JPH1071627A - 樹脂モールド装置 - Google Patents

樹脂モールド装置

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JPH1071627A
JPH1071627A JP22955096A JP22955096A JPH1071627A JP H1071627 A JPH1071627 A JP H1071627A JP 22955096 A JP22955096 A JP 22955096A JP 22955096 A JP22955096 A JP 22955096A JP H1071627 A JPH1071627 A JP H1071627A
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JP
Japan
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resin
plunger
mold
pot
resin molding
Prior art date
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JP22955096A
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English (en)
Inventor
Norihiro Uchiyama
徳弘 内山
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/1753Cleaning or purging, e.g. of the injection unit
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボイドの発生頻度がきわめて低い樹脂モール
ド装置でも数万個に数個の割合でボイド不良をはっせい
することがあった。 【解決手段】 上下一対の上下金型6、14の下金型6
に複数のポット7と各ポット7近傍に複数一組のキャビ
ティ8とをポット7と各キャビティ8とを連通させて形
成し、周面に周方向の環状溝11bを有するプランジャ
11をポット7の下方より嵌挿して、ポット7内に投入
された樹脂タブレット12を加圧しキャビティ8内に流
動化した樹脂を注入して樹脂成形し、開放され樹脂成形
品が取り出された金型の対向面をクリーニングするクリ
ーニング機構23、24を備えた樹脂モールド装置にお
いて、クリーニング作業時に、プランジャ11をその環
状溝11bが下金型6上に露呈する高さまで突出させる
ように昇降制御する駆動機構25を備えたことを特徴と
する樹脂モールド装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は樹脂モールド装置に
関し、特に多数のプランジャにそれぞれ少数のキャビテ
ィを連通したマルチプランジャ形樹脂モールド装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置などの電子部品は、一般的に
リードフレームに半導体ペレットなどの電子部品本体を
マウントし、電子部品本体上の電極とリードとを電気的
に接続して、電子部品本体を含む主要部分を樹脂にて被
覆して外部の腐食性ガスや外力から保護し、さらにリー
ドとリードとを連結した連結部など外装樹脂から露出し
たリードフレームの不要部分を切断除去し、リードを電
気的に独立させ、個々に分離して製造される。ここで電
子部品本体を樹脂で被覆する装置としてトランスファ樹
脂モールド装置が一般的に用いられている。この種装置
の一例を図3及び図4から説明する。図において、1は
ベース、2はベース1に植立された4本のポスト、3は
ポスト2から上方に延びるガイドポスト、4はガイドポ
スト3を挿通して上下動自在に配置された可動盤、5は
可動盤4を上下動させるシリンダ機構、6は可動盤4の
上面に固定された下金型を示す。7は下金型6を貫通し
その上面の一直線上に所定の間隔で開口したポット、8
は各ポット7の近傍で複数、図示例では4つで一組のキ
ャビティ(下キャビティ)で、リードフレームの樹脂被
覆予定部に対応して形成されている。9は各ポット7と
その近傍に配置されたキャビティ8とを連通するランナ
で、キャビティ8との接続部分は縮径しゲート10を形
成している。11はポット7に下方から嵌挿されたプラ
ンジャで、図示省略するがプランジャ駆動用のシリンダ
機構によりポット7内で上下動し、ポット7内に投入さ
れた樹脂タブレット12を加圧する。13は可動盤4の
上方で、ガイドポスト3に固定された固定盤、14は固
定盤13の下面に固定された上金型で、下金型6のキャ
ビティ8と対向する部分にキャビティ(上キャビティ)
15を形成している。16は開放された上下金型6、1
4の一方の側から金型内外を水平動する供給側の第1の
移動機構、17は下面に図示省略するが電子部品本体を
マウントし電子部品本体の電極とリードとを電気的に接
続したリードフレーム18を保持する第1のリードフレ
ーム保持機構で、第1の移動機構16の下面に上下動自
在に配置されている。19は第1の移動機構16とは反
対側で、開放された上下金型6、14と金型内外とを水
平動する取出側の第2の移動機構、20は下面に要部が
樹脂被覆されたリードフレーム21を保持する第2のリ
ードフレーム保持機構で、第2の移動機構19の下面に
上下動自在に配置されている。22は第1、第2の移動
機構16、19の中間側方に配置され、第2の移動機構
19が金型間から離脱した後、水平動し、開放された金
型6、14に進入退出する第3の移動機構、23は第3
の移動機構22の先端に支持され上下に向けた回転軸2
3a、23b周りに回転し、軸方向に上下動して上下金
型6、14に先端部が当接するブラシ、24はブラシ2
3の両側に配置されて、各金型6、14に吸引孔24
a、24bを開口させた吸引ノズルで、進入退出時にブ
ラシ23により浮動状態にされた異物を吸引除去する。
この吸引ノズル24の上側吸引孔24aは上金型14に
近接し、下側吸引孔24bは下金型6から離隔してい
る。第3の移動機構22に支持されたブラシ23と吸引
ノズル24にて金型対向面をクリーニングするクリーニ
ング機構を構成している。この装置には金型6、14を
加熱する加熱手段やキャビティ7から樹脂成形品を取り
出すエジェクタ機構が付設されているが図示省略してい
る。以下にこの装置の動作を説明する。先ず、可動盤4
を降下させ上下金型6、14を開く。次にポット7内で
プランジャ11を所定深さ位置に下げ、各ポット7内に
樹脂タブレット12を投入する。そしてリードフレーム
18を保持した状態で第1の移動機構16を水平動させ
下金型6上の所定位置で、第1のリードフレーム保持機
構17を降下させ下金型6上にリードフレーム18を載
置する。この後、リードフレーム保持機構17を上昇さ
せ、移動機構16を金型間の外方に移動させてから、シ
リンダ機構5を動作させて可動盤4を上昇させ、上下金
型6、14を衝合させてリードフレーム18を挟持す
る。そしてプランジャ11を上昇させ樹脂タブレット1
2を加圧し流動化させランナ9、ゲート10を通ってキ
ャビティ8に樹脂を注入し、リードフレーム18上の電
子部品本体を含む主要部分を樹脂被覆する。このように
してキャビティ7、15に樹脂を充填したのちこの状態
を所定時間保持し樹脂の硬化を進行させる。そして樹脂
が半硬化状態となった状態でシリンダ機構5を降下させ
下金型6を降下させて上下金型6、14を開き、金型間
にクリーニング機構22を先行させて第2の移動機構1
9を水平動させて第2のリードフレーム保持機構20を
降下させ要部が樹脂被覆されたリードフレーム21上に
配置する。この状態で下金型6をさらに降下させると図
示しないエジェクタ機構が作動してキャビティ7内に突
出し、ポット7、ランナ9、ゲート10に残留した不要
樹脂を一体に連結した状態で樹脂成形されたリードフレ
ーム21と下金型6との間に隙間が形成され、リードフ
レーム21はリードフレーム保持機構20に保持されリ
ードフレーム保持機構20の上昇により持ち上げられ、
第2の移動機構19により金型外に取り出される。取り
出し予定のリードフレーム21の上昇と同時に、プラン
ジャ11をその端面が金型衝合面とほぼ面一となるよう
に上昇させ、ポット7内に残留した樹脂の欠片を下金型
表面に露出させる。さらにプランジャ11の高さ位置を
保って、金型6をわずかに上昇させると、エジェクタ機
構がキャビティ内に退入する。次に第3の移動機構22
を金型6、14内に挿入すると、上下のブラシ23、2
3は金型衝合面を擦りながら回転し、吸引ノズル24は
各吸引孔24a、24bを各金型6、14に近接させブ
ラシ23によって浮動状態となった樹脂欠片などの異物
を除去する。上ブラシによって剥落し上側吸引孔24a
にて吸引できなかった異物は下側吸引孔24bによって
除去でき、この作業を進入してから退出するまで連続し
て行う。第2の移動機構19によって取り出されたリー
ドフレーム21は一体の樹脂のうち、ゲート部分から切
断されて不要樹脂が分離され、後工程に送られる。クリ
ーニング作業が完了するとプランジャ11を降下させ、
第1の移動機構16により新たなリードフレーム18を
下金型6上に供給し、上記動作を繰り返す。このマルチ
プランジャ形樹脂モールド装置は、ポット7とキャビテ
ィ8、15が近接配置されているため、ランナ9の容量
が小さく、その結果ポット7に供給した樹脂の利用率が
高く、ポット7からキャビティ8に低粘度の樹脂を短時
間で供給できるため、空気の巻き込み(ボイド)がな
く、外観が良好で耐湿性に優れた電子部品を製造するこ
とができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このように、マルチプ
ランジャ形樹脂モールド装置はボイドのない樹脂成形が
可能であるが、連続して樹脂モールドすると2万個を越
える成形品の中に数個、ボイド不良を生じ、顕著な場合
にはボイドが樹脂外表面に露呈した外観不良を生じると
いう問題があった。具体的には23千個を1ロットとし
て、樹脂モールド作業を繰り返した場合、各ロット毎に
5〜10個の外観不良を生じ、作業開始から不良の発生
する時期や、リードフレーム上の不良発生部位もまちま
ちであった。このようなボイド不良は、ボイド部分での
樹脂の被覆厚さが薄くなり、耐湿性が低下するだけでな
く耐電圧も低下し、電子部品としての信頼性が低下する
ため全数、外観検査してボイド不良品の混入を防止し、
高信頼性が要求される用途向けではさらにX線による透
視検査をする必要があり、多大な工数が必要であるため
改善が望まれていた。そのため、金型の温度、プランジ
ャ11の射出圧、射出速度など樹脂モールド装置の動作
条件や、樹脂タブレット12の予熱条件などを変更し、
最適条件を見いだすようにしたが、依然として数万個単
位で数個の不良が発生し、不良の原因を把握することが
できなかった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、上下金型を開放してキ
ャビティから樹脂成形品が取り出された金型対向面をク
リーニングするクリーニング機構を備えたマルチプラン
ジャ形樹脂モールド装置において、上記クリーニング機
構によるクリーニング作業時に、プランジャの上端を下
金型より突出させるようにしたことを特徴とする樹脂モ
ールド装置を提供する。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明は上下方向に複数のポット
を貫通させかつ各ポットの上側開口部近傍に複数一組の
キャビティを形成するとともにポットと各キャビティと
を連通させた下金型と、下金型に対して相対的に近接離
隔し下金型に衝合される上金型と、ポットの下方より嵌
挿され、ポット内に投入された樹脂タブレットを加圧し
上下金型の衝合面に形成されたキャビティ内に流動化し
た樹脂を注入し樹脂成形するプランジャと、上下金型を
開放してキャビティから樹脂成形品が取り出された金型
の対向面をクリーニングするクリーニング機構とを備え
たマルチプランジャ形樹脂モールド装置に関するもの
で、上記クリーニング機構によるクリーニング作業時
に、プランジャの上端を下金型より突出させるようにし
たことを特徴とする樹脂モールド装置であるが、プラン
ジャは周面に周方向の環状溝を有するものであり、この
プランジャをクリーニング作業時に環状溝が露呈する高
さまで突出させる。また、環状溝をプランジャの上端か
ら1〜3mmの範囲に形成することによりブラシを用い
た清掃が確実にできる。クリーニング機構のブラシは一
直線上に配列され配列方向に往復動するもの回転軸周り
に回転する回転ブラシを用いることができる。
【0006】
【実施例】以下に本発明の実施例を図3装置に適用し、
図1から説明する。図において図3と同一符号は同一物
を示し重複する説明を省略する。従来装置ではクリーニ
ング時にプランジャ11の上端は下金型から突出しない
ように設定されていたのに対して、本発明装置ではクリ
ーニング時にプランジャ11の上端部11aを下金型6
から突出するように設定したことに特徴がある。25は
このプランジャ11の昇降動作を制御する駆動機構で図
2にその一例を示す。図において、26は可動盤4に支
持され、複数のプランジャ11を昇降させるプランジャ
駆動用のシリンダ、27は図示省略するが周縁部が上下
方向にガイドされシリンダ26に連結されて上下動する
中間プレートで、複数個所に上下方向に貫通した貫通穴
27aを穿設している。28は中間プレート27上にガ
イドロッド29によってガイドされ、通常はガイドロッ
ド29に挿通されたスプリング30により中間プレート
27に押しつけられた可動プレート、この可動プレート
28はポット7い対応する位置に穴28aが穿設され、
プランジャ11に連結された連結ロッド31の下端部が
回動自在に軸32によって連結されている。33は中間
プレート27の各貫通穴27aに挿入され中間プレート
27の上面と平行に配置された回転軸34により軸支さ
れた楕円カムを示す。この回転軸34は図示しない回転
駆動装置により同期して回転する。プランジャ11には
一般的にその周面に周方向の環状溝11bが形成され、
流動化した樹脂のうちポット7とプランジャ11の間の
わずかなすき間に入り込んだ樹脂をこの環状溝11bに
滞留させポット7の下方に落下しないようにしている。
本発明装置はこの環状溝11bをプランジャ11の上端
11aより1〜3mmの範囲に形成する。プランジャ駆
動用シリンダ26は、中間プレート27と可動プレート
28とが密着状態でポット7内に樹脂タブレット12を
投入する深さ位置とポット7内で樹脂タブレット12の
加圧が完了する高さ位置との間でプランジャ11を上下
動させる。また、楕円カム33は、プランジャ11がポ
ット内で降下した位置から、プランジャ11の上端が下
金型6より突出する高さ位置まで可動プレート28を上
下動させ、プランジャ11の昇降動作を制御する。プラ
ンジャ11の突出高さは、その周面に形成した環状溝1
1bが露呈する高さ位置に設定される。このプランジャ
11の昇降動作は、クリーニング機構のブラシ23と吸
引ノズル24の配列間隔や吸引ノズル24と下金型6の
間隔などによって適宜設定することができる。即ち、ブ
ラシ23に対して吸引ノズル24をポット7の開口径の
数倍の距離、離隔させ、吸引ノズル24を下金型6に近
接させている場合には、クリーニング機構の移動方向前
方の吸引ノズル24が通過し、後方の吸引ノズル24が
到達するまでの間に、プランジャ11を数回、下金型6
から突出退入させることができる。また、ブラシ23と
吸引ノズル24がポット7の開口径よりやや広い程度の
間隔に設定されている場合には、クリーニング機構の移
動をポット7位置で停止させ、プランジャ11を数回上
下動させることもできる。このような機構により、プラ
ンジャ11は樹脂モールド作業が完了する毎に、クリー
ニング機構により、環状溝11bが形成された周面がク
リーニングされ、プランジャ11の周面に付着した樹脂
の薄い膜とともに、環状溝11bに滞留した樹脂の微細
破片を除去し、ポット7とプランジャ11との間に微小
間隔を保つことができる。その結果、樹脂モールド時
に、ポット7に投入された樹脂タブレット12は、型締
めされたのち、プランジャ11により加圧されるが、ポ
ット7と樹脂タブレット12との間の空間に閉じ込めら
れた空気は、ランナ9、ゲート10からキャビティ8に
送り込まれ、引き続き注入される流動化した樹脂により
キャビティ8内で圧縮され、キャビティ8周縁に形成し
たわずかな隙間(エアベント)(図示せず)から金型外
に放出されるが、樹脂タブレット11が加熱、加圧によ
り流動化する初期段階では、ポット7とプランジャ11
との間にわずかな隙間が確保されており、圧縮空気を速
やかにポット7から追い出すことができる。このため、
流動化した樹脂に空気の巻き込みがなく、ボイドによる
不良を皆無にできる。具体的には、23千個を1ロット
として、100ロットを越える作業を繰り返しても、外
観不良の発生を皆無にできた。これにより、耐湿性、耐
電圧ともに安定した高信頼性の電子部品を実現でき、目
視による外観検査やX線による透視検査が不要で、多大
な工数を削減することができる。本発明装置は環状溝1
1bをプランジャ11の上端11aより1〜3mmの範
囲に形成したが、1mm未満では流動化した樹脂が環状
溝11bを越えることがあり、3mmより大きいとプラ
ンジャ11の突出高さが高くなり、ブラシ23との接触
が弱くなりクリーニング効果が低下し好ましくない。上
記実施例では、クリーニング機構として、回転ブラシ2
3を用いたが、この回転ブラシ23は金型6に当接され
撓んだ部分の半径をプランジャ11の突出部の間隔より
広く設定するとともに、回転軸23aをプランジャ11
の配列間隔のほぼ中心を通って移動させるようにするこ
とにより、金型6とプランジャ11のクリーニングを良
好にできる。またクリーニング機構は回転ブラシ23を
用いるだけでなく、一直線上に毛様体を植設し、これを
複数列並べた構造のブラシでもよく、この場合には、ブ
ラシをその先端を金型に押しつけ撓ませた状態で、金型
表面と平行に往復動させるようにしてもよい。またブラ
シの移動方向は、第1、第2の移動機構16、19の移
動方向と交差する方向だけでなく、各機構16、19と
同一方向に移動させるようにしてもよい。またプランジ
ャ11の昇降動作を制御する駆動機構25も、図に示す
楕円カム機構の他にリンク機構やシリンダなど、回転や
直進運動を往復運動に変換する機構を用いることができ
る。
【0007】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば発生頻度
がごくわずかなボイドによって生じる外観不良を皆無に
でき、外観検査が不要となり、耐湿性、耐電圧の良好な
信頼性の高い電子部品を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す一部断面正面図
【図2】 図1装置に用いられるプランジャ駆動機構K
一例を示す一部断面側面図
【図3】 本発明の前提となる樹脂モールド装置の一部
断面側面図
【図4】 図3装置の下金型の一部を示す平面図
【符号の説明】
6 下金型 7 ポット 8 キャビティ 14 上金型 11 プランジャ 11b 環状溝 12 樹脂タブレット 23 クリーニング機構(ブラシ) 24 クリーニング機構(吸引ノズル) 25 プランジャ昇降駆動機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/56 H01L 21/56 T // B29L 31:34

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】上下方向に複数のポットを貫通させかつ各
    ポットの上側開口部近傍に複数一組のキャビティを形成
    するとともにポットと各キャビティとを連通させた下金
    型と、下金型に対して相対的に近接離隔し下金型に衝合
    される上金型と、周面に周方向の環状溝を有し、ポット
    の下方より嵌挿され、ポット内に投入された樹脂タブレ
    ットを加圧し上下金型の衝合面に形成されたキャビティ
    内に流動化した樹脂を注入し樹脂成形するプランジャ
    と、上下金型を開放してキャビティから樹脂成形品が取
    り出された金型の対向面をクリーニングするクリーニン
    グ機構と、クリーニング作業時に、プランジャをその環
    状溝が下金型上に露呈する高さまで突出させるように昇
    降制御する駆動機構とを備えたことを特徴とする樹脂モ
    ールド装置。
  2. 【請求項2】環状溝をプランジャの上端から1〜3mm
    の範囲に形成したことを特徴とする請求項1に記載の樹
    脂モールド装置。
  3. 【請求項3】プランジャを環状孔が露呈する高さ位置
    と、樹脂タブレットを供給する深さ位置との間で上下動
    させることを特徴とする請求項1に記載の樹脂モールド
    装置。
  4. 【請求項4】上下方向に配置された回転軸周りに回転
    し、先端部が金型上を掃く回転ブラシと、下金型上の異
    物を吸引除去する吸引部とでクリーニング機構を構成
    し、上記回転ブラシの金型当接部の半径をプランジャの
    突出部の間隔より広く設定するとともに、回転軸をプラ
    ンジャの配列間隔のほぼ中心を通って移動させるように
    したことを特徴とする請求項1に記載の樹脂モールド装
    置。
  5. 【請求項5】先端部が金型に当接しプランジャの突出部
    を横切って往復動しつつ金型上を移動するブラシと、ブ
    ラシによって浮動化した異物を吸引除去する吸引部とで
    クリーニング機構を構成したことを特徴とする請求項1
    に記載の樹脂モールド装置。
JP22955096A 1996-08-30 1996-08-30 樹脂モールド装置 Pending JPH1071627A (ja)

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