JPH1064972A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
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- JPH1064972A JPH1064972A JP21448296A JP21448296A JPH1064972A JP H1064972 A JPH1064972 A JP H1064972A JP 21448296 A JP21448296 A JP 21448296A JP 21448296 A JP21448296 A JP 21448296A JP H1064972 A JPH1064972 A JP H1064972A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハがベルト上を斜めにスリップすること
がなく、ウエハ裏面のベルトによる傷、塵埃の付着を防
止することができるウエハ搬送装置を提供する。 【解決手段】 ウエハ搬送装置において、ウエハが搬送
されているベルト３１上のウエハの中心位置を検出する
ウエハ中心検出センサ３２と、このウエハ中心検出セン
サ３２から得られるウエハ中心位置とセットされている
カセット１２の中心位置とを一致させるウエハ中心補正
部２０と、前記ウエハ中心位置とカセットの中心位置と
を一致させた状態で、ウエハ１３をカセット１２に収納
するカセット部１０とを設ける。
がなく、ウエハ裏面のベルトによる傷、塵埃の付着を防
止することができるウエハ搬送装置を提供する。 【解決手段】 ウエハ搬送装置において、ウエハが搬送
されているベルト３１上のウエハの中心位置を検出する
ウエハ中心検出センサ３２と、このウエハ中心検出セン
サ３２から得られるウエハ中心位置とセットされている
カセット１２の中心位置とを一致させるウエハ中心補正
部２０と、前記ウエハ中心位置とカセットの中心位置と
を一致させた状態で、ウエハ１３をカセット１２に収納
するカセット部１０とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ搬送装置に
係り、特に、ベルト搬送方式にてウエハを搬送する場合
に、ウエハ裏面のベルトによる傷、及びベルトから発生
する塵埃の付着を防止するウエハ搬送装置に関するもの
である。
係り、特に、ベルト搬送方式にてウエハを搬送する場合
に、ウエハ裏面のベルトによる傷、及びベルトから発生
する塵埃の付着を防止するウエハ搬送装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、かかるウエハ搬送装置としては、
以下に示すようなものがあった。図３はかかる従来のベ
ルトウエハ搬送装置の平面図、図４はそのベルトウエハ
搬送装置の側面図である。これらの図に示すように、従
来のベルト搬送方式にて、ウエハを搬送するベルトウエ
ハ搬送装置は、ウエハ１を収容するカセット２と、その
カセット２を上下駆動させるエレベータ装置３及びカセ
ット２までウエハ１を移動させるベルト駆動装置４とか
ら構成されている。なお、５はベルトである。
以下に示すようなものがあった。図３はかかる従来のベ
ルトウエハ搬送装置の平面図、図４はそのベルトウエハ
搬送装置の側面図である。これらの図に示すように、従
来のベルト搬送方式にて、ウエハを搬送するベルトウエ
ハ搬送装置は、ウエハ１を収容するカセット２と、その
カセット２を上下駆動させるエレベータ装置３及びカセ
ット２までウエハ１を移動させるベルト駆動装置４とか
ら構成されている。なお、５はベルトである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のベルトウエハ搬送装置では、カセット２に対
し、左右方向にウエハ１がずれている場合、カセット２
にウエハ１を搬入する時にカセット２のＡ部にウエハ１
が接触してしまい、それによりウエハ１はベルト５上を
斜めにスリップすることになり、結果として、ウエハ裏
面にベルト５によって傷が付いたり、塵埃が付着してし
まうという問題点があった。
た従来のベルトウエハ搬送装置では、カセット２に対
し、左右方向にウエハ１がずれている場合、カセット２
にウエハ１を搬入する時にカセット２のＡ部にウエハ１
が接触してしまい、それによりウエハ１はベルト５上を
斜めにスリップすることになり、結果として、ウエハ裏
面にベルト５によって傷が付いたり、塵埃が付着してし
まうという問題点があった。
【０００４】本発明は、上記問題点を除去し、ウエハが
ベルト上を斜めにスリップすることがなく、ウエハ裏面
のベルトによる傷、塵埃の付着を防止することができる
ウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
ベルト上を斜めにスリップすることがなく、ウエハ裏面
のベルトによる傷、塵埃の付着を防止することができる
ウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕ウエハ搬送装置において、ウエハが搬送されてい
るベルト上のウエハの中心を検出するウエハ中心検出手
段と、このウエハ中心検出手段から得られるウエハ中心
位置とセットされているカセットの中心位置とを一致さ
せるウエハ中心補正手段と、前記ウエハ中心位置とカセ
ットの中心位置とを一致させた状態で、ウエハをカセッ
トに収納するカセット部とを設けるようにしたものであ
る。
成するために、 〔１〕ウエハ搬送装置において、ウエハが搬送されてい
るベルト上のウエハの中心を検出するウエハ中心検出手
段と、このウエハ中心検出手段から得られるウエハ中心
位置とセットされているカセットの中心位置とを一致さ
せるウエハ中心補正手段と、前記ウエハ中心位置とカセ
ットの中心位置とを一致させた状態で、ウエハをカセッ
トに収納するカセット部とを設けるようにしたものであ
る。
【０００６】〔２〕セットされているカセットのウエハ
収納溝の傾きを検出するカセット傾き検出手段と、この
カセット傾き検出手段による前記カセットのウエハ収納
溝の傾き量に基づいて、前記カセットの傾きを補正する
カセット傾き補正手段と、搬送されてくるウエハの傾き
とカセットのウエハ収納溝の傾きとを一致させた状態
で、ウエハをカセットに収納するカセット部とを設ける
ようにしたものである。
収納溝の傾きを検出するカセット傾き検出手段と、この
カセット傾き検出手段による前記カセットのウエハ収納
溝の傾き量に基づいて、前記カセットの傾きを補正する
カセット傾き補正手段と、搬送されてくるウエハの傾き
とカセットのウエハ収納溝の傾きとを一致させた状態
で、ウエハをカセットに収納するカセット部とを設ける
ようにしたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の第１実
施例を示すウエハ搬送装置の平面図、図２はそのウエハ
搬送装置の側面図である。これらの図に示すように、こ
のウエハ搬送装置は、カセット部１０、ウエハ中心補正
部２０、ウエハ中心検出部３０の３つのユニットから構
成されている。すなわち、第１のベルト１１上にはカセ
ット１２がセットされており、搬送されてくるウエハ１
３を収納する。第２のベルト２１にはウエハ中心補正用
駆動部２２が設けられ、第３のベルト３１に対応してウ
エハ中心検出センサ３２が配置されている。
を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の第１実
施例を示すウエハ搬送装置の平面図、図２はそのウエハ
搬送装置の側面図である。これらの図に示すように、こ
のウエハ搬送装置は、カセット部１０、ウエハ中心補正
部２０、ウエハ中心検出部３０の３つのユニットから構
成されている。すなわち、第１のベルト１１上にはカセ
ット１２がセットされており、搬送されてくるウエハ１
３を収納する。第２のベルト２１にはウエハ中心補正用
駆動部２２が設けられ、第３のベルト３１に対応してウ
エハ中心検出センサ３２が配置されている。
【０００８】次に、このウエハ搬送装置の動作について
説明する。カセット１２にウエハ１３を収容する場合、
まず、ウエハ中心検出部３０に取付けてある、第３のベ
ルト３１に対応したウエハ中心検出センサ３２で、ウエ
ハ１３の外周部分を検出し、このウエハ中心検出センサ
３２に接続される演算装置（図示なし）の計算により、
現在のウエハ１３の中心位置を求める。そして、その値
を元にカセット部１０にセットされているカセット１２
の収容部の中心位置との位置ずれ量を求める。
説明する。カセット１２にウエハ１３を収容する場合、
まず、ウエハ中心検出部３０に取付けてある、第３のベ
ルト３１に対応したウエハ中心検出センサ３２で、ウエ
ハ１３の外周部分を検出し、このウエハ中心検出センサ
３２に接続される演算装置（図示なし）の計算により、
現在のウエハ１３の中心位置を求める。そして、その値
を元にカセット部１０にセットされているカセット１２
の収容部の中心位置との位置ずれ量を求める。
【０００９】次に、その位置ずれ量に基づき、ウエハ１
３の位置ずれ量を補正するため、ウエハ中心補正部２０
にてウエハの左右ずれを補正する。この時の補正は、ウ
エハ中心補正用駆動部２２を駆動することにより、ウエ
ハ１３の乗ったウエハ中心補正部２０の第２のベルト２
１のすべてを左右に動かし行う。つまり、第２のベルト
２１の経路を左右に移動させることにより、ウエハ１３
の中心位置をカセット１２の収容部の中心位置と一致さ
せるようにする。
３の位置ずれ量を補正するため、ウエハ中心補正部２０
にてウエハの左右ずれを補正する。この時の補正は、ウ
エハ中心補正用駆動部２２を駆動することにより、ウエ
ハ１３の乗ったウエハ中心補正部２０の第２のベルト２
１のすべてを左右に動かし行う。つまり、第２のベルト
２１の経路を左右に移動させることにより、ウエハ１３
の中心位置をカセット１２の収容部の中心位置と一致さ
せるようにする。
【００１０】最後に、カセット１２の中心位置とウエハ
１３の中心位置を一致させた状態のまま、カセット部１
０にウエハ１３をベルト搬送で移動させ、カセット１２
にウエハ１３を収容する。以上のように、ウエハ中心検
出部３０とウエハ中心補正部２０を設け、ウエハの中心
位置を補正することにより、カセットと、ウエハとの接
触が少なくなり、搬送ベルト上でのウエハのスリップも
少なくなる。そして、結果的にウエハ裏面のベルトによ
る傷、塵埃の付着を少なくすることができる。
１３の中心位置を一致させた状態のまま、カセット部１
０にウエハ１３をベルト搬送で移動させ、カセット１２
にウエハ１３を収容する。以上のように、ウエハ中心検
出部３０とウエハ中心補正部２０を設け、ウエハの中心
位置を補正することにより、カセットと、ウエハとの接
触が少なくなり、搬送ベルト上でのウエハのスリップも
少なくなる。そして、結果的にウエハ裏面のベルトによ
る傷、塵埃の付着を少なくすることができる。
【００１１】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図５は本発明の第２実施例を示すカセットの傾きの
補正機能を有するウエハ搬送装置の平面図、図６はその
ウエハ搬送装置の側面図、図７はそのウエハ搬送装置の
ウエハ収納部の正面図、図８はそのカセットのウエハ収
納溝の部分拡大正面図である。
る。図５は本発明の第２実施例を示すカセットの傾きの
補正機能を有するウエハ搬送装置の平面図、図６はその
ウエハ搬送装置の側面図、図７はそのウエハ搬送装置の
ウエハ収納部の正面図、図８はそのカセットのウエハ収
納溝の部分拡大正面図である。
【００１２】これらの図において、４４はカセットエレ
ベータベース、このエレベータベース４４上に補正用ベ
ース４５が設けられている。カセットエレベータベース
４４を固定とし、補正用ベース４５には、カセット４６
の傾きの補正用駆動部４０が連結されている。このカセ
ット４６の傾きの補正用駆動部４０は、カセット４６の
前方に配置される２個の駆動要素４１，４２、カセット
４６の後方に配置される１個の駆動要素４３からなり、
これらの駆動要素４１，４２，４３の駆動により、カセ
ット４６を前後左右に傾かせることができるようになっ
ている。なお、４７はカセット４６のウエハ収納溝、４
８はウエハ、４９はカセット部ベルトである。
ベータベース、このエレベータベース４４上に補正用ベ
ース４５が設けられている。カセットエレベータベース
４４を固定とし、補正用ベース４５には、カセット４６
の傾きの補正用駆動部４０が連結されている。このカセ
ット４６の傾きの補正用駆動部４０は、カセット４６の
前方に配置される２個の駆動要素４１，４２、カセット
４６の後方に配置される１個の駆動要素４３からなり、
これらの駆動要素４１，４２，４３の駆動により、カセ
ット４６を前後左右に傾かせることができるようになっ
ている。なお、４７はカセット４６のウエハ収納溝、４
８はウエハ、４９はカセット部ベルトである。
【００１３】また、カセット４６の前方のベルト５１に
対応して、ウエハ収納溝４７の傾きを検出するカセット
傾き検出センサ５２が配置されている。以下、このウエ
ハ搬送装置の動作について説明する。まず、カセット傾
き検出センサ５２を使用し、カセット４６のウエハ４８
を収容するためのウエハ収納溝４７の傾きを検出する。
カセットの左右のウエハ収納溝４７を検出することによ
り、カセット傾き検出センサ５２に接続された演算装置
（図示なし）により、カセットの傾きを求めることがで
きる。ここで、ウエハ収納溝４７のウエハを収納するＡ
部分が検出され、カセットの傾きの補正用駆動部４０の
２個の駆動要素４１，４２の駆動により、カセットの左
右方向の傾きの補正を行うことができる。
対応して、ウエハ収納溝４７の傾きを検出するカセット
傾き検出センサ５２が配置されている。以下、このウエ
ハ搬送装置の動作について説明する。まず、カセット傾
き検出センサ５２を使用し、カセット４６のウエハ４８
を収容するためのウエハ収納溝４７の傾きを検出する。
カセットの左右のウエハ収納溝４７を検出することによ
り、カセット傾き検出センサ５２に接続された演算装置
（図示なし）により、カセットの傾きを求めることがで
きる。ここで、ウエハ収納溝４７のウエハを収納するＡ
部分が検出され、カセットの傾きの補正用駆動部４０の
２個の駆動要素４１，４２の駆動により、カセットの左
右方向の傾きの補正を行うことができる。
【００１４】また、このウエハ収納溝４７のＡ部分から
更に拡大した部分を３次元画像で検出することにより、
カセットの前後方向の傾きがある場合には、カセット４
６の後方に配置される１個の駆動要素４３を駆動させる
ことにより、カセットの前後方向の傾きの補正を行うこ
とができる。このように、カセット傾き検出センサ５２
からのカセット傾き量を基に補正用ベース４５をカセッ
トの傾きの補正用駆動部４０にて動作させ、ウエハを搬
送させるベルト５１とカセット４６のウエハ収納溝４７
をつねに平行になるように調整する。
更に拡大した部分を３次元画像で検出することにより、
カセットの前後方向の傾きがある場合には、カセット４
６の後方に配置される１個の駆動要素４３を駆動させる
ことにより、カセットの前後方向の傾きの補正を行うこ
とができる。このように、カセット傾き検出センサ５２
からのカセット傾き量を基に補正用ベース４５をカセッ
トの傾きの補正用駆動部４０にて動作させ、ウエハを搬
送させるベルト５１とカセット４６のウエハ収納溝４７
をつねに平行になるように調整する。
【００１５】以上のように、エレベータ部でカセット４
６の傾きを補正することにより、カセット４６のウエハ
収納溝４７と、搬送されて収納されるウエハ４８との接
触を少なくすることができ、結果的に接触によるウエハ
４８の搬送不良、ウエハ４８のスリープ、ウエハ裏面の
ベルトによる傷、塵埃付着を少なくすることができる。
６の傾きを補正することにより、カセット４６のウエハ
収納溝４７と、搬送されて収納されるウエハ４８との接
触を少なくすることができ、結果的に接触によるウエハ
４８の搬送不良、ウエハ４８のスリープ、ウエハ裏面の
ベルトによる傷、塵埃付着を少なくすることができる。
【００１６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００１７】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 〔１〕請求項１記載の発明によれば、ウエハ中心検出部
とウエハ中心補正部を設け、ウエハの中心位置を補正す
ることにより、カセットと、ウエハとの接触が少なくな
り、搬送ベルト上でのウエハのスリップも少なくなる。
そして、結果的にウエハ裏面のベルトによる傷、塵埃の
付着を少なくすることができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 〔１〕請求項１記載の発明によれば、ウエハ中心検出部
とウエハ中心補正部を設け、ウエハの中心位置を補正す
ることにより、カセットと、ウエハとの接触が少なくな
り、搬送ベルト上でのウエハのスリップも少なくなる。
そして、結果的にウエハ裏面のベルトによる傷、塵埃の
付着を少なくすることができる。
【００１８】〔２〕請求項２記載の発明によれば、エレ
ベータ部でカセットの傾きを補正することにより、カセ
ットのウエハ収納溝と搬送されて収納されるウエハとの
接触を少なくすることができ、結果的に接触によるウエ
ハの搬送不良、ウエハのスリープ、ウエハ裏面のベルト
による傷、塵埃付着を少なくすることができる。
ベータ部でカセットの傾きを補正することにより、カセ
ットのウエハ収納溝と搬送されて収納されるウエハとの
接触を少なくすることができ、結果的に接触によるウエ
ハの搬送不良、ウエハのスリープ、ウエハ裏面のベルト
による傷、塵埃付着を少なくすることができる。
【図１】本発明の第１実施例を示すウエハ搬送装置の平
面図である。
面図である。
【図２】本発明の第１実施例を示すウエハ搬送装置の側
面図である。
面図である。
【図３】従来のベルトウエハ搬送装置の平面図である。
【図４】従来のウエハ搬送装置の側面図である。
【図５】本発明の第２実施例を示すカセットの傾きの補
正機能を有するウエハ搬送装置の平面図である。
正機能を有するウエハ搬送装置の平面図である。
【図６】本発明の第２実施例を示すウエハ搬送装置の側
面図である。
面図である。
【図７】本発明の第２実施例を示すウエハ搬送装置のウ
エハ収納部の正面図である。
エハ収納部の正面図である。
【図８】本発明の第２実施例を示すウエハ搬送装置のウ
エハ収納溝の部分拡大正面図である。
エハ収納溝の部分拡大正面図である。
１０ カセット部 １１ 第１のベルト １２，４６ カセット １３，４８ ウエハ ２０ ウエハ中心補正部 ２１ 第２のベルト ２２ ウエハ中心補正用駆動部 ３０ ウエハ中心検出部 ３１ 第３のベルト ３２ ウエハ中心検出センサ ４０ カセットの傾きの補正用駆動部 ４１，４２，４３ 駆動要素 ４４ カセットエレベータベース ４５ 補正用ベース ４７ ウエハ収納溝 ４９ カセット部ベルト ５１ ベルト ５２ カセット傾き検出センサ
Claims (2)
- 【請求項１】（ａ）ウエハが搬送されているベルト上の
ウエハの中心を検出するウエハ中心検出手段と、（ｂ）
該ウエハ中心検出手段から得られるウエハ中心位置とセ
ットされているカセットの中心位置とを一致させるウエ
ハ中心補正手段と、（ｃ）前記ウエハ中心位置とカセッ
トの中心位置とを一致させた状態で、ウエハを前記カセ
ットに収納するカセット部とを具備することを特徴とす
るウエハ搬送装置。 - 【請求項２】（ａ）セットされているカセットのウエハ
収納溝の傾きを検出するカセット傾き検出手段と、
（ｂ）該カセット傾き検出手段による前記カセットのウ
エハ収納溝の傾き量に基づいて、前記カセットの傾きを
補正するカセット傾き補正手段と、（ｃ）搬送されてく
るウエハの傾きと前記カセットのウエハ収納溝の傾きと
を一致させた状態で、ウエハをカセットに収納するカセ
ット部とを具備することを特徴とするウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21448296A JPH1064972A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21448296A JPH1064972A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1064972A true JPH1064972A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16656450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21448296A Withdrawn JPH1064972A (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1064972A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003092322A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Nikon Corp | ウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法 |
| KR101250135B1 (ko) * | 2009-09-21 | 2013-04-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 로더 |
-
1996
- 1996-08-14 JP JP21448296A patent/JPH1064972A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003092322A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Nikon Corp | ウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法 |
| JP4665367B2 (ja) * | 2001-09-17 | 2011-04-06 | 株式会社ニコン | ウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法 |
| KR101250135B1 (ko) * | 2009-09-21 | 2013-04-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 로더 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |