KR20050031937A

KR20050031937A - 리턴 폴 피스에 연결된 시일드 구조물을 구비한 수직 자기기록용 헤드

Info

Publication number: KR20050031937A
Application number: KR1020040076749A
Authority: KR
Inventors: 휴이민; 리큐앙; 닉스제임스라마르; 윌리엄스메슨라마르
Original assignee: 히다치 글로벌 스토리지 테크놀로지스 네덜란드 비.브이.
Priority date: 2003-09-30
Filing date: 2004-09-24
Publication date: 2005-04-06
Also published as: US7002775B2; CN1308920C; SG110171A1; CN1604194A; EP1522991A1; US20050068678A1

Abstract

본 발명의 일 실시예는 후미 시일드(trailing shield)와 강자성 재료의 2개의 스터드(stud)에 의해 리턴 폴 피스(return pole piece)에 연결되는 측면 시일드(side shield)를 구비한 수직 기록용 헤드에 관한 것이다. 상기 스터드는 트랙 방향과 평행하게 연장되고, 메인 폴 피스와 떨어져서 충분한 거리에 배치되어 상기 메인 폴 피스로부터 상기 스터드로 플럭스 흐름을 감소시킨다. 선택적으로 상기 스터드는 에어 베어링 표면 뒤에 리세스될 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예는 수직 기록용의 분리된 판독 헤드 및 기록 헤드를 구비한 자기 트랜스듀서에 관한 것이다.

Description

리턴 폴 피스에 연결된 시일드 구조물을 구비한 수직 자기 기록용 헤드 {HEAD FOR PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING WITH A SHIELD STRUCTURE CONNECTED TO THE RETURN POLE PIECE}

본 발명은 수직 기록용 박막 자기 트랜스듀서에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 상기 트랜스듀서의 유도 기록 헤드부에 관한 것이고, 특히 상기 유도 기록 헤드용 폴 피스(pole piece)의 설계에 관한 것이다.

종래 기술의 자기 디스크 기록 시스템에 있어서, 슬라이더는 디스크가 스핀들 모터에 의해 회전하는 동안 디스크 위를 부상해서 이동하면서 자기 전이(magnetic transition)를 판독 및 기록하는 자기 트랜스듀서를 포함한다. 디스크는 기록 헤드가 정보의 부호화 시에 자기 전이를 기록하는 복수 개의 박막과 적어도 하나의 강자성 박막(ferromagnetic thin film)을 포함한다. 디스크 기록 매체 내의 자기 영역에는 세로 방향으로 기록되거나 또는 수직으로 기록될 수 있다. 상기 슬라이더의 판독 및 기록 헤드부는 박막 처리 기술을 사용해서 층 내에 조립된다. 통상적으로 판독 헤드가 먼저 형성되지만, 기록 헤드가 먼저 제조될 수도 있다. 종래의 기록 헤드는 유도형 기록 헤드이다.

수직 기록을 사용하는 디스크 드라이브에 있어서, 기록 헤드는 기록층을 통해 자속을 디스크의 평면에 대해 대체로 수직인 방향으로 향하도록 설계된다. 통상적으로 수직 기록용 디스크는 경질(hard)의 자기 기록층과 자기적으로 연질(soft)의 하부층을 갖는다. 단일의 폴 타입 헤드(pole type head)를 사용해서 기록 동작하는 동안 자속은 상기 기록 헤드의 메인 폴(main pole)로부터 경질의 자기 기록층을 통해 수직으로 지향되고 나서, 이어서 연질의 하부층의 평면으로 지향되고, 또한 상기 기록 헤드 내의 리턴 폴로 복귀된다. 메인 폴과 임의의 시일드들의 형상 및 크기는 트랙폭 결정시의 기본적인 요소들이다.

맬러리(Mallary) 등에 의한 미국 특허 제RE33,949호에 있어서, 수직 기록용 헤드는 작은 간극(gap)에 의해 기록 폴(write pole)로부터 분리되는 "다운스트림 시일드(downstream shield)"를 포함하는 것이 개시되어 있다. 그 구성은 플럭스 리턴부가 자기 시일드로서 동작하도록 플럭스 리턴부에 의해 다운스트림 주변 플럭스(fringing flux)의 대부분을 차단하기 위한 것이다. 상기 자기 시일드에 의한 다운스트림 주변 플럭스의 차단은 이전에 기록된 정보의 비트를 반전시키거나 약화시키는 바람직하지 않은 효과를 감소시킨다. 상기 시일드의 에어 베러링 표면(ABS; Air-Bearing surface)은 다운스트림 자기 시일드로 진행하는 플럭스의 밀도가 로우인 동안 메인 폴 선단으로부터의 플럭스의 밀도가 수직 기록의 효과에 충분하도록 메인 기록 폴 피스의 표면의 몇 배의 크기로 설계되고, 이전에 기록된 패턴은 반전되지 않는다.

도 1은 수직 기록 및 관련된 매체(27)용 종래 기술의 헤드(26)을 예시하고 있다. 상기 헤드는 맬러리(M. Mallary), 토로비(A. Torobi) 및 베너클리(M. Benakli) 등에 의해 IEEE 논문지(IEEE Transactions on Magnetics, vol.38, no.4, 2002년 7월)에 발표된 논문에 개시되어 있다. 이 헤드(26)는 후미 시일드 폴(33)과 측면 시일드(도시 생략됨)를 갖추고 있다. 자기 저항 센서(35)는 시일드(36, 37)에 의해 측면에 배치된다. 상기 헤드는 판독 헤드 시일드(36)가 후미 시일드 폴(33) 및 매체(27)의 연질의 하부층(29)과 동일한 자기 저항 전위에 있음을 보장하기 위해서 2개의 팬케이크 코일(pancake coil)(35A, 35B)이 사용되고 있기 때문에, 선두 자기 저항 헤드 구조물로 동작 가능하게 된다. 플럭스 경로는 경질의 강자성 기록층(28)을 통과한 후 후미 시일드 폴(33)과 판독 헤드 시일드(36) 사이에서 분할되어 있는 ABS에서 플럭스를 발생하는 기록 폴을 도시하는 라인(39)에 의해 예시되고 있다. 이와 같은 설계의 단점은 2개의 팬케이크 코일이 필요하다는 것이다. 또한, 원하는 높은 기록 필드 성능에 대해 하이 모멘트 재료이고, 또한 그 소자에 대해 매우 좁은 드로트(throat) 높이로 제조될 수 있는 비교적 두꺼운 리턴 폴이 필요한 단점도 있다. 또한, 도면은 판독 시일드의 기록 장애가 나타날 수 있는 설계를 도시하고 있다.

측면 시일드를 구비한 수직 기록 헤드는 Kanai, Mohammed, Matsubara, Muraoka 및 Nakamura 등에 의해 물리 학회지(J.Applied Physics; vol. 93, no. 10; 2003년 5월 15일)에 "Numerical Analysis of Narrow-track Single-pole-type Head with side Shields for l Tb/in2 recording"라고 하는 타이틀로 발표된 논문에 개시되어 있다. 상기 2 개의 측면 시일드의 각각은 ABS에서 개시하고, 상기 헤드 내부로 상기 드로트 높이 미만의 작은 거리를 연장하고 있다. 상기 논문 발표자들은 측면 시일드를 구비한 헤드의 유한 소자 모형 제작이 기록될 보다 좁은 트랙을 허용하는 오프 트랙 필드를 감소시킴으로써 충분한 개선점을 나타내고 있음을 보고하고 있다. 전술한 점을 고려해 볼 때, ABS에 수직인 시일드들은 메인 폴 피스에 대해 보다 근접하게 됨에 따라 끝이 점점 가늘어진다. 선택적으로, 측면 시일드들은 트랙의 중심에 있는 것들 보다 더 두껍게 제조된다. 상기 테이퍼형 시일드의 목적은 일정한 시일드 단면으로 얻어지는 것 보다 온 트랙 필드 강도를 증가시키는 데 있다.

수직 자기 기록은 초고밀도 자기 기록용 세로 자기 기록에 비해 우수한 것이 고려된다. 높은 면적 밀도에 대한 요구의 증가로 인하여 기록 폴 피스의 폭을 저감하기 위한 방법을 모색하기 위한 요구를 증가시키고, 기록 필드 강도를 증가시키며, 기록 필드 경사도를 개선하는 것에 대해 점차적으로 대응하도록 유도된다. 실험적인 증거 및 모형 제작은 후미 시일드의 단일 폴 기록기(SPT) 설계가 비시일드 폴의 후미 에지로의 기록을 통한 잡음 장점에 대하여 4-5 ㏈ 매체 신호를 실현하고, 헤드 필드의 dHy/dx로 증가하며, "부분 소거(partial erasure)"를 감소시키고, 포화 상태를 개선하는 것을 나타내고 있다. 이들 특성에 의해 전이의 선명도(선형 해상도)를 개선하고, 보다 높은 단독 필드 매체(개선된 안정도)를 가능하게 한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 헤드(20A)의 ABS를 예시하는 도면이다. 이 도면과 본원 명세서에 포함된 기타 도면들은 보다 작은 구성 요소 및 그 구성 요소간 간격이 불명확할 수 있기 때문에 부분적으로 축적되어 있지 않다. 상태 크기 및 치수들이 충분한 위치들은 이 기술 분야에 숙련된 당업자들에게 공지되지 않은 점에 주목할 필요가 있을 것이다. ABS는 제조 헤드에 통상 존재할 수 있는 박막 보호 오버코트가 없이 도시되어 있다. 본원 명세서에 사용되고 있는 바와 같은 ABS라고 하는 용어는 오버코트층이 존재하는지의 여부와 무관하게 도면에 도시된 바와 같은 평면을 의미한다. 판독 센서(35) 및 그 시일드(S1, S2)는 기록 헤드의 어느 한쪽에 배치될 수 있는데, 즉 판독 헤드는 최초로 제조되거나 또는 최종적으로 제조될 수 있다. 강자성 요크는 메인 기록 폴 피스(42)와 리턴 폴 피스(43)를 포함한다. 시일드 구조물(40)은 후미 시일드(44)와 측면 시일드(44A, 44B)를 포함한다. 자기 기록 매체의 이동은 리턴 폴 피스(43)로부터 후미 시일드(이하에서는 "후미(trailing)"라고 칭함)에 대하여 메인 기록 폴 피스(42)로 이동한다. 연결 스터드(45A, 45B)는 측면 시일드(44A, 44B)로부터 리턴 폴 피스(43)로 연장한다. 상기 연결 스터드가 상기 리턴 폴 피스에 부착되는 지점은 라인 Ⅲ에 의해 마크 표시된 ABS 상의 중심선에 있는 헤드의 트랙선 둘레에 대칭적으로 배치된다. 상기 연결 스터드는 측면 시일드(44A, 44B)의 외부 에지로부터 리턴 폴 피스로 연장한다. 이 실시예에 있어서, 상기 연결 스터드 사이의 거리는 교차 트랙 방향으로 리턴 폴 피스 길이의 대략 25%이다. 본 발명이 이와 같은 구성으로 한정하는 것은 아닐지라도, 시일드 구조물(40)은 본 실시예에서 이 시일드 구조물이 리턴 폴 피스와 관련하여 비교적 좁게 되는 것을 의미하는 연결 스터드 이상으로 연장되지는 않는다.

상기 후미 시일드(44), 측면 시일드(44A, 44B), 연결 스터드(45A, 45B) 및 리턴 폴 피스(43)는 도면에 별개의 소자로서 도시되어 있을지라도, 그 구성 소자들은 동일한 강자성 재료로 바람직하게 제조됨으로써, 동시에 완벽하게 혼합될 수 있다. 상기 연결 스터드(45A, 45B)는 도면에 도시된 바와 같이 직사각형이고, 또한 측면 시일드 보다 메인 폴 피스로부터 실질적으로 더 멀리 이격되어 위치 설정된다. 상기 스터드에 대한 위치의 선택은 도 3에 사용된 것과 동일한 도면인 도 8을 사용해서 설명할 것이다. 각각의 스터드는 ABS에서 메인 폴 피스 선단의 중심에 제1 코너(A)를 갖는 삼각형(ABC) 내에 바람직하게 배치된다. 제2 코너(B)는 폴 A의 중심과 떨어져서 리턴 폴 피스의 폭의 대략 10-50 %인 ABS에서 배치된다. 제3 코너(C)는 40도 미만인 각도(BAC)를 포함하도록 선택되는 BC의 길이를 갖는 직각(CBA)을 형성하도록 동일한 교차 트랙 위치에 배치된다. 이 설계 규칙은 상기 스터드(후미 시일드와 스터드 사이의 연결을 포함하는)와 기록 필드를 과도하게 감소시키지 않거나 또는 스터드를 포화시키지 않도록 하기 위해 충분히 높은 상기 메인 폴 피스 사이의 자기저항(reluctance)을 유지한다. 상기 코일은 ABS로 연장되지 않고, 이 도면에 도시하고 있지는 않지만, 상기 리턴 폴 피스(43)의 상부 및 연결 스터드(45A, 45B)의 뒤에 배치된다.

도 3은 선택된 레벨에서 본 웨이퍼 레이아웃을 나타낸 도 2의 라인 Ⅱ-Ⅱ을 따라 절취된 기록 헤드(20A)의 부재를 예시하는 도면이다. ABS에서 메인 폴 피스(42)의 작은 선단 영역만을 나타내고 있다. 메인 폴 피스(42)가 점점 넓어지기 시작하는 지점은 플레어 지점(flare point)이라 칭한다. 상기 메인 폴 피스 선단에 근접하여 ABS에 대해 직교해서, 즉 헤드로 측정되는 측면 시일드(44A, 44B)의 두께는 플레이 지점에 대한 거리 보다 바람직하게 작게 된다. 상기 메인 폴 피스 선단과 훨씬 더 멀리 떨어진 측면 시일드는 보다 두꺼운 것이 바람직하다. 도 3에 도시된 실시예에 있어서, 측면 시일드의 외부(선단으로부터 떨어짐)는 사다리꼴 형상이지만, 본 발명에서는 특정 형상의 측면 시일드가 요구되는 것은 아니다. 이 도면에서는 후미 시일드(44)가 도시되어 있지는 않지만, 측면 시일드와 동일한 두께의 프로파일을 갖는 것이 바람직할 것이다.

도 4는 도 2 및 도 3에 도시된 본 발명의 제1 실시예에 사용된 것과 동일한 후미 시일드(44), 측면 시일드(44A, 44B) 및 연결 스터드(45A, 45B)를 포함하는 시일드 구조물(40)을 예시하는 도면이다. 연결 스터드(45A, 45B)는 이 실시예에서 직사각형의 단면을 갖지만, 특정 형상이 필요한 것은 아니다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 사용된 것과 동일한 후미 시일드(44), 측면 시일드(44A, 44B) 및 연결 스터드(45C, 45D)를 예시하는 도면이다. 본 실시예에 있어서, 연결 스터드(45C, 45D)는 ABS로부터 리세스 형성되어 있다. 도 6은 도 5의 라인 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절취된 부재에 대응하는 도 5에 도시된 후미 시일드(44), 측면 시일드(44A, 44B) 및 연결 스터드(45C, 45D)를 예시하는 도면이다. ABS로부터 리세스되는 스터드의 정면 영역은 ABS가 실질적으로 평탄면을 유지하도록 비자성 재료로 충전된다. 상기 스터드는 래핑하는 동안 손상되거나 부식될 수 있는 금속의 전위 면적을 감소시키기 위해 ABS로부터 리세스될 수 있다. 상기 스터드에 대한 재료 선택 및 래핑 처리가 호환 가능한 경우라면, 도 4에 설명된 제1 실시예를 수용 가능하게 된다.

도 7은 도 2의 라인 Ⅲ을 따라 절취된 기록 헤드(20A)의 부재의 예시도이다. 라인 Ⅲ은 헤드의 트랙의 중심에 대응한다. 기록 매체(27)가 또한 도시되어 있다. 후미 시일드의 이면 영역은 비자성 재료(39)로 충전된다. 후미 시일드와 메인 폴 피스 사이의 간극은 비 자성층(37)에 의해 형성된다. 플럭스 베어링 폴 피스(41)는 메인 폴 피스(42)와 접촉하고 있지만, ABS로 연장되어 있지는 않다. 코일(33)은 리턴 폴 피스(43)와 플럭스 베어링 폴 피스(41)의 사이에 배치된다. 단일 폴 기록기를 가지며 후미 시일드를 갖추고 있지 않은 통상의 수직 헤드의 경우, ABS에서 플럭스 경로는 메인 폴 피스로부터 경질의 강자성 기록층(28)을 통해 매체의 연질의 하부층(29)으로 향하고, 또한 상기 기록층을 통해 리턴 폴 피스(43)로 반대로 향하게 된다. 본 발명에 따라 설계된 헤드에 있어서, 상기 메인 플럭스 경로는 상기 메인 폴 피스(42)에 보다 근접하게 되는 측면 시일드(44A, 44B) 및 후미 시일드(44)로 반송된다. 상기 후미 시일드 설계는 보다 양호한 기록 필드 경사도 및 보다 낮은 매체 잡음을 실현한다. 이와 같은 설계시의 3 개의 임계 파라미터에는 1)상기 메인 폴 피스와 상기 시일드 사이의 간극과; 2)상기 ABS와 연질의 하부층(29) 사이의 간격; 및 3)상기 시일드의 두께가 있다. 상기 ABS와 연질의 하부층 사이의 간격은 기록 헤드의 특징은 아니지만, 상기 헤드가 사용될 기억 장치의 설계에 의해 결정된다.

단일 폴(SP; single pole) 설계를 통한 본 발명의 단일 폴 후미 시일드(SPT; single pole trailing shield) 설계의 개선점은 Stoner-Wohlfarth 모델에 의해 설명될 수 있다. 그레인 각도의 분포의 경우, H와 평균 그레인 각도 사이의 각도를 증가시키는 것에 의해 전환 필드의 분포를 1/2 만큼 감소시킬 수 있고, 그에 따라 유효 필드를 2X 만큼 증가시키며, 지터를 감소시킨다.

최적의 필드 각도는 상기 ABS에서 상기 연질의 하부층(29) 까지의 거리가 기록 간극의 길이[상기 후미 시일드(44)의 에지와 상기 메인 폴 피스(42) 간의 거리]와 동일한 경우의 설계 시에 실현된다. 상기 기록 필드는 플럭스의 일부가 매체의 연질의 하부층(29)과 후미 시일드(44) 사이에 점차적으로 공유되기 때문에 상기 후미 시일드(44)가 상기 메인 폴 피스(42)에 보다 근접하게 됨에 따라서 감소된다. 이러한 문제는 상기 후미 시일드의 두께를 증가시킴으로서 개선되고, ABS에 보다 근접한 메인 폴 피스(42)의 플레어 지점을 초래한다. 이와 같은 헤드 설계의 장점은 다음과 같다:

1) dH/dX를 증가시킨다

2) "부분 소거(partial erasure)"를 감소시킨다

3) 포화 상태를 개선한다

4) 매체 잡음을 감소시킨다

5) 경사 필드는 S-W 매체 상의 기록을 용이하게 한다

기록 플럭스 손실을 최소화하고 원하는 효과를 실현하기 위해서, 메인 폴 피스(42)의 선단 부근의 ABS에서 헤드로의 후미 시일드 및 측면 시일드의 두께는 상기 메인 폴 피스(42)의 트랙폭의 대략 1/2과 동일할 수 있다. 교차 트랙 방향에 있어서, 측면 간극들은 헤드와 하부층 간격에 대한 설계 지점의 1.5 배인 양호한 값을 갖는 헤드 대 하부층 간격의 1 내지 2 배의 범위가 될 수 있다. 보다 큰 측면 간극 거리는 인접한 트랙 상의 기록의 적은 저감을 제공하며, 보다 작은 측면 간극 거리는 사용 가능한 기록 플럭스를 과도하게 감소시킨다.

선택적으로 상기 ABS에 대해 수직인 시일드의 두께는 기계적 강도를 개선하고 래핑의 일부 비평면성을 허용하기 위해서 상기 메인 폴 피스(트랙)의 중심에서 약 1 미크론 이상의 거리로 증가될 수 있지만, 본 발명의 동작에 본질적인 것은 아니다. 예컨대, 상기 후미 시일드 및 측면 시일드의 오프 센터 두께는 연결 스터드 부근에서 수십 나노미터를 증가시킬 수 있다.

본 발명은 특정 실시예와 관련하여 설명되고 있지만, 이 기술 분야에 숙련된 당업자라면 본 발명에 따른 강자성 구조물에 대하여 여러 가지의 다른 변형 및 수정이 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

이상 설명과 같이, 본 발명에 따르면, 수직 자기 기록용 헤드에 있어서 부분 소거(partial erasure)를 감소시키고, 포화 상태를 개선하며, 매체 잡음을 감소시키고, 전이의 선명도(선형 해상도)를 개선하며, 보다 높은 단독 필드 매체(개선된 안정성)를 가능하게 할 수 있다. 또한, 이와 같은 헤드 설계의 특성 및 장점에 의해 전이의 선명도(선형 해상도)를 개선하고, 보다 높은 단독 필드 매체(개선된 안정도)를 가능하게 한다.

도 1은 에어 베어링 표면에 대해 수직으로 절취된 수직 기록용 종래 기술의 기록 헤드 및 매체의 부재의 예시도.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기록 헤드의 ABS의 예시도.

도 3은 도 2의 라인 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절취된 기록 헤드의 부재의 예시도.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 사용되는 후미 시일드(trailing shield), 측면 시일드(side shield) 및 연결 스터드(connecting stud)의 예시도.

도 5는 연결 스터드가 에어 베어링 표면에서 리세스되는 본 발명의 제2 실시예에 사용된 후미 시일드, 측면 시일드 및 연결 스터드의 예시도.

도 6은 도 5의 라인 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절취된 부재에 대응하는 도 5에 도시된 후미 시일드, 측면 시일드 및 연결 스터드의 예시도.

도 7은 도 2의 라인 Ⅲ을 따라 절취된 기록 헤드와 기록 매체의 부재의 예시도.

도 8은 선택된 레벨에서의 웨이퍼 레이아웃도로부터 연결 스터드의 배치와 관련된 설계 규칙의 예시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

20A : 헤드

27 : 기록 매체

28 : 강자성 기록층

29 : 하부층

33 : 코일

35 : 판독 센서

37 : 비자성층

40 : 시일드 구조물

41 : 플럭스 베어링 폴 피스

42 : 메인 기록 폴 피스

43 : 리턴 폴 피스

44 : 후미 시일드

44A, 44B : 측면 시일드

45A, 45B : 연결 스터드

Claims

수직 기록용 박막 자기 기록 헤드에 있어서,

에어 베어링 표면(ABS; air-bearing surface)으로 연장하는 메인 폴 피스(main pole piece)와;

상기 에어 베어링 표면으로 연장하는 리턴 폴 피스(return pole piece)와;

상기 메인 폴 피스에 근접해서 상기 에어 베어링 표면을 따라 연장하는 강자성 재료의 시일드 구조물(shield structure)로서, 이 시일드 구조물은 상기 메인 폴 피스와 대향하면서 상기 리턴 폴 피스로부터 상기 메인 폴 피스의 대향 측면 상에 기록 간극(write gap)을 형성하는 것인 상기 시일드 구조물과;

상기 시일드 구조물로부터 상기 리턴 폴 피스로 연장하는 강자성 재료의 제1 및 제2 연결 스터드(connecting stud)

를 포함하는 박막 자기 기록 헤드.
제1항에 있어서, 상기 시일드 구조물은 후미 시일드(trailing shield), 좌측 시일드 및 우측 시일드를 포함하는 박막 자기 기록 헤드.
제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 메인 폴 피스의 대향 측면 상에 대칭적으로 배치되고, 상기 시일드 구조물과 상기 메인 폴 피스 사이의 최소 거리는 상기 제1 연결 스터드와 상기 메인 폴 피스 사이의 최소 거리 보다 실질적으로 작은 것인 박막 자기 기록 헤드.
제3항에 있어서, 상기 시일드 구조물은 상기 메인 폴 피스에 근접해서 상기 에어 베어링 표면에 직교하는 제1 두께를 가지며, 상기 메인 폴 피스는 상기 에어 베어링 표면에 선단을 갖고, 상기 제1 두께는 상기 선단의 길이보다 작은 것인 박막 자기 기록 헤드.
제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 에어 베어링 표면에 직교하는 제2 두께를 가지며, 상기 제2 두께는 상기 제1 두께 보다 큰 것인 박막 자기 기록 헤드.
제1항에 있어서, 상기 시일드 구조물은 교차 트랙 방향으로 상기 리턴 폴 피스 보다 폭이 더 좁고, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 메인 폴 피스의 대향 측면에 대칭적으로 배치되며 상기 시일드 구조물의 외부 에지로부터 직교해서 연장하여 상기 리턴 폴 피스에 접촉하는 것인 박막 자기 기록 헤드.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 에어 베어링 표면에서 리세스되며, 상기 비자성 재료는 상기 제1 및 제2 연결 스터드를 상기 에어 베어링 표면으로부터 분리시키는 것인 박막 자기 기록 헤드.
수직 기록용 박막 자기 기록 헤드에 있어서,

에어 베어링 표면으로 연장하는 메인 폴 피스와;

상기 에어 베어링 표면으로 연장하는 리턴 폴 피스와;

상기 메인 폴 피스에 근접해서 상기 에어 베어링 표면을 따라 연장하는 강자성 재료의 시일드 구조물로서, 이 시일드 구조물은 후미 시일드와 좌측 시일드 및 우측 시일드를 포함하며, 상기 후미 시일드는 상기 메인 폴 피스에 대향해서 기록 간극을 형성하도록 하는 것인 상기 시일드 구조물과;

상기 시일드 구조물로부터 상기 리턴 폴 피스로 연장하며 상기 메인 폴 피스를 통해 중심선의 대향 측면 상에 대칭적으로 배치되는 강자성 재료의 제1 및 제2 연결 스터드

를 포함하는 박막 자기 기록 헤드.
제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 메인 폴 피스와 떨어져서 배치되어 상기 메인 폴 피스로부터 상기 연결 스터드로 플럭스 흐름을 감소시키도록 하는 것인 박막 자기 기록 헤드.
제8항에 있어서, 상기 시일드 구조물은 상기 메인 폴 피스에 근접해서 상기 에어 베어링 표면에 직교하는 제1 두께를 가지며, 상기 메인 폴 피스는 상기 에어 베어링 표면에 선단을 갖고, 상기 제1 두께는 상기 선단의 길이보다 작은 것인 박막 자기 기록 헤드.
제10항에 있어서, 상기 연결 스터드는 상기 에어 베어링 표면에 직교하는 제2 두께를 가지며, 상기 제2 두께는 상기 제1 두께 보다 큰 것인 박막 자기 기록 헤드.
제8항에 있어서, 상기 시일드 구조물은 교차 트랙 방향으로 상기 리턴 폴 피스 보다 폭이 더 좁고, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 시일드 구조물의 외부 에지로부터 직교해서 연장하여 대칭 위치에서 상기 리턴 폴 피스에 접촉하며, 상기 제1 연결 스터드와 제2 연결 스터드 간의 거리는 상기 교차 트랙 방향을 상기 리턴 폴 피스의 폭의 1/2 이하인 것인 박막 자기 기록 헤드.
제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 에어 베어링 표면에서 리세스되며, 상기 비자성 재료는 상기 제1 및 제2 연결 스터드를 상기 에어 베어링 표면으로부터 분리시키는 것인 박막 자기 기록 헤드.
수직 기록용 박막 자기 기록 헤드에 있어서,

에어 베어링 표면으로 연장하는 선단을 갖는 메인 폴 피스와;

상기 에어 베어링 표면으로 연장하는 리턴 폴 피스와;

상기 메인 폴 피스 선단에 근접해서 상기 에어 베어링 표면을 따라 연장하는 강자성 재료의 시일드 구조물로서, 이 시일드 구조물은 후미 시일드 - 여기서, 상기 후미 시일드는 상기 리턴 폴 피스로부터 상기 메인 폴 피스의 대향 측면 상에 배치되고 상기 메인 폴 피스에 대향해서 기록 간극을 형성함 - 와 좌측 시일드 및 우측 시일드를 포함하며, 교차 트랙 방향으로 상기 리턴 폴 피스 보다 폭이 좁고, 상기 메인 폴 피스 선단 길이 보다 작은 메인 폴 피스 선단에 근접한 두께를 갖는 것인 상기 시일드 구조물과;

상기 시일드 구조물의 제1 및 제2 외부 단부로부터 상기 리턴 폴 피스로 연장하고, 상기 메인 폴 피스를 통해 중심선의 대향 측면 상에 대칭적으로 배치되며, 상기 메인 폴 피스 선단에 근접해서 상기 시일드 구조물의 두께 보다 큰 두께를 갖는 강자성 재료의 제1 및 제2 연결 스터드

를 포함하는 박막 자기 기록 헤드.
제14항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 메인 폴 피스와 떨어져 배치되어 상기 메인 폴 피스로부터 상기 연결 스터드로 플럭스 흐름을 감소시키도록 하는 것인 박막 자기 기록 헤드.
제14항에 있어서, 상기 제1 및 제2 연결 스터드는 상기 에어 베어링 표면에서 리세스되며, 상기 비자성 재료는 상기 제1 및 제2 연결 스터드를 상기 에어 베어링 표면으로부터 분리시키는 것인 박막 자기 기록 헤드.