコンピュータからの情報により、放電制御、画像処
理及びワーク移動調整機構６を制御するためのコントロ
ーラー（図示しない）が接続されている。
用ディスプレー（図示しない）が接続されると共に、ホ
ストコンピュータからの情報により、放電制御、画像処
理及びワーク移動調整機構６を制御するためのコントロ
ーラー（図示しない）が接続されている。
【００１４】ワーク移動調整機構６はＺステージ９の上
にＹステージ８が搭載されると共にその上にＸステージ
７が設置された構成であり、Ｚステージ９は、図２に示
すように、ステージ台２０と、該ステージ台２０上に配
置されていてモーターＭにより回転するネジ軸２１によ
り直線移動する架台２２と、該架台２２に取り付けたロ
ーラー２３と、前記ステージ台２０に対して昇降自在に
配置された昇降テーブル２４と、前記ローラー２３が当
接するように昇降テーブル２４の下面に配置された２段
スロープ式の直線カム２５とで構成されており、架台２
２が移動するとローラー２３を介して直線カム２５によ
り昇降テーブル２４が昇降調整されるようになってい
る。
にＹステージ８が搭載されると共にその上にＸステージ
７が設置された構成であり、Ｚステージ９は、図２に示
すように、ステージ台２０と、該ステージ台２０上に配
置されていてモーターＭにより回転するネジ軸２１によ
り直線移動する架台２２と、該架台２２に取り付けたロ
ーラー２３と、前記ステージ台２０に対して昇降自在に
配置された昇降テーブル２４と、前記ローラー２３が当
接するように昇降テーブル２４の下面に配置された２段
スロープ式の直線カム２５とで構成されており、架台２
２が移動するとローラー２３を介して直線カム２５によ
り昇降テーブル２４が昇降調整されるようになってい
る。
【００１５】昇降テーブル２４上に設置されたＹステー
ジ８及びその上のＸステージ７は単にＹ方向及びＸ方向
に水平移動する構成でよいから、前記Ｚステージ９にお
けるローラー２３や昇降テーブル２４、直線カム２５等
を有しない。前記各ステージ７、８、９における架台２
２にはネジ軸２１と螺合するネジ部２６に対向するよう
にバネ座２７が配置され、該バネ座２７はネジ軸２１と
螺合すると共に架台２２に対して前後移動が可能になっ
ており、前記ネジ部２６とバネ座２７との間にはバネ２
８が介装されていてネジ軸２１に対して架台２２を常時
一方向に付勢するようにし、ネジ軸２１とネジ部２６と
の間にガタが生じないようになっている。図３はＺステ
ージ９の側面図であり、図において、２３ａは支持ロー
ラーである。
ジ８及びその上のＸステージ７は単にＹ方向及びＸ方向
に水平移動する構成でよいから、前記Ｚステージ９にお
けるローラー２３や昇降テーブル２４、直線カム２５等
を有しない。前記各ステージ７、８、９における架台２
２にはネジ軸２１と螺合するネジ部２６に対向するよう
にバネ座２７が配置され、該バネ座２７はネジ軸２１と
螺合すると共に架台２２に対して前後移動が可能になっ
ており、前記ネジ部２６とバネ座２７との間にはバネ２
８が介装されていてネジ軸２１に対して架台２２を常時
一方向に付勢するようにし、ネジ軸２１とネジ部２６と
の間にガタが生じないようになっている。図３はＺステ
ージ９の側面図であり、図において、２３ａは支持ロー
ラーである。
【００１６】図４は光学系透視図であり、後に説明する
電極ユニット１９の電極ワイヤの真下を斜め上から観測
できるようになっている。即ち、ワーク測定ポイントを
物点とし、約４５度配置の反射ミラーを前記ミラーボッ
クス１７内に設けて顕微鏡筒３１に誘導するような光路
となっている。更に、ワーク測定は真上ではなく若干傾
いた角度（約９度）の向きから行うようになっている。
２９，３０はそれぞれ反射ミラーである。
電極ユニット１９の電極ワイヤの真下を斜め上から観測
できるようになっている。即ち、ワーク測定ポイントを
物点とし、約４５度配置の反射ミラーを前記ミラーボッ
クス１７内に設けて顕微鏡筒３１に誘導するような光路
となっている。更に、ワーク測定は真上ではなく若干傾
いた角度（約９度）の向きから行うようになっている。
２９，３０はそれぞれ反射ミラーである。
【００１７】照明装置１１は電極ワイヤに対し前記光学
系とほぼ対称位置においてワークを照明するようになっ
ており、実施例では光ファイバー照明が用いられてい
る。この照明装置１１でワークＷを照射することにより
プリズムを介して加工中の状態を低倍率の前記測定用接
眼レンズ１５（顕微鏡レンズ）及びＣＣＤカメラ１６で
観察することができる。図５は照明光及び光学系の光路
を示す側面図である。
系とほぼ対称位置においてワークを照明するようになっ
ており、実施例では光ファイバー照明が用いられてい
る。この照明装置１１でワークＷを照射することにより
プリズムを介して加工中の状態を低倍率の前記測定用接
眼レンズ１５（顕微鏡レンズ）及びＣＣＤカメラ１６で
観察することができる。図５は照明光及び光学系の光路
を示す側面図である。
【００１８】電極ユニット１９は、図６に示すように、
電極ワイヤー３１と、該電極ワイヤー３１を挿入するパ
イプ状のガイド部３２と、電極ワイヤー３１のＺ軸方向
の位置決めをするためにガイド部３２の後端部に設けら
れたクランプ突き当て部３３と、前記ガイド部３２に設
けられた電極ワイヤー固定用窓部３４と、ガイド部３２
のパイプ内部の電極ワイヤー３１を固定するために電極
ワイヤー固定用窓部３４からパイプ内部に充填されたワ
ックス等の固定用充填材（図示しない）とで構成されて
いる。実施例ではタングステンワイヤーをφ１パイプ内
に通し、先端を２ｍｍ突き出してワックスで固定した。
３５は電極ユニット１９を保持するためのホルダーであ
る。
電極ワイヤー３１と、該電極ワイヤー３１を挿入するパ
イプ状のガイド部３２と、電極ワイヤー３１のＺ軸方向
の位置決めをするためにガイド部３２の後端部に設けら
れたクランプ突き当て部３３と、前記ガイド部３２に設
けられた電極ワイヤー固定用窓部３４と、ガイド部３２
のパイプ内部の電極ワイヤー３１を固定するために電極
ワイヤー固定用窓部３４からパイプ内部に充填されたワ
ックス等の固定用充填材（図示しない）とで構成されて
いる。実施例ではタングステンワイヤーをφ１パイプ内
に通し、先端を２ｍｍ突き出してワックスで固定した。
３５は電極ユニット１９を保持するためのホルダーであ
る。
【００１９】前記のようにして構成された電極ユニット
１９は電極ブロック１０に設けたロック部１８にセット
される。図５に示すように、前記ミラーボックス１７の
内部には細長い電極ユニット１９を傷つけることなくセ
ットするためのガイド部３６が設けられており、ロック
部１８に設けたロック扉部３７を開け、電極ユニット１
９を前記ガイド部３６に挿通した状態でロック扉部３７
を閉じることにより電極ユニット１９を挾み込む。これ
により電極ユニット１９が位置決めロックされると共に
電極ユニット１９と導通が得られるようになっている。
１９は電極ブロック１０に設けたロック部１８にセット
される。図５に示すように、前記ミラーボックス１７の
内部には細長い電極ユニット１９を傷つけることなくセ
ットするためのガイド部３６が設けられており、ロック
部１８に設けたロック扉部３７を開け、電極ユニット１
９を前記ガイド部３６に挿通した状態でロック扉部３７
を閉じることにより電極ユニット１９を挾み込む。これ
により電極ユニット１９が位置決めロックされると共に
電極ユニット１９と導通が得られるようになっている。
【００２０】
【発明の効果】本発明の放電穴加工装置によれば、放電
穴加工すべきワークをＸ軸方向及びＹ軸方向だけでな
く、Ｚ軸方向にも移動調整することができ、また、ワー
クのセット状態及び加工状態をカメラ画像処理装置で観
測しながら調整することができるから、極めて微細な穴
加工を正確且つ確実に行うことができる。
穴加工すべきワークをＸ軸方向及びＹ軸方向だけでな
く、Ｚ軸方向にも移動調整することができ、また、ワー
クのセット状態及び加工状態をカメラ画像処理装置で観
測しながら調整することができるから、極めて微細な穴
加工を正確且つ確実に行うことができる。
【図１】本発明に係る放電穴加工装置の概略を示す斜視
図。
図。
【図２】ワーク移動調整機構におけるＺステージの組立
図を示し、（Ａ）は昇降テーブルの斜視図、（Ｂ）は内
部構成を示す斜視図、（Ｃ）は組立図の斜視図。
図を示し、（Ａ）は昇降テーブルの斜視図、（Ｂ）は内
部構成を示す斜視図、（Ｃ）は組立図の斜視図。
【図３】Ｚステージの側面図。
【図４】光学系を示す透視図。
【図５】照明光と光学系の光路を示す側面図。
【図６】電極ユニットを示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）
は正面図。
は正面図。
１ 機台 ２ 取付ベース板 ４ ワークホルダー ５ ワークステージ ６ ワーク移動調整機構 ７ Ｘステージ ８ Ｙステージ ９ Ｚステージ １０ 電極ブロック １１ 照明装置 １２ 光学系装置 １４ 顕微鏡ユニット １５ 測定用接眼レンズ １６ ＣＣＤカメラ １７ ミラーボックス １８ ロック部 １９ 電極ユニット ２１ ネジ軸 ２２ 架台 ２３ ローラー ２４ 昇降テーブル ２５ 直線カム
Claims (7)
- 【請求項１】 ワークに微細な穴を穿設するための電極
放電穴加工装置において、電極ワイヤの直下を斜め上か
ら観測し得るような光学系を有するカメラ画像処理装置
を備えていることを特徴とする放電穴加工装置。 - 【請求項２】 ワークを照明するための照明手段が設け
られていることを特徴とする請求項１記載の放電穴加工
装置。 - 【請求項３】 ワークに微細な穴を穿設するための電極
放電穴加工装置において、ワークを保持するワークホル
ダーが設けられたワークステージを、Ｘ軸方向、Ｙ軸方
向、Ｚ軸方向にそれぞれ移動調整するためのＸステー
ジ、Ｙステージ、Ｚステージを備えていることを特徴と
する放電穴加工装置。 - 【請求項４】 Ｚステージは、ステージ台と、該ステー
ジ台上に配置されていてネジ軸により直線移動する架台
と、該架台に取り付けたローラーと、前記ステージ台に
対して昇降自在に配置された昇降テーブルと、前記ロー
ラーが当接するように昇降テーブルの下面に配置された
２段スロープ式の直線カムとからなることを特徴とする
請求項３記載の放電穴加工装置。 - 【請求項５】 ワークに微細な穴を穿設するための電極
放電穴加工装置において、ワークの上方に電極ユニット
をセットするためのガイド部と、電極ユニットを位置決
めするためのロック部と、電極ユニットと導通を得るた
めにロック部に設けられたロック扉部とが設けられてい
ることを特徴とする放電穴加工装置。 - 【請求項６】 電極ユニットは、電極ワイヤーと、該電
極ワイヤーを挿入するパイプ状のガイド部と、電極ワイ
ヤーのＺ軸方向の位置決めをするためにガイド部の後端
部に設けられたクランプ突き当て部と、前記ガイド部に
設けられた電極ワイヤー固定用窓部と、ガイド部のパイ
プ内部の電極ワイヤーを固定するためにパイプ内部に充
填されたワックス等の固定用充填材とで構成されている
ことを特徴とする請求項５記載の放電穴加工装置。 - 【請求項７】 ワークに微細な穴を穿設するための電極
放電穴加工装置において、ワークを保持するワークホル
ダーが設けられたワークステージと、該ワークステージ
を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれぞれ移動調整
するためのＸステージ、Ｙステージ、Ｚステージと、前
記ワークホルダーの上方に配置されていて電極ユニット
をセットするためのロック部と、前記ワークを照明する
ための照明手段と、電極ワイヤの直下を斜め上から観測
し得るような光学系を有するカメラ画像処理装置とを備
えていることを特徴とする放電穴加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28272597A JPH11104919A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 放電穴加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28272597A JPH11104919A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 放電穴加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11104919A true JPH11104919A (ja) | 1999-04-20 |
Family
ID=17656239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28272597A Pending JPH11104919A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 放電穴加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11104919A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101862872A (zh) * | 2010-06-24 | 2010-10-20 | 无锡微研有限公司 | 超细微电火花加工机床的ccd摄像测量模块 |
| KR101209865B1 (ko) | 2012-04-30 | 2012-12-18 | 위효종 | 호환성을 갖는 방전기용 피가공품 가공 확인용 광학장치 |
| CN104741710A (zh) * | 2015-03-26 | 2015-07-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于生物显微镜的加工测量一体化手提式电火花加工机床 |
| KR102606566B1 (ko) * | 2023-04-24 | 2023-11-29 | 이세영 | 방전가공 장치를 포함하는 시스템 |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP28272597A patent/JPH11104919A/ja active Pending
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| KR101209865B1 (ko) | 2012-04-30 | 2012-12-18 | 위효종 | 호환성을 갖는 방전기용 피가공품 가공 확인용 광학장치 |
| CN104741710A (zh) * | 2015-03-26 | 2015-07-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于生物显微镜的加工测量一体化手提式电火花加工机床 |
| KR102606566B1 (ko) * | 2023-04-24 | 2023-11-29 | 이세영 | 방전가공 장치를 포함하는 시스템 |
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