JPH1090877A

JPH1090877A - ペリクル貼付装置

Info

Publication number: JPH1090877A
Application number: JP26114996A
Authority: JP
Inventors: Akimitsu Ebihara; 明光蛯原
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-09-11
Filing date: 1996-09-11
Publication date: 1998-04-10
Also published as: KR19980024237A

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、ペリクルを一面に張り渡した矩形形
状のフレームをレチクルに貼り付けるペリクル貼付装置
に関し、大きさの異なる複数の矩形フレームに対して押
圧板を交換せずにペリクルをレチクルに貼付することの
できるペリクル貼付装置を提供することを目的とする。【解決手段】表面にペリクルが張り渡され、裏面の各辺
部に接着領域が形成された矩形フレームを把持して、レ
チクルに接触させた接着領域を押圧して矩形フレームを
レチクルに圧着する圧着部５０の押圧板３６は、テーブ
ル５１上に設けられ、矩形フレームの各辺部の接着領域
の長さに対応して押圧領域の長さを変更できるようにス
ライダー７２ａ〜７２ｄ上にスライド可能に設けられた
複数の圧着板５２ａ〜５２ｄを有するように構成されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ペリクルを一面に
張り渡した矩形形状のフレームをレチクルに貼り付ける
ペリクル貼付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体装置の集積度は飛躍的に高
まり、例えばメモリにあっては６４Ｍビットメモリや２
５６Ｍビットメモリの開発が進められており、素子の高
集積度に対する要求がさらに強くなってきている。ま
た、液晶表示装置にあっては、表示領域の大型化高精細
化に伴い表示画素の微細化が進んできている。これら半
導体装置あるいは液晶表示装置の製造にはフォトリソグ
ラフィ技術が用いられ、投影型露光装置を用いてフォト
マスクやレチクル（以下レチクルと言う）上のパターン
を基板に露光転写する工程が含まれている。しかしなが
ら上述のような素子の高集積化、微細化が進んでくる
と、レチクルに付着した異物（ゴミ）の像が上記露光工
程において基板上に露光されてしまうことを原因とする
素子の欠陥が生じやすくなってくる。このため、レチク
ル表面（特にパターン形成面）に異物が付着しないよう
に従来より、レチクルの表面から一定の高さ（５〜９ｍ
ｍ程度）に光学的に安定した透明な高分子薄膜（ペリク
ル）を張り渡すようにしている。

【０００３】このペリクルを片面に張り渡した矩形フレ
ームを図８に示す。図８において、ペリクル１００は矩
形形状の矩形フレーム１０２の表面全面に均一に張り渡
されている。矩形フレーム１０２の裏面側の各辺には、
レチクルに貼り付けるための接着剤層１０４が形成され
ている。図示は省略したが、通常レチクルに貼付される
までは接着剤層１０４表面はライナーで被覆されてい
る。また、矩形フレーム１０２及び接着剤層１０４の高
さｈを所定の長さ（５〜９ｍｍ程度）にすることによ
り、矩形フレーム１０２をレチクルに貼付した際仮にペ
リクル１００上に異物が付着したとしても異物の像が感
光基板上で焦点を結ばないようにしている。矩形フレー
ム１０２の長手方向の両側面には２ヶ所ずつ合計４ヶ所
の円錐形の凹部１２６が設けられている。後述するペリ
クル貼付装置に設けられた把持ピンをこの凹部１２６に
挿入することにより矩形フレーム１０２がペリクル貼付
装置に把持されるようになっている。

【０００４】次に、表面にペリクル１００が張り渡さ
れ、裏面の各辺に接着剤層１０４が形成された矩形フレ
ーム１０２（以下、特に断らない限り単に矩形フレーム
１０２と略称する）をレチクルに貼付する従来のペリク
ル貼付方法及び貼付装置を図６を用いて簡単に説明す
る。まず２本のアーム１１０、１２０が取り付けられた
ポスト１０８及び、矩形フレーム１０２が収納されたケ
ース１１６を複数格納したライブラリ１１４がテーブル
１０６上に設置されている。アーム１１０先端部には、
矩形フレーム１０２を把持してレチクルに押し当てる圧
着部の押圧板１１２が鉛直下方に向かって取り付けられ
ている。アーム１２０先端部には、レチクル１２４を載
置するレチクル載置台１２２が鉛直上方に向かって取り
付けられている。ケース１１６から取り出された矩形フ
レーム１０２は、図中矢印Ａの如く図示しない移動手段
により移動され、押圧板１１２において図示しない把持
ピンを矩形フレームの凹部１２６に挿入してより把持し
た後、アーム１１０、１２０を図中矢印Ｂの如く鉛直方
向に移動させることによりレチクル１２４に押しつけら
れて貼付される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】さて、半導体装置の製
造における露光工程では、基板上に複数の回路パターン
を積層させるために多数枚のレチクルが用いられる。こ
れらのレチクルのガラス基板は大きさ、厚さがそれぞれ
異なる場合があり、またレチクル上に形成した回路パタ
ーン領域の形状もそれぞれ異なる場合が多いので、レチ
クル上のペリクルを貼付する領域及びレチクルからペリ
クルまでの高さは、レチクルによってそれぞれ異なって
いた。従って、それぞれのレチクルに応じて矩形フレー
ム１０２の大きさや、厚さがそれぞれ異なる種々の矩形
フレーム１０２が用いられる。従って、上述のような従
来のペリクル貼付装置においては、種々の大きさ、厚さ
の矩形フレーム１０２に対応してそれらを把持、押圧で
きる複数種類の押圧板１１２を準備する必要が生じる。
そして、異なる矩形フレーム１０２が用いられる度に、
押圧板１１２を交換する必要が生じている。

【０００６】また、レチクルのガラス基板の厚さが薄い
場合には、レチクルのパターン形成面の裏面に付着した
異物の像が露光されてしまわないように、レチクル裏面
（非パターン面）にもペリクルを張り渡す必要が生じ
る。そのような場合には、例えば図６に示した従来のペ
リクル貼付装置のアーム１２０側のレチクル載置台１２
２の代わりに鉛直上方に向けて押圧台を設けて矩形フレ
ーム１０２を把持させ、当該矩形フレーム１０２の上に
レチクル１２４を載置してからアーム１１０、１２０を
図中矢印Ｂの如く鉛直方向に移動させて押圧することに
よりレチクル１２４の両面にペリクルを貼付するように
している。

【０００７】しかしながら図７に示すように、上方の押
圧板１１２に把持された矩形フレーム１０２と、下方の
押圧板１１２’に把持された矩形フレーム１０２’上の
レチクル１２４とが平行な位置関係を保ちながら押圧さ
れないときには、レチクル１２４の両面でのペリクルの
張り渡される位置がずれてしまうのに加えて、矩形フレ
ーム１０２、１０２’が均一に押圧されないので接着剤
層１０４がずれながら接着されてしまいレチクル１２４
のガラス面に余計な応力が生じて歪みを生じさせ、ガラ
ス面の平面度が悪化するという問題も生じる。レチクル
１２４のガラス面の平面度が悪化するとその表面に描画
された回路パターンにも歪みが生じるため適正な露光結
果が得られなくなるという問題も生じる。図７におい
て、レチクル１２４から両押圧板１１２、１１２’の回
転中心までの距離がｔ＝３０ｍｍであるとし、貼付位置
ずれ量を０．１ｍｍ以内に収めようとすれば、矩形フレ
ーム１０２とレチクル１２４との相対的な傾きは０．０
９５°（＝ｔａｎ^-1（０．１／（３０＋３０）））以下
にしなければならないが、このような微小角度内に両押
圧板を調整するには多大な技術的困難が伴う。

【０００８】本発明の目的は、大きさの異なる複数の矩
形フレームに対して圧着部の押圧板を交換せずにペリク
ルをレチクルに貼付することのできるペリクル貼付装置
を提供することにある。また本発明の目的は、レチクル
に矩形フレームを貼付する際の位置ずれ量を低減させる
ことができるペリクル貼付装置を提供することにある。
さらに本発明の目的は、レチクルに矩形フレームを貼付
する際に生じるレチクルの歪みを低減させることができ
るペリクル貼付装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に一実施の形態を表す図１乃至図５に対応付けて説明す
ると、請求項１記載の発明は表面にペリクルが張り渡さ
れ、裏面の各辺部に接着領域が形成された矩形フレーム
を把持して、レチクルに接触させた接着領域を押圧して
矩形フレームをレチクルに押圧する押圧部（３６）を有
し、ペリクルをレチクルに貼り付けるペリクル貼付装置
であって、押圧部（３６）は、矩形フレームの大きさに
対応して押圧領域の長さを変更する変更機構（５２ａ〜
５２ｄ、７２ａ〜７２ｄ、８０ａ〜８０ｄ、８４ａ〜８
４ｄ、８４ａ’〜８４ｄ’）を有している。

【００１０】請求項２記載の発明は、変更機構が複数の
圧着板（５２ａ〜５２ｄ、８０ａ〜８０ｄ）から構成さ
れており、この複数の圧着板（５２ａ〜５２ｄ、８０ａ
〜８０ｄ）が同一平面内を移動して押圧領域の大きさを
変更している。請求項３記載の発明は、押圧部（３６）
が支持部により支持され、当該支持部は、矩形フレーム
の４辺で画定される面の中心位置を含む近傍領域内を回
転中心として押圧部（３６）を微小角度回転可能に支持
している。

【００１１】請求項４記載の発明は、支持部（４０）が
複数の柱状支持部材（９８ａ、９８ｂ）から構成された
リンク構造を有している。また請求項５記載の発明は、
支持部（４０）が、複数の柱状支持部材（９８ａ、９８
ｂ）を有し、当該複数の柱状支持部材は弾性材料で形成
されている。

【００１２】本発明によれば、押圧部（３６）が矩形フ
レームの大きさに対応して押圧領域の大きさを変更する
変更機構を有するようにしたので、大きさの異なる複数
の矩形フレームに対して、押圧部を交換せずにペリクル
をレチクルに貼付することができるようになる。また本
発明によれば、押圧部を支持部により支持し、当該支持
部は、矩形フレームの４辺で画定される面の中心位置を
含む近傍領域内を回転中心として押圧部を微小角度回転
可能に支持するようにしたので、レチクルに矩形フレー
ムを貼付する際のずれ量を低減させることができるよう
になる。さらに本発明によれば、支持部が複数の柱状支
持部材から構成されたリンク構造とし、あるいは支持部
が複数の柱状支持部材を有し、当該複数の柱状支持部材
を弾性材料で形成するようにしたので、矩形フレームが
レチクルの傾きにならうことができ、レチクルに矩形フ
レームを貼付する際に生じるレチクルの歪みを低減させ
ることができるようになる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態によるペリク
ル貼付装置を図１乃至図５を用いて説明する。初めに本
実施の形態によるペリクル貼付装置の概略構成を図１に
示す斜視図を用いて説明する。まず、ペリクル貼付のた
めの種々の機構が設置されているテーブル２上は所定の
クリーン度が保たれるようにほぼ密閉されて空調されて
いる。テーブル２上にはペリクル１００を張り渡した矩
形フレーム１０２が収納されたケース（図示を省略）を
複数個格納したペリクルライブラリ４が設置されてい
る。

【００１４】本実施の形態におけるペリクルライブラリ
４は、ケースを格納する複数段からなる格納棚が２列設
けられており、一方の列の棚６にはレチクルのパターン
形成領域側（表面）に貼付すべき矩形フレームが収納さ
れたケースが格納され、他方の棚８にはレチクルの裏面
（非パターン面）に貼付すべき矩形フレームが収納され
たケースが格納されている。本実施の形態においてはこ
のようにレチクルの表面及び裏面にペリクルを貼付する
場合について説明するが、レチクルの表面にのみペリク
ルを貼付する場合には全ての棚に、レチクル表面に貼付
する矩形フレームを収納するケースを格納しておけばよ
い。ペリクルを張り渡した矩形フレームは図８を用いて
既に説明したものと同様である。矩形フレーム１０２を
収納するケースは、矩形フレーム１０２を載置するケー
ストレイと、ケーストレイを上からふさぐ蓋とで構成さ
れている。矩形フレーム１０２はペリクル１００が張り
渡された面が上方に、接着剤層１０４の面が下方になる
ようにケーストレイに載置されている。

【００１５】テーブル２上のペリクルライブラリ４から
所定の位置に、ペリクルライブラリ４に格納された矩形
フレーム１０２を収納したケースを搬送するためのロボ
ット１０が設けられている。ロボット１０は、ポスト１
２を中心にテーブル２面に平行な面内で移動自在なアー
ム１４を有し、アーム１４の先端部にはペリクルライブ
ラリ４に格納されたケースを載置し、あるいは搬出する
ための２本の細い柱状のフォーク１６が設けられてい
る。フォーク１６はアーム１４の先端部において鉛直方
向に移動可能であり、またアーム１４の先端部を中心に
回転できるようになっている。所定の棚に格納されたケ
ースの下面にフォーク１６を差し入れてからフォーク１
６を所定量鉛直上方に移動させてケースを持ち上げ、ケ
ースを棚から遊離させて引き出すようにしてペリクルラ
イブラリ４からケースの搬出が行われる。

【００１６】ペリクルライブラリ４の側方には矩形フレ
ームが収納されたケースの蓋を真空吸着して取り外すケ
ース蓋吸着部３４が設けられている。ケースをフォーク
１６上に載置して搬出したロボット１０は、フォーク１
６をケース蓋吸着部３４の吸着部下部に移動させてケー
スの蓋を吸着させることによりケーストレイ上の矩形フ
レーム１０２を露出させることができる。レチクルライ
ブラリ４及びロボット１０の側方のテーブル２上には直
線状に延びるガイド１８が設けられており、ガイド１８
上をレチクルローダ部２０のポスト２２が移動可能に取
り付けられている。レチクルローダ部２０のポスト２２
の上端部には、テーブル２の面に対して直角方向であっ
てガイド１８を含む面内で回転可能なアーム２４が取り
付けられている。アーム２４の回転端部にはアーム２４
の回転に対して常に水平を維持するように制御可能な２
本の細柱状のフォーク２６が設けられている。

【００１７】ガイド１８の一端部側のテーブル２上に
は、ガイド１８に沿ってレチクルローダ部２０を移動制
御するレチクルローダ駆動部２８が設けられている。レ
チクルローダ駆動部２８上面には複数のレチクルを格納
したレチクルライブラリ３０が設置されている。レチク
ルはパターン描画面（表面）が上方になるように格納さ
れている。レチクルローダ駆動部２８によりガイド１８
上を移動したレチクルローダ部２０は、アーム２４を所
定の回転角だけ回転させて、フォーク２６をレチクルラ
イブラリ３０内の所定のレチクルの下部に差し込んでか
ら所定量鉛直上方に移動させ、レチクルをレチクルライ
ブラリ３０から遊離させて引き出すことができるように
なっている。

【００１８】ガイド１８の他端部側方のテーブル２上に
レチクルアライメント部３２が設けられている。レチク
ルローダ部２０によってレチクルライブラリ３０から引
き出されたレチクルは、レチクルローダ部２０をレチク
ルアライメント部３２まで移動させてフォーク２６上の
レチクルをレチクルアライメント部３２に載置できるよ
うになっている。レチクルアライメント部３２に載置さ
れたレチクルに所定の位置合わせが行われる。

【００１９】ガイド１８の側方であってロボット１０の
フォーク１６及びレチクルローダ部２０のフォーク２６
が共に到達できる位置に、矩形フレーム１０２をレチク
ルに圧着させる圧着部５０が設けられている。圧着部５
０はテーブル２に固定されたポスト４４を有し、ポスト
４４の上端部には固定されたアーム４６が設けられてい
る。アーム４６先端部下面には押圧板支持部４０を介し
て押圧板３６が取り付けられている。押圧板３６の鉛直
下方の面にはレチクルの表面に貼付すべき矩形フレーム
１０２が、本図では図示しない複数の把持ピンにより把
持されるようになっている。

【００２０】ポスト４４の柱状部側面からは２本のアー
ム４２がテーブル２面に対して水平に延び、当該２本の
アーム４２で形成される面はテーブル２の面に対してほ
ぼ平行になっている。２本のアーム４２は同時にポスト
４４側面を鉛直方向に上下に移動できるようになってい
る。２本のアーム４２の両先端部には、両先端部を結ぶ
線を回転中心軸として回転させることができ且つ回転を
停止させて固定状態にすることができる押圧板３８が設
けられている。押圧板３８上にはレチクル裏面に貼付す
べき矩形フレーム１０２が本図では図示しない複数の把
持ピンにより把持され、その上にレチクルが載置される
ようになっている。本実施の形態によるペリクル貼付装
置では、矩形フレーム１０２の把持面が鉛直上方になる
ように押圧板３８を回転させて固定し、押圧板３８が押
圧板３６側に移動するようアーム４２を上昇移動させて
ペリクル１００を張り渡した矩形フレーム１０２、１０
２’をレチクルの両面に貼付する。

【００２１】次に、本実施の形態によるペリクル貼付装
置の全体としての動作を説明する。まず、レチクルの表
面に貼付すべきペリクル１００を張り渡した矩形フレー
ム１０２を圧着部５０の押圧板３６に把持させるため
に、ロボット１０のアーム１４を移動させてフォーク１
６をペリクルライブラリ４の棚６の所定の段のケース下
方に差し込んでケースをペリクルライブラリ４から搬出
する。次に、ケースが載置されたフォーク１６をペリク
ルライブラリ４の側方のケース蓋吸着部３４の吸着部下
部に移動させてケースの蓋を吸着させてケーストレイか
ら取り外し、ケーストレイ上の矩形フレーム１０２を露
出させる。

【００２２】次にフォーク１６を圧着部５０の押圧板３
６下面にまで移動させ、矩形フレーム１０２の側面に設
けられてた凹部１２６のうち対角方向の２個の凹部１２
６に押圧板３６の２本の把持ピンを挿入して把持させ、
押し当てピン（図示せず）により適当な圧力で矩形フレ
ーム１０２の側面を押し当てることにより矩形フレーム
１０２に歪みが生じないように固定する。矩形フレーム
１０２はペリクル１００を張り渡した面が押圧板３６側
に、接着剤層１０４を形成した面が押圧板３６と反対側
の鉛直下方に向くようにして把持される。なお、押圧板
３６と押圧板３８とは予めアーム４２を下方に移動させ
てこれら作業に十分な間隔がとられている状態にしてい
る。また、本実施の形態では矩形フレーム１０２の接着
剤層１０４を被覆しているライナーを剥がす工程の説明
は省略している。矩形フレーム１０２が押圧板３６に把
持されたら、フォーク１６は下方に移動してからペリク
ルライブラリ４まで移動して、フォーク１６上に残った
空のケーストレイを元の棚に格納する。

【００２３】次に、レチクルの裏面に貼付すべきペリク
ルを張り渡した矩形フレーム１０２’を圧着部５０の押
圧板３８に把持させるために、ロボット１０のアーム１
４を移動させてフォーク１６をペリクルライブラリ４の
棚８の所定の段のケース下方に差し込んでケースをペリ
クルライブラリ４から搬出する。次に、ケースが載置さ
れたフォーク１６をペリクルライブラリ４の側方のケー
ス蓋吸着部３４の吸着部下部に移動させてケースの蓋を
吸着させてケーストレイから取り外し、ケーストレイ上
の矩形フレーム１０２’を露出させる。

【００２４】一方、圧着部５０の押圧板３８では、押圧
板３８の矩形フレーム１０２’を把持する側の面が下方
にくるように押圧板３８を回転させる。その後、ロボッ
ト１０のフォーク１６を圧着部５０の押圧板３８下面に
まで移動させ、矩形フレーム１０２’の側面に設けられ
てた凹部１２６のうち対角方向の２個の凹部１２６に押
圧板３８の２本の把持ピンを挿入して把持させ、押し当
てピン（図示せず）により適当な圧力で矩形フレーム１
０２’の側面を押し当てることにより矩形フレーム１０
２’に歪みが生じないように固定する。矩形フレーム１
０２’はペリクル１００を張り渡した面が押圧板３８側
に、接着剤層１０４を形成した面が押圧板３８と反対側
の鉛直下方に向くようにして把持される。フォーク１６
は下方に移動してからペリクルライブラリ４に移動し
て、フォーク１６上に残った空のケーストレイを元の棚
に格納する。その後、押圧板３８を１８０°回転させて
把持した矩形フレーム１０２’を押圧板３６の矩形フレ
ーム１０２に対向させる。従ってこの状態において矩形
フレーム１０２’の接着剤層１０４の面は鉛直上方に向
いている。

【００２５】次に、レチクルローダ駆動部２８の駆動制
御に基づきガイド１８上をレチクルローダ部２０のポス
ト２２がレチクルライブラリ３０側に移動し、ポスト２
２の上端部のアーム２４を回転させて２本の細柱状のフ
ォーク２６をレチクルライブラリ３０の所定のレチクル
の下部に差し込んでから所定量鉛直上方に移動させ、レ
チクルをレチクルライブラリ３０から遊離させて引き出
す。フォーク２６上に載置されたレチクルは、レチクル
ローダ部５０の移動に伴って、ガイド１８の他端部側方
のレチクルアライメント部３２まで移動させられてレチ
クルアライメント部３２に載置されて所定の位置合わせ
が行われる。位置合わせが終了したレチクルは再びレチ
クルローダ部５０のフォーク２６上に載置されて、ガイ
ド１８に沿って所定の位置合わせ情報に基づいて圧着部
５０の下方に位置する押圧板３８上にまで移動される。
フォーク２６は、押圧板３８上に把持され接着剤層１０
４面が向いている矩形フレーム１０２’上にレチクルを
載置する。その後レチクルローダ部２０は再びレチクル
ライブラリ３０方向に移動する。

【００２６】次に、レチクルを載置して矩形フレーム１
０２’を把持する押圧板３８はアーム４２の上昇に伴っ
て、固定アーム４６下部の押圧板支持部４０を介して固
定された押圧板３６に接近し、所定の圧力（例えば３０
ｋｇｆ／ｃｍ²）でレチクルの両面に矩形フレーム１０
２、１０２’を圧着する。このようにして、レチクル両
面にペリクルが張り渡された矩形フレームが貼付され
る。

【００２７】次に、本実施の形態によるペリクル貼付装
置における圧着部５０の押圧板３６、３８の構造を図２
を用いてより詳細に説明する。図１を用いて説明したよ
うに押圧板３６は押圧板支持部４０に固定され、押圧板
３８は押圧板３６を回転可能に支持するようにした点を
除いて構成に相違はないので、以下押圧板３６の構造を
例にとって説明する。図２（ａ）は押圧板３６の正面図
（図１の鉛直下方に向いた面）であり、図２（ｂ）はそ
の一側面図である。押圧板３６の構成は大別すると、長
方形形状のテーブル５１と、テーブル５１上に設けられ
た、矩形フレームを把持する機構とからなる。

【００２８】テーブル５１上には断面凸状で直線状に延
びる４個のガイド部７４ａ〜７４ｄが固定されている。
ガイド部７４ａ〜７４ｄには各ガイド部の直線方向にス
ライド可能に、ガイド部の断面凸状に対応して断面凹状
の溝が直線状に形成されたスライダー７２ａ〜７２ｄが
支持されている。ガイド部７４ａ〜７４ｄとスライダー
７２ａ〜７２ｄとの各スライド面には転動体が介在し、
ガイド部とスライダーとは極めて低い摩擦力で滑らかに
スライドできるようになっている。また、スライダー７
２ａ〜７２ｄは各々図示しない駆動系により駆動されて
ガイド部７４ａ〜７４ｄ上をそれぞれスライドするよう
になっている。これらガイド部７４ａ〜７４ｄとスライ
ダー７２ａ〜７２ｄによりテーブル５１上に４個のリニ
アガイドが構成されている。ガイド部７４ａによるスラ
イド方向の軸とガイド部７４ｃによるスライド方向の軸
は平行に設定され、ガイド部７４ｂとガイド部７４ｄの
スライド方向の軸は平行であって、且つガイド部７４
ａ、７４ｃのスライド方向の軸に対して直角に設定され
ている。また各ガイド部は、それぞれテーブル５１の各
辺端からほぼ直角にテーブル５１内方に向かって延設さ
れている。これらリニアガイドにはスライダーが所定の
スライド範囲内を超えてスライドして脱落してしまわな
いように所定位置にストッパ（図示せず）が設けられて
いる。

【００２９】スライダー７２ａ〜７２ｄの各上面には下
面の断面凹状の溝と直角方向に断面凹状の直線状のガイ
ド部が形成されている。スライダー７２ａ〜７２ｄの各
上面に形成されたガイド部には各ガイド部の直線方向に
スライド可能に、ガイド部の断面凹状に対応して断面凸
状の直線状スライド部７６ａ〜７６ｄが裏面に形成され
た圧着板５２ａ〜５２ｄが支持されている。スライダー
７２ａ〜７２ｄの上面のガイド部とスライド部７６ａ〜
７６ｄの各スライド面には転動体が介在し、ガイド部と
スライド部とは極めて低い摩擦力で滑らかにスライドで
きるようになっている。

【００３０】圧着板５２ａ〜５２ｄの一端部５３ａ〜５
３ｄは、表面の高さが圧着板の他の表面より低く形成さ
れており、一端部５３ａ〜５３ｄの表面にはガイド部７
４ａ〜７４ｄにそれぞれ平行でスライド部７６ａ〜７６
ｄに垂直な方向に断面凹状の直線状の溝が形成されてい
る。これら一端部５３ａ〜５３ｄの各溝には隣接する圧
着板５２のスライド部７６がスライド可能に支持されて
いる。つまり、圧着板５２ａの一端部５３ａの溝は圧着
板５２ｄのスライド部７６ｄをスライド可能に支持する
ガイド部として機能し、圧着板５２ｂの一端部５３ｂの
溝は圧着板５２ａのスライド部７６ａをスライド可能に
支持するガイド部として機能し、圧着板５２ｃの一端部
５３ｃの溝は圧着板５２ｂのスライド部７６ｂをスライ
ド可能に支持するガイド部として機能し、圧着板５２ｄ
の一端部５３ｄの溝は圧着板５２ｃのスライド部７６ｃ
をスライド可能に支持するガイド部として機能するよう
になっている。またこの構成により、当該圧着板５２ａ
〜５２ｄの一端部５３ａ〜５３ｄのそれぞれが一端部側
に隣接する圧着板のガイド部として機能すると共に、隣
接する圧着板下部のスライダー７２ａ〜７２ｄの移動に
伴って、隣接する圧着板と共に当該圧着板も隣接する圧
着板下部のスライダーの移動方向に移動させられるよう
になっている。なお、圧着板５２ａ〜５２ｄの一端部５
３ａ〜５３ｄを除く全表面が同一平面上になるように各
圧着板５２ａ〜５２ｄの高さは調節されている。

【００３１】また、矩形フレーム１０２の側面の凹部１
２６に挿入して矩形フレームを把持する把持ピン５４ａ
が、スライダー７２ｂに固定されて圧着板５２ｂ表面の
上方の所定位置に設けられている。把持ピン５４ａから
スライド部７６ｂに沿って所定距離離れた圧着板５２ｂ
表面の上方の所定位置に、スライダー７２ｂに固定され
た支持部材６０を介してもう一つの把持ピン５６ａが設
けられている。把持ピン５４ａ、５６ａは共にスライダ
ー７２ｂに固定されているのでスライダー７２ｂと共に
図２（ａ）中上下方向には移動可能であるが、圧着部５
２ｂからは分離されているので圧着部５２ｂが図２
（ａ）中左右方向に移動しても２つの把持ピンは移動し
ない。圧着板５２ｂに対向する圧着板５２ｄ表面の上方
の所定位置には、把持ピン５４ａから図２（ａ）中左右
方向に規格で定められた距離Ａだけ離れて把持ピン５４
ｂが設けられている。把持ピン５４ａに対向する位置に
は矩形フレームのフレームに変形を起こさせない程度の
圧力でフレームを押圧する支持ピン５８が設けられてい
る。支持ピン５８に対して把持ピン５４ｂの反対側であ
って把持ピン５６ａから図２（ａ）中左右方向に規格で
定められた距離Ｂだけ離れて把持ピン５６ｂが設けられ
ている。

【００３２】これら把持ピン５４ｂ、５６ｂ及び支持ピ
ン５８は支持部材６２等によりスラーダー７２ｄに取り
付けられて固定されており、スライダー７２ｄと共に図
２（ａ）中上下方向には移動可能であるが、圧着部５２
ｄからは分離されているので圧着部５２ｄが図２（ａ）
中左右方向に移動してもこれらの把持ピン、支持ピンは
移動しないようになっている。所定の規格により距離Ａ
で矩形フレームの側面にそれぞれ２個ずつ形成された凹
部１２６のうちの対角方向の２個の凹部１２６に対して
把持ピン５４ａ、５４ｂを挿入し、且つ支持ピン５８に
よる押圧を加えた３点支持により矩形フレームは押圧板
３６に把持される。別の規格に基づく距離Ｂで矩形フレ
ームの側面にそれぞれ２個ずつ形成された凹部１２６の
うちの対角方向の２個の凹部１２６に対しては把持ピン
５６ａ、５６ｂを挿入し、且つ支持ピン５８による押圧
を加えた３点支持により矩形フレームは押圧板３６に把
持される。また詳細な説明は省略するが、同様にスライ
ダー７２ｃには支持部材７０と共に２個の押し当てピン
６８が固定され、スライダー７２ａには支持部材６６を
介して押し当てピン６４が設けられている。

【００３３】さて、４枚の圧着板５２ａ〜５２ｄの連結
関係が上述の様になっていることから、本実施の形態に
おける圧着板５２ａ〜５２ｄは不図示の制御装置（ＣＰ
Ｕ）により同一平面上に矩形形状を保ったまま、縦横の
辺の長さを任意に変化させることができるようになり、
任意の大きさの矩形形状の圧着領域を形成することがで
きるようになる。例えば、不図示の制御装置（ＣＰＵ）
は、スライダー７２ａを図示しない駆動系により駆動し
て図２（ａ）において左方向に所定量スライドさせたと
きに、スライダー７２ａ上の圧着板５２ａも左方向に同
じ量だけ移動する。圧着板５２ａのスライダー７２ａに
よる移動は圧着板５２ｄを何ら拘束しないが、一端部５
３ｂが図中左右方向において圧着板５２ａに拘束されて
いる圧着板５２ｂは圧着板５２ａの移動に随伴して左方
向に所定量移動する。

【００３４】一方圧着板５２ｂの他端部側は圧着板５２
ｃの一端部５３ｃを拘束せずに自由に図中左側に延びる
ことができる。こうすることにより、不図示の制御装置
（ＣＰＵ）は、矩形形状を維持させながら図中の上下の
辺の長さ、即ち圧着板５２ｂ、５２ｄの圧着領域を短く
させることができるようになる。また、この構成によれ
ば、矩形形状の各辺を形成する圧着領域が重なり合わず
に同一平面内に任意の矩形形状の圧着領域を形成するこ
とができるので、矩形フレームをレチクルに圧着させる
際に均一な押圧力で圧着させる圧着領域を得ることがで
きるようになる。なお、圧着板５２ａに着目して説明し
たが、他の圧着板５２ｂ〜５２ｄについても同様の動作
が可能であるので、例えば４個のスライダー７２ａ〜７
２ｄのそれぞれに設けられた駆動系をそれぞれ同時に駆
動してスライダー７２ａ〜７２ｄ上の圧着部５２ａ〜５
２ｄを同時に移動させて所望の各辺の長さの矩形圧着領
域を短時間で容易に得ることが可能になる。例えば、テ
ーブル５１の中心部を常に矩形の圧着領域の中心にしよ
うとする場合には、スライダー７２ａとスライダー７２
ｃを向きが反対で同量の移動量でスライドさせ、スライ
ダー７２ｂとスライダー７２ｄについても向きが反対で
同量の移動量でスライドさせるようにすればよい。

【００３５】次に、本実施の形態によるペリクル貼付装
置における圧着部５０の押圧板３６、３８の他の構造の
例を図３を用いて説明する。図３においては、説明を簡
略化するために押圧板３６のテーブル５１上の圧着板と
リニアガイド及びスライダーのみを示している。図３に
示す押圧板３６では、長方形のテーブル５１の角部に４
個の移動テーブル８２ａ〜８２ｄが設けられている点に
特徴を有している。４個の移動テーブル８２ａ〜８２ｄ
はそれぞれ図示しない駆動系を備え、それぞれ２個一組
のリニアガイド８４ａ、８４ａ’〜８４ｄ、８４ｄ’に
よりスライドできるようになっている。図中の移動テー
ブル８２ａは、リニアガイド８４ａ、８４ａ’により図
中上下方向にスライド可能であり、移動テーブル８２ａ
の対角に位置する移動テーブル８２ｃも移動テーブル８
２ａの移動方向と平行に図中上下方向にスライド可能に
なっている。図中の移動テーブル８２ｂは、リニアガイ
ド８４ｂ、８４ｂ’により図中左右方向にスライド可能
であり、移動テーブル８２ｂの対角に位置する移動テー
ブル８２ｄも移動テーブル８２ｂの移動方向と平行に図
中左右方向にスライド可能になっている。

【００３６】移動テーブル８２ａ〜８２ｄ上にはそれぞ
れ２個のリニアガイド８６ａ〜８６ｄ、及び８８ａ〜８
８ｄが設けられている。移動テーブル８２ａ上のリニア
ガイド８６ａ、８８ａ及び、移動テーブル８２ｃ上のリ
ニアガイド８６ｃ、８８ｃは図中左右方向にスライド可
能になっており、移動テーブル８２ｂ上のリニアガイド
８６ｂ、８８ｂ及び、移動テーブル８２ｄ上のリニアガ
イド８６ｄ、８８ｄは図中上下方向にスライド可能にな
っている。

【００３７】移動テーブル８２ａから移動テーブル８２
ｂに差し渡された圧着板８０ａの一端部は移動テーブル
８２ａのリニアガイド８６ａに接続され、他端部は移動
テーブル８２ｂのリニアガイド８８ｂに接続されてい
る。同様に、移動テーブル８２ｂから移動テーブル８２
ｃに差し渡された圧着板８０ｂの一端部は移動テーブル
８２ｂのリニアガイド８６ｂに接続され、他端部は移動
テーブル８２ｃのリニアガイド８８ｃに接続されてい
る。また、移動テーブル８２ｃから移動テーブル８２ｄ
に差し渡された圧着板８０ｃの一端部は移動テーブル８
２ｃのリニアガイド８６ｃに接続され、他端部は移動テ
ーブル８２ｄのリニアガイド８８ｄに接続されている。
さらに、移動テーブル８２ｄから移動テーブル８２ａに
差し渡された圧着板８０ｄの一端部は移動テーブル８２
ｄのリニアガイド８６ｄに接続され、他端部は移動テー
ブル８２ａのリニアガイド８８ａに接続されている。な
お、圧着板８２ａ〜８２ｄの表面は同一面内にあるよう
に高さの調整がなされている。

【００３８】このように４枚の圧着板８０ａ〜８０ｄの
連結関係が上述の様になっているので、本実施の形態に
おける圧着板８０ａ〜８０ｄも図２に示した圧着板５２
ａ〜５２ｄと同様に、不図示の制御装置（ＣＰＵ）によ
り同一平面上に矩形形状を保ったまま縦横の辺の長さを
任意に変化させることができるようになり、任意の大き
さの矩形形状の圧着領域を形成することができるように
なる。例えば、不図示の制御装置（ＣＰＵ）は、移動テ
ーブル８２ａを図示しない駆動系により駆動して図中上
方向に所定量スライドさせると、移動テーブル８２ａの
移動に伴って圧着板８０ａ及び圧着板８０ｄを上方向に
同じ移動量だけ移動するように制御する。圧着板８０ａ
の他端部は停止している移動テーブル８２ｂ上をリニア
ガイド８８ｂにより上方向に自由にスライドでき、圧着
板８０ｄの一端部は停止している移動テーブル８２ｄ上
をリニアガイド８６ｄにより上方向に自由にスライドで
きる。こうすることにより、矩形形状を維持させながら
図中の上下方向の辺の長さ、即ち圧着板８０ａ、８０ｃ
の圧着領域を短くさせることができるようになる。

【００３９】また、この構成によれば、矩形形状の各辺
を形成する圧着板が重なり合わずに同一平面内に任意の
矩形形状の圧着領域を形成することができるので、矩形
フレームをレチクルに圧着させる際に均一な押圧力で圧
着させる圧着領域を得ることができるようになる。な
お、圧着板８０ａに着目して説明したが、他の圧着板８
２ｂ〜８２ｄについても同様の動作が行われるので、例
えば４個の移動テーブル８２ａ〜８２ｄのそれぞれに設
けられた駆動系をそれぞれ同時に駆動して移動テーブル
８２ａ〜８２ｄ上の圧着部８０ａ〜８０ｄを同時に移動
させて所望の各辺の長さの矩形圧着領域を短時間で容易
に得ることが可能になる。例えば、テーブル５１の中心
部を常に矩形の圧着領域の中心にしようとする場合に
は、移動テーブル８２ａと移動テーブル８２ｃを向きが
反対で同量の移動量でスライドさせ、移動テーブル８２
ｂと移動テーブル８２ｄについても向きが反対で同量の
移動量でスライドさせるようにすればよい。

【００４０】次に、本実施の形態によるペリクル貼付装
置における圧着部５０の押圧板支持部４０の構造を図４
を用いて説明する。図４は押圧板３６を支持した押圧板
支持部４０の横断面を示している。図４の押圧板支持部
４０は、押圧板３６の支持位置より離れた位置に当該押
圧板３６の回転中心（リモートセンタ：ＲＣ）を形成し
た点に特徴を有している。本実施の形態においては、押
圧板３６上面側の圧着板（図示せず）表面、即ちペリク
ルを張り渡した矩形フレームの中心位置近傍にリモート
センタがくるように、支持部材本体９０と押圧板３６裏
面の支持位置に接続固定された固定部９４との間に例え
ば真鍮、アルミニウム、ステンレススチールなどの弾性
材料からなる複数の柱状の支持部材９２が設けられてい
る。複数の柱状の支持部材９２はその支持方向の軸が押
圧板３６の表面に対して所定の角度で斜方向に放射状に
設けられており、各軸の延長線が集束する位置にリモー
トセンタが形成される。支持部材９２と支持部材本体９
０、及び固定部９４と支持部材本体９０との間には所定
幅の間隙９６が形成されている。間隙９６の幅は、押圧
による柱状の支持部材９２のたわみ量、及びそれに伴う
固定部９４と支持部材本体９０間の変位量を考慮して決
められている。

【００４１】このように押圧板３６の支持位置より離れ
た位置であって押圧板３６上に把持した被圧着物である
矩形フレームの中心位置に押圧板３６の回転中心ＲＣが
形成されるので、対向する押圧板３８が微小な傾きを持
って押圧板３６に当接したとしても、その傾きにより生
じる押圧板３６の回転は、押圧板３６の押圧板支持部４
０による支持位置ではなく、リモートセンタ即ち矩形フ
レームの中心位置を回転中心として回転することができ
るようになる。従って、押圧板３６の回転による矩形フ
レームの位置の変動を最小限に抑えることができるよう
になり、貼付位置のずれを最小限に抑えたペリクル貼付
を実現することができるようになる。本実施の形態によ
る押圧板支持部４０によれば、押圧板３６と押圧板３８
との間に相対的な傾きが１．７６度あったとしても、レ
チクルと矩形フレームの貼付の位置ずれは１４μｍしか
生じない。

【００４２】また、対向する押圧板３８が微小な傾きを
持って押圧板３６に当接し、押圧板３８上の矩形フレー
ム及びその上面のレチクルと押圧板３６上の矩形フレー
ムとに相対的な傾きが生じている状態で圧着しても、押
圧時における圧力を受けて弾性材料からなる柱状の支持
部材９２が弾性変形してたわむので押圧板３６が押圧板
３８の傾きにならうことができ、均一の圧力でレチクル
と矩形フレームを押圧して圧着させることができるよう
になる。従って、矩形フレームの接着剤層がずれながら
レチクルのガラス基板面に圧着されることがなくなるの
でレチクルに殆ど歪みを生じさせずにペリクルを貼付で
きるようになる。

【００４３】次に、本実施の形態によるペリクル貼付装
置における圧着部５０の押圧板支持部４０の他の構造の
例を図５を用いて説明する。図５は押圧板３６を支持し
た押圧板支持部４０の横断面を示している。図５の押圧
板支持部４０は、図４で説明した押圧支持部４０と同様
に、押圧板３６の支持位置より離れた位置に当該押圧板
３６の回転中心（リモートセンタ：ＲＣ）を形成した点
に特徴を有していると共に、図４の押圧支持部４０が弾
性材料を用いた複数の柱状の支持部材による弾性変形を
利用して押圧板３６を回転させるのに対して、複数の柱
状の支持部材によりリンク機構を構成して押圧板３６を
回転させる点に特徴を有している。

【００４４】本実施の形態においては、押圧板３６上面
側の圧着板に把持された、ペリクルを張り渡した矩形フ
レーム１０２の中心位置近傍にリモートセンタがくるよ
うに、支持部材本体９０と押圧板３６裏面との間に複数
の柱状の支持部材９８ａが設けられている。複数の柱状
の支持部材９８ａはその支持方向の軸が押圧板３６の表
面に対して所定の角度で斜方向に放射状に設けられてお
り、各軸の延長線が集束する位置にリモートセンタが形
成される。各支持部材９８ａの一端部は支持部材本体９
０の節部１００で回動自由に連結され、他端部は押圧板
３６の節部１００で回動自由に連結されている。従って
この構成により、アーム４６に固定された支持部材本体
９０側の各節部１００を各回転中心とし、支持部材９８
ａの軸方向の腕の長さを半径とする図中破線で示す円周
上を各支持部材９８ａ端部が移動可能なリンク機構が形
成されている。従って、対向する押圧板３８が微小な傾
きを持って押圧板３６ａの位置で矩形フレーム１０２ａ
に当接して、押圧板が押圧板３６ｂの位置まで回転する
と共に矩形フレームも１０２ｂに示す位置に回転した場
合、リンク機構の２つの支持部材９８ａは９８ｂの位置
にまで回転移動して節部１００ａが１００ｂの位置に変
位するが、当該回転によるリモートセンタ即ち矩形フレ
ーム１０２の中心位置はほとんど変化しないので、矩形
フレーム１０２の位置の変動を最小限に抑えることがで
き、貼付位置のずれを最小限に抑えたペリクル貼付を実
現することができるようになる。

【００４５】また、対向する押圧板３８が微小な傾きを
持って押圧板３６に当接し、押圧板３８上の矩形フレー
ム及びその上面のレチクルと押圧板３６上の矩形フレー
ムとに相対的な傾きが生じている状態で圧着しても、押
圧時における圧力を受けてリンク機構を構成する柱状の
支持部材９８ａが回転して押圧板３６が押圧板３８の傾
きにならうことができ、均一の圧力でレチクルと矩形フ
レームを押圧して圧着させることができるようになる。
従って、矩形フレームの接着剤層がずれながらレチクル
のガラス基板面に圧着されることがなくなるのでレチク
ルに殆ど歪みを生じさせずにペリクルを貼付できるよう
になる。

【００４６】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、大きさの
異なる複数の矩形フレームに対して押圧部を交換せずに
ペリクルをレチクルに貼付することができるようにな
る。また本発明によれば、レチクルに矩形フレームを貼
付する際のずれ量を低減させることができるようにな
る。さらに本発明によれば、レチクルに矩形フレームを
貼付する際に生じるレチクルの歪みを低減させることが
できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態によるペリクル貼付装置を
示す図である。

【図２】本発明の実施の形態における圧着部５０の押圧
板３６、３８の構造を示す図である。

【図３】本発明の実施の形態における圧着部５０の押圧
板３６、３８の他の構造の例を説明する図である。

【図４】本発明の実施の形態における圧着部５０の押圧
板支持部４０の構造を示す図である。

【図５】本発明の実施の形態における圧着部５０の押圧
板支持部４０の他の構造の例を説明する図である。

【図６】従来のペリクル貼付装置を示す図である。

【図７】ペリクル貼付の際の矩形フレームの位置ずれを
示す図である。

【図８】ペリクルを貼付した矩形フレームを示す斜視図
である。

【符号の説明】

２テーブル４ペリクルライブラリ６、８棚１０ロボット１２ポスト１４アーム１６フォーク１８ガイド２０レチクルローダ部２２ポスト２４アーム２６フォーク２８レチクルローダ駆動部３０レチクルライブラリ３２レチクルアライメント部３４ケース蓋吸着部３６、３８押圧板４０押圧板支持部４２アーム４４ポスト４６アーム５０圧着部５１テーブル５２圧着板５３一端部５４、５６把持ピン５８支持ピン６０、６２支持部材６４押し当てピン６６支持部材６８押し当てピン７０支持部材７２スライダー７４ガイド部７６直線状スライド部８０圧着板８２移動テーブル８４、８６、８８リニアガイド９０支持部材本体９２支持部材９４固定部９６空隙９８支持部材１００ペリクル１０２矩形フレーム１０４接着剤層１０６テーブル１０８ポスト１１０アーム１１２押圧板１１４ライブラリ１１６ケース１２０アーム１２４レチクル１２６凹部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面にペリクルが張り渡され、裏面に接着
領域が形成された矩形フレームを把持して、前記接着領
域をレチクルに押圧して前記矩形フレームを前記レチク
ルに押圧する押圧部を有し、前記ペリクルを前記レチク
ルに貼り付けるペリクル貼付装置であって、前記押圧部は、前記矩形フレームの大きさに対応して押
圧領域を変更する変更機構を有していることを特徴とす
るペリクル貼付装置。
【請求項２】請求項１記載のペリクル貼付装置におい
て、前記変更機構は、複数の圧着板から構成されており、当
該複数の圧着板が同一平面内を移動して前記押圧領域の
大きさを変更することを特徴とするペリクル貼付装置。
【請求項３】請求項１又は２に記載のペリクル貼付装置
において、前記押圧部は支持部により支持され、当該支持部は、前
記矩形フレームの４辺で画定される面の中心位置を含む
近傍領域内を回転中心として前記押圧部を微小角度回転
可能に支持することを特徴とするペリクル貼付装置。
【請求項４】請求項３記載のペリクル貼付装置におい
て、前記支持部は、複数の柱状支持部材から構成されたリン
ク構造を有していることを特徴とするペリクル貼付装
置。
【請求項５】請求項３記載のペリクル貼付装置におい
て、前記支持部は、複数の柱状支持部材を有し、当該複数の
柱状支持部材は弾性材料で形成されていることを特徴と
するペリクル貼付装置。