JPH1069608A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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JPH1069608A
JPH1069608A JP8227214A JP22721496A JPH1069608A JP H1069608 A JPH1069608 A JP H1069608A JP 8227214 A JP8227214 A JP 8227214A JP 22721496 A JP22721496 A JP 22721496A JP H1069608 A JPH1069608 A JP H1069608A
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film magnetic
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 トラック幅を実質的に画定する溝を、ゴミが
溜ることのない形状とすると共に、上述した溝を、短い
加工時間で形成できるようにする。 【解決手段】 スライダ１は、媒体対向面側に空気ベア
リング面１３、１４を有する。誘導型薄膜磁気変換素子
２は空気ベアリング面１３、１４に現れるポール部Ｐ
１、Ｐ２を有する。ポール部Ｐ１、Ｐ２は、媒体移動方
向ａ１と交差するトラック方向ｂ１の幅Ｗ０が空気ベア
リング面１３、１４に付された溝４、５によって実質的
に画定されている。溝４、５は、媒体移動方向ａ１に沿
って次第に浅くなりながら、空気ベアリング面１３、１
４に到達する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の磁気
記録再生装置に使用される薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは、主として、コンピュ
ータの記憶装置を構成する磁気ディスク装置に用いられ
るものであり、高記録密度に対応できるものでなければ
ならない。高記録密度に対応するための一つの有効な手
段は、トラック密度を上げることである。その手段とし
て、例えば、特開平3ー296907号公報は、ポール部のトラ
ック方向の幅を収束イオンビームによって削減すること
により、薄膜磁気ヘッドの記録トラック幅または再生ト
ラック幅を、高精度の微小値に設定する技術を開示して
いる。
【０００３】しかし、上述した文献に開示された溝は、
ほぼ垂直な側壁面を有する。かかる構造の溝の問題点の
一つは、磁気記録再生動作において、溝内にゴミが溜
り、そのために、薄膜磁気ヘッドの電磁変換特性が不安
定になったり、最悪の場合には、ヘッドクラッシュを引
き起こす恐れがあることである。このゴミには、磁気記
録媒体に付着された保護膜や、薄膜磁気ヘッドの媒体対
向面を形成している物質が、磁気記録再生動作時に削ら
れて発生したものや、大気中の粉塵等が含まれている。
【０００４】ゴミ対策として、特開平3ー296907号公報
は、溝内に適当な材料を充填して、溝内にゴミが滞留す
るのを回避する手段や、溝をゴミの滞留しない開放構造
とする手段を開示している。しかし、前者は、充填され
た材料がゴミ発生原因となる。また、溝に対する材料充
填作業のために、製造工程が増える。
【０００５】後者は、溝加工時間が長くなり、生産性が
低下する。即ち、溝は、高精度加工を必要とする関係
上、収束イオンビームを用いるのが普通である。収束イ
オンビームによる加工は、高精度であるけれども、単位
時間当たりの削減量は小さい。このような収束イオンビ
ームよって耐摩耗性の高いスライダ面を削減して溝を形
成する加工は、長時間を要する。開放構造の溝は、加工
量が増え、溝加工時間が必然的に長くなり、生産性が悪
くなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、記録
または再生のトラック幅を高精度の微小値に設定し得る
薄膜磁気ヘッドを提供することである。
【０００７】本発明のもう一つの課題は、トラック幅を
実質的に画定する溝を、ゴミが溜ることのない形状とし
た薄膜磁気ヘッドを提供することである。
【０００８】本発明の更にもう一つの課題は、上述した
溝を、短い加工時間で形成し得る薄膜磁気ヘッドを提供
することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、スライダと、少な
くとも一つの誘導型薄膜磁気変換素子とを含む。前記ス
ライダは、媒体対向面側に空気ベアリング面を有する。
前記誘導型薄膜磁気変換素子は、前記スライダ上に設け
られ、前記空気ベアリング面に現れるポール部を有す
る。前記ポール部は、媒体移動方向と交差するトラック
方向の幅が前記空気ベアリング面に付された溝によって
実質的に画定されている。前記溝は、前記媒体移動方向
に沿って次第に浅くなりながら、前記空気ベアリング面
に到達する。
【００１０】誘導型薄膜磁気変換素子は、スライダ上に
設けられ、空気ベアリング面に現れるポール部を有し、
ポール部は媒体移動方向と交差するトラック方向の幅が
空気ベアリング面に付された溝によって実質的に画定さ
れている。前記溝は、ポール部のトラック方向の幅を、
収束イオンビームによって削減することにより形成され
る。従って、薄膜磁気ヘッドの記録トラック幅または再
生トラック幅を、高精度の微小値に設定することができ
る。
【００１１】溝は、媒体移動方向に沿って次第に浅くな
りながら、空気ベアリング面に到達する。かかる形状の
溝は、磁気記録媒体（磁気ディスク）との組み合わせに
おいて、次第に浅くなる方向が空気流出方向に一致す
る。従って、仮に溝内にゴミが存在していた場合であっ
ても、磁気ディスクとの組み合わせにおいて、空気流出
方向と一致する媒体移動方向に沿って、ゴミを、次第に
浅くなる方向にスムーズに流し、空気ベアリング面に導
き、外部に排出することができる。従って、溝内にゴミ
が溜ることがない。
【００１２】本発明において、溝は、媒体移動方向に沿
って次第に浅くなりながら、空気ベアリング面に到達す
る形状であるから、溝加工によって削減すべき全体積が
少なくなる。このため、空気ベアリング面を基準にした
深さが浅くなる。このため、高精度であるけれども、単
位時間当たりの削減量の小さい収束イオンビームよって
溝を形成する場合でも、溝を、短い加工時間で形成し得
る。溝の態様は、上述した要件を満たす範囲において、
種々変形が可能である。
【００１３】本発明において、溝を付する薄膜磁気変換
素子は、誘導型薄膜磁気変換素子である。この誘導型薄
膜磁気変換素子を磁気記録の書き込み及び読み出しとし
ても使用してもよい。これとは異なって、誘導型薄膜磁
気変換素子を書き込み専用とし、これとは別に、読み出
し用として、磁気抵抗効果を利用した薄膜磁気変換素子
を備えてもよい。誘導型薄膜磁気変換素子としては、こ
れまで提案され、またはこれから提案されることのある
各種のタイプのものが使用できる。磁気抵抗効果を利用
した薄膜磁気変換素子としては、パーマロイ膜等の磁気
異方性磁気抵抗効果膜を利用したもの、スピンバルブ膜
で代表される巨大磁気抵抗効果を利用したもの等、これ
まで提案され、またはこれから提案されることのある各
種のタイプのものが使用できる。薄膜磁気変換素子を支
持するスライダは、一本以上のレールを有するタイプの
他、レールを持たないものであっても用いることができ
る。
【００１４】本発明の他の目的、構成及び利点は、実施
例である添付図面を参照して、更に詳しく説明する。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る薄膜磁気ヘッ
ドの斜視図である。図において、寸法は誇張されてい
る。図示された本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、スライ
ダ１と、誘導型薄膜磁気変換素子２と、磁気抵抗効果を
利用した薄膜磁気変換素子３（以下ＭＲ薄膜磁気変換素
子と称する）を含む。スライダ１は媒体対向面側にレー
ル部１１、１２を有し、レール部１１、１２の表面が空
気ベアリング面１３、１４を構成している。レール部１
１、１２は２本に限らない。１〜３本のレール部を有す
ることがあり、レール部を持たない平面となることもあ
る。また、浮上特性改善等のために、媒体対向面に種々
の幾何学的形状が付されることもある。何れのタイプの
スライダであっても、本発明の適用が可能である。
【００１６】薄膜磁気変換素子２、３は、レール部１
１、１２の一方または両者の媒体移動方向ａ１の端部に
設けられている。媒体移動方向ａ１は、媒体が高速移動
した時に連れ回る空気の流出方向と一致する。スライダ
１の媒体移動方向ａ１の端面には、薄膜磁気変換素子２
に接続された取り出し電極２７、２８及び薄膜磁気変換
素子３に接続された取り出し電極３３、３４が設けられ
ている。
【００１７】図２は図１に示した薄膜磁気ヘッドの薄膜
磁気変換素子部分の拡大斜視図である。誘導型薄膜磁気
変換素子２は、空気ベアリング面１３、１４に現れる下
部ポール部Ｐ１及び上部ポール部Ｐ２を有する。下部ポ
ール部Ｐ１及び上部ポール部Ｐ２は、媒体移動方向ａ１
と交差するトラック方向ｂ１の幅Ｗ０が空気ベアリング
面１３、１４に付された溝４、５によって実質的に画定
されている。溝４、５は、媒体移動方向ａ１に沿って次
第に浅くなりながら、空気ベアリング面１３、１４に到
達する。下部ポール部Ｐ１及び上部ポール部Ｐ２はギャ
ップ膜２４を隔てて対向している。
【００１８】図３は図１及び図２に示した薄膜磁気変換
素子２の部分の拡大斜視図である。溝４、５は、下部ポ
ール部Ｐ１及び上部ポール部Ｐ２を挟み、トラック方向
ｂ１の両側に設けられている。また、溝４、５は、４つ
の面を含んでいる。溝４において、第１の面４１は、空
気ベアリング面１３、１４を基準にして、最大深さをｈ
１とし、媒体移動方向ａ１に沿って次第に浅くなる傾斜
面である。第２の面４２及び第３の面４３は、幅Ｗ１を
有する第１の面４１の両側辺からそれぞれ立ち上がり、
媒体移動方向ａ１に沿って、長さＬ１で延びている。第
４の面４４は、第１の面４１の後辺から、最大深さｈ１
を有して立ち上がっている。第４の面４４はギャップ膜
２４から距離Ｌ１１を隔てて形成されている。第４の面
４４の後方には、下部ポール部Ｐ１が、厚みＬ１２だけ
残されている。寸法Ｌ１１、Ｌ１２は、電磁変換特性等
を考慮して設定される。第１の面４１〜第４の面４４
は、平面状であるが、曲率の大きな凸面または凹面であ
ってもよい。
【００１９】溝５において、第１の面５１は、空気ベア
リング面１３、１４を基準にした最大深さｈ２が、媒体
移動方向ａ１に沿って次第に浅くなる傾斜面である。第
２の面５２及び第３の面５３は、幅Ｗ２を有する第１の
面５１の両側辺からそれぞれ立ち上がり、媒体移動方向
ａ１に沿って、長さＬ２で延びている。第４の面５４
は、第１の面５１の後辺から、最大深さｈ２を有して立
ち上がっている。第４の面５４はギャップ膜２４から距
離Ｌ２１を隔てて形成されている。第４の面５４の後方
には、ポール部Ｐ１が、厚みＬ２２だけ残されている。
寸法Ｌ２１、Ｌ２２は、電磁変換特性等を考慮して設定
される。第１の面５１〜第４の面５４は、平面状である
が、曲率の大きな凸面または凹面であってもよい。溝５
は、溝４とほぼ同形であるが、異なった形状であっても
よい。また、溝４、５のうち、何れか一方を省略するこ
とも可能である。
【００２０】上述のように、薄膜磁気変換素子２は、ス
ライダ１上に設けられ、空気ベアリング面１３、１４に
現れる下部ポール部Ｐ１及び上部ポール部Ｐ２を有し、
下部ポール部Ｐ１及び上部ポール部Ｐ２は媒体移動方向
ａ１と交差するトラック方向ｂ１の幅Ｗ０が空気ベアリ
ング面１３、１４に付された溝４、５によって実質的に
画定されている。溝４、５は、下部ポール部Ｐ１及び上
部ポール部Ｐ２のトラック方向ｂ１の幅Ｗ０を、収束イ
オンビームによって削減する（後述）ことにより形成さ
れる。従って、薄膜磁気ヘッドの記録トラック幅または
再生トラック幅Ｗ０を、高精度の微小値に設定すること
ができる。
【００２１】溝４、５は、媒体移動方向ａ１に沿って次
第に浅くなりながら、空気ベアリング面１３、１４に到
達する。かかる形状の溝４、５は、磁気記録媒体（磁気
ディスク）との組み合わせにおいて、次第に浅くなる方
向が、媒体移動方向ａ１、即ち、空気流出方向に一致す
る。従って、仮に溝４、５の内部にゴミが存在していた
場合であっても、磁気ディスクとの組み合わせにおい
て、空気流出方向（媒体移動方向）ａ１に沿って、ゴミ
を、次第に浅くなる方向にスムーズに流し、空気ベアリ
ング面１３、１４に導き、外部に排出することができ
る。このため、溝４、５内にゴミが溜ることがない。溝
４、５の最大深さｈ１、ｈ２、幅Ｗ１、Ｗ２及び長さＬ
１、Ｌ２は、第１の面４１、５１の傾斜を決めるので、
ゴミの排出に適した傾斜が得られるように選定される。
【００２２】本発明において、溝４、５は、媒体移動方
向ａ１に沿って次第に浅くなりながら、空気ベアリング
面１３、１４に到達する形状であるから、溝加工によっ
て削減すべき全体積が少なくなる。このため、単位時間
当たりの削減量の小さい収束イオンビームよって溝４、
５を形成する場合でも、溝４、５を、短い加工時間で、
高精度で形成し得る。
【００２３】図４は図１〜図３に示した薄膜磁気ヘッド
の薄膜磁気変換素子部分の拡大断面図である。誘導型薄
膜磁気変換素子２は書き込み素子であり、ＭＲ薄膜磁気
変換素子３は読み取り素子である。
【００２４】書き込み素子となる誘導型薄膜磁気変換素
子２は、ＭＲ薄膜磁気変換素子３に対する上部シールド
膜を兼ねている下部磁性膜２１、上部磁性膜２２、コイ
ル膜２３、アルミナ等でなるギャップ膜２４、ノボラッ
ク樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜２５及びアルミ
ナ等でなる保護膜２６などを有している。下部磁性膜２
１及び上部磁性膜２２の先端部は微小厚みのギャップ膜
２４を隔てて対向する下部ポール部Ｐ１及び上部ポール
部Ｐ２となっており、下部ポール部Ｐ１及び上部ポール
部Ｐ２において書き込みを行なう。下部磁性膜２１及び
上部磁性膜２２は、そのヨーク部が下部ポール部Ｐ１及
び上部ポール部Ｐ２とは反対側にあるバックギャップ部
において、磁気回路を完成するように互いに結合されて
いる。絶縁膜２５の上に、ヨーク部の結合部のまわりを
渦巻状にまわるように、コイル膜２３を形成してある。
コイル膜２３の両端は、取り出し電極２７、２８に導通
されている（図１参照）。コイル膜２３の巻数および層
数は任意である。
【００２５】ＭＲ薄膜磁気変換素子３は、これまで、種
々の膜構造のものが提案され、実用に供されている。例
えばパーマロイ等による異方性磁気抵抗効果素子を用い
たもの、巨大磁気抵抗(GMR)効果膜を用いたもの等があ
る。本発明において、何れのタイプであってもよい。MR
薄膜磁気変換素子３は、下部シールド膜３１と、上部シ
ールド膜を兼ねている下部磁性膜２１との間において、
絶縁膜３２の内部に配置されている。絶縁膜３２はアル
ミナ等によって構成されている。ＭＲ薄膜磁気変換素子
３は取り出し電極３３、３４に接続されている（図１参
照）。実施例とは異なって、誘導型薄膜磁気変換素子２
だけを備え、これを読み書き素子として用いたものであ
ってもよい。
【００２６】実施例において、下部ポール部Ｐ１及び上
部ポール部Ｐ２の両者のトラック方向ｂ１の幅Ｗ０が溝
４、５によって実質的に画定されている。これとは異な
って、下部ポール部Ｐ１及び上部ポール部Ｐ２の少なく
とも一方、例えば下部ポール部Ｐ１のみを、トラック方
向ｂ１の幅Ｗ０が、溝４、５によって実質的に画定され
る構造としてもよい。
【００２７】溝４、５は、下部磁性膜２１を、媒体移動
方向ａ１にとられた厚みの方向において、部分的に削減
し、上部磁性膜２２を、厚みの方向の全体にわたって、
削減している。
【００２８】図５は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の
実施例における薄膜磁気変換素子２の部分の拡大斜視図
である。図において、図１〜図４と同一の構成部分は、
同一の参照符号を付し、詳細な説明は省略する。溝４、
５は、３つの面を含んでいる。溝４の第１の面４１は、
空気ベアリング面１３を基準にした最大深さｈ１から、
媒体移動方向ａ１及びトラック方向ｂ１に沿って、次第
に浅くなる傾斜面である。第２の面４２は、第１の面４
１の一つの側辺から立ち上がり、媒体移動方向ａ１に沿
って延びている。第３の面４３は、第１の面４１の後辺
から、最大深さｈ１で立ち上がっている。これにより、
幅Ｗ１、長さＬ１及び最大深さｈ１の溝４が得られる。
【００２９】溝５の第１の面５１は、空気ベアリング面
１４を基準にした深さｈ２が、媒体移動方向ａ１及びト
ラック方向ｂ１に沿って次第に浅くなる傾斜面である。
第２の面５２は、第１の面５１の一つの側辺から立ち上
がり、媒体移動方向ａ１に沿って延びている。第３の面
５３は、第１の面５１の後辺から立ち上がっている。こ
れにより、幅Ｗ２、長さＬ２及び最大深さｈ２の溝５が
得られる。
【００３０】図６は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の
実施例における薄膜磁気変換素子２の部分の拡大斜視図
である。図において、図５と同一の構成部分は、同一の
参照符号を付し、詳細な説明は省略する。溝４、５の構
造及び形状は図５の実施例と同じである。下部磁性膜２
１及び上部磁性膜２２のうち、上部磁性膜２２は、ポー
ル部Ｐ２においてギャップ膜２４と接する第１の磁性層
２２１と、第１の磁性層２２１上に積層された第２の磁
性層２２２とを有する。かかる構成とすることにより、
第１の磁性層の物性的特性を、第２の磁性層の物性的特
性と異ならせ、それによって、必要な特性改善を行なう
ことができる。
【００３１】例えば、第１の磁性層２２１の飽和磁束密
度を第２の磁性層２２２の飽和磁束密度よりも大きい値
に選定する。この場合には高周波記録特性を改善するこ
とができる。高周波記録特性を改善する別の手段とし
て、第１の磁性層２２１の比抵抗を、第２の磁性層２２
２の比抵抗よりも大きくすることも有効である。
【００３２】第１の磁性層２２１の耐摩耗性を、第２の
磁性層２２２の耐摩耗性よりも大きくすることも有効で
ある。この場合は、ギャップ膜２４に隣接していて、実
質的にギャップ厚みを定めている第１の磁性層２２１の
摩耗を回避し、安定した電磁変換特性を得ることができ
る。
【００３３】第１の磁性層２２１及び第２の磁性層２２
２は、この種の薄膜磁気ヘッドの製造プロセスを考慮す
ると、上部磁性膜２２の全体に設けることが好ましい。
また、図示は省略したが、図１〜図４に示した溝構造を
採用してもよい。
【００３４】図７は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の
実施例における薄膜磁気変換素子２の部分の拡大斜視図
である。図において、図６と同一の構成部分は、同一の
参照符号を付し、詳細な説明は省略する。溝４、５の構
造及び形状は図６の実施例と同じである。図６の実施例
と異なる点は、下部磁性膜２１１の下部ポール部Ｐ１の
構造も、第１の磁性層２１１及び第２の磁性層２１２の
積層構造にした点である。第１の磁性層２１１及び第２
の磁性層２１２の選択は、上部ポール部Ｐ２における第
１の磁性層２２１及び第２の磁性層２２２の関係と同様
になされる。図示は省略したが、図１〜図４に示した溝
構造を採用してもよい。
【００３５】図８は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の
実施例における薄膜磁気変換素子２の部分の拡大斜視図
である。図において、図１〜図４と同一の構成部分は、
同一の参照符号を付し、詳細な説明は省略する。溝４、
５は、下部磁性膜２１及び上部磁性膜２２を、媒体移動
方向ａ１にとられた厚みの方向において、部分的に削減
している。即ち、溝４、５を、下部磁性膜２１の途中か
ら始まり、上部磁性膜２２の途中で終わるように形成し
てある。これにより、幅Ｗ１、長さＬ１及び最大深さｈ
１の溝４が得られるとともに、幅Ｗ２、長さＬ２及び最
大深さｈ２の溝５が得られる。
【００３６】溝４は、下部ポール部Ｐ１において、第３
の面４３がギャップ膜２４から距離Ｌ１１の位置にあ
り、第３の面４３の後方に厚みＬ１２のポール部厚みが
残るように形成されている。また、上部ポール部Ｐ２に
おいて、第１の面４１がギャップ膜２４から距離Ｌ１３
の位置で終わり、その前方に厚みＬ１４のポール部厚み
が残るように形成されている。
【００３７】溝５は、下部ポール部Ｐ１において、第３
の面５３がギャップ膜２４から距離Ｌ２１の位置にあ
り、第３の面５３の後方に厚みＬ２２のポール部厚みが
残るように形成されている。また、上部ポール部Ｐ２に
おいて、第１の面５１がギャップ膜２４から距離Ｌ２３
の位置で終わり、その前方に厚みＬ２４のポール部厚み
が残るように形成されている。
【００３８】上述した図５〜図８の実施例においても、
図１〜図４に示した実施例と同様の作用効果が得られる
ことは勿論である。各実施例において、溝４の幅Ｗ１、
長さＬ１及び最大深さｈ１と、溝５の幅Ｗ２、長さＬ２
及び最大深さｈ２とは、一般にはほぼ等しくなるように
選定されるが、異なっていてもよい。
【００３９】図９は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの加工
方法を示す図である。図示するように、薄膜磁気ヘッド
の空気ベアリング面１３または１４に対し、その溝４、
５を形成すべき箇所に、収束イオンビーム装置６から、
収束イオンビームFIBを照射する。収束イオンビームFIB
は、要求される溝形状、深さ等に従って、空気ベアリン
グ面１３または１４上で、媒体移動方向ａ１及びトラッ
ク方向ｂ１に走査される。得られる溝４、５の深さは、
収束イオンビームの走査速度、加速電圧あるいはビーム
電流を調整することにより、調整できる。例えば、収束
イオンビームFIBの走査速度が一定の場合は、加速電圧
あるいはビーム電流を調整することにより、溝４、５の
深さを、本発明の要求を満たすように制御できる。加速
電圧あるいはビーム電流を一定とした場合には、収束イ
オンビームFIBの走査速度を制御する。収束イオンビー
ムの走査速度、加速電圧あるいはビーム電流は、プログ
ラム機能を有する収束イオンビーム装置を用いて、容易
に調整することができる。
【００４０】次に、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの作用
効果について、比較例と対比して具体的に説明する。
【００４１】＜比較例１＞図１０は比較例として用いら
れた薄膜磁気ヘッドにおける薄膜磁気変換素子部分の拡
大斜視図である。薄膜磁気変換素子の構造は、図４に示
した通りである。溝４は５つの面４１〜４５を持ってい
る。第１の面４１は底面を構成し、空気ベアリング面１
３、１４とほぼ平行な底面を形成している。第２の面４
２〜第５の面４５は第１の面４１に対して垂直な壁面と
なっている。上部シールド膜となる下部磁性膜２１の厚
みは３．５μm、上部磁性膜２２の厚みも３．５μmであ
る。ギャップ膜２４の厚みは０．４μmである。上述の
下部磁性膜２１の下部ポール部Ｐ１及び上部磁性膜２２
の上部ポール部Ｐ２に対し、図９に示した収束イオンビ
ーム加工を施た。収束イオンビーム加工は加速電圧４０
kV、ビーム電流５nA、ビーム径0.02μmで行なった。得
られた溝４、５のディメンションは次の通りである。
【００４２】Ｗ１＝Ｗ２＝３μm Ｌ１＝Ｌ２＝６μm ｈ１＝ｈ２＝１μm Ｌ１１＝Ｌ２１＝２μm Ｌ１２＝Ｌ２２＝１．５μm Ｗ０＝１．０μm ＜実施例１＞比較例と同じ薄膜磁気ヘッドに対し、図１
〜図３に示した溝４、５を形成した。溝４、５の形成に
当たっては、図９に示した収束イオンビーム装置６の加
速電圧及びビーム電流を、40kVー50nAから0kVー0nAに徐々
に変化させた。収束イオンビームFIBの走査速度は一定
とした。得られた溝４、５の体積は比較例の約５０％で
ある。溝４、５のディメンションは比較例と同じであ
る。
【００４３】＜実施例２＞比較例と同じ薄膜磁気ヘッド
に対し、図５に示した溝４、５を形成した。溝４、５の
加工条件は、実施例１と同じにした。得られた溝４、５
の体積は比較例の約２５％である。溝４、５のディメン
ションは比較例と同じである。
【００４４】上述した比較例及び実施例１、２によって
得られた薄膜磁気ヘッドに対して、コンタクト．スター
ト．ストップ（以下CSSと称する）テストを実施し、そ
れによって得られたゴミの付着状況と薄膜磁気ヘッドの
電磁変換特性が不安定になるまでのCSS回数を表１に示
す。 表１から明らかなように、特性が不安定になるCSS回数
が、比較例では平均4500回であるのに対し、本発明に係
る実施例１、２では、50000回以上と著しく改善されて
いる。また、比較例ではゴミの付着が認められたが、実
施例１、２ではゴミの付着は認められなかった。
【００４５】＜実施例３＞図６に示した薄膜磁気ヘッド
において、上部磁性膜２２の第１の磁性層２２１はスパ
ッタリングで形成した膜厚０．５μmのFeZrN(Bs=15kG、H
v=1500、ρ=100μΩ)であり、第２の磁性層２２２はメッ
キによって形成した膜厚３．０μmのNiFe膜(Bs=9.0kG、H
v=250、ρ=25μΩ)である。飽和磁束密度Ｂｓ及び比抵抗
ρの何れも、第１の磁性層２２１の方が、第２の磁性層
２２２よりも大きい。
【００４６】＜実施例４＞図７に示した薄膜磁気ヘッド
において、上部磁性膜２２は、実施例３と同様の構成と
した。下部磁性膜２１も上部磁性膜２２と同様の構成と
した。
【００４７】＜比較例２＞実施例３及び４と同じ溝構造
であるが、下部磁性膜２１及び上部磁性膜２２の何れ
も、単層構造となっている薄膜磁気ヘッド（図５の薄膜
磁気ヘッド）を作成した。
【００４８】実施例３、４及び比較例２について、高周
波記録特性試験を行なった。試験に用いられた磁気ディ
スクは、Hc=2500Oe、tBr=80Gμである。この磁気ディス
クを7200rpmで回転させた。薄膜磁気ヘッドは浮上量５
０nmで動作させた。記録電流は40mA0-Pである。得られ
たD50(kFCI)を表２に示す。 表２に示すように、ギャップ膜２４と接触する部分に飽
和磁束密度Ｂｓ及び比抵抗ρの磁性膜を形成することに
より、高周波記録特性が向上する。ギャップ膜２４と接
触する第１の磁性層２１１、２２１に適した材料として
は、実施例３、４に示されたもののほか、FeCo、FeCoNi、
FeMN、FeMC(M=Ta,Hf,Mo,W,B,Si,Al)、アモルファス磁性
材料等を挙げることができる。
【００４９】図８に示した構造の場合、溝４、５の体積
を著しく小さくできる。例えば、図８の溝４、５のディ
メンションを、実現可能な次の寸法、 Ｗ１＝Ｗ２＝３μm Ｌ１＝Ｌ２＝２．４μm ｈ１＝ｈ２＝１μm Ｌ１１＝Ｌ２１＝２μm Ｌ１３＝Ｌ２３＝１．５μm とした場合、比較例１に示したディメンションの溝４、
５との対比において、体積を約1/6に縮小することがで
き、更に生産性が向上する。
【００５０】以上、好適な具体的実施例を参照して本発
明を詳説したが、本発明の本質及び範囲から離れること
なく、その形態と細部において、種々の変形がなされ得
ることは、当業者にとって明らかである。
【００５１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）記録または再生のトラック幅を高精度の微小値に
設定し得る薄膜磁気ヘッドを提供することができる。 （ｂ）トラック幅を実質的に画定する溝を、ゴミが溜る
ことのない形状とした薄膜磁気ヘッドを提供することが
できる。 （ｃ）上述した溝を、短い加工時間で形成し得る薄膜磁
気ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの斜視図である。
【図２】図１に示した薄膜磁気ヘッドの一部を拡大して
示す斜視図である。
【図３】図２に示した薄膜磁気変換素子部分の拡大斜視
図である。
【図４】図１に示した薄膜磁気ヘッドの拡大断面図であ
る。
【図５】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの他の実施例にお
ける薄膜磁気変換素子の部分の拡大斜視図である。
【図６】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例にお
ける薄膜磁気変換素子部分の拡大斜視図である。
【図７】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例にお
ける薄膜磁気変換素子部分の拡大斜視図である。
【図８】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例にお
ける薄膜磁気変換素子部分の拡大斜視図である。
【図９】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの加工方法を示す
図である。
【図１０】従来の薄膜磁気ヘッドの一部を拡大して示す
斜視図である。
【符号の説明】 １ スライダ １３、１４ 空気ベアリング面 ２ 誘導型薄膜磁気変換素子 ２１ 下部磁性膜 Ｐ１ 下部ポール部 ２２ 上部磁性膜 ２４ ギャップ膜 Ｐ２ 上部ポール部 ４、５ 溝 ４１、５１ 第１の面 ４２、５２ 第２の面 ４３、５３ 第３の面 ４４、５４ 第４の面

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 スライダと、少なくとも一つの誘導型薄
    膜磁気変換素子とを含む薄膜磁気ヘッドであって、 前記スライダは、媒体対向面側に空気ベアリング面を有
    しており、 前記誘導型薄膜磁気変換素子は、前記スライダ上に設け
    られ、前記空気ベアリング面に現れるポール部を有して
    おり、 前記ポール部は、媒体移動方向と交差するトラック方向
    の幅が前記空気ベアリング面に付された溝によって実質
    的に画定されており、 前記溝は、前記媒体移動方向に沿って次第に浅くなりな
    がら、前記空気ベアリング面に到達する薄膜磁気ヘッ
    ド。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記溝は、前記ポール部を挟み、前記トラック方向の両
    側に設けられている薄膜磁気ヘッド。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記誘導型薄膜磁気変換素子は、下部磁性膜、上部磁性
    膜及びコイル膜を含む薄膜磁気回路を有しており、 前記下部磁性膜及び前記上部磁性膜はギャップ膜を介し
    て対向する下部ポール部及び上部ポール部を有してお
    り、 前記ポール部の少なくとも一方は、前記トラック方向の
    幅が、前記溝によって実質的に画定されている薄膜磁気
    ヘッド。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記下部ポール部は、前記トラック方向の幅が前記溝に
    よって実質的に画定されている薄膜磁気ヘッド。
  5. 【請求項５】 請求項３に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記下部ポール部及び前記上部ポール部は、前記トラッ
    ク方向の幅が前記溝によって実質的に画定されている薄
    膜磁気ヘッド。
  6. 【請求項６】 請求項３に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記溝は、前記下部磁性膜を、前記媒体移動方向にとら
    れた厚みの方向において、部分的に削減し、前記上部磁
    性膜を、前記厚みの方向において、横断するように削減
    する薄膜磁気ヘッド。
  7. 【請求項７】 請求項３に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記溝は、前記下部磁性膜及び前記上部磁性膜を、前記
    媒体移動方向にとられた厚みの方向において、部分的に
    削減する薄膜磁気ヘッド。
  8. 【請求項８】 請求項３に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記下部磁性膜及び前記上部磁性膜の少なくとも一方
    は、前記ポール部において前記ギャップ膜と接する第１
    の磁性層と、前記第１の磁性層上に積層された第２の磁
    性層とを有し、 前記第１の磁性層の物性的特性が、前記第２の磁性層の
    物性的特性と異なる薄膜磁気ヘッド。
  9. 【請求項９】 請求項８に記載された薄膜磁気ヘッドで
    あって、 前記第１の磁性層の飽和磁束密度が前記第２の磁性層の
    飽和磁束密度よりも大きい薄膜磁気ヘッド。
  10. 【請求項１０】 請求項８に記載された薄膜磁気ヘッド
    であって、 前記第１の磁性層の比抵抗が、前記第２の磁性層の比抵
    抗よりも大きい薄膜磁気ヘッド。
  11. 【請求項１１】 請求項８に記載された薄膜磁気ヘッド
    であって、 前記第１の磁性層の耐摩耗性が、前記第２の磁性層の耐
    摩耗性よりも優れている薄膜磁気ヘッド。
  12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１に記載された薄膜磁
    気ヘッドであって、 磁気抵抗効果を利用した薄膜磁気変換素子を含む薄膜磁
    気ヘッド。
  13. 【請求項１３】 請求項１乃至１２に記載された薄膜磁
    気ヘッドであって、 前記溝は、４つの面を含んでおり、 第１の面は、前記空気ベアリング面を基準にした深さ
    が、前記媒体移動方向に沿って次第に浅くなる傾斜面で
    あり、 第２の面及び第３の面は、前記トラック方向の両側に位
    置する前記第１の面の両側辺からそれぞれ立ち上がり、
    前記媒体移動方向に沿って延びており、 第４の面は、前記媒体移動方向とは逆方向に位置する前
    記第１の面の後辺から立ち上がっている薄膜磁気ヘッ
    ド。
  14. 【請求項１４】 請求項１乃至１２に記載された薄膜磁
    気ヘッドであって、 前記溝は、３つの面を含んでおり、 第１の面は、前記空気ベアリング面を基準にした深さ
    が、前記媒体移動方向及び前記トラック方向に沿って次
    第に浅くなる傾斜面であり、 第２の面は、前記ポール部に隣接する前記第１の面の一
    つの側辺から立ち上がり、前記媒体移動方向に沿って延
    びており、 第３の面は、前記媒体移動方向とは逆方向に位置する前
    記第１の面の後辺から立ち上がっている薄膜磁気ヘッ
    ド。
  15. 【請求項１５】 請求項１乃至１４に記載された薄膜磁
    気ヘッドの製造方法であって、 前記溝を、収束イオンビームによって形成する薄膜磁気
    ヘッドの製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6057991A (en) * 1996-11-26 2000-05-02 Nec Corporation Thin film magnetic head with an improved surface to reduce the occurrence of head crash
WO2000041170A3 (en) * 1999-01-06 2000-11-02 Storage Technology Corp Three-dimensional recording heads for control of debris and bidirectional written track width
WO2006100774A1 (ja) * 2005-03-24 2006-09-28 Fujitsu Limited 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6256171B1 (en) * 1996-09-30 2001-07-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Thin film magnetic head having an improved heat dispersion and magnetic recording apparatus using the same
JP3484332B2 (ja) * 1997-11-11 2004-01-06 Ｔｄｋ株式会社 薄膜磁気ヘッドの製造方法
JPH11353615A (ja) * 1998-06-10 1999-12-24 Tdk Corp 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法
JP2000057522A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Tdk Corp 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法
US6606222B1 (en) 1998-09-21 2003-08-12 Seagate Technology Llc Convergent channel, trenched disc head slider
US6587308B2 (en) * 1999-01-29 2003-07-01 Seagate Technology, Llc Disc head slider having profiled convergent channel features
US6654205B1 (en) * 1999-11-01 2003-11-25 Maxtor Corporation Air bearing surface for reducing pressure gradients
US6714382B1 (en) 2000-10-13 2004-03-30 Hitachi Global Storage Technologies Self-limiting wear contact pad slider and method for making the same
US6493185B1 (en) * 2000-10-13 2002-12-10 International Business Machines Corporation Optimized pad design for slider and method for making the same
JP4352607B2 (ja) * 2000-12-07 2009-10-28 パナソニック株式会社 ヘッドスライダおよびこれを用いたディスク記録再生装置
US6697223B2 (en) * 2000-12-11 2004-02-24 Seagate Technology Llc Disc head slider with pole tip spacing de-coupled from slider fly height
JP2002237007A (ja) 2001-02-14 2002-08-23 Alps Electric Co Ltd 磁気機能装置および前記磁気機能装置を用いた磁気ヘッド装置
US6879462B2 (en) * 2001-02-14 2005-04-12 Alps Electric Co., Ltd. Magnetic head capable of being increased in shape freedom of support and magnetic head device using the magnetic head
US6989965B2 (en) * 2002-11-07 2006-01-24 Seagate Technology Llc Head slider having tilted protrusions for ramp load-unload applications
US7084813B2 (en) * 2002-12-17 2006-08-01 Ethertronics, Inc. Antennas with reduced space and improved performance
WO2004061828A1 (ja) * 2002-12-26 2004-07-22 Fujitsu Limited ヘッドスライダおよび記録媒体駆動装置
US7256965B2 (en) * 2003-04-10 2007-08-14 Seagate Technology Llc Adaptable air bearing slider with trailing edge cavity
DE10321322A1 (de) * 2003-05-13 2004-12-02 Hilti Ag System mit Auspressvorrichtung und Lagerbehälter
JP2005235290A (ja) * 2004-02-19 2005-09-02 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ヘッドスライダ
US8035919B2 (en) * 2008-12-15 2011-10-11 Tdk Corporation Multi-channel thin-film magnetic head, magnetic tape drive apparatus with the multi-channel thin-film magnetic head and manufacturing method of multi-channel thin-film magnetic head
US8593763B2 (en) * 2011-04-28 2013-11-26 Seagate Technology Llc Preventing oil migration to slider fluid bearing surface
US9704523B1 (en) * 2016-01-07 2017-07-11 Western Digital Technologies, Inc. Slider with tunnel feature
US11587583B1 (en) * 2022-02-28 2023-02-21 Western Digital Technologies, Inc. Slider air bearing design with roughened leading edge shallow step for enhanced particle robustness
US11587584B1 (en) * 2022-02-28 2023-02-21 Western Digital Technologies, Inc. Slider air bearing design with ultra-low pressure for low power-consumption data storage devices

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5717551A (en) * 1989-01-17 1998-02-10 Fuji Photo Film Co., Ltd. Contact-type magnetic head having an integral control portion for generating negative pressure
EP0385359B1 (en) * 1989-02-28 1996-01-10 Canon Denshi Kabushiki Kaisha Magnetic head
JP2930603B2 (ja) * 1989-07-06 1999-08-03 アルプス電気株式会社 浮動式磁気ヘッド及びその製造方法
JPH03296907A (ja) * 1990-04-16 1991-12-27 Hitachi Ltd 磁気ヘッドおよびその製造方法
DE69117323T2 (de) * 1990-04-16 1996-07-11 Hitachi Ltd Dünnfilm-Magnetkopf mit schmaler Spurbreite und dessen Herstellungsverfahren
JP2543629B2 (ja) * 1991-02-14 1996-10-16 日本碍子株式会社 磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法
US5590008A (en) * 1991-04-25 1996-12-31 Hitachi, Ltd. Magnetic disc unit having a plurality of magnetic heads which include multilayer magnetic films
US5687045A (en) * 1991-09-20 1997-11-11 Hitachi, Ltd. Thin film magnetic head and production method thereof and magnetic disk drive equipped with this thin film magnetic head
JP3221518B2 (ja) * 1992-11-10 2001-10-22 ティーディーケイ株式会社 薄膜磁気ヘッド
JPH09503606A (ja) * 1993-07-19 1997-04-08 クウォンタム・コーポレイション 自己調節摩耗領域を有する磁気ヘッド
US5558944A (en) * 1993-08-10 1996-09-24 Tdk Corporation Magnetic head and a process for production thereof
US5452166A (en) * 1993-10-01 1995-09-19 Applied Magnetics Corporation Thin film magnetic recording head for minimizing undershoots and a method for manufacturing the same
JP3305880B2 (ja) * 1994-01-25 2002-07-24 ティーディーケイ株式会社 薄膜磁気ヘッド及び磁気記録再生装置
US5726841A (en) * 1996-06-11 1998-03-10 Read-Rite Corporation Thin film magnetic head with trimmed pole tips etched by focused ion beam for undershoot reduction
US5751517A (en) * 1997-04-11 1998-05-12 Western Digital Corporation Air bearing slider having debris removing channels

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6057991A (en) * 1996-11-26 2000-05-02 Nec Corporation Thin film magnetic head with an improved surface to reduce the occurrence of head crash
US6141859A (en) * 1996-11-26 2000-11-07 Nec Corporation Method for making a merged head device
WO2000041170A3 (en) * 1999-01-06 2000-11-02 Storage Technology Corp Three-dimensional recording heads for control of debris and bidirectional written track width
US6191919B1 (en) 1999-01-06 2001-02-20 Storage Technology Corporation Magnetic transducer with debris guiding channels having non-vertical sloping walls formed in a tape bearing surface
WO2006100774A1 (ja) * 2005-03-24 2006-09-28 Fujitsu Limited 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法

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