JPH1083994A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH1083994A JPH1083994A JP23772396A JP23772396A JPH1083994A JP H1083994 A JPH1083994 A JP H1083994A JP 23772396 A JP23772396 A JP 23772396A JP 23772396 A JP23772396 A JP 23772396A JP H1083994 A JPH1083994 A JP H1083994A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- cassette
- temperature atmosphere
- wafer
- cooler
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 顧客の熱処理設備とその設置スペースを削減
することができ、安価に実施する。 【解決手段】 ウェーハ１をヒータ２により加熱処理す
る半導体製造装置において、前記ヒータ２の外側に、該
ヒータ外側の高温雰囲気を循環させる送風機３を設け、
その循環経路に高温雰囲気を冷却する冷却器４を配置す
ることを特徴とする。
することができ、安価に実施する。 【解決手段】 ウェーハ１をヒータ２により加熱処理す
る半導体製造装置において、前記ヒータ２の外側に、該
ヒータ外側の高温雰囲気を循環させる送風機３を設け、
その循環経路に高温雰囲気を冷却する冷却器４を配置す
ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハをヒータ
により加熱処理する半導体製造装置に関するものであ
る。
により加熱処理する半導体製造装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来装置の１例を示す簡略縦断側
面図である。図３において５はカセット移載機、６はカ
セット棚、７はカセット、８はウェーハ移載機、９はウ
ェーハ１を載置するボート、２はヒータ、１０は反応
管、１１は客光熱処理設備へ連通するダクト、１２は筐
体である。この従来例は、ボード９を反応管１０内に挿
入し、ボート９上のウェーハ１をヒータ２により加熱処
理するものである。
面図である。図３において５はカセット移載機、６はカ
セット棚、７はカセット、８はウェーハ移載機、９はウ
ェーハ１を載置するボート、２はヒータ、１０は反応
管、１１は客光熱処理設備へ連通するダクト、１２は筐
体である。この従来例は、ボード９を反応管１０内に挿
入し、ボート９上のウェーハ１をヒータ２により加熱処
理するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、加熱処理の際、ヒータ２の輻射・伝導熱により筐体
１２の表面温度が上昇し危険であるため、ヒータ外側の
高温雰囲気をダクト１１より排気し、客光熱処理設備で
熱処理しているので、装置以外に熱処理設備とその設置
スペースを必要とし、高価になるという課題がある。
は、加熱処理の際、ヒータ２の輻射・伝導熱により筐体
１２の表面温度が上昇し危険であるため、ヒータ外側の
高温雰囲気をダクト１１より排気し、客光熱処理設備で
熱処理しているので、装置以外に熱処理設備とその設置
スペースを必要とし、高価になるという課題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明装置は、従来技術
の課題であるヒータの熱処理を顧客の熱処理設備に頼る
ことを解消し、半導体製造装置内で処理できる半導体製
造装置を提供するため、図１に示すようにウェーハ１を
ヒータ２により加熱処理する半導体製造装置において、
前記ヒータ２の外側に、該ヒータ外側の高温雰囲気を循
環させる送風機３を設け、その循環経路に高温雰囲気を
冷却する冷却器４を配置することを特徴とする。
の課題であるヒータの熱処理を顧客の熱処理設備に頼る
ことを解消し、半導体製造装置内で処理できる半導体製
造装置を提供するため、図１に示すようにウェーハ１を
ヒータ２により加熱処理する半導体製造装置において、
前記ヒータ２の外側に、該ヒータ外側の高温雰囲気を循
環させる送風機３を設け、その循環経路に高温雰囲気を
冷却する冷却器４を配置することを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１は本発明装置の実施形態の１
例を示す簡略縦断側面図、図２はその背面から見た縦断
面図である。図１，図２において５は装置正面のカセッ
ト出入口から搬入されたカセット７をカセット棚６に移
載し、又カセット棚６からカセット７をカセット出入口
側に取出すカセット移載機、８はカセット棚６上のカセ
ット７からウェーハ１を取出してボート９上に移し、又
ボート９からカセット７にウェーハ１を移載するウェー
ハ移載機、２はボート９を反応管１０内に搬入してウェ
ーハ１を加熱処理するヒータで、加熱処理されたウェー
ハ１は、ボート９を反応管１０内より搬出することによ
り取出される。
例を示す簡略縦断側面図、図２はその背面から見た縦断
面図である。図１，図２において５は装置正面のカセッ
ト出入口から搬入されたカセット７をカセット棚６に移
載し、又カセット棚６からカセット７をカセット出入口
側に取出すカセット移載機、８はカセット棚６上のカセ
ット７からウェーハ１を取出してボート９上に移し、又
ボート９からカセット７にウェーハ１を移載するウェー
ハ移載機、２はボート９を反応管１０内に搬入してウェ
ーハ１を加熱処理するヒータで、加熱処理されたウェー
ハ１は、ボート９を反応管１０内より搬出することによ
り取出される。
【０００６】本形態は、このような半導体製造装置にお
いて、ヒータ２の外側に、該ヒータ外側の高温雰囲気を
循環させる送風機３を設け、その循環経路に高温雰囲気
を冷却する冷却器４を配置する。なお、冷却器４として
は、ラジエータ等の熱交換器を用いることができる。こ
のような構成とすることにより、ヒータ２の外側の高温
雰囲気が送風機３により冷却器４を通して循環され、冷
却器４により冷却される。その結果、筐体１２の表面温
度が高温になって危険になることはない。
いて、ヒータ２の外側に、該ヒータ外側の高温雰囲気を
循環させる送風機３を設け、その循環経路に高温雰囲気
を冷却する冷却器４を配置する。なお、冷却器４として
は、ラジエータ等の熱交換器を用いることができる。こ
のような構成とすることにより、ヒータ２の外側の高温
雰囲気が送風機３により冷却器４を通して循環され、冷
却器４により冷却される。その結果、筐体１２の表面温
度が高温になって危険になることはない。
【０００７】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ヒータ外
側の高温雰囲気を装置内の送風機と冷却器で熱処理して
いるので、顧客の熱処理設備とその設置スペースを削減
することができ、安価に実施することができる。
側の高温雰囲気を装置内の送風機と冷却器で熱処理して
いるので、顧客の熱処理設備とその設置スペースを削減
することができ、安価に実施することができる。
【図１】本発明装置の実施形態の１例を示す簡略縦断側
面図である。
面図である。
【図２】その背面から見た縦断面図である。
【図３】従来装置の１例を示す簡略縦断側面図である。
１ ウェーハ ２ ヒータ ３ 送風機 ４ 冷却器
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハをヒータにより加熱処理する半
導体製造装置において、前記ヒータの外側に、該ヒータ
外側の高温雰囲気を循環させる送風機を設け、その循環
経路に高温雰囲気を冷却する冷却器を配置することを特
徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23772396A JPH1083994A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23772396A JPH1083994A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1083994A true JPH1083994A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=17019546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23772396A Pending JPH1083994A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1083994A (ja) |
-
1996
- 1996-09-09 JP JP23772396A patent/JPH1083994A/ja active Pending
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