JPH1084680A - パルス電源装置 - Google Patents

パルス電源装置

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JPH1084680A
JPH1084680A JP8236774A JP23677496A JPH1084680A JP H1084680 A JPH1084680 A JP H1084680A JP 8236774 A JP8236774 A JP 8236774A JP 23677496 A JP23677496 A JP 23677496A JP H1084680 A JPH1084680 A JP H1084680A
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LASER NOSHUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI
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LASER NOSHUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI
Mitsubishi Electric Corp
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    • H03K3/02Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
    • H03K3/53Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use of an energy-accumulating element discharged through the load by a switching device controlled by an external signal and not incorporating positive feedback
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置を小型化することができるとともに低コ
スト化を実現することができるパルス電源装置を得る。 【解決手段】 充電用のコンデンサ5及び放電負荷6と
並列に設けられ、オン時に直流電圧源1とリアクトル2
による閉回路を構成して、電磁エネルギをリアクトル2
に蓄えさせる一方、オフ時にリアクトル2、コンデンサ
5、放電負荷6による閉回路を構成して、上記電磁エネ
ルギをコンデンサ5に静電エネルギとして、かつその充
電電圧を直流電圧源1の電源電圧より昇圧させて蓄えさ
せるスイッチ4を備えるとともに、直流電圧源1の電圧
を検出する電圧検出器7と、リアクトル2を流れる電流
を検出する電流検出器8とを備え、制御回路9Aによ
り、検出電圧および検出電流に基づいてスイッチ4をオ
ン、オフさせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば銅蒸気レー
ザ、エキシマレーザ、炭酸ガスレーザ等のパルスレーザ
の励起エネルギを発生せるパルス電源装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図5は、例えば特開平4−200281
号公報に示された従来のパルス電源装置を示す図であ
る。図において1は直流電圧を発生する直流電圧源、2
は一端が直流電圧源1の正側出力端子に接続されたリア
クトル、4は直流電圧源1に並列に接続されたスイッチ
である。5はリアクトル2の他端に一端が接続されたコ
ンデンサ、6はコンデンサ5の他端に接続された放電負
荷、また9はスイッチ4のオン、オフ制御を行なう制御
回路である。
【0003】以下に、従来のパルス電源装置の動作を説
明する。制御回路9によりスイッチ4がオフされている
場合、直流電圧源1の正側出力端子からリアクトル2を
通してコンデンサ5、さらに放電負荷6を通る経路で電
流が流れ、コンデンサ5は直流電圧源の出力電圧値にな
るまで充電される。
【0004】次に、制御回路9よりスイッチ4がオンさ
れると、スイッチ4を通して放電負荷6側に急峻な電流
が流れ、コンデンサ5に蓄えられていた静電エネルギ
は、放電負荷6へ投入される。
【0005】放電負荷6の内部では、このエネルギを励
起源としてレーザ発振を起こし、投入エネルギに比例し
たレーザ出力光が得られる。これらの動作の完了後、再
び制御回路9によりスイッチ4をオフすると、コンデン
サ5への充電が開始される。これらの動作は、1秒間に
数100〜数1000回程度繰り返し行なわれる。スイ
ッチ4は高電圧、大電流のスイッチング動作を高速で繰
り返し行なうため、スイッチ4としては、半導体デバイ
スで構成される半導体スイッチが使用される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来のパルス電源装置
は、以上のように構成されているので、レーザ出力の安
定化のためにはコンデンサの充電電圧値を高精度に設定
する必要がある。この充電電圧値は、直流電圧源の出力
電圧精度により決定されるため、直流電圧源には高電圧
でかつ高精度のものが必要とされ、このため装置が大型
化し、高コストとなるという問題点があった。
【0007】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、直流電圧源に高精度を必要とせ
ず、またその出力電圧値を大幅に下げることができ、し
かも、充電電圧を高精度に保つことができ、もって装置
を小型化することができるとともに低コスト化を実現す
ることができるパルス電源装置を得ることを目的として
いる。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述した問題点を解決す
るため、この発明の請求項1のパルス電源装置は、直流
電圧を発生する直流電圧源と、この直流電圧源に接続さ
れたリアクトルと、このリアクトルを流れる電流を一方
向に規制するダイオードと、上記リアクトルに接続され
る充電用のコンデンサと、このコンデンサを介して接続
される放電負荷と、上記コンデンサ及び上記放電負荷と
並列に設けられ、オン時に上記直流電圧源と上記リアク
トルによる閉回路を構成して、電磁エネルギを上記リア
クトルに蓄えさせる一方、オフ時に上記リアクトル、上
記コンデンサ、上記放電負荷による閉回路を構成して、
上記電磁エネルギを上記コンデンサに静電エネルギとし
て、かつその充電電圧を上記直流電圧より昇圧させて蓄
えさせるスイッチと、上記直流電圧源の電圧を検出する
電圧検出器と、上記リアクトルを流れる電流を検出する
電流検出器と、上記検出電圧および上記検出電流に基づ
いて上記スイッチをオン、オフさせる制御回路とを備え
てなるものである。
【0009】また、この発明の請求項2のパルス電源装
置は、請求項1のパルス電源装置において、上記制御回
路を、上記検出電圧に基づき、上記検出電流が所定値と
なった時点において、上記スイッチをオフするように構
成したものである。
【0010】また、この発明の請求項3のパルス電源装
置は、請求項2のパルス電源装置において、上記制御回
路は、以下の数式によって表される電流値を演算し、上
記検出電流値が上記演算により求められる演算値に達し
た時点において、上記スイッチをオフするものである。
【0011】Im=K・IS ただし、K=√((V*/E−1)2−1) IS=E・√(C/L)) V*:負荷コンデンサの所望の充電電圧値 E:直流電圧源電圧値 C:負荷コンデンサ値 L:リアクトル値
【0012】さらに、この発明の請求項4のパルス電源
装置は、請求項1乃至請求項3のいずれかのパルス電源
装置において、上記直流電圧源は、単相または3相の商
用電源を昇圧するトランスとダイオードを用いてなる単
相または3相ブリッジ整流回路で構成したものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.以下、この発明の実施の形態1を図に従
って説明する。図1において、1は直流電圧源、2はそ
の一端が直流電圧源1の正側出力端子に接続されたリア
クトル、3はリアクトル2を流れる電流を一方向に規制
するダイオード、4はダイオード3と後述のコンデンサ
5との間に一端が接続され、他端が直流電圧源1の負側
出力端子に接続された開閉用のスイッチである。
【0014】また、5は一端がダイオード3のカソード
側に接続されたコンデンサ、6はコンデンサ5の他端に
接続された放電負荷である。さらに、7は直流電圧源1
の両出力端子に接続され、直流電圧源1の電圧を検出す
る電圧検出器、8は直流電圧源1の負側出力端子とスイ
ッチ4の間に設けられ、リアクトル2を流れる電流を検
出する電流検出器、9Aはその入力側が電圧検出器7と
電流検出器8に接続され、またその出力側がスイッチ4
の制御端子に接続され、電圧検出器7による検出電圧と
電流検出器8による検出電流を入力し、スイッチ4をオ
ン、オフ制御する制御回路である。
【0015】なお、スイッチ4はコンデンサ5及び放電
負荷6と並列に設けられ、そのオン時に直流電圧源1と
リアクトル2による閉回路を構成して、電磁エネルギを
リアクトル2に蓄えさせる一方、オフ時にリアクトル
2、コンデンサ5、放電負荷6による閉回路を構成し
て、リアクトル2に蓄えられた電磁エネルギをコンデン
サ5に静電エネルギとして、かつその充電電圧を直流電
圧源1の出力直流電圧より昇圧させて蓄えさせる。
【0016】次にこの実施の形態1の動作について説明
する。まず、スイッチ4がオンしている時、直流電圧源
1の両出力端子はリアクトル2で短絡された形となり、
リアクトル2に流れる電流Iはオン期間Tと直流電圧源
1の出力電圧E、リアクトルのインダクタンス値Lを用
いて、
【0017】I=E/L×T
【0018】で表されるので、Eの値がスイッチのオン
時間Tの間で一定とみなせる場合、スイッチのオン時間
に比例的に依存した電流がリアクトル2に電磁エネルギ
として蓄えられる。その後、スイッチ4をオフすると、
直流電圧源1からリアクトル2、ダイオード3を介して
コンデンサ5に充電電流が流れるが、この電流には、ス
イッチ4をオフする直前に、リアクトル2に流れていた
電流Imが初期値として加算される。
【0019】一方、この初期電流がない場合の充電電流
の最大値ISは、コンデンサ5の静電容量Cを用いて、
【0020】IS=E×√(C/L)
【0021】で表される。よって、スイッチ4のオフ後
の充電電流Iは、
【0022】ImCOS(ωt)+IsSIN(ωt)
【0023】の2項の和で表せるが、スイッチ4のオフ
の時点をt=0とすると、上記電流Iは所定の期間、ダ
イオード3の順方向に流れるが、電流値がやがて減少し
て、ゼロとなり電流の方向が反転しようとする。しか
し、ダイオード3がこの電流の反転を阻止し、コンデン
サ5への充電動作を完了する。昇圧チョッパと同様の原
理により、充電電圧値は直流電圧源1の出力電圧Eの2
倍以上で理論上何倍にでも昇圧できる。
【0024】その後スイッチ4をオンすることにより、
コンデンサ5に蓄えられた静電エネルギをスイッチ4を
通して、放電負荷6に極めて短時間で供給すると同時
に、再びリアクトル2への電磁エネルギの蓄積を開始す
る。これらの一連の動作の中で、コンデンサ5の充電電
圧値VCは、充電電流Iによって決まる。
【0025】直流電圧源1の出力電圧値E、およびリア
クトル2に流れる電流値Iを検出すれば、上述したI
m、Isが得られ、充電電圧値の制御が可能となる。図
において、出力電圧値Eを電圧検出器7で、リアクトル
2の電流値Iを電流検出器8で検出し、制御回路9に入
力する。制御回路9は、これらの検出値を用いて、後述
するように、所望の充電電圧値が得られるようにスイッ
チのオン、オフ制御を行う。
【0026】以上、説明したように実施の形態1によれ
ば、直流電圧源の出力電圧の精度を必要とせず、充電電
圧値の制御が可能となり、しかも、直流電圧源の出力電
圧は、充電電圧に対して大幅に低電圧化できる。
【0027】実施の形態2.以下、この発明の実施の形
態2として、実施の形態1で示した制御回路の動作の一
例について説明する。図2は制御回路の動作を説明する
ためのタイムチャートを示す図である。
【0028】図において、Imは、所望の充電電圧を得
るため、スイッチ4のオフ直前にリアクトル2に流すべ
き電流値であり、Iは電流検出器8により検出されるリ
アクトル2の電流波形、Tはスイッチ4のオン、オフ制
御信号、Vはコンデンサ5の充電電圧波形である。リア
クトル2を流れる電流値が、Imを超える時点をスイッ
チ4のオフタイミングと定め、コンデンサ5の充電を行
なう。
【0029】充電完了から充電するまでの時間より十分
時間が経過してから、スイッチのオン指令を行なう。後
述するように、Imを所望の充電電圧値とその時点での
電圧値Eから算出しておくと、単純な電流値の比較でス
イッチのオン時間が制御でき、所望の充電電圧値が簡単
に得られる。
【0030】実施の形態3.以下、この発明の実施の形
態3として、実施の形態2で示したImの求め方の一例
を説明する。図3において、V*は所望の充電電圧、1
0はこの所望の充電電圧V*と電流検出器7で検出され
た検出電圧値が入力され、V*/Eを求める除算器、1
1は除算器10の出力側に接続され、その出力から1を
減算する減算器、12は減算器11の出力側に接続さ
れ、その出力を二乗する二乗演算器、13は二乗演算器
12の出力側に接続され、その出力から1を引く減算
器、14は減算器13の出力側に接続され、その出力か
ら平方根を求める平方根演算器、15は検出電圧値Eと
後述するSの値が入力され、これらを乗算する乗算器、
16は乗算器15の出力側と平方根演算器14の出力側
に接続され、これらの出力を乗算してImを得る乗算
器、17はこの乗算器16の出力側と電流検出器8の出
力側に接続され、これらの出力を比較する比較回路であ
る。
【0031】このような構成の下、スイッチ4のオフ直
前にリアクトル2に流すべき電流値Imを次式、
【0032】K=√((V*/E−1)2−1) S=√(C/L)
【0033】を用いて、Im=K×E×Sで求めるよう
にする。
【0034】上記の数式を用いた演算を行なうと、所望
の充電電圧V*を得るための電流値Imが、簡単かつ正
確に得られる。
【0035】実施の形態4.以下、この発明の実施の形
態4として、実施の形態1乃至3で示した直流電圧源の
一具体例について説明する。図4において、19は3相
の商用電源を入力とし、出力電圧を昇圧するトランス、
20は3相の交流電圧を整流するブリッジ整流回路でダ
イオードで構成されている。上述してきた直流電圧源1
として以上のような構成を備えるとともに、制御回路9
にてコンデンサ5の充電電圧を自在に制御するようにす
れば、直流電圧源の出力電圧精度が不要となる。そし
て、かかる構成によれば、400V/6.6kV等の汎
用的なトランスの適用も可能となるので、パルス電源装
置としての構成がさらに簡略化するとともに、低コスト
化できる。
【0036】
【発明の効果】この発明の請求項1のパルス電源装置
は、直流電圧を発生する直流電圧源と、この直流電圧源
に接続されたリアクトルと、このリアクトルを流れる電
流を一方向に規制するダイオードと、上記リアクトルに
接続される充電用のコンデンサと、このコンデンサを介
して接続される放電負荷と、上記コンデンサ及び上記放
電負荷と並列に設けられ、オン時に上記直流電圧源と上
記リアクトルによる閉回路を構成して、電磁エネルギを
上記リアクトルに蓄えさせる一方、オフ時に上記リアク
トル、上記コンデンサ、上記放電負荷による閉回路を構
成して、上記電磁エネルギを上記コンデンサに静電エネ
ルギとして、かつその充電電圧を上記直流電圧より昇圧
させて蓄えさせるスイッチと、上記直流電圧源の電圧を
検出する電圧検出器と、上記リアクトルを流れる電流を
検出する電流検出器と、上記検出電圧および上記検出電
流に基づいて上記スイッチをオン、オフさせる制御回路
とを備えたため、直流電圧源には、出力電圧制御機能が
不要となり、充電電圧の制御を直接充電電圧を検出する
ことなく、精度よく行うことが可能となる。また放電ノ
イズやスイッチングノイズの影響を受けにくく、安定し
た動作が得られる。さらに、充電電圧値に対して直流電
圧値を大幅に小さくできるので、直流電圧源の出力電圧
が低電圧化でき、もって、パルス電源装置の構成が大幅
に簡略化されてコンパクト化、低コスト化できるという
効果を奏する。
【0037】また、この発明の請求項2のパルス電源装
置は、請求項1のパルス電源装置において、上記制御回
路を、上記検出電圧に基づき、上記検出電流が所定値と
なった時点において、上記スイッチをオフするように構
成したため、上記効果に加えて、単純な電流値の比較で
スイッチのオン時間が制御でき、所望の充電電圧値が簡
単に得られるという効果を奏する。
【0038】また、この発明の請求項3のパルス電源装
置は、請求項2のパルス電源装置において、上記制御回
路は、以下の数式によって表される電流値を演算し、上
記検出電流値が上記演算により求められる演算値に達し
た時点において、上記スイッチをオフするものであるた
め、上記効果に加えて、所望の充電電圧V*を得るため
の電流値Imが、簡単かつ正確に得られるという効果を
奏する。
【0039】Im=K・IS ただし、K=√((V*/E−1)2−1) IS=E・√(C/L)) V*:負荷コンデンサの所望の充電電圧値 E:直流電圧源電圧値 C:負荷コンデンサ値 L:リアクトル値
【0040】さらに、この発明の請求項4のパルス電源
装置は、請求項1乃至請求項3のいずれかのパルス電源
装置において、上記直流電圧源は、単相または3相の商
用電源を昇圧するトランスとダイオードを用いてなる単
相または3相ブリッジ整流回路で構成したため、上記効
果に加えて、直流電圧源の出力電圧精度が不要となり、
また汎用的なトランスの適用も可能となるので、構成が
さらに簡略化するとともに、低コスト化できるという効
果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるパルス電源装
置の構成を示すブロック図である。
【図2】 この発明の実施の形態2を示す動作タイミン
グチャート図である。
【図3】 この発明の実施の形態3を示す制御ブロック
図である。
【図4】 この発明の実施の形態4を示すブロック図で
ある。
【図5】 従来のパルス電源装置を示すブロック図であ
る。
【符号の説明】
1 直流電圧源、2 リアクトル、3 ダイオード、4
スイッチ、5 コンデンサ、7 電圧検出器、8 電
流検出器、9、9A 制御回路、10 除算器、11、
13 減算器、12 二乗演算器、14 平方根演算
器、15、16乗算器、17 比較器、19 トラン
ス、20 単相または3相ブリッジ整流回路図。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 直流電圧を発生する直流電圧源と、この
    直流電圧源に接続されたリアクトルと、このリアクトル
    を流れる電流を一方向に規制するダイオードと、上記リ
    アクトルに接続される充電用のコンデンサと、このコン
    デンサを介して接続される放電負荷と、上記コンデンサ
    及び上記放電負荷と並列に設けられ、オン時に上記直流
    電圧源と上記リアクトルによる閉回路を構成して、電磁
    エネルギを上記リアクトルに蓄えさせる一方、オフ時に
    上記リアクトル、上記コンデンサ、上記放電負荷による
    閉回路を構成して、上記電磁エネルギを上記コンデンサ
    に静電エネルギとして、かつその充電電圧を上記直流電
    圧より昇圧させて蓄えさせるスイッチと、上記直流電圧
    源の電圧を検出する電圧検出器と、上記リアクトルを流
    れる電流を検出する電流検出器と、上記検出電圧および
    上記検出電流に基づいて上記スイッチをオン、オフさせ
    る制御回路とを備えてなるパルス電源装置。
  2. 【請求項2】 請求項1のパルス電源装置において、上
    記制御回路は、上記検出電圧に基づき、上記検出電流が
    所定値となった時点において、上記スイッチをオフする
    パルス電源装置。
  3. 【請求項3】 請求項2のパルス電源装置において、上
    記制御回路は、以下の数式によって表される電流値を演
    算し、上記検出電流値が上記演算により求められる演算
    値に達した時点において、上記スイッチをオフするパル
    ス電源装置。 【数1】Im=K・IS ただし、K=√((V*/E−1)2−1) IS=E・√(C/L)) V*:負荷コンデンサの所望の充電電圧値 E:直流電圧源電圧値 C:負荷コンデンサ値 L:リアクトル値
  4. 【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれかのパル
    ス電源装置において、上記直流電圧源は、単相または3
    相の商用電源を昇圧するトランスとダイオードを用いて
    なる単相または3相ブリッジ整流回路であるパルス電源
    装置。
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