JPH1055748A

JPH1055748A - 電子放出素子、電子源及び画像形成装置

Info

Publication number: JPH1055748A
Application number: JP9154206A
Authority: JP
Inventors: Rie Ueno; 理恵上野; Yoshikazu Sakano; 嘉和坂野; Toshihiko Takeda; 俊彦武田; Ichiro Nomura; 一郎野村; Hidetoshi Suzuki; 英俊鱸; Tetsuya Kaneko; 哲也金子; Takashi Noma; 敬野間
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-06-12
Filing date: 1997-06-12
Publication date: 1998-02-24

Abstract

(57)【要約】【課題】画像形成装置の電子源として用いることがで
き、電子放出量を段階的に制御可能な電子放出素子を提
供する。【解決手段】微粒子膜５に形成された複数の異なる電
子放出特性を有する電子放出部６ａ〜６ｄが、独立した
電位を与えることのできる電極により電気的に直列接続
されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電子放出源として用
いられる電子放出素子、詳しくは冷陰極型素子の一つで
ある表面伝導形電子放出素子、該電子放出素子を複数備
える電子源及び、該電子源を用いた画像形成装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、簡単な構造で電子の放出が得られ
る素子としては、例えばエムアイエリンソン（Ｍ．
Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ）等によって発表された冷陰極素子
が知られている。［ラジオエンジニアリングエレク
トロンフィジックス（ＲａｄｉｏＥｎｇ．Ｅｌｅｃ
ｔｒｏｎＰｈｙｓ．）第１０巻，１２９０〜１２９６
頁，１９６５年］これは、基板上に形成された小面積の薄膜に、膜内に平
行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利
用するもので、一般には表面伝導形電子放出素子と呼ば
れている。

【０００３】この表面伝導形電子放出素子としては、前
記エリンソン等により開発されたＳｎＯ₂ （Ｓｂ）薄膜
によるもの［ジー・ディトマー ”スインソリドフ
ィルムス”（Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：”ＴｈｉｎＳｏｌ
ｉｄＦｉｌｍｓ”），９巻３１７頁，（１９７２
年）］、ＩＴＯ薄膜によるもの［エムハートウェルア
ンドジーシーフォンスタッド ”アイイーイーイート
ランス”イーディーコンファレンス（Ｍ．Ｈａｒｔｗｅ
ｌｌａｎｄＣ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ；”ＩＥＥＥ
Ｔｒａｎｓ．ＥＤＣｏｎｆ．”）５１９頁，（１９７
５年）］、カーボン薄膜によるもの［荒木久他：”真
空”第２６巻，第１号，２２頁，（１９８３年）］など
が報告されている。

【０００４】これらの表面伝導形電子放出素子の典型的
な素子構成を図６に示す。同図において２３１および２
３２は電気的接続を得るための電極、２３３は電子放出
材料で形成される薄膜、２３４は基板、２３５は電子放
出部を示す。

【０００５】従来、これらの表面伝導形電子放出素子に
おいては、電子放出を行う前に予めフォーミングと呼ば
れる通電処理によって電子放出部を形成する。即ち、前
記電極２３１と電極２３２の間に電圧を印加する事によ
り、薄膜２３３に通電し、これにより発生するジュール
熱で薄膜２３３を局所的に破壊、変形もしくは変質せし
め、電気的に高抵抗な状態にした電子放出部２３５を形
成することにより電子放出機能を得ている。

【０００６】なお、電気的に高抵抗状態とは、薄膜２３
３の一部に、０．５〜５μｍの亀裂を有し、かつ亀裂内
が所謂島構造を有する不連続状態膜をいう。島構造とは
一般に数十Åから数μｍ径の微粒子が基板２３４にあ
り、各微粒子は空間的に不連続で電気的に連続な膜をい
う。

【０００７】従来、表面伝導形電子放出素子は上述高抵
抗不連続膜に電極２３１，２３２により電圧を印加し、
素子表面に電流を流すことにより、上述微粒子より電子
放出せしめるものである。

【０００８】しかしながら、上記の様な従来の通電によ
るフォーミング素子には次のような問題点があった。１）フォーミング工程の際に生じるジュール熱が大きい
為、基盤が破壊しやすくマルチ化が難しい。２）電子放出部となる島構造の設計が不可能なため、素
子の改良が難しく、素子間のバラツキも生じやすい。３）島の材料が金、銀、ＳｎＯ₂ 、ＩＴＯ等に限定さ
れ、仕事関数の小さい材料が使えないため、大電流を得
ることができない。

【０００９】以上のような問題点があるため、表面伝導
形電子放出素子は、素子構造が簡単であるという利点が
あるにもかかわらず、産業上積極的に応用されるには至
っていなかった。

【００１０】本発明者等は上記問題点を鑑みて検討した
結果、特願昭６３−１７５７０号，特願昭６３−１１０
４８０号に於いて電極間に微粒子膜を配置しこれに通電
処理を施すことにより電子放出部を設ける新規な表面伝
導形電子放出素子を提案した。この新規な電子放出素子
の構成図を図７に示す。

【００１１】同図において、２４１及び２４２は電極、
２４３は微粒子膜、２４５は電子放出部、２４４は基板
である。

【００１２】この電子放出素子の特徴としては次のよう
なことが挙げられる。１）微粒子膜２４３に非常に少ない電流を流すことで電
子放出部２４５を形成できるので素子劣化のない素子が
作成でき、さらに電極の形状を任意に設計できる。２）微粒子膜を形成する微粒子自身が電子放出の構成材
となる為、微粒子の材料や形状等の設計が可能となり、
電子放出特性を変えることができる。３）素子の構成材である基板２４４や電極の材料の選択
性が広がる。

【００１３】また、従来より、面状に展開した複数の電
子放出素子とこの電子放出素子から放出された電子線の
照射を各々受ける蛍光体ターゲットとを各々相対向させ
た薄形の画像表示装置が存在する。これら電子線ディス
プレイ装置は、基本的に次のような構造からなる。

【００１４】図８は従来のディスプレイ装置の概要を示
すものである。２５１は基板、２５２は支持体、２５３
は素子配線電極、２５４は電子放出部、２５５は電子通
過孔、２５６は変調電極、２５７はガラス板、２５８は
画像形成部材で、例えば蛍光体、レジスト材等電子が衝
突することにより発光，変色，帯電，変質等する部材か
ら成る。２５９は蛍光体の輝点である。

【００１５】ここで、電子放出部２５４は薄膜技術によ
り形成され、ガラス基板２５１とは接触することがない
中空構造を成すものである。素子配線電極２５３は電子
放出部材と同一の材料を用いて形成しても、別材料を用
いても良く、一般に融点が高く電気抵抗の小さいものが
用いられる。支持体２５２は絶縁体材料もしくは導電体
材料で形成されている。

【００１６】上記電子線ディスプレイ装置は、素子配線
電極２５３に電圧を印加せしめ中空構造をなす電子放出
部より電子を放出させ、これら電子流を情報信号に応じ
て変調する変調電極２５６に電圧を印加することにより
電子を取り出し、取り出した電子を加速させ蛍光体２５
８に衝突させるものである。また、素子配線電極２５３
と変調電極２５６でＸＹマトリックスを形成せしめ、画
像形成部材たる蛍光体２５８上に画像表示を行うもので
ある。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来型の表面伝導形放出素子や熱電子源を電気的に直列に
配置した場合には、以下のような問題点があった。１）直列接続された複数の電子放出部のうちの１ケ所の
みから電子放出させることはできない。２）直列接続によって各電子放出部で分圧されるため、
駆動電圧が高くなり、消費電力が増加する。３）電子放出部の電圧降下のため、素子に印加される電
圧にバラツキが生じ、電子放出量が均一にならない。

【００１８】すなわち、本発明の目的とするところは、
上述のような問題点を解消し得る電子放出素子、該電子
放出素子を複数備える電子源及び、該電子源を用いた画
像形成装置を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく成
された本発明の構成は、以下の通りである。

【００２０】すなわち、本発明第１は、微粒子膜に形成
された複数の電子放出部が電気的に直列接続されてお
り、該複数の電子放出部が異なる電気特性を有すること
を特徴とする電子放出素子にある。

【００２１】上記本発明第１の電子放出素子は、さらに
その特徴として、「前記複数の電子放出部が、独立した
電位を与えることのできる電極によって直列接続されて
いる」こと、「前記複数の電子放出部は、電子放出量に
於いて異なる電気特性を有する」こと、「前記複数の電
子放出部が夫々異なる微粒子膜に形成されている」こ
と、「前記複数の電子放出部が１つの微粒子膜に形成さ
れている」こと、「表面伝導形電子放出素子である」こ
と、をも含むものである。

【００２２】また、本発明第２は、本発明第１の電子放
出素子を複数配置したことを特徴とする電子源にある。

【００２３】さらに、本発明第３は、本発明第２の電子
源と、該電子源から放出された電子の照射により画像を
形成する画像形成部材とを具備することを特徴とする画
像形成装置にある。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成要素及び作用
について詳述する。

【００２５】本発明に於ける微粒子膜としては、粒径が
十数Åから数μｍの導電性微粒子の膜、あるいはこれら
導電性微粒子が分散されたカーボン薄膜等が挙げられ
る。その材料はＰｄ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔｉ等の金属、Ｐｄ
Ｏ，ＳｎＯ２等の酸化物導電体等導電性材料であれば
どれを用いても構わない。そしてこれらの膜はガスデポ
ジション法や分散塗布法等により電極間に形成される。

【００２６】図１は本発明第１の一実施態様を示す構成
図である。同図において、１は絶縁性基板、３と４は電
極、５は微粒子膜、６ａ，６ｂは電子放出部である。

【００２７】尚、図１には電子照射される蛍光体ターゲ
ットも示しており、１５４は透明板１５１、透明電極１
５２、蛍光体１５３からなる蛍光体ターゲット、１５５
は電子照射領域（発光部）である。

【００２８】本発明の電子放出素子は、複数個（図１で
は２個）の電子放出部６ａ，６ｂを電気的に直列に接続
して構成され、１つの電子照射領域（発光部）１５５に
対応する。

【００２９】本発明の電子放出素子において、電極３と
電極４の間隔は、０．１μｍから１００μｍが望まし
く、一般には０．５μｍから２０μｍが実用的である。
さらに、複数の電子放出部の間隔Ｓは、０．５μｍから
２ｍｍが望ましく、一般には１μｍから１０００μｍが
実用的である。

【００３０】電子放出材料からなる微粒子膜５に複数の
電子放出部を形成する通電処理の方法は、微粒子膜５に
通電することにより、その一部を高抵抗化して電子放出
部を形成するものや、その一部を低抵抗化して電子放出
部を形成するものがあるがいずれを用いても構わず、少
なくとも電子放出部の複数個分の回数以上前記処理を施
すことにより、電子放出材料からなる微粒子膜の構造が
変わり電子放出部が形成される。

【００３１】具体的には、図２に示すように、電極３，
４間の微粒子膜５に電極１６１を接続し、この電極１６
１を電位不定として電極３，４に通電処理することで電
子放出部が形成される。

【００３２】素子駆動時には、予め電極４と電極１６１
をショートさせておき、その上で電極４をアース電位、
電極３を駆動電圧として電子放出させると、電極３側の
電子放出部６ａからのみ電子放出が生じる。この状態で
電極４と電極１６１をオープン状態としても電子放出部
は６ａ側に規定されたままとなり、電子放出が維持され
続ける。

【００３３】また上記とは逆に、電極３と電極１６１を
ショートさせておき、その上で電極３をアース電位、電
極４を駆動電圧として電子放出させると、電極４側の電
子放出部６ｂが電子放出部として規定される。

【００３４】以上のように、電極１６１に外部から適当
な電圧を印加して駆動することで、直列接続された複数
の電子放出部を選択的に駆動することが可能となる。

【００３５】なお、図１及び図２に示されるように、本
発明の電子放出素子による電子照射領域（発光部）１５
５は、その特性上Ｌ＞Ｗとなった楕円形に近い形状とな
る。

【００３６】本発明の電子放出素子は、直列接続された
複数の電子放出部を各々独立に駆動できため、各電子放
出部の電気特性を異ならせ、必要に応じた電子放出部か
ら電子放出させることによっても、１素子当りの電子放
出量の制御が可能になる。

【００３７】各電子放出部の特性を変える具体的手法と
しては、各電子放出部の幅を電極幅若しくは微粒子膜の
幅で変える等の手法を用いることができ、これにより同
じ電圧を印加した時の電子放出量を電子放出部毎に異な
らせることができる。

【００３８】次に、本発明の電子放出素子を複数配置し
た電子源及び、かかる電子源を用いた画像形成装置の概
略構成例を図５に示す。

【００３９】同図において、８１は絶縁性基板、８２，
８３は電極、８４は微粒子膜、８５は電子放出部であ
り、これらにより面状電子源８６が形成されている。

【００４０】本面状電子源は、電極８２と電極８３の間
に本発明の電子放出素子を並列に配置した線電子源を数
本基板に規則正しく設けたものである。

【００４１】また、８７はグリッド電極、８８は電極通
過孔、８９はガラス基板、９０は画像形成部材であると
ころの蛍光体、９１はアルミニウム材からなるメタルバ
ック、９２はフェースプレート、９３は蛍光体の輝点で
ある。

【００４２】フェースプレート９２は透明なガラス板８
９の上に蛍光体９０が一様に塗布され、さらにその上に
メタルバック９１を設けたものである。

【００４３】本画像形成装置において、グリッド電極８
７は複数のライン電極群からなり、面状電子源８６の電
極群と直角方向に配置される。電子通過孔８８は電子放
出部８５のほぼ鉛直上に設けられ、グリッド電極８７を
信号電極、線電子源群を走査電極として、ＸＹマトリッ
クス駆動を行い画像を形成するものである。

【００４４】以上、画像形成装置について説明してきた
が、電子ビーム応用装置としては他にも記録装置，記憶
装置，電子ビーム猫画装置等の様々な装置があり、本発
明の電子放出素子はこれら装置へも好適に利用すること
ができる。

【００４５】本発明の画像形成装置に用いる画像形成部
材は、電子放出素子から放出された電子線の照射によっ
て発光，変色，帯電，変質或いは変形等を起こす材料よ
り形成されたものであれば、いかなるものであっても良
いが、その一例として蛍光体，レジスト材料等が挙げら
れる。とりわけ、画像形成部材として蛍光体が用いられ
る場合には、形成される画像は発光（蛍光）画像であ
る。

【００４６】

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて更に詳述す
る。

【００４７】実施例１本実施例では以下に述べる様にして、図３に示されるよ
うな本発明の電子放出素子を作製した。尚、図３では基
板を省略している。

【００４８】十分脱脂洗浄を行ったガラス基板上に、
通常のフォトリソグラフィ技術を用いてリフトオフ用レ
ジストを形成した後、真空蒸着によって電極３，４及び
１７１，１７２，１７３を形成した。各電極の幅（Ｗ）
は全て３００μｍ、電極３と１７１，電極１７１と１７
２，電極１７２と１７３，電極１７３と４の間隔は全て
２μｍである。また、電極３，４間に並列接続される全
ての電極（１７１，１７２，１７３）は外部から独立に
電圧印加可能とした。

【００４９】次に、で形成した電極基板上に、微粒
子膜５を形成する部分のみを残して全面にＣｒ薄膜〜１
０００Åを真空蒸着により形成した。これは微粒子膜５
を形成するためのマスクとして用いるものであり、最終
的には除去されるものである。

【００５０】次にまでで得られた基板に、有機パラ
ジウム化合物を含む有機溶媒（奥野製薬工業製キャタ
ペーストｃｃｐ）を回転塗布した後、大気中３００℃，
１０分間の焼成を行い、電極３，４間にＰｄ微粒子から
成る島状構造を有する不連続膜による複数の微粒子膜５
を形成した。

【００５１】ここで、各電子放出部の電気特性を変える
ため本実施例では電子放出材料からなる微粒子膜５の幅
を変えており、電子放出部６ａ幅は２８０μｍ，６ｂは
２１０μｍ，６ｃは１４０μｍ，６ｄは７０μｍであ
る。

【００５２】最後にの行程で蒸着したＣｒ薄膜をエ
ッチングにより除去して電子放出素子を完成した。

【００５３】以上の様にして得られた電子放出素子を〜
１０^-6Ｔｏｒｒ程度の真空容器に入れ、電子放出部の鉛
直上方５ｍｍの位置に蛍光体基板を設け、以下の測定を
行った。

【００５４】まず電極４をアース電位として、電極３に
＋１４Ｖの電圧を印加したところ、１回目の電圧印加で
電子放出部６ａから電子放出が確認された。

【００５５】次に、一度印加電圧をゼロに戻した後、再
度、前回と同一方向に電圧を印加して測定したところ、
前回とは異なり、蛍光板の発光輝点によって、電子放出
部６ｃに対応した発光のみ確認され、電子放出部６ｃか
らのみ電子放出されていることがわかった。

【００５６】その後電圧印加の方向等を変化させても、
同様の変化が生じ、直列接続された４ケ所の電子放出部
のうちの１ケ所から電子放出が生じ、複数の電子放出部
のどこか１ケ所がランダムに選択されていることが明ら
かになった。

【００５７】また、電子放出中の素子の各電子放出部で
発生している電圧降下を測定したところ、印加電圧のほ
とんどが１ケ所の電子放出部にのみかかっており、残る
他の電子放出部は単なる導体として機能していることが
確認された。

【００５８】次に、電極４及び１７３をアース電位、電
極３，１７１，１７２を＋１４Ｖとして電圧印加したと
ころ、電子放出部６ｃから電子放出が確認された。その
上で電極１７１，１７２，１７３の接続を切って、電位
不定としたが、電子放出の状態には変化なく、電子放出
部６ｃからの電子放出が続いた。

【００５９】上記と同様の実験を６ａ，６ｂ，６ｄの各
電子放出部に対して行ったところ、各電子放出部を任意
に選んで駆動することが可能であった。また、各電子放
出部を駆動したときの電子放出量は、電子放出部６ａが
〜５００ｎＡ，電子放出部６ｂが〜３５０ｎ，電子放出
部６ｃが〜２００ｎＡ，電子放出部６ｄが〜１００ｎＡ
であり、ほぼ微粒子膜の幅の比率に対応した放出電流が
得られることが確認できた。

【００６０】本実施例で作製した電子放出素子では、外
部から印加する電圧が一定のままで任意の電子放出部を
選択的に駆動し、電子放出部の幅に対応した階調変化を
つけられることが示された。

【００６１】実施例２本実施例では、５ケ所の電子放出部を直列接続した図４
に示されるような本発明の電子放出素子を作製した。
尚、図４では基板を省略している。

【００６２】図中、３，４は本素子を駆動するための電
極であり、５はＰｄ微粒子から成る電子放出材料、６ａ
〜６ｅは直列接続された電子放出部、１８１〜１８４は
電子放出部を直列接続している外部から電圧印加可能な
電極である。

【００６３】本実施例で作製した素子の製造方法は、実
施例１と同様である。しかし、本実施例では、各電子放
出部の特性を各々変えるために、各電子放出部に対応す
る電極幅を電子放出部６ａについては３００μｍ，６ｂ
は２４０μｍ，６ｃは１８０μｍ，６ｄは１２０μｍ，
６ｅは６０μｍとしている。また、電子放出部を形成す
る各電極間隔は全て２μｍと一定である。

【００６４】以上の様にして得られた電子放出素子を〜
１×１０^-6Ｔｏｒｒの真空容器に入れ、電極４をアース
電位、電極３を０〜１４Ｖ、電極１８１〜１８４を電位
不定として電子放出素子に通電を行った。すでに実施例
１でも示したように、５ケ所の電子放出部が直列接続さ
れているため、少なくとも５回以上の電圧印加を行うこ
とで、直列５ケ所の電子放出部全てが電子放出機能を持
つようになる。

【００６５】次に、実施例１と同様に、駆動させる電子
放出部の両側の電極と電極３，４に０Ｖ及び１４Ｖを印
加して電子放出を行った。例えば、電子放出部６ｃから
電子放出させるために、電極４及び１８３をアース電
位、電極３及び１８２を＋１４Ｖとして駆動を開始した
後、電極１８２，１８３の接続を切れば、電極３，４間
に電圧を印加している間は電子放出部６ｃからのみ電子
放出が得られる。

【００６６】同様の操作を全ての電子放出部に対して行
った結果、任意の電子放出部を選択的に駆動することが
可能であった。

【００６７】また、同一の駆動電圧（例えば電極３が＋
１４Ｖ、電極４がアース電位）での電子放出量は、電子
放出部６ａが〜６００ｎＡ，電子放出部６ｂが〜４５０
ｎＡ，電子放出部６ｃが〜３５０ｎＡ，電子放出部６ｄ
が〜２２０ｎＡ，電子放出部６ｅが〜１００ｎＡであっ
た。これは各電子放出部に対応する電極幅にほぼ比例し
ており、１素子中の任意の電子放出部を選択的に駆動す
ることで、電子放出量を段階的に変化させることが可能
であった。

【００６８】実施例３本実施例では図３に示したような実施例１の電子放出素
子を複数個配置して面状電子源を形成し、図５に示され
るような画像形成装置を作製した。

【００６９】なお、図５においては、図３中の電極１７
１，１７２，１７３及び電子放出部を簡略化して示して
いるが、１つの蛍光体の輝点に対応する電子放出素子
は、４ケ所の直列接続された電子放出部から構成されて
おり、さらに各電子放出部間の電極は、実施例１と同
様、外部から独立に電圧印加できるように配線した。

【００７０】この４ケ所の電子放出部は各微粒子膜の幅
を変化させ、使用する電子放出部によって、放出される
電流量が変化する構成とした。従って、必要な電流量を
放出する電子放出部を選択的に駆動することによって、
輝点９３の階調表現が可能となった。

【００７１】具体的には、電極８２，８３及び不図示の
電極に実施例１で示したような電圧を印加することによ
り任意の電子放出部から電子を放出させ、グリッド電極
８７に適当な電圧を印加することにより電子を引きだ
し、メタルバック９１に５００〜５０００Ｖの電圧を印
加して画像形成部材であるところの蛍光体９０に電子を
衝突させた。

【００７２】なお、本画像形成装置は、真空度１×１０
^-5Ｔｏｒｒ〜１×１０^-7Ｔｏｒｒの真空容器内に形成さ
れている。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば以
下のような効果がある。１．各電子放出部の特性を変えておくことで、段階的に
電子放出量を変化できる。２．故障時のリペアが不要である。３．長寿命化が可能である。４．直列接続でありながら、１ケ所の電子放出部のみの
駆動が可能である。５．直列接続された電子放出部の任意の１ケ所を選択的
に駆動できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電子放出素子の特徴を説明するための
図である。

【図２】本発明の電子放出素子の特徴を説明するための
図である。

【図３】本発明の電子放出素子の一例を示す構成図であ
る。

【図４】本発明の電子放出素子の別の例を示す構成図で
ある。

【図５】図３の電子放出素子を複数個備える電子源を用
いた画像形成装置の概略構成図である。

【図６】従来の電子放出素子の構成図である。

【図７】従来の微粒子膜及び微粒子を含む薄膜導電体を
通電処理することにより作製された電子放出素子の構成
図である。

【図８】従来のディスプレイ装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１絶縁性基板３，４電極５微粒子膜６ａ〜６ｅ電子放出部８１絶縁性基板８２，８３電極８４微粒子膜８５電子放出部８６面状電子源８７グリッド電極８８電子通過孔８９ガラス板９０蛍光体９１メタルバック９２フェースプレート９３蛍光体の輝点１５１透明板１５２透明電極１５３蛍光体１５４蛍光体ターゲット１５５電子照射領域（発光部）１７１〜１７３電極１８１〜１８４電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者野村一郎東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者鱸英俊東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者金子哲也東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者野間敬東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微粒子膜に形成された複数の電子放出部
が電気的に直列接続されており、該複数の電子放出部が
異なる電気特性を有することを特徴とする電子放出素
子。
【請求項２】前記複数の電子放出部が、独立した電位
を与えることのできる電極によって直列接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の電子放出素子。
【請求項３】前記複数の電子放出部は、電子放出量に
於いて異なる電気特性を有することを特徴とする請求項
１又は２に記載の電子放出素子。
【請求項４】前記複数の電子放出部が夫々異なる微粒
子膜に形成されていることを特徴とする請求項１〜３の
いずれかに記載の電子放出素子。
【請求項５】前記複数の電子放出部が１つの微粒子膜
に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいず
れかに記載の電子放出素子。
【請求項６】表面伝導形電子放出素子であることを特
徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電子放出素
子。
【請求項７】基板上に、請求項１〜６のいずれかに記
載の電子放出素子を複数配置したことを特徴とする電子
源。
【請求項８】請求項７に記載の電子源と、該電子源か
ら放出された電子の照射により画像を形成する画像形成
部材とを具備することを特徴とする画像形成装置。