WO2006100774A1

WO2006100774A1 - 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法

Info

Publication number: WO2006100774A1
Application number: PCT/JP2005/005338
Authority: WO
Inventors: Mitsuru Otagiri
Original assignee: Fujitsu Limited
Priority date: 2005-03-24
Filing date: 2005-03-24
Publication date: 2006-09-28

Description

明細書

垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法

技術分野

[0001] 本発明は垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法に関し、より詳細には垂直磁気記録ヘッドの主磁極の構成を特徴とする垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法、並びに垂直磁気記録ヘッドを用ヽた磁気ディスク装置に関する。

背景技術

[0002] 図 8は、磁気ディスク装置に用いられる記録再生用ヘッドの記録ヘッドとして、垂直磁気記録ヘッドを用いて記録媒体に情報を記録する方法を示してヽる。

この記録再生用ヘッドの記録ヘッドは、主磁極 10、トレーリングシールド 12および記録用コイル 14を備え、再生用ヘッドは上部シールド 20、下部シールド 22および M R素子 24を備える。

垂直磁気記録ヘッドは、主磁極 10とトレーリングシールド 12を平行に配置し、主磁極 10の先端を細幅に形成して先端磁極 10aとし、先端磁極 10aとトレーリングシールド 12との間を絶縁層を介して電気的に絶縁して離間させた配置としてヽる。

垂直磁気記録ヘッドを用いて記録媒体 30に情報を記録する作用は、記録用コイル 14で発生した磁束力主磁極 10の先端磁極 10aから記録媒体 30に向力、、記録媒体 30の記録層 31を通過し、記録層 31の下層に設けられた軟磁性層 32を経由してトレーリングシールド 12に戻る閉磁路構造をとることによってなされる。

垂直磁気記録ヘッドによれば、記録媒体 30の媒体面に垂直に磁束が横切ることで記録層 31は媒体面に垂直に磁化され、媒体面に平行に記録層を磁化する方法にくらベて、より高密度に情報を記録することが可能である。

特許文献 1：特開 2004-95006号公報

発明の開示

[0003] この垂直磁気記録ヘッドを記録ヘッドに使用する場合には、主磁極 10の先端磁極 10aとトレーリングシールド 12の端磁極 12aとをできるだけ近づけることにより、主磁極 10による記録用の磁界を外部磁場力も効果的にシールドすることができ、また、主磁極 10から発生させる記録用の垂直磁界成分を急峻にすることが可能となり、高密度記録が可能となる。し力しながら、主磁極 10の先端磁極 10aとトレーリングシールド 1 2の端磁極 12aとを近づけすぎると、図のように、先端磁極 10aから発生した磁界が記録媒体に作用せずに直接トレーリングシールド 12に戻ってしまう。

図 9は、ヘッドスライダーの浮上面側から主磁極 10およびトレーリングシールド 12等を見た状態を示す。矢印は、主磁極 10の先端磁極 10aからトレーリングシールド 12 に磁界が直接入ってしまう様子を示す。このため、主磁極 10の先端磁極 10aとトレーリングシールド 12との間隔は、先端磁極 1 Oaと記録媒体 30の軟磁性層 32との間隔ょりも広くなるように、たとえば、主磁極 10の先端磁極 10aの上端とトレーリングシールド 12の端磁極 12aとの間隔を 75nm、先端磁極 10aの端面と軟磁性層 32との間隔を 5 Onmとすると、つたように設計される。

し力しながら、主磁極 10とトレーリングシールド 12との間隔を適当に設定した場合でも、主磁極 10からトレーリングシールド 12へ向力漏れ磁界は発生するし、図 9に示すように、先端磁極 10aから横方向に漏れ磁界が生じる。先端磁極 10aから横方向に漏れる磁界は、記録媒体 30の記録層 31に情報を記録する際に、磁化パターンの端部に影響を与え、記録をにじませる（ぼやけさせる)ように作用する。

そこで、本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、主磁極から発生する記録用磁界が主磁極力横方向に漏れることを防止し、記録媒体に記録する際ににじませることなく高精度に記録することを可能にする垂直磁気記録ヘッド、およびこの垂直磁気記録ヘッドの好適な製造方法、およびこの垂直磁気記録ヘッドを用いた磁気ディスク装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は以下の構成を備える。

すなわち、先端磁極を有する主磁極とトレーリングシールドとを備える垂直磁気記録ヘッドにおいて、前記トレーリングシールドに、前記主磁極の前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられていることを特徴とする。

また、前記凸磁極が、前記トレーリングシールドの先端に設けた端磁極に設けられていることを特徴とする。

また、前記主磁極に設けられた先端磁極は、端面形状が逆台形状に形成され、前記凸磁極の側面が、前記先端磁極の側面の延長線上に位置することを特徴とする。これによつて、先端磁極力発生する磁界が横方向に漏れることをさらに効果的に防止することができ、記録媒体への記録のにじみを防止することができる。

また、回転駆動手段により回転駆動される磁気記録ディスクと、記録再生ヘッドが形成されたヘッドスライダーを支持するヘッドサスペンションおよびキャリッジアームを含む支持手段と、該支持手段を駆動して前記ヘッドスライダーをシーク動作させる制御部とを備える磁気ディスク装置であって、前記記録再生ヘッドは、記録ヘッドとして、先端磁極を有する主磁極と、トレーリングシールドとを備え、前記トレーリングシールドに、前記主磁極の前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられた垂直磁気記録ヘッドを備えてヽることを特徴とする。

また、前記主磁極に設けられた先端磁極は、端面形状が逆台形状に形成され、前記凸磁極の側面が、前記先端磁極の側面の延長線上に位置することを特徴とする。また、先端磁極を有する主磁極とトレーリングシールドとを備え、前記トレーリングシ一ルドに、前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられた垂直磁気記録ヘッドの製造方法において、前記主磁極の先端に位置合わせして、主磁極から前記トレーリングシールドに向け断面形状が逆台形状となる凹溝が形成されためつきレジストを形成する工程と、該めっきレジストの凹溝内に、前記先端磁極と、前記先端磁極と前記凸磁極とを所定距離離間させる非磁性材層と、前記凸磁極とを、この順にめつきにより盛り上げて形成することを特徴とする。

また、前記凹溝の底面に露出するめつきシード層を設け、前記先端磁極は、めっきシード層をめつき給電層とする電解めつきによって形成し、前記非磁性材層は、前記めっきシード層と前記先端磁極をめつき給電層とする電解めつきによって形成し、前記凸磁極は、前記めつきシード層と前記先端磁極と前記非磁性材層をめつき給電層とする電解めつきによって形成することを特徴とする。

また、先端磁極を有する主磁極とトレーリングシールドとを備え、前記トレーリングシ一ルドに、前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられた垂直磁気記録ヘッドの製造方法において、ヘッドスライダーの浮上面側から、前記主磁極に設けられた先端磁極の端面、および前記トレーリングシールドの端面に向けて FIBカロェを施し、前記先端磁極の端面形状を逆台形状に成形するとともに、前記トレーリングシールドの前記先端磁極に対向する面を彫り込むことにより凸磁極を成形することを特徴とする。

[0004] 発明の効果

本発明に係る垂直磁気記録ヘッドおよび磁気ディスク装置によれば、トレーリングシ一ルドに凸磁極を設けたことによって主磁極に設けられた先端磁極カゝら発生する磁界が横方向に漏れることを防止し、記録媒体に記録する際に記録がにじむことを防止することができ、より高密度記録が可能な垂直磁気記録ヘッドおよび磁気ディスク装置として提供することができる。また、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドの製造方法によれば、凸磁極を有するトレーリングシールドを備えた垂直磁気記録ヘッドを容易に製造することが可能となる。

図面の簡単な説明

[0005] [図 1]本発明に係る垂直磁気記録ヘッドの構成を示す側面断面図である。

[図 2]先端磁極と凸磁極の端面形状を示す説明図である。

[図 3]図 3A-Cは、垂直磁気記録ヘッドの製造方法を示す説明図である。

[図 4]めっきによって先端磁極と凸磁極を製造する方法を示す説明図である。

[図 5]図 5A-Bは、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドの他の製造方法を示す説明図である。

[図 6]本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを搭載した磁気ディスク装置の平面図である

[図 7]本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを備えるヘッドスライダーの斜視図である。

[図 8]従来の垂直磁気記録ヘッドの構成を示す側面断面図である。

[図 9]従来の垂直磁気記録ヘッドを浮上面側力見た状態を示す説明図である。発明を実施するための最良の形態

[0006] 以下、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドの好適な実施の形態について説明する。

(第 1の実施の形態）

図 1は、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた記録再生ヘッドの構成と、垂直磁気記録ヘッドにより記録媒体 30に情報を記録する作用を示す。本実施形態における記録再生ヘッドは、図 8に示す従来の記録再生ヘッドと同様に、主磁極 10、トレーリングシールド 12および記録用コイル 14を備えた垂直磁気記録ヘッドと、上部シールド 20、下部シールド 22および MR素子 24を備えた再生へッドカらなる。

垂直磁気記録ヘッドを構成する主磁極 10およびトレーリングシールド 12は NiFe等の軟磁性材によって形成される。主磁極 10の後部側（浮上面カゝら離間する側）には主磁極 10と一体に起立部 10bが設けられ、トレーリングシールド 12の後部が起立部 10bの上端面に連結される。記録用コイル 14は、主磁極 10とトレーリングシールド 12 に挟まれた位置で起立部 10bの回りを複数回、周回するように設けられる。

本実施形態では、垂直磁気記録ヘッドのトレーリングシールド 12の先端に主磁極 1 0に設けられた先端磁極 10aに対向して端磁極 12aを設けている力トレーリングシ一ルド 12に端磁極 12aを設けないことも可能である。

再生ヘッドを構成する上部シールド 20および下部シールド 22および MR素子 24等の構成については、従来用いられている再生ヘッドにおける構成と変わるものではない。記録媒体 30に記録されている情報を再生する MR素子 24には、種々の形態の素子が提案されている。本実施形態では、再生ヘッドの構成が限定されるものではない。

なお、図 1において、主磁極 10と記録用コイル 14との間、記録用コイル 14とトレーリングシールド 12との間、上部シールド 20と主磁極 10との間、 MR素子 24と上部シールド 20および下部シールド 22との間には、アルミナ等の電気的絶縁性を有する絶縁層が設けられる。図ではこれらの絶縁層を省略している。

図 1に示す垂直磁気記録ヘッドの構成において特徴とする点は、トレーリンダシールド 12の端磁極 12aに、主磁極 10の先端磁極 10aに対向する配置に、先端磁極 10 aに向けて突起状に突出する凸磁極 12bを設けたことにある。

図 2に、垂直磁気記録ヘッドと再生ヘッドを浮上面側から見た状態を示す。トレーリングシールド 12の先端に設けられる端磁極 12aはトレーリングシールド 12の先端縁の全幅にわたって設けられるのに対して、前記凸磁極 12bは、主磁極 10の先端磁極 10aに対向する大きさに設けられる。主磁極 10の先端に設けられる先端磁極 10aは、端面形状で上面（トレーリンダシールド 12に対向する面）が下面よりも幅広となる逆台形状に形成される。このように、先端磁極 10aの端面を逆台形状に形成しているのは、記録再生ヘッドによる情報の記録-再生が確実に行えるようにするためである。すなわち、記録再生ヘッドは摇動ァームの先端に取り付けられるヘッドスライダーに組み込まれて磁気ディスク装置に搭載される。したがって、シーク動作にともなって揺動アームが記録媒体の内周と外周との間をスイングする際に、内周側と外周側ではトラックと主磁極 10の先端磁極 10a の端面がなす角度が変動することになる。先端磁極 10aの端面を逆台形状としておくと、このような場合に、隣接するトラックへの影響がもっとも小さくなる。

本実施形態の垂直磁気記録ヘッドでは、主磁極 10の先端に設けられる先端磁極 1 Oaの台形形状に合わせて凸磁極 12bの端面形状を形成している。すなわち、図 2に示すように、先端磁極 10aの傾斜面に形成された側面の延長線上に凸磁極 12bの側面が位置するように凸磁極 12bが形成される。

このように、凸磁極 12bの配置および形状を設定すると、先端磁極 10aから発生した磁界が先端磁極 10aの横方向に漏れることを防止し、垂直磁気記録ヘッドによる記録のにじみを抑えることが可能になる。

図 1では、従来の垂直磁気記録ヘッドと同様に、主磁極 10の先端磁極 10aから発生した磁束が、記録媒体 30の記録層 31を通過し、軟磁性層 32を通過してトレーリングシールド 12に戻る閉鎖磁路が形成されて磁気記録がなされることを示す。本実施形態の垂直磁気記録ヘッドによれば、従来は、記録媒体に記録する際に先端磁極 1 Oaから横方向に広がるようにして漏れて、た磁界成分が抑制され、記録のにじみの問題を解決することが可能になる。

なお、トレーリングシールド 12に形成する凸磁極 12bは、先端磁極 10aの逆台形状に形成された側面の延長線上にその側面が常に一致して、なければならな、ものではない。先端磁極 10aの側面の延長線力若干偏位した配置となっていても、先端磁極 10aから横方向に磁界が漏れることを防止する一定の作用を有する。

(垂直磁気記録ヘッドの製造方法）

図 3A、図 3Bは、トレーリングシールド 12に上述した凸磁極 12bを設けた垂直磁気記録ヘッドの製造方法を示す。

図 3Aは、ウェハ基板に再生ヘッドを成膜して形成した後、主磁極 10の本体 10cと起立部 10bを NiFe等の軟磁性材をめつきにより盛り上げ形成し、絶縁材を兼ねるレジスト 13をパターユングして記録用コイル 14を形成した状態を示す。

図 3Bは、次に、主磁極 10の本体 10cの前端部に位置合わせして先端磁極 10aと、非磁性材層 11と凸磁極 12bを形成した状態を示す。これら先端磁極 10aと、非磁性材層 11と凸磁極 12bは、めっき盛り上げによって形成する。

図 4は、図 3Bに示す工程で、先端磁極 10aと非磁性材層 11と凸磁極 12bとをめつきにより連続的に盛り上げて形成した状態を先端磁極 10aの端面方向力見た状態を示す。下地層の表面にめっきシード層 15を形成した後、めっきレジスト 16により基板表面を被覆し、めっきレジスト 16を露光および現像して、めっきレジスト 16に底面にめつきシード層 15が露出する断面形状が逆台形状となる凹溝 16aを形成する。めっきレジスト 16に凹溝 16aを形成した後、まず、めっきシード層 15をめつき給電層として所定の厚さに、主磁極 10と同一の NiFe等の軟磁性材をめっきにより盛り上げて先端磁極 10aを形成する。

次に、めっきシード層 15と先端磁極 10aをめつき給電層とし、先端磁極 10aと凸磁極 12bとのギャップ距離に合わせた厚さに非磁性材層 11をめつきにより形成する。次に、めっきシード層 15と先端磁極 10aと非磁性材層 11をめつき給電層として凸磁極 12bをめつきにより形成する。凸磁極 12bはトレーリングシールド 12と同一の軟磁性材をめつきすればよい。

本実施形態では、先端磁極 10aの厚さを 300nm、非磁性材層 11の厚さを 80nm、凸磁極 12bの厚さを 150nmとした。

なお、非磁性材層 11は、非磁性特性を有し、導電性を有する材料であれば適宜材料を使用することができる。

図 3Cは、先端磁極 10a、非磁性材層 11および凸磁極 12bを形成した後、めっきレジスト 16を除去し、凸磁極 12bとレジスト 13、主磁極 10の起立部 10bの表面に、めつきによりトレーリングシールド 12を形成した状態を示す。トレーリングシールド 12は基板の表面にレジストパターンを形成することによって所定の平面パターンに形成することができる。

図 3B、図 3Cで、 A— A線は、ヘッドスライダーの浮上面位置を示す。ウェハ基板に上述した方法によって記録再生ヘッドを形成した後、ウェハ基板力バー状体を切り出しし、ワークを研削することによって浮上面位置を位置出しすることができる。

本実施形態の垂直磁気ヘッドの製造方法によれば、先端磁極 10a、非磁性材層 1 1および凸磁極 12bが連続的なめっき工程によって形成することができ、図 2に示すように、主磁極 10の先端磁極 10aと所定間隔をあけて対向した配置にトレーリングシ一ルド 12の凸磁極 12bを容易に形成することができる。

また、図 4に示すように、めっきレジスト 16に形成した断面形状が逆台形の凹溝 16a 内で先端磁極 10aと非磁性材層 11と凸磁極 12bを積みあげるようにしてめっきすることにより、先端磁極 10aの側面の延長線上に凸磁極 12bの側面が位置するように形成することも容易に可能となる。

なお、本実施形態においては、主磁極 10の本体 10cと、絶縁層としてのレジスト 13 と、記録用コイル 14とを形成した後に、先端磁極 10aと凸磁極 12bとを形成したが、先端磁極 10aと凸磁極 12bとを形成した後に、主磁極 10の本体 10cと記録用コイル 14を形成してもよい。

このように、先端磁極 10aと凸磁極 12bを形成する工程は適宜製造工程で行えばよい。先端磁極 10aと凸磁極 12bとを、主磁極 10の本体等とは別個に形成することによつて、先端磁極 10aを所定の細幅に形成するといつたことが容易に可能になる。 (第 2の実施の形態）

図 5A、図 5Bは、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた記録再生ヘッドの第 2 の実施の形態の構成と、その製造方法を示す。

本実施の形態の垂直磁気記録ヘッドも、第 1の実施の形態における垂直磁気記録ヘッドと同様に、主磁極 10の先端磁極 10aに対向させてトレーリングシールド 12の先端に凸磁極 12bを設けたものである。先端磁極 10aの端面形状を逆台形状とし、先端磁極 10aの側面の延長線上に凸磁極 12bの側面が位置するように凸磁極 12bを配置することについても第 1の実施の形態と同様である。

本実施の形態において特徴とする構成は、このような形態の先端磁極 10aと凸磁極 12bを形成する手段として、 FIB(focused ion beam)力卩ェを利用して、先端磁極 10a と凸磁極 12bとを成形することにある。

図 5Aは、主磁極 10とトレーリングシールド 12を形成した後、 FIB加工によってヮークを加工する状態を示す。

FIB力卩ェを行う前の段階では、主磁極 10については所定の幅に先端磁極 10aを形成し、トレーリングシールド 12については、端磁極 12aまで形成する。主磁極 10およびトレーリングシールド 12を形成する方法は、めっき等により主磁極 10およびトレーリングシールド 12を盛り上げて形成する従来方法によればよい。

主磁極 10およびトレーリングシールド 12を形成した後、ウェハ基板からワークをバ一状体に切り出しする。このバー状体は、記録再生ヘッドが形成された多数個のへッドスライダーが一列状に整列してバー状に連結された状態に形成されたものである。このバー状体に対して、図 5Aに示す FIB加工を施す。図 5Aは、バー状体でヘッドスライダーの浮上面となる面側から、イオンビームを照射して、先端磁極 10aとトレーリングシールド 12をトリミングして、る状態を示して、る。

ヘッドスライダーは、図 1に示すように、浮上面側に垂直磁気記録ヘッドの先端磁極 10aおよびトレーリングシールド 12の端面が露出する（対向する）形態となる。図 5A は、先端磁極 10aの端面およびトレーリングシールド 12の端面からイオンビームを照射し、先端磁極 10aの側面をトリミングするとともに、トレーリングシールド 12の端面を彫り込むようにトリミングすることを示す。

FIBカ卩ェによってトリミングする領域を図 5Aでは破線の斜線領域 Bによって示して V、る（本実施形態では 800nm X 800nmの正方形)。図のように、トリミング領域 Bは、先端磁極 10aの側面からトレーリングシールド 12の端磁極 12aとの間を包括する領域とし、先端磁極 10aの側面と端磁極 12aとにかけて直線的なトリミングを行うとともに、端磁極 12aについても一定範囲にわたって彫り込み領域を確保する。

こうして、図 5Aに示すトリミング領域 Bについて FIB力卩ェを行った状態を図 5Bに示す。 FIB加工によって、 FIB加工前は長方形の端面形状に形成されていた先端磁極 10aの端面形状が逆台形状になり、トレーリングシールド 12の端磁極 12aには先端磁極 10aの側面の延長線上に側面が位置する凸磁極 12bが形成される。端磁極 12aに凸磁極 12bが形成されたのは、 FIB力卩ェ前は平坦面に形成されていた先端磁極 10aに対向する面が、 FIB加工によって彫り込まれ、彫り残し部分が突起状となり、この突起部分が凸磁極 12bとなったものである。

このように、先端磁極 10aと凸磁極 12bとを備えた垂直磁気記録ヘッドを製造する方法としては、前述しためっき方法によらず、上述した FIBカ卩ェによることも可能である。バー状体に形成されている各々のヘッドスライダーに対して、上記 FIB力卩ェを順次施すことにより、バー状体のすべてのヘッドスライダーに先端磁極 10aを備えた主磁極 10と凸磁極 12bを備えたトレーリングシールド 12を形成することができる。なお、図 5A、図 5Bでは、トレーリングシールド 12の先端に端磁極 12aを形成した例について説明したが、端磁極 12aを形成しない場合にはトレーリングシールド 12の端面自体に図 5 Aに示す FIB加工を施せばよい。

(磁気ディスク装置）

図 6は、上述した垂直磁気記録ヘッドを備える記録再生ヘッドを使用した磁気ディスク装置の例を示す。磁気ディスク装置 50は、矩形の箱状に形成されたケーシング 5 1内に、スピンドルモータ 52によって回転駆動される複数の磁気記録ディスク 53を備える。磁気記録ディスク 53の側方には、ディスク面に平行に揺動可能に支持されたキャリッジアーム 54が配置されている。キャリッジアーム 54の先端には、キャリッジァーム 54の延長方向にヘッドサスペンション 55が取り付けられ、ヘッドサスペンション 5 5の先端にヘッドスライダー 60が取り付けられる。ヘッドスライダー 60は、ヘッドサスペンション 55のディスク面に対向する面に取り付けられる。

図 7は、ヘッドスライダー 60の斜視図を示す。ヘッドスライダー 60の磁気ディスクに対向する面 (ABS面）には、スライダー本体 61の側縁に沿ってヘッドスライダー 60を磁気ディスク面から浮上させるための浮上用レール 62a、 62bが設けられている。垂直磁気記録ヘッドを備える記録再生ヘッド 63は、ヘッドスライダー 60の前端側 (気流が流出する側）に磁気ディスクに対向して配置されている。記録再生ヘッド 63は保護膜 64によって被覆して保護されている。

ヘッドスライダー 60は、ヘッドサスペンション 55によりディスク面に弹性的に押圧され、磁気記録ディスク 53の回転が停止している際にはディスク面に接触している。スピンドルモータ 52により磁気記録ディスク 53が回転駆動されると、磁気記録ディスク 5 3の回転によって生じた気流によってヘッドスライダー 60がディスク面力も離間するように浮上する。

ヘッドスライダー 60に設けられた記録再生ヘッド 63により磁気記録ディスク 53に情報を記録し情報を再生する処理は、制御部によって制御されるァクチユエータ 56により、キャリッジアーム 54を所定位置に揺動させる操作 (シーク動作）とともになされる

Claims

請求の範囲

[1] 先端磁極を有する主磁極とトレーリングシールドとを備える垂直磁気記録ヘッドにおいて、

前記トレーリングシールドに、前記主磁極の前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられていることを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。

[2] 前記凸磁極が、前記トレーリングシールドの先端に設けた端磁極に設けられていることを特徴とする請求項 1記載の垂直磁気記録ヘッド。

[3] 前記主磁極に設けられた先端磁極は、端面形状が逆台形状に形成され、

前記凸磁極の側面が、前記先端磁極の側面の延長線上に位置することを特徴とする請求項 1または 2記載の垂直磁気記録ヘッド。

[4] 回転駆動手段により回転駆動される磁気記録ディスクと、記録再生ヘッドが形成されたヘッドスライダーを支持するヘッドサスペンションおよびキャリッジアームを含む支持手段と、該支持手段を駆動して前記ヘッドスライダーをシーク動作させる制御部とを備える磁気ディスク装置であって、

前記記録再生ヘッドは、記録ヘッドとして、

先端磁極を有する主磁極と、トレーリングシールドとを備え、前記トレーリングシールドに、前記主磁極の前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられた垂直磁気記録ヘッドを備えていることを特徴とする磁気ディスク装置。

[5] 前記主磁極に設けられた先端磁極は、端面形状が逆台形状に形成され、

前記凸磁極の側面が、前記先端磁極の側面の延長線上に位置することを特徴とする請求項 4記載の磁気ディスク装置。

[6] 先端磁極を有する主磁極とトレーリングシールドとを備え、前記トレーリングシールドに、前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられた垂直磁気記録ヘッドの製造方法にお!、て、

前記主磁極の先端に位置合わせして、主磁極力前記トレーリングシールドに向け断面形状が逆台形状となる凹溝が形成されためつきレジストを形成する工程と、該めっきレジストの凹溝内に、前記先端磁極と、前記先端磁極と前記凸磁極とを所定距離離間させる非磁性材層と、前記凸磁極とを、この順にめつきにより盛り上げて形成することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。

[7] 前記凹溝の底面に露出するめつきシード層を設け、

前記先端磁極は、めっきシード層をめつき給電層とする電解めつきによって形成し、前記非磁性材層は、前記めつきシード層と前記先端磁極をめつき給電層とする電解めつきによって形成し、

前記凸磁極は、前記めつきシード層と前記先端磁極と前記非磁性材層をめつき給電層とする電解めつきによって形成することを特徴とする請求項 6記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。

[8] 先端磁極を有する主磁極とトレーリングシールドとを備え、前記トレーリングシールドに、前記先端磁極に対向して突起状に突出する凸磁極が設けられた垂直磁気記録ヘッドの製造方法にお!、て、

ヘッドスライダーの浮上面側から、前記主磁極に設けられた先端磁極の端面、および前記トレーリングシールドの端面に向けて FIB力卩ェを施し、

前記先端磁極の端面形状を逆台形状に成形するとともに、前記トレーリングシールドの前記先端磁極に対向する面を彫り込むことにより凸磁極を成形することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。