JPH108044A - ＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料 - Google Patents
ＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料Info
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- JPH108044A JPH108044A JP8185289A JP18528996A JPH108044A JP H108044 A JPH108044 A JP H108044A JP 8185289 A JP8185289 A JP 8185289A JP 18528996 A JP18528996 A JP 18528996A JP H108044 A JPH108044 A JP H108044A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電極エッチングの際にダメージを与える蒸着
異常粒子の発生が起こらないＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料
を提供する。 【解決手段】 材料の加熱蒸発を利用した蒸着の際、蒸
着源の表面温度において、ＭｎＳよりも標準生成自由エ
ネルギーの低い化合物を生成する元素をＡ、ＭｎＳより
も標準生成自由エネルギーの低い化合物または該化合物
を生成する化合物をＢとした場合、 【化１】 の組成式からなる化合物であることを特徴とするＺｎ
Ｓ：Ｍｎ系蒸着用材料。
異常粒子の発生が起こらないＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料
を提供する。 【解決手段】 材料の加熱蒸発を利用した蒸着の際、蒸
着源の表面温度において、ＭｎＳよりも標準生成自由エ
ネルギーの低い化合物を生成する元素をＡ、ＭｎＳより
も標準生成自由エネルギーの低い化合物または該化合物
を生成する化合物をＢとした場合、 【化１】 の組成式からなる化合物であることを特徴とするＺｎ
Ｓ：Ｍｎ系蒸着用材料。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は交流電界の印加によ
って発光する薄膜エレクトロルミネセント（ＥＬ）ディ
スプレイに関するものであり、特にその発光層として蒸
着されるＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料に関する。
って発光する薄膜エレクトロルミネセント（ＥＬ）ディ
スプレイに関するものであり、特にその発光層として蒸
着されるＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的な薄膜ＥＬディスプレイの断面図
を図１に示す。ガラス等からなる透明基板１上にＩｎ2
Ｏ3 、ＳｎＯ2 、ＺｎＯ2 、Ｓｂ2 Ｏ3 等の単層もしく
は複合層からなる透明導電膜２を形成し、発光層４をＳ
ｉＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳＩＡＬＯＮ、Ｙ2 Ｏ3 、ＢａＴｉ
Ｏ3 、ＳｒＴｉＯ3 、Ｔａ2 Ｏ5 、ＳｉＯ2 等の誘電体
の単層もしくは複合層からなる絶縁層３，５で挾み込
み、その上部に上部電極６としてＡｌ、Ｍｇ等の金属も
しくは合金からなる背面電極を配した構造である。
を図１に示す。ガラス等からなる透明基板１上にＩｎ2
Ｏ3 、ＳｎＯ2 、ＺｎＯ2 、Ｓｂ2 Ｏ3 等の単層もしく
は複合層からなる透明導電膜２を形成し、発光層４をＳ
ｉＮ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳＩＡＬＯＮ、Ｙ2 Ｏ3 、ＢａＴｉ
Ｏ3 、ＳｒＴｉＯ3 、Ｔａ2 Ｏ5 、ＳｉＯ2 等の誘電体
の単層もしくは複合層からなる絶縁層３，５で挾み込
み、その上部に上部電極６としてＡｌ、Ｍｇ等の金属も
しくは合金からなる背面電極を配した構造である。
【０００３】従来より薄膜ＥＬディスプレイの発光層と
してマンガンをドープした硫化亜鉛（ＺｎＳ：Ｍｎ）が
用いられている。このＺｎＳ：Ｍｎ発光層は成型体、焼
結体ペレットもしくは粉末状のＺｎＳ：Ｍｎを電子ビー
ム等の加熱によって蒸着することにより成膜される。
してマンガンをドープした硫化亜鉛（ＺｎＳ：Ｍｎ）が
用いられている。このＺｎＳ：Ｍｎ発光層は成型体、焼
結体ペレットもしくは粉末状のＺｎＳ：Ｍｎを電子ビー
ム等の加熱によって蒸着することにより成膜される。
【０００４】この際、蒸着粒子は原子レベル、分子レベ
ルにまで分解されることが理想である。しかしながら、
実際には蒸着源は原子レベル、分子レベルで蒸発するだ
けでなく、幾つかの原子もしくは分子が集合したクラス
ターの状態で蒸着される。
ルにまで分解されることが理想である。しかしながら、
実際には蒸着源は原子レベル、分子レベルで蒸発するだ
けでなく、幾つかの原子もしくは分子が集合したクラス
ターの状態で蒸着される。
【０００５】ＺｎＳ：Ｍｎの蒸着の場合、蒸着中に原子
レベル、分子レベルになったＺｎＳ：Ｍｎの通常サイズ
の蒸着粒子１１、１２の他にサイズの大きな蒸着粒子
９、１０（以下、蒸着異常粒子と表記する）が発生し、
これがはじけ飛んでガラス等の基板に付着する現象が起
こる（図２参照）。
レベル、分子レベルになったＺｎＳ：Ｍｎの通常サイズ
の蒸着粒子１１、１２の他にサイズの大きな蒸着粒子
９、１０（以下、蒸着異常粒子と表記する）が発生し、
これがはじけ飛んでガラス等の基板に付着する現象が起
こる（図２参照）。
【０００６】また、ＥＬディスプレイでは画素を形成す
るために電極を平行かつ等間隔に形成する必要がある
（図２参照）。この加工は通常、酸性の水溶液等をエッ
チヤントとして用いた湿式エッチングによって行われて
いる。このマトリックス電極の幅は２００μｍ程度に加
工される必要があるため、蒸着異常粒子の大きさがおよ
そ３０μｍを超えると、この蒸着異常粒子が電極のエッ
チングの際に断線１３等の不良の原因となる。このため
エッチング工程の前に水洗によって蒸着異常粒子を物理
的に剥ぎ取る工程が必要とされ、この工程が製造工程を
複雑にするため問題となっていた。
るために電極を平行かつ等間隔に形成する必要がある
（図２参照）。この加工は通常、酸性の水溶液等をエッ
チヤントとして用いた湿式エッチングによって行われて
いる。このマトリックス電極の幅は２００μｍ程度に加
工される必要があるため、蒸着異常粒子の大きさがおよ
そ３０μｍを超えると、この蒸着異常粒子が電極のエッ
チングの際に断線１３等の不良の原因となる。このため
エッチング工程の前に水洗によって蒸着異常粒子を物理
的に剥ぎ取る工程が必要とされ、この工程が製造工程を
複雑にするため問題となっていた。
【０００７】近年、ＥＬディスプレイのカラー化のため
に発色の異なる発光層を積層することが必要とされてい
る。ＺｎＳ：Ｍｎ層に積層される発光層には、例えばＳ
ｒＳ：Ｃｅ、ＣａＳ：Ｃｅ等がある。しかし、これらの
蛍光体は大気中での化学的安定性が低く水分や酸素と反
応し劣化するため、これらの発光層を積層させた場合に
は、水洗によって蒸着異常粒子を剥ぎ取ることが不可能
となり、ＥＬディスプレイのカラー化の障害となってい
た。
に発色の異なる発光層を積層することが必要とされてい
る。ＺｎＳ：Ｍｎ層に積層される発光層には、例えばＳ
ｒＳ：Ｃｅ、ＣａＳ：Ｃｅ等がある。しかし、これらの
蛍光体は大気中での化学的安定性が低く水分や酸素と反
応し劣化するため、これらの発光層を積層させた場合に
は、水洗によって蒸着異常粒子を剥ぎ取ることが不可能
となり、ＥＬディスプレイのカラー化の障害となってい
た。
【０００８】例えば特開昭６３−９９５号公報に、Ｚｎ
ＳとＭｇＳ、ＣａＳ、ＳｒＳ、ＢａＳのうち少なくとも
一つを加え、希土類または遷移金属を添加した薄膜発光
層が開示されている。これはＥＬディスプレイの発光層
の組成に関するものであり、本発明の蒸着原料とは基本
的に異なる。また、その目的は発光層の耐久性の向上で
あるため、蒸着異常の低減を目的とした本発明とはこの
点においても区別される。
ＳとＭｇＳ、ＣａＳ、ＳｒＳ、ＢａＳのうち少なくとも
一つを加え、希土類または遷移金属を添加した薄膜発光
層が開示されている。これはＥＬディスプレイの発光層
の組成に関するものであり、本発明の蒸着原料とは基本
的に異なる。また、その目的は発光層の耐久性の向上で
あるため、蒸着異常の低減を目的とした本発明とはこの
点においても区別される。
【０００９】他方、特開平８−３１５７１号公報におい
ては、ＥＬディスプレイ発光層の成膜組成にかかわるも
のであり、本発明における蒸着原料とは基本的に異な
る。しかも、同公報における実施例において、蒸発源と
しては、ＺｎＳ：Ｍｎ粉末とＭｇＳ粉末との単なる物理
的混合による成型体であり、蒸着時の温度でＺｎＳ：Ｍ
ｎとＭｇＳとの蒸気圧が異なるために蒸着中にペレット
の組成が時間と共に変化し安定な組成で蒸着できないと
いう問題点が生じる。
ては、ＥＬディスプレイ発光層の成膜組成にかかわるも
のであり、本発明における蒸着原料とは基本的に異な
る。しかも、同公報における実施例において、蒸発源と
しては、ＺｎＳ：Ｍｎ粉末とＭｇＳ粉末との単なる物理
的混合による成型体であり、蒸着時の温度でＺｎＳ：Ｍ
ｎとＭｇＳとの蒸気圧が異なるために蒸着中にペレット
の組成が時間と共に変化し安定な組成で蒸着できないと
いう問題点が生じる。
【００１０】しかも、蒸着ペレットにおいては、ハンド
リングが良く、経時変化の少ない化学的、物理的に安定
な性能が要求されるが、ＺｎＳ：Ｍｎ粉末とＭｇＳ粉末
との単なる物理的混合による成型体においてはＭｇＳの
潮解性が激しく、化学的に不安定で、蒸着ペレットとし
て安定な状態を維持できないという問題点があった。さ
らにＭｇＳは酸素を吸収することによりＭｇＳＯ4 を生
成し、実際の蒸着において酸素を放出して、純度の高い
膜を生成させることができないという問題を生じてい
る。
リングが良く、経時変化の少ない化学的、物理的に安定
な性能が要求されるが、ＺｎＳ：Ｍｎ粉末とＭｇＳ粉末
との単なる物理的混合による成型体においてはＭｇＳの
潮解性が激しく、化学的に不安定で、蒸着ペレットとし
て安定な状態を維持できないという問題点があった。さ
らにＭｇＳは酸素を吸収することによりＭｇＳＯ4 を生
成し、実際の蒸着において酸素を放出して、純度の高い
膜を生成させることができないという問題を生じてい
る。
【００１１】また、この場合のＭｇの添加は赤色、緑色
の発光輝度および色純度を向上させることが目的であ
り、この点からも蒸着異常の低減を目的とした本発明と
は明確に区別される。
の発光輝度および色純度を向上させることが目的であ
り、この点からも蒸着異常の低減を目的とした本発明と
は明確に区別される。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電極
エッチングの際にダメージを与える蒸着異常粒子の発生
が起こらないＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料を提供すること
にある。
エッチングの際にダメージを与える蒸着異常粒子の発生
が起こらないＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料を提供すること
にある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、以下の事
実および現象を見い出したことによって本発明を完成さ
せるに至った。すなわち、従前よりＭｎ化合物を添加し
ていないＺｎＳ蒸着の際には蒸着異常粒子が発生せずに
蒸着が行われていることが知られていた。
実および現象を見い出したことによって本発明を完成さ
せるに至った。すなわち、従前よりＭｎ化合物を添加し
ていないＺｎＳ蒸着の際には蒸着異常粒子が発生せずに
蒸着が行われていることが知られていた。
【００１４】蒸着される前のペレット中のＭｎは硫化物
として存在していないが、蒸着後のＺｎＳ：Ｍｎ蒸着ペ
レットの分析により、蒸着中の熱によって蒸着ペレット
の表面には硫化マンガン（ＭｎＳ）が生成（以下、晶出
と記述する）していることが判明した。
として存在していないが、蒸着後のＺｎＳ：Ｍｎ蒸着ペ
レットの分析により、蒸着中の熱によって蒸着ペレット
の表面には硫化マンガン（ＭｎＳ）が生成（以下、晶出
と記述する）していることが判明した。
【００１５】本発明者等は蒸着中に起こる硫化マンガン
のＺｎＳ：Ｍｎ蒸着ペレット表面への晶出が蒸着異常粒
子の発生と関連があることを見い出し、蒸着中のＭｎＳ
のＺｎＳ：Ｍｎ蒸着ペレット表面への析出量を制御する
ことで蒸着異常を低減できることを知見し、本発明を完
成させるに至った。
のＺｎＳ：Ｍｎ蒸着ペレット表面への晶出が蒸着異常粒
子の発生と関連があることを見い出し、蒸着中のＭｎＳ
のＺｎＳ：Ｍｎ蒸着ペレット表面への析出量を制御する
ことで蒸着異常を低減できることを知見し、本発明を完
成させるに至った。
【００１６】すなわち、本発明は、材料の加熱蒸発を利
用した蒸着の際、蒸着源の表面温度において、ＭｎＳよ
りも標準生成自由エネルギーの低い化合物を生成する元
素をＡ、ＭｎＳよりも標準生成自由エネルギーの低い化
合物または該化合物を生成する化合物をＢとした場合、
用した蒸着の際、蒸着源の表面温度において、ＭｎＳよ
りも標準生成自由エネルギーの低い化合物を生成する元
素をＡ、ＭｎＳよりも標準生成自由エネルギーの低い化
合物または該化合物を生成する化合物をＢとした場合、
【００１７】
【化２】 の組成式からなる化合物であることを特徴とするＺｎ
Ｓ：Ｍｎ系蒸着用材料にある。
Ｓ：Ｍｎ系蒸着用材料にある。
【００１８】ここにおいて、ＭｎＳよりも標準生成自由
エネルギーの低い化合物を生成する元素Ａとしては、マ
グネシウム、カルシウム、セリウム、ナトリウムが挙げ
られる。また、ＭｎＳよりも標準生成自由エネルギーの
低い化合物Ｂとしては硫化マグネシウム、硫化カルシウ
ム、硫化セリウム、硫化ナトリウムが挙げられる。さら
に、該化合物を生成する化合物としてはヨウ化マグネシ
ウム、ヨウ化カルシウム、ヨウ化セリウム、ヨウ化ナト
リウムが挙げられる。また、上式中、Ａは０＜ｘ＜１で
あることが必要であり、ｘが０では本来の発光色を示さ
ず、ｘが１ではＭｎＳが晶出する。
エネルギーの低い化合物を生成する元素Ａとしては、マ
グネシウム、カルシウム、セリウム、ナトリウムが挙げ
られる。また、ＭｎＳよりも標準生成自由エネルギーの
低い化合物Ｂとしては硫化マグネシウム、硫化カルシウ
ム、硫化セリウム、硫化ナトリウムが挙げられる。さら
に、該化合物を生成する化合物としてはヨウ化マグネシ
ウム、ヨウ化カルシウム、ヨウ化セリウム、ヨウ化ナト
リウムが挙げられる。また、上式中、Ａは０＜ｘ＜１で
あることが必要であり、ｘが０では本来の発光色を示さ
ず、ｘが１ではＭｎＳが晶出する。
【００１９】
【作用】本発明に従い蒸着原料であるＺｎＳ：Ｍｎ中
に、蒸着するために加熱された温度、すなわち約１００
０℃においてＭｎＳよりも標準生成自由エネルギーの低
い物質、もしくは標準生成自由エネルギーの低い化合物
を生成する物質、例えばＭｇＳないしＭｇ、もしくはＭ
ｇ化合物を添加し、成型、焼結して蒸着ペレットを合成
する。
に、蒸着するために加熱された温度、すなわち約１００
０℃においてＭｎＳよりも標準生成自由エネルギーの低
い物質、もしくは標準生成自由エネルギーの低い化合物
を生成する物質、例えばＭｇＳないしＭｇ、もしくはＭ
ｇ化合物を添加し、成型、焼結して蒸着ペレットを合成
する。
【００２０】このようにして合成されたペレットで電子
ビームで加熱し、蒸着を行う。ＺｎＳ：Ｍｎが蒸発する
温度になった時の蒸着用ペレットの表面温度はおよそ１
０００℃になる。この時、蒸着用ペレットの表面にはＭ
ｇＳが晶出し、ＭｎＳの晶出は抑制される。その結果、
電極エッチングの際にダメージを与える蒸着異常粒子の
発生が起こらなくなる。
ビームで加熱し、蒸着を行う。ＺｎＳ：Ｍｎが蒸発する
温度になった時の蒸着用ペレットの表面温度はおよそ１
０００℃になる。この時、蒸着用ペレットの表面にはＭ
ｇＳが晶出し、ＭｎＳの晶出は抑制される。その結果、
電極エッチングの際にダメージを与える蒸着異常粒子の
発生が起こらなくなる。
【００２１】
【実施例】以下、実施例に基づき本発明を具体的に説明
する。実施例１ 硫化亜鉛（市販品、純度９９．９％）に硫化マグネシウ
ム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍｏ
ｌ％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販
品、純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％にな
るように加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰
囲気中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の
焼結体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95Ｍｇ
0.05Ｓ：Ｍｎ（０．３５ａｔ％）であった。
する。実施例１ 硫化亜鉛（市販品、純度９９．９％）に硫化マグネシウ
ム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍｏ
ｌ％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販
品、純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％にな
るように加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰
囲気中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の
焼結体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95Ｍｇ
0.05Ｓ：Ｍｎ（０．３５ａｔ％）であった。
【００２２】実施例１によって製造した蒸着用ペレット
を図３のように電子ビーム装置のチャンバー１４中のホ
ルダー１９に設置しこれに対向させて発光層を形成する
ための基板１６を設置する。基板ホルダー１７内に取り
付けられた加熱用ヒーターによって基板の温度は１５０
〜４００℃に保持する。真空ポンプ１５によってチャン
バー内を排気し、チャンバ−内を真空状態に保ち、電子
銃２１から蒸着用ペレット表面に５００〜１５００Ｗ程
度の電子ビーム２３を照射し、ペレットから粒子の蒸発
が始まるとシャッター２０を開放し基板１６へ蒸着を行
った。この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結
果を表１に示す。
を図３のように電子ビーム装置のチャンバー１４中のホ
ルダー１９に設置しこれに対向させて発光層を形成する
ための基板１６を設置する。基板ホルダー１７内に取り
付けられた加熱用ヒーターによって基板の温度は１５０
〜４００℃に保持する。真空ポンプ１５によってチャン
バー内を排気し、チャンバ−内を真空状態に保ち、電子
銃２１から蒸着用ペレット表面に５００〜１５００Ｗ程
度の電子ビーム２３を照射し、ペレットから粒子の蒸発
が始まるとシャッター２０を開放し基板１６へ蒸着を行
った。この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結
果を表１に示す。
【００２３】実施例２ 硫化亜鉛（市販品、純度９９．９％）に硫化カルシウム
（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍｏｌ
％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販品、
純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％になるよ
うに加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰囲気
中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の焼結
体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95Ｃａ0.05Ｓ：Ｍ
ｎ（０．３５ａｔ％）であった。
（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍｏｌ
％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販品、
純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％になるよ
うに加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰囲気
中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の焼結
体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95Ｃａ0.05Ｓ：Ｍ
ｎ（０．３５ａｔ％）であった。
【００２４】実施例２によって製造した蒸着用ペレット
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
【００２５】実施例３ 硫化亜鉛（市販品、純度９９．９％）に金属マグネシウ
ム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍｏ
ｌ％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販
品、純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％にな
るように加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰
囲気中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の
焼結体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95Ｍｇ
0.05Ｓ：Ｍｎ（０．３５ａｔ％）であった。
ム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍｏ
ｌ％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販
品、純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％にな
るように加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰
囲気中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の
焼結体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95Ｍｇ
0.05Ｓ：Ｍｎ（０．３５ａｔ％）であった。
【００２６】実施例３によって製造した蒸着用ペレット
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
【００２７】実施例４ 硫化亜鉛（市販品、純度９９．９％）にヨウ化マグネシ
ウム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍ
ｏｌ％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販
品、純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％にな
るように加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰
囲気中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の
焼結体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95（Ｍｇ
Ｉ2）0.05Ｓ：Ｍｎ（０．３５ａｔ％）であった。
ウム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し５ｍ
ｏｌ％になるように添加し、さらに硫化マンガン（市販
品、純度９９．９％）を試料全体の０．３５ａｔ％にな
るように加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰
囲気中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の
焼結体を得た。この焼結体の組成はＺｎ0.95（Ｍｇ
Ｉ2）0.05Ｓ：Ｍｎ（０．３５ａｔ％）であった。
【００２８】実施例４によって製造した蒸着用ペレット
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
【００２９】実施例５ 硫化亜鉛（市販品、純度９９．９％）に硫化マグネシウ
ム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し２．５
ｍｏｌ％、硫化カルシウム（市販品、純度９９．９％）
を硫化亜鉛に対し２．５ｍｏｌ％になるように添加し、
さらに硫化マンガン（市販品、純度９９．９％）を試料
全体の０．３５ａｔ％になるように加え、混合粉砕し、
プレス成型した後、還元雰囲気中１０５０℃で焼結さ
せ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の焼結体を得た。この焼結体
の組成はＺｎ0.95Ｍｇ0.025 Ｃａ0.025 Ｓ：Ｍｎ（０．
３５ａｔ％）であった。
ム（市販品、純度９９．９％）を硫化亜鉛に対し２．５
ｍｏｌ％、硫化カルシウム（市販品、純度９９．９％）
を硫化亜鉛に対し２．５ｍｏｌ％になるように添加し、
さらに硫化マンガン（市販品、純度９９．９％）を試料
全体の０．３５ａｔ％になるように加え、混合粉砕し、
プレス成型した後、還元雰囲気中１０５０℃で焼結さ
せ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の焼結体を得た。この焼結体
の組成はＺｎ0.95Ｍｇ0.025 Ｃａ0.025 Ｓ：Ｍｎ（０．
３５ａｔ％）であった。
【００３０】実施例５によって製造した蒸着用ペレット
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
を実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。
この試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表
１に示す。
【００３１】比較例 硫化亜鉛（市販品、純度９９．９％）に硫化マンガン
（市販品、純度９９．９％）を０．３５ａｔ％になるよ
うに加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰囲気
中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の焼結
体を得た。この焼結体の組成はＺｎＳ：Ｍｎ（０．３５
ａｔ％）であった。
（市販品、純度９９．９％）を０．３５ａｔ％になるよ
うに加え、混合粉砕し、プレス成型した後、還元雰囲気
中１０５０℃で焼結させ、密度２．５ｇ／ｃｍ3 の焼結
体を得た。この焼結体の組成はＺｎＳ：Ｍｎ（０．３５
ａｔ％）であった。
【００３２】比較例によって製造した蒸着用ペレットを
実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。こ
の試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表１
に示す。
実施例１と同様な方法によって基板へ蒸着を行った。こ
の試料の蒸着粒子の大きさの分布を調べた。結果を表１
に示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】表１に示されるように、実施例１〜５に示
した方法によって合成した焼結体を蒸着用ペレットとし
て電子ビーム蒸着法で蒸着した結果、蒸着中にＥＬディ
スプレイの不良の原因となる３０μｍ以上の蒸着異常粒
子は発生しなかった。
した方法によって合成した焼結体を蒸着用ペレットとし
て電子ビーム蒸着法で蒸着した結果、蒸着中にＥＬディ
スプレイの不良の原因となる３０μｍ以上の蒸着異常粒
子は発生しなかった。
【００３５】また、比較例に示した方法によって合成し
た焼結体を蒸着用ペレットとして電子ビーム蒸着で蒸着
したところ、蒸着中にＥＬディスプレイの不良の原因と
なる３０μｍ以上の蒸着異常粒子の発生があった。
た焼結体を蒸着用ペレットとして電子ビーム蒸着で蒸着
したところ、蒸着中にＥＬディスプレイの不良の原因と
なる３０μｍ以上の蒸着異常粒子の発生があった。
【００３６】実験例 実施例１によって得られた蒸着用材料（焼結体）と特開
平８−３１５７１号公報に記載のＺｎＳ：ＭｎとＭｇＳ
の混合による蒸着用材料との経時における重量変化を測
定した。結果を図４に示す。
平８−３１５７１号公報に記載のＺｎＳ：ＭｎとＭｇＳ
の混合による蒸着用材料との経時における重量変化を測
定した。結果を図４に示す。
【００３７】図４の結果から、本発明の蒸着用材料のほ
うが経時における重量変化が少なく化学的に安定である
ことが判る。
うが経時における重量変化が少なく化学的に安定である
ことが判る。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＺｎＳ：
Ｍｎ系蒸着用材料によって、電極エッチングの際にダメ
ージを与える蒸着異常粒子の発生が起こらない。
Ｍｎ系蒸着用材料によって、電極エッチングの際にダメ
ージを与える蒸着異常粒子の発生が起こらない。
【図１】 薄膜ＥＬディスプレイの一例を示す断面図。
【図２】 ＥＬディスプレイの電極ストライプを示す
図。
図。
【図３】 電子ビーム装置の概略を示す説明図。
【図４】 各蒸着用材料の経時における重量変化を示す
グラフ。
グラフ。
１：ガラス基板、２：透明電極（ＩＴＯ等の電極ストラ
イプ）、３：下部絶縁層、４：発光層（ＺｎＳ：Ｍｎ単
層もしくはＺｎＳ：Ｍｎ、ＳｒＳ：Ｃｅ等の積層）、
５：上部絶縁層、６：上部電極（電極ストライプ）、
７：基板、８：電極ストライプ、９，１０：電極エッチ
ング時に断線を引き起すサイズの蒸着粒子（蒸着異常粒
子）、１１，１２：電極エッチング時に断線を引き起こ
さないサイズの蒸着粒子、１３：エッチング時に発生し
た断線、１４：真空チャンバー、１５：排気用ポンプ、
１６：基板、１７：ヒーター内蔵基板ホルダー、１８：
蒸着用ペレット、１９：ペレットホルダー、２０：シャ
ッター、２１：電子銃、２２：磁石、２３：電子ビー
ム、２４：蒸着蒸気、蒸着粒子の流れ。
イプ）、３：下部絶縁層、４：発光層（ＺｎＳ：Ｍｎ単
層もしくはＺｎＳ：Ｍｎ、ＳｒＳ：Ｃｅ等の積層）、
５：上部絶縁層、６：上部電極（電極ストライプ）、
７：基板、８：電極ストライプ、９，１０：電極エッチ
ング時に断線を引き起すサイズの蒸着粒子（蒸着異常粒
子）、１１，１２：電極エッチング時に断線を引き起こ
さないサイズの蒸着粒子、１３：エッチング時に発生し
た断線、１４：真空チャンバー、１５：排気用ポンプ、
１６：基板、１７：ヒーター内蔵基板ホルダー、１８：
蒸着用ペレット、１９：ペレットホルダー、２０：シャ
ッター、２１：電子銃、２２：磁石、２３：電子ビー
ム、２４：蒸着蒸気、蒸着粒子の流れ。
Claims (1)
- 【請求項１】 材料の加熱蒸発を利用した蒸着の際、蒸
着源の表面温度において、ＭｎＳよりも標準生成自由エ
ネルギーの低い化合物を生成する元素をＡ、ＭｎＳより
も標準生成自由エネルギーの低い化合物または該化合物
を生成する化合物をＢとした場合、 【化１】 の組成式からなる化合物であることを特徴とするＺｎ
Ｓ：Ｍｎ系蒸着用材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8185289A JPH108044A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8185289A JPH108044A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH108044A true JPH108044A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=16168254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8185289A Pending JPH108044A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ＺｎＳ：Ｍｎ系蒸着用材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH108044A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7303825B2 (en) | 2003-01-21 | 2007-12-04 | Kyushu Electric Power Co., Inc. | Electroluminescence device |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP8185289A patent/JPH108044A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7303825B2 (en) | 2003-01-21 | 2007-12-04 | Kyushu Electric Power Co., Inc. | Electroluminescence device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051024 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051026 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060301 |