JPH1088344A - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置Info
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- JPH1088344A JPH1088344A JP23886096A JP23886096A JPH1088344A JP H1088344 A JPH1088344 A JP H1088344A JP 23886096 A JP23886096 A JP 23886096A JP 23886096 A JP23886096 A JP 23886096A JP H1088344 A JPH1088344 A JP H1088344A
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- film
- film forming
- heater heating
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 成膜室を大気に開放することなくワークを供
給して高温に保持することができる成膜装置を提供す
る。 【解決手段】 ワーク１１に対向する面に熱輻射率の大
きい熱輻射層１２が形成されたヒータ加熱部５と、ヒー
タ加熱部５に非接触で対向し、ヒータ加熱部５に対向す
る面に熱輻射率の大きい熱輻射層１２が形成されかつ熱
伝導率の大きい材料から成るワーク保持用治具６と、ワ
ーク保持用治具６を支持して搬送する搬送手段７と、搬
送手段７とワーク保持用治具６の間に介装された熱伝導
率の低い材料から成るスペーサ１０とを備え、ワーク保
持用治具６を搬送手段７でヒータ加熱部５に対向する位
置に供給してワーク１１を輻射加熱するようにした。
給して高温に保持することができる成膜装置を提供す
る。 【解決手段】 ワーク１１に対向する面に熱輻射率の大
きい熱輻射層１２が形成されたヒータ加熱部５と、ヒー
タ加熱部５に非接触で対向し、ヒータ加熱部５に対向す
る面に熱輻射率の大きい熱輻射層１２が形成されかつ熱
伝導率の大きい材料から成るワーク保持用治具６と、ワ
ーク保持用治具６を支持して搬送する搬送手段７と、搬
送手段７とワーク保持用治具６の間に介装された熱伝導
率の低い材料から成るスペーサ１０とを備え、ワーク保
持用治具６を搬送手段７でヒータ加熱部５に対向する位
置に供給してワーク１１を輻射加熱するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品等の薄膜
デバイスを製造する装置において、スパッタリング方式
や蒸着方式等による成膜装置に関するもので、特にワー
クを高温に保持しながら成膜する成膜装置に関するもの
である。
デバイスを製造する装置において、スパッタリング方式
や蒸着方式等による成膜装置に関するもので、特にワー
クを高温に保持しながら成膜する成膜装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワークを高温に保持しながら成膜
する成膜装置においては、ワークを保持した治具を常
温、大気圧の状態で作業者がヒータ加熱部に直接ボルト
等で締結固定し、所定の条件にした後成膜を行ってい
る。
する成膜装置においては、ワークを保持した治具を常
温、大気圧の状態で作業者がヒータ加熱部に直接ボルト
等で締結固定し、所定の条件にした後成膜を行ってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の成膜
装置においては、成膜室にロードロック機構を設け、ワ
ークの交換時に成膜室が大気に開放されないようにし、
真空排気時間の影響を無くし、スループットの向上を図
ったものが多い。しかしながら、ワークを高温に加熱し
て成膜する方式では、ワークを保持した治具を上記のよ
うにヒータ加熱部に作業者がボルト等で締結するため
に、ワークの交換時には成膜室を大気に開放せざるを得
ず、スループットの向上が望めないという問題があっ
た。
装置においては、成膜室にロードロック機構を設け、ワ
ークの交換時に成膜室が大気に開放されないようにし、
真空排気時間の影響を無くし、スループットの向上を図
ったものが多い。しかしながら、ワークを高温に加熱し
て成膜する方式では、ワークを保持した治具を上記のよ
うにヒータ加熱部に作業者がボルト等で締結するため
に、ワークの交換時には成膜室を大気に開放せざるを得
ず、スループットの向上が望めないという問題があっ
た。
【０００４】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、成膜
室を大気に開放することなくワークを供給して高温に保
持することができる成膜装置を提供することを目的とし
ている。
室を大気に開放することなくワークを供給して高温に保
持することができる成膜装置を提供することを目的とし
ている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の成膜装置は、ワ
ークに対向する面が熱輻射率の大きい面に形成されたヒ
ータ加熱部と、ヒータ加熱部に非接触で対向し、ヒータ
加熱部に対向する面が熱輻射率の大きい面に形成されか
つ熱伝導率の大きい材料から成るワーク保持用治具と、
ワーク保持用治具を支持して搬送する搬送手段と、搬送
手段とワーク保持用治具の間に介装された熱伝導率の低
い材料から成るスペーサとを備え、ワーク保持用治具を
搬送手段でヒータ加熱部に対向する位置に供給して、ワ
ークをヒータ加熱部からの輻射熱で直接加熱すると同時
に、熱輻射率の大きい面を介して効率的にワーク保持治
具を輻射熱で加熱するとともにその熱をスペーサにて搬
送手段側に逃がすことなく熱伝導率良く熱伝導にてワー
クを間接加熱することにより、短時間でワークを高温に
保持できるようにし、成膜室内を大気に開放することな
くワークを搬送手段にて供給して加熱できるようにした
ものである。
ークに対向する面が熱輻射率の大きい面に形成されたヒ
ータ加熱部と、ヒータ加熱部に非接触で対向し、ヒータ
加熱部に対向する面が熱輻射率の大きい面に形成されか
つ熱伝導率の大きい材料から成るワーク保持用治具と、
ワーク保持用治具を支持して搬送する搬送手段と、搬送
手段とワーク保持用治具の間に介装された熱伝導率の低
い材料から成るスペーサとを備え、ワーク保持用治具を
搬送手段でヒータ加熱部に対向する位置に供給して、ワ
ークをヒータ加熱部からの輻射熱で直接加熱すると同時
に、熱輻射率の大きい面を介して効率的にワーク保持治
具を輻射熱で加熱するとともにその熱をスペーサにて搬
送手段側に逃がすことなく熱伝導率良く熱伝導にてワー
クを間接加熱することにより、短時間でワークを高温に
保持できるようにし、成膜室内を大気に開放することな
くワークを搬送手段にて供給して加熱できるようにした
ものである。
【０００６】また、熱輻射率の大きい面は熱輻射率の大
きい物質を塗布しまたは黒体化処理によって容易に形成
することができる。また、搬送手段のヒータ加熱部に対
向する面を熱輻射率の小さい面に形成すると、搬送手段
が加熱されにくく、搬送手段の高温化による弊害を抑制
することができる。
きい物質を塗布しまたは黒体化処理によって容易に形成
することができる。また、搬送手段のヒータ加熱部に対
向する面を熱輻射率の小さい面に形成すると、搬送手段
が加熱されにくく、搬送手段の高温化による弊害を抑制
することができる。
【０００７】また、ヒータ加熱部に対向して搬送手段を
挿入可能な空間をあけて成膜材料を配設し、搬送手段の
ヒータ加熱部と成膜材料に対向する部分に成膜用開口を
設けてその成膜用開口にワーク保持用治具を保持し、ワ
ーク保持用治具の熱輻射率の大きい面とは反対側の面に
ワークの成膜する面を露出させることにより、簡単な移
動構成の搬送手段にてワークを供給して成膜することが
できる。
挿入可能な空間をあけて成膜材料を配設し、搬送手段の
ヒータ加熱部と成膜材料に対向する部分に成膜用開口を
設けてその成膜用開口にワーク保持用治具を保持し、ワ
ーク保持用治具の熱輻射率の大きい面とは反対側の面に
ワークの成膜する面を露出させることにより、簡単な移
動構成の搬送手段にてワークを供給して成膜することが
できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態のスパ
ッタリング方式の成膜装置について図１を参照して説明
する。
ッタリング方式の成膜装置について図１を参照して説明
する。
【０００９】図１において、１は成膜室で、図示しない
真空排気手段、ガス導入手段を有し、成膜室１内の圧力
を調整できるように構成されている。この成膜室１内に
成膜材料から成るターゲット２を備えた電極３が配設さ
れている。電極３は直流電力あるいは高周波電力を印加
する電源（図示せず）に接続されている。４は成膜室１
と電極３との間に介装された絶縁材である。また、成膜
室１内には電極３に所要の空間をあけて対向するように
ヒータを内蔵したヒータ加熱部５が配設されている。
真空排気手段、ガス導入手段を有し、成膜室１内の圧力
を調整できるように構成されている。この成膜室１内に
成膜材料から成るターゲット２を備えた電極３が配設さ
れている。電極３は直流電力あるいは高周波電力を印加
する電源（図示せず）に接続されている。４は成膜室１
と電極３との間に介装された絶縁材である。また、成膜
室１内には電極３に所要の空間をあけて対向するように
ヒータを内蔵したヒータ加熱部５が配設されている。
【００１０】６は複数のワーク１１を保持したワーク保
持用治具であり、このワーク保持用治具６が搬送手段７
にてヒータ加熱部５に非接触で近接して対向する位置に
供給される。搬送手段７には成膜用開口８が形成され、
その内周に断面形状が略Ｚ字形の枠状の保持治具９が嵌
合固定され、その上に熱伝導率の低い材料から成りかつ
断面積を最小限に小さくしたスペーサ１０が装着され、
このスペーサ１０を介して保持治具９にてワーク保持用
治具６を支持するように構成されている。そして、ワー
ク保持用治具６は成膜用開口８に嵌合固定した枠状の保
持治具９を通して所定の間隔をあけてターゲット２に対
向する。また、成膜室１にはその内部を大気に開放する
ことなく搬送手段７の保持治具９上にワーク保持用治具
６を供給し、又は取出しを行えるようにロードロック機
構が設けられている。
持用治具であり、このワーク保持用治具６が搬送手段７
にてヒータ加熱部５に非接触で近接して対向する位置に
供給される。搬送手段７には成膜用開口８が形成され、
その内周に断面形状が略Ｚ字形の枠状の保持治具９が嵌
合固定され、その上に熱伝導率の低い材料から成りかつ
断面積を最小限に小さくしたスペーサ１０が装着され、
このスペーサ１０を介して保持治具９にてワーク保持用
治具６を支持するように構成されている。そして、ワー
ク保持用治具６は成膜用開口８に嵌合固定した枠状の保
持治具９を通して所定の間隔をあけてターゲット２に対
向する。また、成膜室１にはその内部を大気に開放する
ことなく搬送手段７の保持治具９上にワーク保持用治具
６を供給し、又は取出しを行えるようにロードロック機
構が設けられている。
【００１１】ヒータ加熱部５のワーク保持用治具６に対
向する面、及びワーク保持用治具６のヒータ加熱部５に
対向する面には、例えば酸化クロム等の熱輻射率の大き
い物質を塗布し、又はその他の黒体化処理を施して熱輻
射層１２が形成されている。
向する面、及びワーク保持用治具６のヒータ加熱部５に
対向する面には、例えば酸化クロム等の熱輻射率の大き
い物質を塗布し、又はその他の黒体化処理を施して熱輻
射層１２が形成されている。
【００１２】一方、保持治具９のヒータ加熱部５に対向
する面は、例えば鏡面仕上げ等の表面処理が施されて熱
輻射率の小さい表面状態に形成されている。
する面は、例えば鏡面仕上げ等の表面処理が施されて熱
輻射率の小さい表面状態に形成されている。
【００１３】次に、以上の構成の成膜装置における動作
について説明する。まず、高真空に排気された成膜室１
の外部において、ワーク保持用治具６に複数の未成膜の
ワーク１１を保持させる。次に、ロードロック機構を用
いて成膜室１を大気に開放することなく、ワーク保持用
治具６を搬送手段７の保持治具９上に設置し、搬送手段
７により既に所定温度まで加熱されているヒータ加熱部
５に非接触で近接して対向する位置に供給する。ワーク
保持用治具６はワーク１１とともにヒータ加熱部５によ
り輻射により効率良く所定温度まで加熱される。その
際、ワーク１１がヒータ加熱部５からの輻射熱で直接加
熱されると同時に、熱輻射率の大きい熱輻射層１２を介
してワーク保持治具６が効率的に輻射熱で加熱され、そ
の熱はスペーサ１０によって保持治具９や搬送手段７側
に逃げることなく、熱伝導率の高いワーク保持用治具６
から熱伝導にてワーク１１に伝熱されて間接加熱され、
ワーク１１は効率良く短時間で加熱される。
について説明する。まず、高真空に排気された成膜室１
の外部において、ワーク保持用治具６に複数の未成膜の
ワーク１１を保持させる。次に、ロードロック機構を用
いて成膜室１を大気に開放することなく、ワーク保持用
治具６を搬送手段７の保持治具９上に設置し、搬送手段
７により既に所定温度まで加熱されているヒータ加熱部
５に非接触で近接して対向する位置に供給する。ワーク
保持用治具６はワーク１１とともにヒータ加熱部５によ
り輻射により効率良く所定温度まで加熱される。その
際、ワーク１１がヒータ加熱部５からの輻射熱で直接加
熱されると同時に、熱輻射率の大きい熱輻射層１２を介
してワーク保持治具６が効率的に輻射熱で加熱され、そ
の熱はスペーサ１０によって保持治具９や搬送手段７側
に逃げることなく、熱伝導率の高いワーク保持用治具６
から熱伝導にてワーク１１に伝熱されて間接加熱され、
ワーク１１は効率良く短時間で加熱される。
【００１４】加熱後、成膜室１を所定の圧力に調整し、
電極３に直流電力または高周波電力を印加し、ワーク１
１の成膜を行う。成膜されたワーク１１は、ワーク保持
用治具６とともに搬送手段７により搬送され、図示して
いないロードロック機構を通して成膜室１の外部に取り
出される。
電極３に直流電力または高周波電力を印加し、ワーク１
１の成膜を行う。成膜されたワーク１１は、ワーク保持
用治具６とともに搬送手段７により搬送され、図示して
いないロードロック機構を通して成膜室１の外部に取り
出される。
【００１５】なお、温度によっては保持治具９と同じ形
態を持った保持治具を用いて保持治具９を多段保持する
ようにしてもよい。また、成膜装置の構成は、上記実施
形態のものに限定されるものではない。
態を持った保持治具を用いて保持治具９を多段保持する
ようにしてもよい。また、成膜装置の構成は、上記実施
形態のものに限定されるものではない。
【００１６】
【発明の効果】本発明の成膜装置によれば、以上の説明
から明らかなように、ワークに対向する面が熱輻射率の
大きい面に形成されたヒータ加熱部と、ヒータ加熱部に
非接触で対向し、ヒータ加熱部に対向する面が熱輻射率
の大きい面に形成されかつ熱伝導率の大きい材料から成
るワーク保持用治具と、ワーク保持用治具を支持して搬
送する搬送手段と、搬送手段とワーク保持用治具の間に
介装された熱伝導率の低い材料から成るスペーサとを備
えているので、ワーク保持用治具を搬送手段でヒータ加
熱部に対向する位置に供給することにより、ワークをヒ
ータ加熱部からの輻射熱による直接加熱と、熱輻射率の
大きい面を介して効率的に輻射加熱されたワーク保持治
具からの伝熱による間接加熱によって、ワーク保持用治
具をヒータ加熱部にボルト締結しなくても短時間で高温
に保持することができ、成膜室を大気に開放することな
く搬送手段にてワークを供給して高温に保持できるの
で、スループットを向上することができる。
から明らかなように、ワークに対向する面が熱輻射率の
大きい面に形成されたヒータ加熱部と、ヒータ加熱部に
非接触で対向し、ヒータ加熱部に対向する面が熱輻射率
の大きい面に形成されかつ熱伝導率の大きい材料から成
るワーク保持用治具と、ワーク保持用治具を支持して搬
送する搬送手段と、搬送手段とワーク保持用治具の間に
介装された熱伝導率の低い材料から成るスペーサとを備
えているので、ワーク保持用治具を搬送手段でヒータ加
熱部に対向する位置に供給することにより、ワークをヒ
ータ加熱部からの輻射熱による直接加熱と、熱輻射率の
大きい面を介して効率的に輻射加熱されたワーク保持治
具からの伝熱による間接加熱によって、ワーク保持用治
具をヒータ加熱部にボルト締結しなくても短時間で高温
に保持することができ、成膜室を大気に開放することな
く搬送手段にてワークを供給して高温に保持できるの
で、スループットを向上することができる。
【００１７】また、熱輻射率の大きい面は熱輻射率の大
きい物質を塗布しまたは黒体化処理によって容易に形成
することができる。また、搬送手段のヒータ加熱部に対
向する面を熱輻射率の小さい面に形成すると、搬送手段
が加熱されにくく、搬送手段の高温化による弊害を抑制
することができる。
きい物質を塗布しまたは黒体化処理によって容易に形成
することができる。また、搬送手段のヒータ加熱部に対
向する面を熱輻射率の小さい面に形成すると、搬送手段
が加熱されにくく、搬送手段の高温化による弊害を抑制
することができる。
【００１８】また、ヒータ加熱部に対向して搬送手段を
挿入可能な空間をあけて成膜材料を配設し、搬送手段に
設けた成膜用開口にワーク保持用治具を保持し、ワーク
保持用治具の熱輻射率の大きい面とは反対側の面にワー
クの成膜する面を露出させることにより、簡単な移動構
成の搬送手段にてワークを供給して成膜することができ
る。
挿入可能な空間をあけて成膜材料を配設し、搬送手段に
設けた成膜用開口にワーク保持用治具を保持し、ワーク
保持用治具の熱輻射率の大きい面とは反対側の面にワー
クの成膜する面を露出させることにより、簡単な移動構
成の搬送手段にてワークを供給して成膜することができ
る。
【図１】本発明の成膜装置の一実施形態の装置構成を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
１ 成膜室 ２ ターゲット（成膜材料） ５ ヒータ加熱部 ６ ワーク保持用治具 ７ 搬送手段 ８ 成膜用開口 １０ スペーサ １１ ワーク １２ 熱輻射層
Claims (5)
- 【請求項１】 成膜室内に配設したヒータ加熱部にてワ
ークを高温に保持しながら成膜する成膜装置において、
ワークに対向する面が熱輻射率の大きい面に形成された
ヒータ加熱部と、ヒータ加熱部に非接触で対向し、ヒー
タ加熱部に対向する面が熱輻射率の大きい面に形成され
かつ熱伝導率の大きい材料から成るワーク保持用治具
と、ワーク保持用治具を支持して搬送する搬送手段と、
搬送手段とワーク保持用治具の間に介装された熱伝導率
の低い材料から成るスペーサとを備えたことを特徴とす
る成膜装置。 - 【請求項２】 熱輻射率の大きい面を熱輻射率の大きい
物質を塗布して形成したことを特徴とする請求項１記載
の成膜装置。 - 【請求項３】 熱輻射率の大きい面を黒体化処理によっ
て形成したことを特徴とする請求項１記載の成膜装置。 - 【請求項４】 搬送手段のヒータ加熱部に対向する面を
熱輻射率の小さい面に形成したことを特徴とする請求項
１記載の成膜装置。 - 【請求項５】 ヒータ加熱部に対向して搬送手段を挿入
可能な空間をあけて成膜材料を配設し、搬送手段のヒー
タ加熱部と成膜材料に対向する部分に成膜用開口を設け
てその成膜用開口にワーク保持用治具を保持し、ワーク
保持用治具の熱輻射率の大きい面とは反対側の面にワー
クの成膜する面を露出させたことを特徴とする請求項１
の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23886096A JP3933734B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23886096A JP3933734B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 成膜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1088344A true JPH1088344A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3933734B2 JP3933734B2 (ja) | 2007-06-20 |
Family
ID=17036343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23886096A Expired - Fee Related JP3933734B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3933734B2 (ja) |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23886096A patent/JP3933734B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3933734B2 (ja) | 2007-06-20 |
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|---|---|---|---|
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|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070119 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070213 |
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