JPH1093374A - 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタInfo
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- JPH1093374A JPH1093374A JP30489697A JP30489697A JPH1093374A JP H1093374 A JPH1093374 A JP H1093374A JP 30489697 A JP30489697 A JP 30489697A JP 30489697 A JP30489697 A JP 30489697A JP H1093374 A JPH1093374 A JP H1093374A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡易且つ低コストで製造できるＩＤＴ電極を
有する弾性表面波デバイス、及びこの弾性表面波デバイ
スを用いた低損入損失の弾性表面波フィルタを提供す
る。 【解決手段】 圧電基板１の表面にＩＤＴ電極３０を配
置した弾性表面波デバイスにおいて、ＩＤＴ電極３０
は、基本動作周波数での波長をλとして、順に電極指幅
λ／８の第１の正電極指９及び第２の正電極指１０、電
極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極１１、電極指幅
λ／８の解放型の浮き電極１４、電極指幅λ／８の第２
の短絡型の浮き電極１２、電極指幅λ／８の解放型の浮
き電極１５、電極指幅λ／８の第１の負電極指１６及び
第２の負電極指７を、それぞれ間隙幅λ／８をあけて並
設するとともに、第１、第２の短絡型の浮き電極１１、
１２間をリード電極１３で接続してなる電極パターンを
半周期分の電極パターンとして有する構造とした。ま
た、解放型浮き電極指１３、１５同士を接続した。
有する弾性表面波デバイス、及びこの弾性表面波デバイ
スを用いた低損入損失の弾性表面波フィルタを提供す
る。 【解決手段】 圧電基板１の表面にＩＤＴ電極３０を配
置した弾性表面波デバイスにおいて、ＩＤＴ電極３０
は、基本動作周波数での波長をλとして、順に電極指幅
λ／８の第１の正電極指９及び第２の正電極指１０、電
極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極１１、電極指幅
λ／８の解放型の浮き電極１４、電極指幅λ／８の第２
の短絡型の浮き電極１２、電極指幅λ／８の解放型の浮
き電極１５、電極指幅λ／８の第１の負電極指１６及び
第２の負電極指７を、それぞれ間隙幅λ／８をあけて並
設するとともに、第１、第２の短絡型の浮き電極１１、
１２間をリード電極１３で接続してなる電極パターンを
半周期分の電極パターンとして有する構造とした。ま
た、解放型浮き電極指１３、１５同士を接続した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、トランスバーサル
型弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波デバイスに
関するものであり、より詳細にはインターディジタルト
ランスジューサ（以下ＩＤＴと称す）電極指間に浮き電
極を設けた内部反射型一方向性弾性表面波デバイス、及
びこの一方向性弾性表面波デバイスを用いた弾性表面波
フィルタに関するものである。
型弾性表面波フィルタを構成する弾性表面波デバイスに
関するものであり、より詳細にはインターディジタルト
ランスジューサ（以下ＩＤＴと称す）電極指間に浮き電
極を設けた内部反射型一方向性弾性表面波デバイス、及
びこの一方向性弾性表面波デバイスを用いた弾性表面波
フィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電基板上にＩＤＴ電極を配置してなる
一方向性弾性表面波デバイスを用い、ＩＤＴ電極の左右
双方向に伝搬する波動を送受（入出力）するタイプのト
ランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいては、基本
的に６ｄＢの挿入損失が存在する。そこで、この挿入損
失を減少させるべく、従来から各種の一方向性弾性表面
波デバイスが提案されてきた。これらの一方向性弾性表
面波デバイスは大別すると、 （ａ）３種のＩＤＴ電極指に各々零度、１２０度及び２
４０度の位相差を有する信号を印加する三相一方向性弾
性表面波デバイス。 （ｂ）一般のＩＤＴ電極指間を縫ってミアンダラインを
設け、これを接地するグルーブ型一方向性弾性表面波デ
バイス。 （ｃ）アルミニウムＩＤＴ電極指を金のような大密度金
属の電極指（弾性表面波反射用）とペアとし弾性表面波
の中心と反射の中心との間隔を励起した波動の波長の１
／８とした内部反射一方向性表面波デバイス。の三種が
存在する。 しかし、（ａ）の三相一方向性弾性表面波デバイスは広
い周波数範囲で波動伝搬の一方向性が保たれるものの３
本のバスバーの１本から延びる電極指を他の１本のバス
バー上をオーバーブリッジさせる必要があるため、製造
が極めて困難であり、そのために製造コストが高くなる
ばかりでなく、かなり複雑な位相器を要するという欠点
があった。また、（ｂ）のグルーブ型一方向性弾性表面
波デバイスも従来の構造ではミアンダラインの総延長が
長くなり、オーミックな損失に基づくフィルタの損入損
失が大きくなるという欠点があった。また、（ｃ）の内
部反射一方向性弾性表面波デバイスは位相器は不要であ
るもののアルミニウム電極指の他にこれとペアになる金
電極指を別途蒸着する必要があり、工程が複雑になると
いう欠点があった。
一方向性弾性表面波デバイスを用い、ＩＤＴ電極の左右
双方向に伝搬する波動を送受（入出力）するタイプのト
ランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいては、基本
的に６ｄＢの挿入損失が存在する。そこで、この挿入損
失を減少させるべく、従来から各種の一方向性弾性表面
波デバイスが提案されてきた。これらの一方向性弾性表
面波デバイスは大別すると、 （ａ）３種のＩＤＴ電極指に各々零度、１２０度及び２
４０度の位相差を有する信号を印加する三相一方向性弾
性表面波デバイス。 （ｂ）一般のＩＤＴ電極指間を縫ってミアンダラインを
設け、これを接地するグルーブ型一方向性弾性表面波デ
バイス。 （ｃ）アルミニウムＩＤＴ電極指を金のような大密度金
属の電極指（弾性表面波反射用）とペアとし弾性表面波
の中心と反射の中心との間隔を励起した波動の波長の１
／８とした内部反射一方向性表面波デバイス。の三種が
存在する。 しかし、（ａ）の三相一方向性弾性表面波デバイスは広
い周波数範囲で波動伝搬の一方向性が保たれるものの３
本のバスバーの１本から延びる電極指を他の１本のバス
バー上をオーバーブリッジさせる必要があるため、製造
が極めて困難であり、そのために製造コストが高くなる
ばかりでなく、かなり複雑な位相器を要するという欠点
があった。また、（ｂ）のグルーブ型一方向性弾性表面
波デバイスも従来の構造ではミアンダラインの総延長が
長くなり、オーミックな損失に基づくフィルタの損入損
失が大きくなるという欠点があった。また、（ｃ）の内
部反射一方向性弾性表面波デバイスは位相器は不要であ
るもののアルミニウム電極指の他にこれとペアになる金
電極指を別途蒸着する必要があり、工程が複雑になると
いう欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
一方向性弾性表面波デバイスはどれも、製造の容易性、
コスト、及び性能の全ての面を同時に満足するものでは
なかった。またこのため、従来の一方向性弾性表面波デ
バイスを用いたフィルタは、製造工程が複雑でコスト高
であり、損入損失が大きいといった欠点を有していた。
そこで本発明の解決すべき課題は、上述した従来の技術
の欠点を解消し、従来のものよりも簡易且つ低コストで
製造できる弾性表面波デバイス、及びこの弾性表面波デ
バイスを用いた損入損失の小さい弾性表面波フィルタを
提供することにある。
一方向性弾性表面波デバイスはどれも、製造の容易性、
コスト、及び性能の全ての面を同時に満足するものでは
なかった。またこのため、従来の一方向性弾性表面波デ
バイスを用いたフィルタは、製造工程が複雑でコスト高
であり、損入損失が大きいといった欠点を有していた。
そこで本発明の解決すべき課題は、上述した従来の技術
の欠点を解消し、従来のものよりも簡易且つ低コストで
製造できる弾性表面波デバイス、及びこの弾性表面波デ
バイスを用いた損入損失の小さい弾性表面波フィルタを
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、圧電基板の表面にＩＤＴ電
極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性
表面波を受信する弾性表面波デバイスに関するものであ
り、前記ＩＤＴ電極は、基本動作周波数での波長をλと
して、順に電極指幅λ／８の第１の正電極指、電極指幅
λ／８の第２の正電極指、電極指幅λ／８の第１の短絡
型の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電
極指幅λ／８の第２の短絡型の浮き電極、電極指幅λ／
８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／８の第１の負電極
指、及び電極指幅λ／８の第２の負電極指を、それぞれ
間隙幅λ／８をあけて並設するとともに、第１の短絡型
の浮き電極と第２の短絡型の浮き電極とをリード電極で
相互に接続してなる電極パターンを半周期分の電極パタ
ーンとして有する一方向性変換器であることを特徴とし
ている。また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の
弾性表面波デバイスを構成する前記解放型浮き電極指同
士を接続したことを特徴としている。また、請求項３記
載の発明は、請求項１または２記載の弾性表面波デバイ
スが高調波で動作するものであることを特徴としてい
る。また、請求項４記載の発明は、圧電基板の中央に周
波数によって方向性の異なるグルーブ型の一方向性変換
器あるいは一方向性変換器を配置し、その両側にそれぞ
れ中央方向に方向性をもつ弾性表面波デバイスを配置し
てなる弾性表面波フィルタに関するものであり、前記弾
性表面波デバイスは、圧電基板の表面にＩＤＴ電極を配
置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波
を受信するデバイスであって、前記ＩＤＴ電極は、基本
動作周波数での波長をλとして、順に電極指幅λ／８の
第１の正電極指、電極指幅λ／８の第２の正電極指、電
極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極、電極指幅λ／
８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／８の第２の短絡型
の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電極
指幅λ／８の第１の負電極指、及び電極指幅λ／８の第
２の負電極指を、それぞれ間隙幅λ／８をあけて並設す
るとともに、第１の短絡型の浮き電極と第２の短絡型の
浮き電極とをリード電極で相互に接続してなる電極パタ
ーンを半周期分の電極パターンとして有する一方向性変
換器であることを特徴としている。
に、請求項１記載の発明は、圧電基板の表面にＩＤＴ電
極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性
表面波を受信する弾性表面波デバイスに関するものであ
り、前記ＩＤＴ電極は、基本動作周波数での波長をλと
して、順に電極指幅λ／８の第１の正電極指、電極指幅
λ／８の第２の正電極指、電極指幅λ／８の第１の短絡
型の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電
極指幅λ／８の第２の短絡型の浮き電極、電極指幅λ／
８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／８の第１の負電極
指、及び電極指幅λ／８の第２の負電極指を、それぞれ
間隙幅λ／８をあけて並設するとともに、第１の短絡型
の浮き電極と第２の短絡型の浮き電極とをリード電極で
相互に接続してなる電極パターンを半周期分の電極パタ
ーンとして有する一方向性変換器であることを特徴とし
ている。また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の
弾性表面波デバイスを構成する前記解放型浮き電極指同
士を接続したことを特徴としている。また、請求項３記
載の発明は、請求項１または２記載の弾性表面波デバイ
スが高調波で動作するものであることを特徴としてい
る。また、請求項４記載の発明は、圧電基板の中央に周
波数によって方向性の異なるグルーブ型の一方向性変換
器あるいは一方向性変換器を配置し、その両側にそれぞ
れ中央方向に方向性をもつ弾性表面波デバイスを配置し
てなる弾性表面波フィルタに関するものであり、前記弾
性表面波デバイスは、圧電基板の表面にＩＤＴ電極を配
置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波
を受信するデバイスであって、前記ＩＤＴ電極は、基本
動作周波数での波長をλとして、順に電極指幅λ／８の
第１の正電極指、電極指幅λ／８の第２の正電極指、電
極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極、電極指幅λ／
８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／８の第２の短絡型
の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電極
指幅λ／８の第１の負電極指、及び電極指幅λ／８の第
２の負電極指を、それぞれ間隙幅λ／８をあけて並設す
るとともに、第１の短絡型の浮き電極と第２の短絡型の
浮き電極とをリード電極で相互に接続してなる電極パタ
ーンを半周期分の電極パターンとして有する一方向性変
換器であることを特徴としている。
【０００５】また、請求項５記載の発明は、同一の圧電
基板上にそれぞれ周波数特性の異なる複数の弾性表面波
デバイスを配置してなる弾性表面波フィルタに関するも
のであり、前記弾性表面波デバイスは、圧電基板の表面
にＩＤＴ電極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬し
てきた弾性表面波を受信するデバイスであって、前記Ｉ
ＤＴ電極は、基本動作周波数での波長をλとして、順に
電極指幅λ／８の第１の正電極指、電極指幅λ／８の第
２の正電極指、電極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電
極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／
８の第２の短絡型の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型
の浮き電極、電極指幅λ／８の第１の負電極指、及び電
極指幅λ／８の第２の負電極指を、それぞれ間隙幅λ／
８をあけて並設するとともに、第１の短絡型の浮き電極
と第２の短絡型の浮き電極とをリード電極で相互に接続
してなる電極パターンを半周期分の電極パターンとして
有する一方向性変換器であることを特徴としている。ま
た、請求項６記載の発明は、請求項４または５記載の弾
性表面波フィルタを構成する前記解放型浮き電極指同士
を接続したことを特徴としている。また、請求項７記載
の発明は、請求項４または５記載の弾性表面波フィルタ
が高調波で動作するものであることを特徴としている。
基板上にそれぞれ周波数特性の異なる複数の弾性表面波
デバイスを配置してなる弾性表面波フィルタに関するも
のであり、前記弾性表面波デバイスは、圧電基板の表面
にＩＤＴ電極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬し
てきた弾性表面波を受信するデバイスであって、前記Ｉ
ＤＴ電極は、基本動作周波数での波長をλとして、順に
電極指幅λ／８の第１の正電極指、電極指幅λ／８の第
２の正電極指、電極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電
極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／
８の第２の短絡型の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型
の浮き電極、電極指幅λ／８の第１の負電極指、及び電
極指幅λ／８の第２の負電極指を、それぞれ間隙幅λ／
８をあけて並設するとともに、第１の短絡型の浮き電極
と第２の短絡型の浮き電極とをリード電極で相互に接続
してなる電極パターンを半周期分の電極パターンとして
有する一方向性変換器であることを特徴としている。ま
た、請求項６記載の発明は、請求項４または５記載の弾
性表面波フィルタを構成する前記解放型浮き電極指同士
を接続したことを特徴としている。また、請求項７記載
の発明は、請求項４または５記載の弾性表面波フィルタ
が高調波で動作するものであることを特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示した実施
の形態に基づいて詳細に説明する。さて、実施の形態の
説明に入る前に本発明の理解を助けるために、本発明を
なすに至った基本的な考え方について説明する。圧電基
板上に通常一般の正負ＩＤＴ電極を設け、それぞれの電
極指の間隔をλ／２とし、これら両電極間に周波数ｆ＝
ｖ／λ（ただし、ｖは励起する波動の伝搬速度）なる交
流電界を印加すれば、λにほぼ等しい弾性表面波が励起
され、励起した弾性表面波は基板表面をＩＤＴ電極指列
にそって左右均等に伝搬することは周知である。ここで
図２のように、圧電基板（図示省略）上に正負ＩＤＴ電
極２、３を設け、これからすだれ状に延びるＩＤＴ電極
指２ａ、３ｂの幅Ｌ１及びこれらの電極指間の空隙の幅
Ｌ２を例えばλ／８と仮定し、電極指間隙間にいずれの
部分とも電気的に非接続の幅Ｌ１の浮き電極指４ａを設
けたとしても電極構成の対称性の為、前記ＩＤＴ電極指
によって励起された波動の前記浮き電極４ａ、４ａによ
る反射は左右均等になされるので、このような電極構成
を有するデバイスの波動伝搬はやはり左右均等である。
そこで、図２の電極指列の対称性をくずせば、励起波と
反射波との対称性が崩れ、ＩＤＴ電極指列の左右いずれ
か一方に伝搬する波動エネルギーが大となるであろう。
の形態に基づいて詳細に説明する。さて、実施の形態の
説明に入る前に本発明の理解を助けるために、本発明を
なすに至った基本的な考え方について説明する。圧電基
板上に通常一般の正負ＩＤＴ電極を設け、それぞれの電
極指の間隔をλ／２とし、これら両電極間に周波数ｆ＝
ｖ／λ（ただし、ｖは励起する波動の伝搬速度）なる交
流電界を印加すれば、λにほぼ等しい弾性表面波が励起
され、励起した弾性表面波は基板表面をＩＤＴ電極指列
にそって左右均等に伝搬することは周知である。ここで
図２のように、圧電基板（図示省略）上に正負ＩＤＴ電
極２、３を設け、これからすだれ状に延びるＩＤＴ電極
指２ａ、３ｂの幅Ｌ１及びこれらの電極指間の空隙の幅
Ｌ２を例えばλ／８と仮定し、電極指間隙間にいずれの
部分とも電気的に非接続の幅Ｌ１の浮き電極指４ａを設
けたとしても電極構成の対称性の為、前記ＩＤＴ電極指
によって励起された波動の前記浮き電極４ａ、４ａによ
る反射は左右均等になされるので、このような電極構成
を有するデバイスの波動伝搬はやはり左右均等である。
そこで、図２の電極指列の対称性をくずせば、励起波と
反射波との対称性が崩れ、ＩＤＴ電極指列の左右いずれ
か一方に伝搬する波動エネルギーが大となるであろう。
【０００７】図１は上述した如き考え方に基づいて構成
した本発明にかかる弾性表面波デバイスの実施の形態の
一例を示す電極構成図であって、図中左端から右端に向
けてＩＤＴ電極３０を構成する各電極指の幅を順に設定
するものとする。この例では、基本動作周波数での波長
をλとして、順に、正電極３に接続されている電極指幅
λ／８の第１の正電極指９及び第２の正電極指１０、電
極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極１１、電極指幅
λ／８の解放型の浮き電極１４、電極指幅λ／８の第２
の短絡型の浮き電極１２、電極指幅λ／８の解放型の浮
き電極１５、負電極２に接続されている電極指幅λ／８
の第１の負電極指１６及び第２の負電極指１７を、それ
ぞれ間隙幅λ／８をあけて圧電基板１上に並設するとと
もに、第１の短絡型の浮き電極１１と第２の短絡型の浮
き電極１２とをリード電極１３で相互に接続してなる。
その結果、正電極３の電極指９と負電極２の電極指１７
との間に間隙はほぼλ／８とした電極パターンが形成さ
れ、これを半周期とする一方向性変換器構造が得られ
る。このような構造に於いては、励起した波動エネルギ
ーが一方向に強く伝搬する。この場合、電極指幅及び電
極指間間隙は必ずしも正確にこれらの値である必要はな
く、中心周波数で各々の波の位相が同位相となるような
値であればよく、ＩＤＴ変換器の帯域幅を考えると、±
８０％の範囲が適当である。また、解放型浮き電極指１
４、１５を相互に接続した構造とすることにより、大き
な反射係数をもった一方向性変換器としての弾性表面波
デバイスが得られる。また、上記弾性表面波デバイス
は、基本動作周波数ｆ0 の２倍、３倍、・・、ｎ倍のど
の高周波でも動作可能である。
した本発明にかかる弾性表面波デバイスの実施の形態の
一例を示す電極構成図であって、図中左端から右端に向
けてＩＤＴ電極３０を構成する各電極指の幅を順に設定
するものとする。この例では、基本動作周波数での波長
をλとして、順に、正電極３に接続されている電極指幅
λ／８の第１の正電極指９及び第２の正電極指１０、電
極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極１１、電極指幅
λ／８の解放型の浮き電極１４、電極指幅λ／８の第２
の短絡型の浮き電極１２、電極指幅λ／８の解放型の浮
き電極１５、負電極２に接続されている電極指幅λ／８
の第１の負電極指１６及び第２の負電極指１７を、それ
ぞれ間隙幅λ／８をあけて圧電基板１上に並設するとと
もに、第１の短絡型の浮き電極１１と第２の短絡型の浮
き電極１２とをリード電極１３で相互に接続してなる。
その結果、正電極３の電極指９と負電極２の電極指１７
との間に間隙はほぼλ／８とした電極パターンが形成さ
れ、これを半周期とする一方向性変換器構造が得られ
る。このような構造に於いては、励起した波動エネルギ
ーが一方向に強く伝搬する。この場合、電極指幅及び電
極指間間隙は必ずしも正確にこれらの値である必要はな
く、中心周波数で各々の波の位相が同位相となるような
値であればよく、ＩＤＴ変換器の帯域幅を考えると、±
８０％の範囲が適当である。また、解放型浮き電極指１
４、１５を相互に接続した構造とすることにより、大き
な反射係数をもった一方向性変換器としての弾性表面波
デバイスが得られる。また、上記弾性表面波デバイス
は、基本動作周波数ｆ0 の２倍、３倍、・・、ｎ倍のど
の高周波でも動作可能である。
【０００８】図３は本発明の弾性表面波フィルタの実施
の形態の一例を示した概略斜視図である。図示するよう
に、この弾性表面波フィルタは、中心周波数ｆ1 、ｆ2
によって方向性の異なる一方向性変換器２３の両側に、
図１に示した構造の弾性表面波デバイス２４、２５を配
置してなる。なお、中心周波数はｆ1 、ｆ2 の２種類に
限らず３種類以上（ｆ1 、ｆ2 ｆ3 、・・）としてもよ
い。上記弾性表面波フィルタにおいて、各弾性表面波デ
バイス２４、２５の解放型浮き電極指（１４、１５）を
相互に接続することにより、大きな反射係数をもった弾
性表面波フィルタが得られる。また、上記弾性表面波フ
ィルタは、基本動作周波数ｆ0 の２倍、３倍、・・、ｎ
倍のどの高周波でも動作可能である。上記のように構成
したことにより、この実施の形態の弾性表面波デバイス
は、従来の技術として示した三相一方向性弾性表面波デ
バイスのように３本のバスバーの１本から延びる電極指
を他の１本のバスバー上をオーバーブリッジさせる必要
がなく、また従来の内部反射一方向性弾性表面波デバイ
スのようにアルミニウム電極指の他にこれとペアになる
金電極指を別途蒸着する必要もなく、唯一度の蒸着、露
光、エッチング工程を以て電極形成が可能であるので、
簡易且つ低コストで製造できる。また、上記弾性表面波
デバイスを用いたフィルタは、従来の技術に示したグル
ーブ型一方向性弾性表面波デバイスを用いたフィルタに
おけるようなオーミックな損失など、挿入損失を発生す
る格別な要因が存在せず、一方向性変換器が本質的に有
するＴＴＥ（トリプルトランジェットエコー）に基づく
リップルも少ないため極めて低挿入損失である。図４
は、図１に示した電極構成における周波数特性の測定結
果を示すものである。この測定結果から中心周波数４１
５ＭＨｚで挿入損失４．１ｄＢという良好な値が得られ
ることがわかる。なお、図１の例では図示下側の電極２
を負電極、上側の電極３を正電極としたが、下側の電極
２を正電極、上側の電極３を負電極としてもよいことは
無論である。
の形態の一例を示した概略斜視図である。図示するよう
に、この弾性表面波フィルタは、中心周波数ｆ1 、ｆ2
によって方向性の異なる一方向性変換器２３の両側に、
図１に示した構造の弾性表面波デバイス２４、２５を配
置してなる。なお、中心周波数はｆ1 、ｆ2 の２種類に
限らず３種類以上（ｆ1 、ｆ2 ｆ3 、・・）としてもよ
い。上記弾性表面波フィルタにおいて、各弾性表面波デ
バイス２４、２５の解放型浮き電極指（１４、１５）を
相互に接続することにより、大きな反射係数をもった弾
性表面波フィルタが得られる。また、上記弾性表面波フ
ィルタは、基本動作周波数ｆ0 の２倍、３倍、・・、ｎ
倍のどの高周波でも動作可能である。上記のように構成
したことにより、この実施の形態の弾性表面波デバイス
は、従来の技術として示した三相一方向性弾性表面波デ
バイスのように３本のバスバーの１本から延びる電極指
を他の１本のバスバー上をオーバーブリッジさせる必要
がなく、また従来の内部反射一方向性弾性表面波デバイ
スのようにアルミニウム電極指の他にこれとペアになる
金電極指を別途蒸着する必要もなく、唯一度の蒸着、露
光、エッチング工程を以て電極形成が可能であるので、
簡易且つ低コストで製造できる。また、上記弾性表面波
デバイスを用いたフィルタは、従来の技術に示したグル
ーブ型一方向性弾性表面波デバイスを用いたフィルタに
おけるようなオーミックな損失など、挿入損失を発生す
る格別な要因が存在せず、一方向性変換器が本質的に有
するＴＴＥ（トリプルトランジェットエコー）に基づく
リップルも少ないため極めて低挿入損失である。図４
は、図１に示した電極構成における周波数特性の測定結
果を示すものである。この測定結果から中心周波数４１
５ＭＨｚで挿入損失４．１ｄＢという良好な値が得られ
ることがわかる。なお、図１の例では図示下側の電極２
を負電極、上側の電極３を正電極としたが、下側の電極
２を正電極、上側の電極３を負電極としてもよいことは
無論である。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、従
来よりも簡易且つ低コストで製造できる弾性表面波デバ
イス、及びこの弾性表面波デバイスを用いた損入損失の
小さい弾性表面波フィルタを提供することができる。
来よりも簡易且つ低コストで製造できる弾性表面波デバ
イス、及びこの弾性表面波デバイスを用いた損入損失の
小さい弾性表面波フィルタを提供することができる。
【図１】（ａ）は本発明に係る弾性表面波デバイスの実
施の形態を示す電極構成の平面図、（ｂ）は断面図であ
る。
施の形態を示す電極構成の平面図、（ｂ）は断面図であ
る。
【図２】本発明に至る過程の説明に用いた平面図であ
る。
る。
【図３】本発明に係る弾性表面波フィルタの実施の形態
を示す概略斜視図である。
を示す概略斜視図である。
【図４】図１に示した電極構成における周波数特性の測
定結果を示す図である。
定結果を示す図である。
１ 圧電基板、２ 負電極、３ 正電極、９ 第１の正
電極指、１０ 第２の正電極指、１１ 第１の短絡型の
浮き電極、１２ 第２の短絡型の浮き電極、１３ リー
ド電極、１４ 解放型の浮き電極、１５ 解放型の浮き
電極、１６ 第１の負電極指、１７ 第２の負電極指、
２３ 一方向性変換器、２４ 弾性表面波デバイス、２
５ 弾性表面波デバイス、３０ ＩＤＴ電極。
電極指、１０ 第２の正電極指、１１ 第１の短絡型の
浮き電極、１２ 第２の短絡型の浮き電極、１３ リー
ド電極、１４ 解放型の浮き電極、１５ 解放型の浮き
電極、１６ 第１の負電極指、１７ 第２の負電極指、
２３ 一方向性変換器、２４ 弾性表面波デバイス、２
５ 弾性表面波デバイス、３０ ＩＤＴ電極。
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電基板の表面にインターディジタル・
トランスジューサ電極を配置して弾性表面波を励振或い
は伝搬してきた弾性表面波を受信する弾性表面波デバイ
スにおいて、 前記インターディジタル・トランスジューサ電極は、基
本動作周波数での波長をλとして、順に電極指幅λ／８
の第１の正電極指、電極指幅λ／８の第２の正電極指、
電極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極、電極指幅λ
／８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／８の第２の短絡
型の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電
極指幅λ／８の第１の負電極指、及び電極指幅λ／８の
第２の負電極指を、それぞれ間隙幅λ／８をあけて並設
するとともに、第１の短絡型の浮き電極と第２の短絡型
の浮き電極とをリード電極で相互に接続してなる電極パ
ターンを半周期分の電極パターンとして有する一方向性
変換器であることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 【請求項２】 前記解放型浮き電極指同士を接続したこ
とを特徴とする請求項１記載の弾性表面波デバイス。 - 【請求項３】 高調波で動作させることを特徴とする請
求項１または２記載の弾性表面波デバイス。 - 【請求項４】 圧電基板の中央に周波数によって方向性
の異なるグルーブ型の一方向性変換器あるいは一方向性
変換器を配置し、その両側にそれぞれ中央方向に方向性
をもつ弾性表面波デバイスを配置してなる弾性表面波フ
ィルタにおいて、 前記弾性表面波デバイスは、圧電基板の表面にインター
ディジタル・トランスジューサ電極を配置して弾性表面
波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受信するデバ
イスであって、 前記インターディジタル・トランスジューサ電極は、基
本動作周波数での波長をλとして、順に電極指幅λ／８
の第１の正電極指、電極指幅λ／８の第２の正電極指、
電極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極、電極指幅λ
／８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／８の第２の短絡
型の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電
極指幅λ／８の第１の負電極指、及び電極指幅λ／８の
第２の負電極指を、それぞれ間隙幅λ／８をあけて並設
するとともに、第１の短絡型の浮き電極と第２の短絡型
の浮き電極とをリード電極で相互に接続してなる電極パ
ターンを半周期分の電極パターンとして有する一方向性
変換器であることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】 同一の圧電基板上にそれぞれ周波数特性
の異なる複数の弾性表面波デバイスを配置してなる弾性
表面波フィルタにおいて、 前記弾性表面波デバイスは、圧電基板の表面にインター
ディジタル・トランスジューサ電極を配置して弾性表面
波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受信するデバ
イスであって、 前記インターディジタル・トランスジューサ電極は、基
本動作周波数での波長をλとして、順に電極指幅λ／８
の第１の正電極指、電極指幅λ／８の第２の正電極指、
電極指幅λ／８の第１の短絡型の浮き電極、電極指幅λ
／８の解放型の浮き電極、電極指幅λ／８の第２の短絡
型の浮き電極、電極指幅λ／８の解放型の浮き電極、電
極指幅λ／８の第１の負電極指、及び電極指幅λ／８の
第２の負電極指を、それぞれ間隙幅λ／８をあけて並設
するとともに、第１の短絡型の浮き電極と第２の短絡型
の浮き電極とをリード電極で相互に接続してなる電極パ
ターンを半周期分の電極パターンとして有する一方向性
変換器であることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項６】 前記解放型浮き電極指同士を接続したこ
とを特徴とする請求項４または５記載の弾性表面波フィ
ルタ。 - 【請求項７】 高調波で動作させることを特徴とする請
求項４または５記載の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30489697A JP2878671B2 (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30489697A JP2878671B2 (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1344858A Division JP2779675B2 (ja) | 1989-12-31 | 1989-12-31 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1093374A true JPH1093374A (ja) | 1998-04-10 |
| JP2878671B2 JP2878671B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=17938597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30489697A Expired - Fee Related JP2878671B2 (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2878671B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006157536A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Epson Toyocom Corp | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
| JP2006253784A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
| JP2006261744A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Epson Toyocom Corp | トランスバーサル型ｓａｗフィルタ |
| JP2006319600A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
| KR100691600B1 (ko) | 2005-04-28 | 2007-03-12 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 필터 및 분파기 |
| CN108512525A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-09-07 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种声表面横波谐振滤波器 |
-
1997
- 1997-10-20 JP JP30489697A patent/JP2878671B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006157536A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Epson Toyocom Corp | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
| JP4561337B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2010-10-13 | エプソントヨコム株式会社 | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
| JP2006253784A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
| JP2006261744A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Epson Toyocom Corp | トランスバーサル型ｓａｗフィルタ |
| KR100691600B1 (ko) | 2005-04-28 | 2007-03-12 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 필터 및 분파기 |
| JP2006319600A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
| CN108512525A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-09-07 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种声表面横波谐振滤波器 |
| CN108512525B (zh) * | 2018-04-18 | 2022-02-11 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种声表面横波谐振滤波器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2878671B2 (ja) | 1999-04-05 |
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