JPH1070289A - 非対称スナバ抵抗体 - Google Patents
非対称スナバ抵抗体Info
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 33
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 abstract 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 241001486234 Sciota Species 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
- H03K17/08—Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage
- H03K17/081—Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit
- H03K17/0814—Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit by measures taken in the output circuit
- H03K17/08146—Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit by measures taken in the output circuit in bipolar transistor switches
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/8605—Resistors with PN junctions
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来のスナバ抵抗体では処理できなかったある
一般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐えることがで
き、且つレイアウト密度が極めて高いこと、漂遊インダ
クタンスが低いこと及び製造が容易であることのパッケ
ージ面での利点も得られる非対称スナバ抵抗体を提供す
ること。 【解決手段】非対称スナバ抵抗体は、カソードと、N+
領域と、N−領域と、複数のP+領域と、アノードとを
含んでいる。N+領域をカソード上に配置し、N−領域
をN+領域上に配置し、複数のP+領域をN−領域上に
配置し、アノードを複数のP+領域及びN−領域の露出
部上に配置する。また、非対称スナバは、P+領域間に
N領域を含む。この非対称スナバ抵抗体をスナバ回路に
おけるスナバダイオードとスナバ抵抗体の代わりに用い
る。
一般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐えることがで
き、且つレイアウト密度が極めて高いこと、漂遊インダ
クタンスが低いこと及び製造が容易であることのパッケ
ージ面での利点も得られる非対称スナバ抵抗体を提供す
ること。 【解決手段】非対称スナバ抵抗体は、カソードと、N+
領域と、N−領域と、複数のP+領域と、アノードとを
含んでいる。N+領域をカソード上に配置し、N−領域
をN+領域上に配置し、複数のP+領域をN−領域上に
配置し、アノードを複数のP+領域及びN−領域の露出
部上に配置する。また、非対称スナバは、P+領域間に
N領域を含む。この非対称スナバ抵抗体をスナバ回路に
おけるスナバダイオードとスナバ抵抗体の代わりに用い
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はスナバ回路に関し、
特に、スナバ回路用非対称スナバ抵抗体に関する。
特に、スナバ回路用非対称スナバ抵抗体に関する。
【0002】
【従来の技術】スイッチがオープンし、誘導負荷から電
流が流れるのが停止すると、誘導負荷間の電圧が突然上
昇し、上昇し続け、電流をオープンスイッチを通過させ
ようとする。最後には、電圧が、電流をスイッチを通過
させ且つスイッチを破壊するに十分な大きさとなること
がある。したがって、スイッチを保護するために、スナ
バ回路を前記スイッチ間に結合する。
流が流れるのが停止すると、誘導負荷間の電圧が突然上
昇し、上昇し続け、電流をオープンスイッチを通過させ
ようとする。最後には、電圧が、電流をスイッチを通過
させ且つスイッチを破壊するに十分な大きさとなること
がある。したがって、スイッチを保護するために、スナ
バ回路を前記スイッチ間に結合する。
【0003】図1に、トランジスタ12と、誘導負荷1
4と、スナバ回路16とを備えた回路10の一例を示
す。この回路において、トランジスタ12のコレクタC
を−Vソースに接続し、トランジスタのエミッタEを+
Vソースに接続する。誘導負荷を、トランジスタ12の
エミッタに接続する。スナバ回路16を、トランジスタ
12と並列にエミッタEとコレクタCに接続する。第一
負荷18と第一ダイオード20を、直列に、エミッタE
と+Vソースとの間に接続し、第二ダイオード22もト
ランジスタ12と並列に接続し、そして第二負荷24を
スナバ回路16とエミッタEとの間に接続する。
4と、スナバ回路16とを備えた回路10の一例を示
す。この回路において、トランジスタ12のコレクタC
を−Vソースに接続し、トランジスタのエミッタEを+
Vソースに接続する。誘導負荷を、トランジスタ12の
エミッタに接続する。スナバ回路16を、トランジスタ
12と並列にエミッタEとコレクタCに接続する。第一
負荷18と第一ダイオード20を、直列に、エミッタE
と+Vソースとの間に接続し、第二ダイオード22もト
ランジスタ12と並列に接続し、そして第二負荷24を
スナバ回路16とエミッタEとの間に接続する。
【0004】スナバ回路16は、スナバコンデンサと、
スナバ抵抗体28と、スナバダイオード30とからな
る。スナバコンデンサ26は、トランジスタ12のエミ
ッタEに結合した第一コンデンサ端子32と、スナバ抵
抗体28の一方の端子に接続した第二コンデンサ端子3
4とを備えた第一及び第二コンデンサ端子32及び34
を有する。スナバ抵抗体28の他方の端子を、トランジ
スタ12のコレクタCに続する。スナバダイオード30
はスナバ抵抗体28と並列に接続する。
スナバ抵抗体28と、スナバダイオード30とからな
る。スナバコンデンサ26は、トランジスタ12のエミ
ッタEに結合した第一コンデンサ端子32と、スナバ抵
抗体28の一方の端子に接続した第二コンデンサ端子3
4とを備えた第一及び第二コンデンサ端子32及び34
を有する。スナバ抵抗体28の他方の端子を、トランジ
スタ12のコレクタCに続する。スナバダイオード30
はスナバ抵抗体28と並列に接続する。
【0005】トランジスタ12がオフ、したがってオー
プンの状態にあるときには、全負荷電流がトランジスタ
12に流れるのが阻止される。代わりに、全負荷電流I
loadがスナバ回路16に伝達され、スナバ回路16はス
ナバコンデンサ26をチャージし、スナバダイオード3
0をオンにする。スナバダイオード30は、全負荷電流
Iloadを一時的に伝導でき且つシステム電圧を阻止でき
なければならない。
プンの状態にあるときには、全負荷電流がトランジスタ
12に流れるのが阻止される。代わりに、全負荷電流I
loadがスナバ回路16に伝達され、スナバ回路16はス
ナバコンデンサ26をチャージし、スナバダイオード3
0をオンにする。スナバダイオード30は、全負荷電流
Iloadを一時的に伝導でき且つシステム電圧を阻止でき
なければならない。
【0006】トランジスタ12がオン、したがってクロ
ーズの状態にあるときには、全負荷電流Iloadはトラン
ジスタ12を流れる。一方、スナバコンデンサ26はス
ナバ抵抗体28を介してディスチャージし、スナバダイ
オード30がオフとされる。スナバ抵抗体28は、ハイ
ピーク電流散逸を処理でき且つ次のオフの前にスナバコ
ンデンサ26をディスチャージできる程度に十分小さく
なければならない。
ーズの状態にあるときには、全負荷電流Iloadはトラン
ジスタ12を流れる。一方、スナバコンデンサ26はス
ナバ抵抗体28を介してディスチャージし、スナバダイ
オード30がオフとされる。スナバ抵抗体28は、ハイ
ピーク電流散逸を処理でき且つ次のオフの前にスナバコ
ンデンサ26をディスチャージできる程度に十分小さく
なければならない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記スナバ回路16は
作動はするが、いくつかの問題点及び制限がある。例え
ば、高電流及び高パワー電圧を印加すると、スナバ抵抗
体28はある一般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐
えることができない。電流サージ及びワットの大きさに
関する要件からレイアウト上の問題が生じ、その結果、
高迷走インダクタンスが生じるとともに、スナバ回路1
6の有効性が減少する。
作動はするが、いくつかの問題点及び制限がある。例え
ば、高電流及び高パワー電圧を印加すると、スナバ抵抗
体28はある一般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐
えることができない。電流サージ及びワットの大きさに
関する要件からレイアウト上の問題が生じ、その結果、
高迷走インダクタンスが生じるとともに、スナバ回路1
6の有効性が減少する。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、カソー
ドと;前記カソード上に配置したN+領域と;前記N+
領域上に配置したN−領域と;前記N−領域内に配置し
た複数のP+領域と;複数のP+領域とN−領域の露出
部上に配置したアノードと、を含んでなり、前記複数の
P+領域の各々が半径5〜100μmの円形であること
を特徴とする非対称スナバ抵抗体が提供される。
ドと;前記カソード上に配置したN+領域と;前記N+
領域上に配置したN−領域と;前記N−領域内に配置し
た複数のP+領域と;複数のP+領域とN−領域の露出
部上に配置したアノードと、を含んでなり、前記複数の
P+領域の各々が半径5〜100μmの円形であること
を特徴とする非対称スナバ抵抗体が提供される。
【0009】都合のよいことに、非対称スナバ抵抗体
は、カソードと、N+領域と、N−領域と、複数のP+
領域と、アノードとを含んでなる。N+領域はカソード
上に配置され、N−領域はN+領域上に配置され、複数
のP+領域はN−上に配置され、アノードは複数のP+
領域及びN−領域の露出部の上に配置される。非対称ス
ナバ抵抗体には、多数の利点がある。非対称スナバ抵抗
体は、従来のスナバ抵抗体では処理できなかったある一
般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐えることができ
る。また、非対称スナバ抵抗体は、レイアウト密度が極
めて高いこと、漂遊インダクタンスが低いこと及び製造
が容易であることのパッケージの面での利点も得られ
る。
は、カソードと、N+領域と、N−領域と、複数のP+
領域と、アノードとを含んでなる。N+領域はカソード
上に配置され、N−領域はN+領域上に配置され、複数
のP+領域はN−上に配置され、アノードは複数のP+
領域及びN−領域の露出部の上に配置される。非対称ス
ナバ抵抗体には、多数の利点がある。非対称スナバ抵抗
体は、従来のスナバ抵抗体では処理できなかったある一
般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐えることができ
る。また、非対称スナバ抵抗体は、レイアウト密度が極
めて高いこと、漂遊インダクタンスが低いこと及び製造
が容易であることのパッケージの面での利点も得られ
る。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、添付図面を例と
して参照しながら説明する。本発明による非対称スナバ
抵抗体36を、図3に示す。この非対称スナバ抵抗体3
6は、カソード38と、N+領域40と、N−領域42
と、複数のP+領域44と、アノード46とを含んでな
る。非対称スナバ抵抗体36は、N領域48を含んでい
てもよい。非対称スナバ抵抗体36は、従来のスナバ回
路よりも高いピーク電流及び電力を処理することができ
る。
して参照しながら説明する。本発明による非対称スナバ
抵抗体36を、図3に示す。この非対称スナバ抵抗体3
6は、カソード38と、N+領域40と、N−領域42
と、複数のP+領域44と、アノード46とを含んでな
る。非対称スナバ抵抗体36は、N領域48を含んでい
てもよい。非対称スナバ抵抗体36は、従来のスナバ回
路よりも高いピーク電流及び電力を処理することができ
る。
【0011】図2に、誘導負荷52と、トランジスタ5
4と、非対称スナバ抵抗体36を備えたスナバ回路56
とを有する回路50を示す。トランジスタ54のコレク
タCは、−V源に接続され、トランジスタ54のエミッ
タEは+V源に結合されている。誘導負荷52はをトラ
ンジスタ54のエミッタEに結合する。スナバ回路56
は、トランジスタ54と並列に、エミッタEとコレクタ
Cに結合する。第一負荷58と第一ダイオード60と
を、直列に、エミッタEと+V源との間に結合し、ま
た、第二ダイオード62を、トランジスタ54と並列
に、エミッタE及びコレクタCに結合し、第二負荷63
を、スナバ回路56とエミッタEとの間に結合する。二
極トランジスタ54は、特定の実施態様で示されている
が、電界効果形トランジスタ等の他の種類のスイッチも
使用できる。
4と、非対称スナバ抵抗体36を備えたスナバ回路56
とを有する回路50を示す。トランジスタ54のコレク
タCは、−V源に接続され、トランジスタ54のエミッ
タEは+V源に結合されている。誘導負荷52はをトラ
ンジスタ54のエミッタEに結合する。スナバ回路56
は、トランジスタ54と並列に、エミッタEとコレクタ
Cに結合する。第一負荷58と第一ダイオード60と
を、直列に、エミッタEと+V源との間に結合し、ま
た、第二ダイオード62を、トランジスタ54と並列
に、エミッタE及びコレクタCに結合し、第二負荷63
を、スナバ回路56とエミッタEとの間に結合する。二
極トランジスタ54は、特定の実施態様で示されている
が、電界効果形トランジスタ等の他の種類のスイッチも
使用できる。
【0012】スナバ回路56は、スナバコンデンサ、即
ち、Csnub64、と非対称スナバ抵抗体36とを含んで
なる。スナバコンデンサ64は第一及び第二コンデンサ
端子66及び68を有しており、この第一コンデンサ端
子66はトランジスタ54のエミッタEに結合し、第二
コンデンサ端子68は非対称スナバ抵抗体36の一方の
端子に結合する。非対称スナバ抵抗体36の他端子は、
トランジスタ54のコレクタCに結合する。
ち、Csnub64、と非対称スナバ抵抗体36とを含んで
なる。スナバコンデンサ64は第一及び第二コンデンサ
端子66及び68を有しており、この第一コンデンサ端
子66はトランジスタ54のエミッタEに結合し、第二
コンデンサ端子68は非対称スナバ抵抗体36の一方の
端子に結合する。非対称スナバ抵抗体36の他端子は、
トランジスタ54のコレクタCに結合する。
【0013】図3に、非対称スナバ抵抗体36を示す。
非対称スナバ抵抗体36は、カソード38上に配置した
N+領域40を含む。N−領域42を、N+領域40上
に配置する。上記複数のP+領域44をN−領域42に
打ち込み、N領域48を上記複数のP+領域44間に配
置する。アノード46を、P+領域44及びN領域48
の上に配置する。この特定の実施態様では、N+領域4
0は厚さ約10〜14ミルであり、N−領域42は厚さ
1〜5ミルである。典型的には、N+領域40は厚さ
0.5ミクロン〜60ミルであり、N−領域42は厚さ
約0.5〜60ミルである。
非対称スナバ抵抗体36は、カソード38上に配置した
N+領域40を含む。N−領域42を、N+領域40上
に配置する。上記複数のP+領域44をN−領域42に
打ち込み、N領域48を上記複数のP+領域44間に配
置する。アノード46を、P+領域44及びN領域48
の上に配置する。この特定の実施態様では、N+領域4
0は厚さ約10〜14ミルであり、N−領域42は厚さ
1〜5ミルである。典型的には、N+領域40は厚さ
0.5ミクロン〜60ミルであり、N−領域42は厚さ
約0.5〜60ミルである。
【0014】非対称スナバ抵抗体36は、図1に示すよ
うな典型的なスナバ回路10におけるスナバダイオード
30とスナバ抵抗体28の代わりに用いられる。非対称
スナバ抵抗体36のスナバダイオード領域は、N−領域
42を有するP+領域44により形成される。非対称ス
ナバ抵抗体36が、多数の短絡、即ち、N−領域42を
アノード46に結合する複数のP+領域44間に配置さ
れたN領域48を有するので、ダイオード領域のみが一
方向にダイオードのように動作する。したがって、逆方
向では、非対称スナバ抵抗体36のダイオード領域は電
流を阻止しない。トランジスタ54がオフのときには、
非対称スナバ抵抗体36も、ダイオード領域と直列であ
り且つN+領域40により形成された小抵抗領域を含
む。トランジスタ56がオンのときには、非対称スナバ
抵抗体36のスナバ抵抗領域は、N領域48とN−領域
42により形成される。スナバ抵抗領域は、小抵抗領域
より大きな抵抗であり、スナバコンデンサ64に貯蔵さ
れた電荷をディスチャージするように設計されている。
この特定の実施態様では、非対称抵抗体36が順方向に
ある(トランジスタ56がオフ)ときにはスナバ抵抗領
域の抵抗は0.1〜100Ω・cm2 であり、非対称抵
抗体36が逆方向にある(トランジスタ56がオン)と
きには小抵抗領域の抵抗は0.01〜100mΩ・cm
2 である。
うな典型的なスナバ回路10におけるスナバダイオード
30とスナバ抵抗体28の代わりに用いられる。非対称
スナバ抵抗体36のスナバダイオード領域は、N−領域
42を有するP+領域44により形成される。非対称ス
ナバ抵抗体36が、多数の短絡、即ち、N−領域42を
アノード46に結合する複数のP+領域44間に配置さ
れたN領域48を有するので、ダイオード領域のみが一
方向にダイオードのように動作する。したがって、逆方
向では、非対称スナバ抵抗体36のダイオード領域は電
流を阻止しない。トランジスタ54がオフのときには、
非対称スナバ抵抗体36も、ダイオード領域と直列であ
り且つN+領域40により形成された小抵抗領域を含
む。トランジスタ56がオンのときには、非対称スナバ
抵抗体36のスナバ抵抗領域は、N領域48とN−領域
42により形成される。スナバ抵抗領域は、小抵抗領域
より大きな抵抗であり、スナバコンデンサ64に貯蔵さ
れた電荷をディスチャージするように設計されている。
この特定の実施態様では、非対称抵抗体36が順方向に
ある(トランジスタ56がオフ)ときにはスナバ抵抗領
域の抵抗は0.1〜100Ω・cm2 であり、非対称抵
抗体36が逆方向にある(トランジスタ56がオン)と
きには小抵抗領域の抵抗は0.01〜100mΩ・cm
2 である。
【0015】図4(a)に、アノード46を除去した状
態の非対称スナバ抵抗体36の正面図を示す。この特定
の実施態様に示すように、P+領域44の各々は、半径
roの実質的に円形をしている。P+領域44の各々の
中心は、P+領域44の各々の間の中心線から距離Rだ
け離れている。この特定の例において、P+領域44
は、各々半径ro が約10μmであり、距離Rが20μ
mである。典型的には、半径ro は5〜100μmの範
囲であり、距離Rは7〜200μmの範囲である。P+
領域44の大きさと、N領域48に関するP+領域44
の間隔は、非対称スナバ抵抗体36に均一に電流を分布
して表面アークが確実に発生しないようにするのに重要
である。当業者は、N領域48とP+領域44の表面濃
度を、アノード46にどんな金属を使用しようともそれ
に対するオーム接触が得られるよう適当に大きく確保す
るであろう。
態の非対称スナバ抵抗体36の正面図を示す。この特定
の実施態様に示すように、P+領域44の各々は、半径
roの実質的に円形をしている。P+領域44の各々の
中心は、P+領域44の各々の間の中心線から距離Rだ
け離れている。この特定の例において、P+領域44
は、各々半径ro が約10μmであり、距離Rが20μ
mである。典型的には、半径ro は5〜100μmの範
囲であり、距離Rは7〜200μmの範囲である。P+
領域44の大きさと、N領域48に関するP+領域44
の間隔は、非対称スナバ抵抗体36に均一に電流を分布
して表面アークが確実に発生しないようにするのに重要
である。当業者は、N領域48とP+領域44の表面濃
度を、アノード46にどんな金属を使用しようともそれ
に対するオーム接触が得られるよう適当に大きく確保す
るであろう。
【0016】図4(b)は、アノード46を除去した状
態の非対称スナバ抵抗体36の別の実施態様の正面図で
ある。この特定の実施態様に示すように、P+領域44
の各々は実質的に長方形を有しているが、所望ならばP
+領域44は他の形状であってもよい。この特定の実施
態様では、P+領域44は、約30μmの間隔をおいて
離れている。典型的には、P+領域44は、約7〜20
0μmの間隔をおいて離れている。
態の非対称スナバ抵抗体36の別の実施態様の正面図で
ある。この特定の実施態様に示すように、P+領域44
の各々は実質的に長方形を有しているが、所望ならばP
+領域44は他の形状であってもよい。この特定の実施
態様では、P+領域44は、約30μmの間隔をおいて
離れている。典型的には、P+領域44は、約7〜20
0μmの間隔をおいて離れている。
【0017】図2及び図3において、トランジスタ54
がオフのときには、非対称スナバ抵抗体36は、小さい
が可変な抵抗と直列に順方向バイアスダイオードのよう
に作用しなければならない。非対称スナバ抵抗体36
は、適当に小さな電流レベルで、大きく遅延することな
くオンとなる。また、非対称スナバ抵抗体36は、小さ
順降下で誘導負荷52から全負荷電流Iloadを伝導す
る。
がオフのときには、非対称スナバ抵抗体36は、小さい
が可変な抵抗と直列に順方向バイアスダイオードのよう
に作用しなければならない。非対称スナバ抵抗体36
は、適当に小さな電流レベルで、大きく遅延することな
くオンとなる。また、非対称スナバ抵抗体36は、小さ
順降下で誘導負荷52から全負荷電流Iloadを伝導す
る。
【0018】トランジスタ54がオンのときには、非対
称スナバ抵抗体36は、トランジスタ56がオンの状態
を維持する期間内にスナバコンデンサ64をディスチャ
ージする抵抗体のように作用する。また、非対称スナバ
抵抗体36は、ディスチャージ段階の間、アーク発生や
破壊されることなく、全レール電圧V+に耐える。10
00ボルト及び500アンペアの印加又はモジュール用
に設計された非対称スナバ抵抗体36の一つの特定な例
を、以下に説明する。この非対称スナバ抵抗体36に使
用されるのと同じ原理を、他の電圧及び電流パラメータ
用の非対称スナバ抵抗体36を設計するのに使用でき
る。
称スナバ抵抗体36は、トランジスタ56がオンの状態
を維持する期間内にスナバコンデンサ64をディスチャ
ージする抵抗体のように作用する。また、非対称スナバ
抵抗体36は、ディスチャージ段階の間、アーク発生や
破壊されることなく、全レール電圧V+に耐える。10
00ボルト及び500アンペアの印加又はモジュール用
に設計された非対称スナバ抵抗体36の一つの特定な例
を、以下に説明する。この非対称スナバ抵抗体36に使
用されるのと同じ原理を、他の電圧及び電流パラメータ
用の非対称スナバ抵抗体36を設計するのに使用でき
る。
【0019】トランジスタ54がオフのときには、非対
称スナバ抵抗体36のダイオード領域は、適当に小さな
電流レベルで、ほとんど遅延せず、且つ小さな順方向電
圧降下で、オンとなる。したがって、非対称スナバ抵抗
体36のダイオード領域をオンとするに必要な最小電流
密度は、以下のように計算される:
称スナバ抵抗体36のダイオード領域は、適当に小さな
電流レベルで、ほとんど遅延せず、且つ小さな順方向電
圧降下で、オンとなる。したがって、非対称スナバ抵抗
体36のダイオード領域をオンとするに必要な最小電流
密度は、以下のように計算される:
【0020】
【数1】
【0021】(式中、J(Rs ,R,ro )は電流密度
であり、Vebはダイオード領域についての最小順方向電
圧降下であり、Rs (ρ)はN−領域の面積抵抗であ
り、Rs(ρ)=ρ/t(式中、ρはN−領域の抵抗率
であり、tはN−領域の厚さであり、RはP+領域の中
心から2つのP+領域間の中心線までの半径又は距離で
あり、ro は各P+領域の半径である)である。
であり、Vebはダイオード領域についての最小順方向電
圧降下であり、Rs (ρ)はN−領域の面積抵抗であ
り、Rs(ρ)=ρ/t(式中、ρはN−領域の抵抗率
であり、tはN−領域の厚さであり、RはP+領域の中
心から2つのP+領域間の中心線までの半径又は距離で
あり、ro は各P+領域の半径である)である。
【0022】最小順方向電圧降下がVeb=0.5ボル
ト、N−領域のドーピングが1.0e 13〜1.0e14ド
ナー/cm3 の範囲、関連抵抗率ρが約40〜400Ω
/cmの範囲、N−領域の厚さtが172μm、各P+
領域の半径ro が10μm、P+領域の中心から2つの
P+領域間の中心線までの半径又は距離Rが20μm、
40μm又は60μmとすると、Veb>0.5としてダ
イオード領域をオンとするに必要な最小電流密度は、図
5のグラフに示すとおりである。各曲線より上の電流密
度は、非対称スナバ抵抗体36においてダイオードを順
方向にバイアスするのに必要とする最小値である。
ト、N−領域のドーピングが1.0e 13〜1.0e14ド
ナー/cm3 の範囲、関連抵抗率ρが約40〜400Ω
/cmの範囲、N−領域の厚さtが172μm、各P+
領域の半径ro が10μm、P+領域の中心から2つの
P+領域間の中心線までの半径又は距離Rが20μm、
40μm又は60μmとすると、Veb>0.5としてダ
イオード領域をオンとするに必要な最小電流密度は、図
5のグラフに示すとおりである。各曲線より上の電流密
度は、非対称スナバ抵抗体36においてダイオードを順
方向にバイアスするのに必要とする最小値である。
【0023】トランジスタ54がオフのとき、非対称ス
ナバ抵抗体36のスナバダイオード領域は、N+領域4
0により形成される小抵抗領域と直列である。小抵抗領
域の抵抗は、Rs (ρ)=ρ/t(式中、ρはN+領域
40の抵抗率であり、tはN+領域40の厚さである)
から求めることができる。この特定の実施態様では、N
+領域40は抵抗率ρ0.01Ωcm、厚さt10ミル
であり、したがって、抵抗0.25mΩである。理想的
には、この抵抗は、第一負荷58とスナバコンデンサ6
4との間の振動を減衰するのにちょうどよい大きさでな
ければならない。
ナバ抵抗体36のスナバダイオード領域は、N+領域4
0により形成される小抵抗領域と直列である。小抵抗領
域の抵抗は、Rs (ρ)=ρ/t(式中、ρはN+領域
40の抵抗率であり、tはN+領域40の厚さである)
から求めることができる。この特定の実施態様では、N
+領域40は抵抗率ρ0.01Ωcm、厚さt10ミル
であり、したがって、抵抗0.25mΩである。理想的
には、この抵抗は、第一負荷58とスナバコンデンサ6
4との間の振動を減衰するのにちょうどよい大きさでな
ければならない。
【0024】トランジスタ54がオンのときには、非対
称スナバ抵抗体36は、トランジスタ54がオンのまま
維持する期間内にスナバコンデンサ64をディスチャー
ジする抵抗体のように作用する。また、非対称スナバ抵
抗体36は、スナバコンデンサ64のディスチャージ段
階の間、アーク発生や破壊されることなく、全レール電
圧V+に耐える。
称スナバ抵抗体36は、トランジスタ54がオンのまま
維持する期間内にスナバコンデンサ64をディスチャー
ジする抵抗体のように作用する。また、非対称スナバ抵
抗体36は、スナバコンデンサ64のディスチャージ段
階の間、アーク発生や破壊されることなく、全レール電
圧V+に耐える。
【0025】スナバ抵抗領域の抵抗値は、下式から求め
ることができる:
ることができる:
【0026】
【数2】
【0027】〔式中、τ=r*c(但し、rはスナバ抵
抗領域の抵抗値であり、cはスナバコンデンサの値であ
り、t(ion minimum) >3τ)である〕。この特定の実
施態様では、トランジスタ54について時間tでの最小
値が2〜5マイクロ秒の範囲にあり、スナバコンデンサ
値が0.1μFとすると、非対称スナバ抵抗体36につ
いてのスナバ抵抗領域の抵抗に関するrの値は、6〜1
5Ωの範囲内でなければならない。
抗領域の抵抗値であり、cはスナバコンデンサの値であ
り、t(ion minimum) >3τ)である〕。この特定の実
施態様では、トランジスタ54について時間tでの最小
値が2〜5マイクロ秒の範囲にあり、スナバコンデンサ
値が0.1μFとすると、非対称スナバ抵抗体36につ
いてのスナバ抵抗領域の抵抗に関するrの値は、6〜1
5Ωの範囲内でなければならない。
【0028】さらに、非対称スナバ抵抗体36のスナバ
抵抗領域は、ピーク電流を処理するのに十分な抵抗を有
しなければならない。スナバ抵抗領域についての抵抗値
も、下式におけるrdischarge について解くことにより
計算する必要がある。この式によれば、IPKが減少する
と、スナバコンデンサ64がディスチャージするごとの
熱衝撃が小さくなる。
抵抗領域は、ピーク電流を処理するのに十分な抵抗を有
しなければならない。スナバ抵抗領域についての抵抗値
も、下式におけるrdischarge について解くことにより
計算する必要がある。この式によれば、IPKが減少する
と、スナバコンデンサ64がディスチャージするごとの
熱衝撃が小さくなる。
【0029】
【数3】
【0030】IPKが約100Aであり、レール電圧V+
が約300Vとすると、スナバ抵抗領域の抵抗r
discharge は3Ωでなければならない。この特定の実施
態様では、スナバ抵抗領域の抵抗rdischarge は、1〜
30Ωの範囲でなければならない。したがって、前記の
2つの式から得られたスナバ抵抗領域の抵抗に関する範
囲の重複部を、非対称スナバ抵抗体36の設計に使用す
べきである。
が約300Vとすると、スナバ抵抗領域の抵抗r
discharge は3Ωでなければならない。この特定の実施
態様では、スナバ抵抗領域の抵抗rdischarge は、1〜
30Ωの範囲でなければならない。したがって、前記の
2つの式から得られたスナバ抵抗領域の抵抗に関する範
囲の重複部を、非対称スナバ抵抗体36の設計に使用す
べきである。
【0031】図2及び図3を参照して非対称スナバ抵抗
体36の動作を説明できる。トランジスタ54がオープ
ンのとき、全負荷電流Iloadは、トランジスタ54を通
って流れるのを阻止される。その代わりに、全負荷電流
Iloadは、スナバ回路56に伝導され、スナバ回路56
はスナバコンデンサ64をチャージし、非対称スナバ抵
抗体36におけるダイオード領域、P+領域44及びN
−領域42、をオンにする。図5において、非対称スナ
バ抵抗体36のダイオード領域は、比較的小さな電流レ
ベルでオンとなり、全負荷電流Iloadを伝導できる。
体36の動作を説明できる。トランジスタ54がオープ
ンのとき、全負荷電流Iloadは、トランジスタ54を通
って流れるのを阻止される。その代わりに、全負荷電流
Iloadは、スナバ回路56に伝導され、スナバ回路56
はスナバコンデンサ64をチャージし、非対称スナバ抵
抗体36におけるダイオード領域、P+領域44及びN
−領域42、をオンにする。図5において、非対称スナ
バ抵抗体36のダイオード領域は、比較的小さな電流レ
ベルでオンとなり、全負荷電流Iloadを伝導できる。
【0032】トランジスタ54をクローズすると、全負
荷電流Iloadは、トランジスタ54を通って流れる。一
方、スナバコンデンサ64は、非対称スナバ抵抗体36
におけるスナバ抵抗領域を通ってディスチャージする。
非対称スナバ抵抗体36のダイオード領域、P+領域4
4及びN−領域42、は「損失しやすい」又は「漏れや
すい」ダイオード領域を形成するN領域48が複数のP
+領域44の間に位置しているので、電流の流れを阻止
しない。非対称スナバ抵抗体36のスナバ抵抗領域は、
トランジスタ54が再びオフとなる前にスナバコンデン
サ64をディスチャージでき、且つディスチャージ中の
ピーク電流IPKを処理することもできる。
荷電流Iloadは、トランジスタ54を通って流れる。一
方、スナバコンデンサ64は、非対称スナバ抵抗体36
におけるスナバ抵抗領域を通ってディスチャージする。
非対称スナバ抵抗体36のダイオード領域、P+領域4
4及びN−領域42、は「損失しやすい」又は「漏れや
すい」ダイオード領域を形成するN領域48が複数のP
+領域44の間に位置しているので、電流の流れを阻止
しない。非対称スナバ抵抗体36のスナバ抵抗領域は、
トランジスタ54が再びオフとなる前にスナバコンデン
サ64をディスチャージでき、且つディスチャージ中の
ピーク電流IPKを処理することもできる。
【0033】非対称スナバ抵抗体は、カソードと、N+
領域と、N−領域と、複数のP+領域と、アノードとを
含んでいる。N+領域をカソード上に配置し、N−領域
をN+領域上に配置し、複数のP+領域をN−領域上に
配置し、アノードを複数のP+領域及びN−領域の露出
部上に配置する。また、非対称スナバは、P+領域間に
N領域を含む。この非対称スナバ抵抗体は、スナバ回路
におけるスナバダイオードとスナバ抵抗体との代わりに
用いられる。
領域と、N−領域と、複数のP+領域と、アノードとを
含んでいる。N+領域をカソード上に配置し、N−領域
をN+領域上に配置し、複数のP+領域をN−領域上に
配置し、アノードを複数のP+領域及びN−領域の露出
部上に配置する。また、非対称スナバは、P+領域間に
N領域を含む。この非対称スナバ抵抗体は、スナバ回路
におけるスナバダイオードとスナバ抵抗体との代わりに
用いられる。
【0034】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
により提供されるスナバ回路用非対称スナバ抵抗体によ
れば、従来のスナバ抵抗体では処理できなかったある一
般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐えることができ
る。また、レイアウト密度が極めて高いこと、漂遊イン
ダクタンスが低いこと及び製造が容易であることのパッ
ケージの面での利点も得られる。
により提供されるスナバ回路用非対称スナバ抵抗体によ
れば、従来のスナバ抵抗体では処理できなかったある一
般的に生じる高ピーク電流及び電力に耐えることができ
る。また、レイアウト密度が極めて高いこと、漂遊イン
ダクタンスが低いこと及び製造が容易であることのパッ
ケージの面での利点も得られる。
【図1】トランジスタと誘導負荷を備えた回路における
従来のスナバ回路である。
従来のスナバ回路である。
【図2】トランジスタと、誘導負荷と、本発明による非
対称スナバ抵抗体を備えたスナバ回路とを備えた回路で
ある。
対称スナバ抵抗体を備えたスナバ回路とを備えた回路で
ある。
【図3】非対称スナバ抵抗体の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図4】a)アノードを除去した状態の図3に示す非対
称スナバ抵抗体の正面図である。 b)アノードを除去した状態の非対称スナバ抵抗体の他
の例を示す正面図である。
称スナバ抵抗体の正面図である。 b)アノードを除去した状態の非対称スナバ抵抗体の他
の例を示す正面図である。
【図5】非対称スナバ抵抗体に関するN−領域及びP+
領域の最小電流密度と緩衝面積抵抗との関係を示すグラ
フである。
領域の最小電流密度と緩衝面積抵抗との関係を示すグラ
フである。
12 トランジスタ 14 誘導負荷 16 スナバ回路 18 第一負荷 20 第一ダイオード 22 第二ダイオード 24 第二負荷 26 スナバコンデンサ 28 スナバ抵抗体 30 スナバダイオード 32 第一コンデンサ端子 34 第二コンデンサ端子 36 非対称スナバ抵抗体 38 カソード 40 N+領域 42 N−領域 44 P+領域 46 アノード 48 N領域 52 誘導負荷 54 トランジスタ 56 スナバ回路 58 第一負荷 60 第一ダイオード 62 第二ダイオード 63 第二負荷 64 スナバコンデンサ 66 コンデンサ端子 68 コンデンサ端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ステファン ディー.アーサー アメリカ合衆国 ニューヨーク州 12302, スコウシア,エルティンジ プレイス 20 (72)発明者 サビー アル−マラヤティ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 12309, スケネクタディ ウィットニー ドライヴ 872 (72)発明者 エリック エックス.ヤング アメリカ合衆国 ニューヨーク州 12065, クリフトン パーク,トレヴァー コート 7
Claims (9)
- 【請求項1】カソードと;前記カソード上に配置したN
+領域と;前記N+領域上に配置したN−領域と;前記
N−領域内に配置した複数のP+領域と;複数のP+領
域とN−領域の露出部上に配置したアノードと、を含ん
でなり、P+領域の各々が半径5〜100μmの円形で
あることを特徴とする非対称スナバ抵抗体。 - 【請求項2】前記複数のP+領域の各々が中心を有し、
前記中心同士が7〜200μmの間隔をおいて離れてお
り;前記複数のP+領域の各々がストライプ状であり、
前記複数のP+領域の各々が7〜200μm離れてお
り;前記N−領域の厚さが約0.5〜60ミルである請
求項1に記載の非対称スナバ抵抗体。 - 【請求項3】前記非対称スナバ抵抗体の抵抗が順方向で
0.01〜100mΩ・cm2 であり、逆方向で0.1
〜100mΩ・cm2 であり、P+領域間のN−領域の
露出領域がN領域である請求項1又は2に記載の非対称
スナバ抵抗体。 - 【請求項4】第一電圧源に結合した第一ターミナルと第
二電圧源に結合した第二ターミナルとを備えたトランジ
スタと、前記トランジスタの前記第一ターミナルに結合
した誘導負荷と、前記第一及び第二ターミナルに結合し
たスナバ回路と、を含んでなる回路であって、前記スナ
バ回路が、 第一及び第二コンデンサ端子を有するコンデンサであ
り、前記第一コンデンサターミナルが前記トランジスタ
の前記第一ターミナルに結合しているものと;前記第二
コンデンサ端子に結合したアノードと;前記トランジス
タの第二ターミナルに結合したカソードと;前記カソー
ド上に配置したN+領域と;前記N+領域上に配置した
N−領域と;前記N−領域に配置した複数のP+領域
と、を含んでなり、アノードが前記P+領域上と前記N
−領域の露出部上に配置されていることを特徴とする回
路。 - 【請求項5】前記トランジスタが二極トランジスタであ
り、前記トランジスタの第一端子がエミッタであり、前
記トランジスタの第二端子がコレクタである請求項4に
記載の回路。 - 【請求項6】前記トランジスタが電界効果形トランジス
タであり、前記トランジスタの第一端子がドレインであ
り、前記トランジスタの第二端子がソースである請求項
4記載の回路。 - 【請求項7】前記複数のP+領域の各々が半径5〜10
0μmの円形であり、前記複数のP+領域の各々が中心
を有し、前記中心同士が7〜200μmの間隔をおいて
離れている請求項4〜6のいずれか1項に記載の回路。 - 【請求項8】前記複数のP+領域の各々がストライプ状
であり、前記複数のP+領域の各々が7〜200μmの
間隔をおいて離れており、前記N−領域の厚さが約0.
5〜60ミルである請求項7に記載の回路。 - 【請求項9】前記非対称スナバ抵抗体の抵抗が順方向で
0.01〜100mΩ・cm2 であり、逆方向で0.1
〜100mΩ・cm2 であり、P+領域間のN−領域の
露出部がN領域である請求項8に記載の回路。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/634371 | 1996-04-18 | ||
US08/634,371 US5880513A (en) | 1996-04-18 | 1996-04-18 | Asymmetric snubber resistor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1070289A true JPH1070289A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=24543507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9099114A Pending JPH1070289A (ja) | 1996-04-18 | 1997-04-16 | 非対称スナバ抵抗体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5880513A (ja) |
JP (1) | JPH1070289A (ja) |
DE (1) | DE19715911A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6479882B2 (en) | 2000-06-15 | 2002-11-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Current-limiting device |
JP2010206106A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2010205758A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1311280B1 (it) * | 1999-12-24 | 2002-03-12 | St Microelectronics Srl | Struttura di resistore integrato verticale di ingombro ridotto peralta tensione e relativo processo di fabbricazione. |
US6261874B1 (en) * | 2000-06-14 | 2001-07-17 | International Rectifier Corp. | Fast recovery diode and method for its manufacture |
US7262467B2 (en) * | 2003-09-10 | 2007-08-28 | Ixys Corporation | Over charge protection device |
US20150162429A1 (en) * | 2012-01-26 | 2015-06-11 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor Device and Power Conversion Device Using the Same |
Family Cites Families (12)
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JPS542077A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-09 | Hitachi Ltd | Semiconductor switching element |
US4366522A (en) * | 1979-12-10 | 1982-12-28 | Reliance Electric Company | Self-snubbing bipolar/field effect (biofet) switching circuits and method |
US4414479A (en) * | 1981-07-14 | 1983-11-08 | General Electric Company | Low dissipation snubber for switching power transistors |
JPS59132167A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-07-30 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
GB8713440D0 (en) * | 1987-06-09 | 1987-07-15 | Texas Instruments Ltd | Semiconductor device |
JPH077837B2 (ja) * | 1990-11-29 | 1995-01-30 | 工業技術院長 | サージ防護デバイス |
JP2570022B2 (ja) * | 1991-09-20 | 1997-01-08 | 株式会社日立製作所 | 定電圧ダイオード及びそれを用いた電力変換装置並びに定電圧ダイオードの製造方法 |
JP2850694B2 (ja) * | 1993-03-10 | 1999-01-27 | 株式会社日立製作所 | 高耐圧プレーナ型半導体装置 |
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-
1996
- 1996-04-18 US US08/634,371 patent/US5880513A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-04-16 DE DE19715911A patent/DE19715911A1/de not_active Withdrawn
- 1997-04-16 JP JP9099114A patent/JPH1070289A/ja active Pending
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---|---|---|---|---|
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JP2010205758A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
JP2010206106A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19715911A1 (de) | 1997-10-30 |
US5880513A (en) | 1999-03-09 |
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