JP2005285297A - 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気ヘッドの主磁極層20は、媒体対向面ABSから離れた位置に配置された第1の部分と、第1の部分と媒体対向面との間に配置され、第1の部分よりも小さな厚みの第2の部分を有している。主磁極層20を形成する工程は、媒体対向面側の端部の位置が第1の部分の媒体対向面側の端部の位置と一致するようにめっき層を形成する工程と、めっき層を覆う第1の非磁性層を形成する工程と、第1の非磁性層およびめっき層を研磨する工程と、めっき層を除去して空間を形成する工程と、この空間内および第1の非磁性層の上面上に、主磁極層となる磁性層を形成する工程と、磁性層を覆う第2の非磁性層を形成する工程と、第2の非磁性層および磁性層を研磨する工程とを含んでいる。
【選択図】図1
Description
記録媒体に対向する媒体対向面と、
記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
媒体対向面に配置された端部を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極層と、
媒体対向面に配置された端部を有し、媒体対向面から離れた位置において主磁極層に連結された補助磁極層と、
非磁性材料よりなり、主磁極層と補助磁極層との間に設けられたギャップ層とを備えている。
補助磁極層を形成する工程と、
補助磁極層の上に、ギャップ層およびコイルを形成する各工程と、
ギャップ層の上に主磁極層を形成する工程とを備えている。
第1の部分が配置される領域を含む領域に、めっき法を用いて、媒体対向面側の端部の位置が、第1の部分の媒体対向面側の端部の位置と一致するようにめっき層を形成する工程と、
めっき層を覆うように第1の非磁性層を形成する工程と、
めっき層が露出するまで第1の非磁性層およびめっき層を研磨することによって、めっき層に隣接した形状となるように第1の非磁性層をパターニングする工程と、
めっき層をエッチングによって除去することによって、第1の非磁性層に隣接し、めっき層の形状に対応した形状の空間を形成する工程と、
上記空間内および第1の非磁性層の上面上に、主磁極層の平面形状に対応した平面形状を有する磁性層を形成する工程と、
磁性層を覆うように第2の非磁性層を形成する工程と、
磁性層が主磁極層となるように、磁性層が露出するまで第2の非磁性層および磁性層を研磨する工程とを含んでいる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図1および図2を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの構成について説明する。図1は本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す断面図である。なお、図1は媒体対向面および基板の面に垂直な断面を示している。また、図1において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図2は、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。
次に、図31ないし図36を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法について説明する。図31ないし図36において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示し、(b)は積層体の媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(c)は積層体の上面を示している。なお、図31ないし図36では、基板1および絶縁層2を省略している。
Claims (7)
- 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端部を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極層と、
前記媒体対向面に配置された端部を有し、前記媒体対向面から離れた位置において前記主磁極層に連結された補助磁極層と、
非磁性材料よりなり、前記主磁極層と補助磁極層との間に設けられたギャップ層とを備え、
前記媒体対向面において、前記主磁極層の前記端部は、前記補助磁極層の前記端部に対して、所定の間隔を開けて記録媒体の進行方向の前側に配置され、
前記コイルの少なくとも一部は、前記主磁極層と補助磁極層との間に、前記主磁極層および補助磁極層に対して絶縁された状態で配置され、
前記主磁極層は、媒体対向面側の端部が媒体対向面から離れた位置に配置され、所定の厚みを有する第1の部分と、前記第1の部分と媒体対向面との間に配置され、前記第1の部分の厚みよりも小さな厚みを有する第2の部分とを有し、
前記主磁極層の、ギャップ層とは反対側の面のうち、少なくとも媒体対向面側の一部は実質的に平坦である垂直磁気記録用磁気ヘッドを製造する方法であって、
前記補助磁極層を形成する工程と、
前記補助磁極層の上に、前記ギャップ層およびコイルを形成する各工程と、
前記ギャップ層の上に前記主磁極層を形成する工程とを備え、
前記主磁極層を形成する工程は、
前記第1の部分が配置される領域を含む領域に、めっき法を用いて、媒体対向面側の端部の位置が、前記第1の部分の媒体対向面側の端部の位置と一致するようにめっき層を形成する工程と、
前記めっき層を覆うように第1の非磁性層を形成する工程と、
前記めっき層が露出するまで前記第1の非磁性層およびめっき層を研磨することによって、前記めっき層に隣接した形状となるように第1の非磁性層をパターニングする工程と、
前記めっき層をエッチングによって除去することによって、第1の非磁性層に隣接し、前記めっき層の形状に対応した形状の空間を形成する工程と、
前記空間内および前記第1の非磁性層の上面上に、前記主磁極層の平面形状に対応した平面形状を有する磁性層を形成する工程と、
前記磁性層を覆うように第2の非磁性層を形成する工程と、
前記磁性層が前記主磁極層となるように、前記磁性層が露出するまで前記第2の非磁性層および磁性層を研磨する工程と
を含むことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記主磁極層を形成する工程は、更に、前記空間を形成する工程と前記磁性層を形成する工程との間において、前記空間に面する前記第1の非磁性層の壁面と前記第1の非磁性層の上面とによって形成される角部のうち、前記第1の部分と第2の部分との境界位置の近傍に配置される部分を、ドライエッチングによって面取りする工程を含み、
前記第1の部分と第2の部分との境界位置から、この境界位置よりも媒体対向面に近い所定の位置にかけて、前記第2の部分の厚みは、媒体対向面に近づくに従って徐々に小さくなることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記磁性層は、めっき法を用いて形成されることを特徴とする請求項1または2記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記磁性層は、スパッタ法を用いて形成されることを特徴とする請求項1または2記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記媒体対向面に配置された前記主磁極層の端部の形状は、ギャップ層側の辺が反対側の辺よりも小さい台形形状であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記主磁極層は、媒体対向面から離れた所定の幅変化位置よりも媒体対向面に近い領域では、媒体対向面における主磁極層の幅と等しい幅を有し、前記幅変化位置よりも媒体対向面から遠い領域では、前記媒体対向面における主磁極層の幅よりも大きな幅を有することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記主磁極層は、前記幅変化位置と媒体対向面との間に配置された厚み変化位置よりも媒体対向面に近い領域では、媒体対向面における主磁極層の厚みと等しい厚みを有し、前記厚み変化位置よりも媒体対向面から遠い領域では、媒体対向面における主磁極層の厚みよりも大きな厚みを有することを特徴とする請求項6記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
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