JPH052984A

JPH052984A - 表面伝導形電子放出素子、電子放出装置及び画像形成装置

Info

Publication number: JPH052984A
Application number: JP3180573A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Takeda; 俊彦武田; Yoshikazu Sakano; 嘉和坂野; Ichiro Nomura; 一郎野村; Tetsuya Kaneko; 哲也金子; Hidetoshi Suzuki; 英俊鱸
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-06-26
Filing date: 1991-06-26
Publication date: 1993-01-08

Abstract

(57)【要約】【目的】表面伝導形電子放出素子を用いて、その放出
電子をターゲットに照射させ発光画像等を形成するよう
な場合において、特にかかる素子をマルチ配列にした際
の部分的な故障による発光むら、あるいは故障部位のリ
ペアといった手間を解消し、寿命の向上を図り安定した
画像を提供することにある。【構成】電極間に複数の電子放出部が電極を挟んで複
数設けられた表面伝導形電子放出素子を、複数電気的に
並列に接続配置し、かつ、各表面伝導形電子放出素子の
電子放出部間に位置する相対応する電極同士を接続して
共通電極とした電子放出装置、を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、表面伝導形放出素子及
びそれを用いた電子放出装置、さらにはかかる電子放出
装置を用いた画像形成装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、簡単な構造で電子の放出が得られ
る素子として、例えばエムアイエリンソン（Ｍ．
Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ）等によって発表された冷陰極素子
が知られている［ラジオエンジニアリングエレクト
ロンフィジックス（ＲａｄｉｏＥｎｇ．Ｅｌｅｃｔｒ
ｏｎＰｈｙｓ．）第１０巻，１２９０〜１２９６頁，
１９６５年］。

【０００３】これは、基板上に形成された小面積の薄膜
に、膜内に平行に電流を流すことにより、電子放出が生
ずる現象を利用するもので、一般には表面伝導形電子放
出素子と呼ばれている。

【０００４】この表面伝導形電子放出素子としては、前
記エリンソン等により開発されたＳｎＯ₂（Ｓｂ）薄膜
を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの［ジー・ディトマー
“スインソリドフィルムス”（Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅ
ｒ：“ＴｈｉｎＳｏｌｉｄＦｉｌｍｓ”），９巻３
１７頁，（１９７２年）］、ＩＴＯ薄膜によるもの［エ
ムハートウェルアンドシージーフォンスタッド
“アイイーイーイートランス“イーディーコンファレン
（Ｍ．ＨａｒｔｗｅｌｌａｎｄＣ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔ
ａｄ；“ＩＥＥＥＴｒａｎｓ．ＥＤＣｏｎｆ．”）
５１９頁，（１９７５年）］、カーボン薄膜によるもの
［荒木久他：“真空”第２６巻，第１号，２２頁，（１
９８３年）］などが報告されている。

【０００５】これらの表面伝導形電子放出素子の典型的
な素子構成を、図６に示す。同図において、１及び２は
電気的接続を得るための電極、３は電子放出材料で形成
される薄膜、４は基板、５は電子放出部を示す。

【０００６】従来、これらの表面伝導形電子放出素子に
おいては、電子放出を行う前に予めフォーミングと呼ば
れる通電加熱処理によって電子放出部５を形成してい
る。即ち、前記電極１と電極２の間に電圧を印加するこ
とにより、薄膜３に通電し、これにより発生するジュー
ル熱で薄膜３を局所的に破壊、変形もしくは変質せし
め、電気的に高抵抗な状態にした電子放出部５を形成す
ることにより電子放出機能を得ている。

【０００７】なお、電気的に高抵抗状態とは、薄膜３の
一部に、０．５μｍ〜５μｍの亀裂を有し、かつ亀裂内
がいわゆる島構造を有する不連続状態膜をいう。島構造
とは一般に数十Åから数μｍ径の微粒子が基板４にあ
り、各微粒子は空間的に不連続で電気的に連続な膜をい
う。

【０００８】従来、表面伝導形電子放出素子は上述高抵
抗不連続膜に電極１，２により電圧を印加し、素子表面
に電流を流すことにより、上述微粒子より電子を放出せ
しめるものである。

【０００９】しかしながら、上記の様な従来の通電加熱
によるフォーミング素子には、次のような問題点があっ
た。１）電子放出部となる海島構造の設計が不可能なた
め、素子の改良が難しく、素子間のばらつきも生じやす
い。２）フォーミング工程の際に生じるジュール熱が大
きい為、基板が破壊しやすくマルチ化が難しい。３）島
の材料が金、銀、ＳｎＯ₂、ＩＴＯ等に限定された仕事
関数の小さい材料が使えないため、大電流を得ることが
できない。

【００１０】以上のような問題点があるため、表面伝導
形電子放出素子は、素子構造が簡単であるという利点が
あるにもかかわらず、産業上積極的に応用されるには至
っていなかった。

【００１１】本発明者等は上記問題点を鑑みて検討した
結果、特願昭６３−１０７５７０号，特願昭６３−１１
０４８０号において、電極間に微粒子膜を配置しこれに
通電処理を施すことにより電子放出部を設ける新規な表
面伝導形電子放出素子を提案した。この新規な電子放出
素子の構成図を図７に示す。同図において、１及び２は
電極、６は微粒子膜、５は電子放出部、４は基板であ
る。

【００１２】この電子放出素子の特徴としては次のよう
なことが挙げられる。１）微粒子膜に非常に少ない電流
を流すことで電子放出部を形成できるので素子劣化のな
い素子が形成でき、さらに電極の形状を任意に設計でき
る。２）微粒子膜を形成する微粒子自身が電子放出の構
成材となる為、微粒子の材料や形状等の設計が可能とな
り、電子放出特性を変えることができる。３）素子の構
成材である基板や電極の材料の選択性が広がる。

【００１３】また、従来より、面状に展開した複数の電
子放出素子とこの電子放出素子から放出された電子線の
照射を各々受ける蛍光体ターゲットとを各々相対向させ
た薄形の画像表示装置が存在する。これら電子線ディス
プレイ装置は、基本的に次のような構造からなる。

【００１４】図８は従来のディスプレイ装置の概要を示
すものである。８１は基板、８２は支持体、８３は配線
電極、８４は電子放出部、８５は電子通過孔、８６は変
調電極、８７はガラス板、８８は画像形成部材で、例え
ば蛍光体、レジスト材等電子が衝突することにより発
光，変色，帯電，変質等する部材から成る。８９は蛍光
体の輝点である。

【００１５】ここで、電子放出部８４は薄膜技術により
形成され、ガラス基板８１とは接触することがない中空
構造を成すものである。配線電極８３は電子放出部材と
同一の材料を用いて形成しても、別材料を用いても良
く、一般に融点が高く電気抵抗の小さいものが用いられ
る。支持体８２は絶縁体材料もしくは導電体材料で形成
されている。

【００１６】これら電子線ディスプレイ装置は、配線電
極８３に電圧を印加せしめ中空構造をなす電子放出部よ
り電子を放出させ、これら電子流を情報信号に応じて変
調する変調電極８６に電圧を印加することにより電子を
取り出し、取り出した電子を加速させ蛍光体８８に衝突
させるものである。また、配線電極８３と変調電極８６
でＸＹマトリックスを形成せしめ、画像形成部材たる蛍
光体８８上に画像表示を行うものである。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例に示したような、通電加熱によるフォーミング処理
によって製造された表面伝導形電子放出素子は、以下の
ような問題点があった。．電子放出部５の構造設計が
困難なため、素子の改良が難しく、素子間のばらつきを
生じやすい。．フォーミング工程によって生じるジュ
ール熱が大きいため、特性の劣化，基板破壊等が生じや
すい。

【００１８】また、従来実用に供されてきた通電加熱に
よる熱電子源は、電子放出特性が温度分布の影響を極め
て強く受けるため、大面積にわたって均一な特性を得る
ことが困難であり、線状，あるいは面状に展開した電子
放出装置へは応用されていない。

【００１９】さらに、上記従来型の表面伝導形電子放出
素子や通電加熱による熱電子源を電気的に直列に配置し
た場合には、以下のような問題点があった。．直列に
接続された２個以上の電子放出部のうちのどちらか一方
のみ、あるいは、複数の中の１ケ所のみから電子を放出
させることはできない。．直列接続によって、各電子
放出部で分圧されるため、駆動電圧が高くなり、消費電
力が増加する。．電子放出部での電圧降下のため、素
子に印加される電圧にばらつきが生じ、電子放出量が均
一にならない。

【００２０】そこで、本発明は上記問題点を解決した、
直列に接続された２個以上の電子放出部を有する表面伝
導形の電子放出素子及びそれを並列配置した電子放出装
置、さらには、画像形成装置を提供することを目的とし
ている。

【００２１】

【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するための、本発明の特徴とする構成について以下に述
べる。

【００２２】第１に、本発明の基本となる技術思想は、
電極間に電子放出部を有する構成であって、該電子放出
部が複数であり、かつ、各電子放出部が電気的に直列に
接続された表面伝導形電子放出素子、としている点にあ
る。

【００２３】ここで、前記複数の電子放出部を形成する
にあたり、相隣接する電子放出部間に電極を設けること
で各々を別個の独立した電子放出部に形成することが好
ましい。

【００２４】第２に、上記表面伝導形電子放出素子を、
複数電気的に並列に接続配置し、かつ、各表面伝導形電
子放出素子の電子放出部間に位置する相対応する電極同
士を接続して共通電極とした電子放出装置、としている
点にある。

【００２５】第３に、真空容器内に少なくとも、上述第
２に記載の電子放出装置を複数配置した電子源と、該電
子源から放出された電子の照射により画像を形成する画
像形成部とを有し、かつ、該電子源を構成する複数の電
子放出部が直列に接続された一つの表面伝導形電子放出
素子に対して画像形成部の一画素が対応する配置関係を
有する画像形成装置、としている点にある。

【００２６】以下、本発明の構成要素及び作用について
説明する。先ず、図１に、本発明の基本となる表面伝導
形電子放出素子（単位素子）の構成と、それに対応させ
る画像形成部の構成を示す。同図において１及び２は電
極、６は電子放出材料により形成された微粒子膜、４は
絶縁性基板、５は電子放出部、８は透明（ガラス）板，
透明電極，蛍光体からなる蛍光体ターゲット、７は電子
照射領域（発光部）である。

【００２７】ここで、微粒子膜６としては、粒径が十数
Åから数μｍの導電性微粒子の膜、あるいはこれら導電
性微粒子が分散されたカーボン薄膜等が挙げられる。そ
の材料はＰｄ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔｉ等の金属、ＰｄＯ，Ｓ
ｎＯ₂等の酸化物導電体等導電性材料であればどれを用
いても構わない。そして、これらの膜はガスデポジショ
ン法や分散塗布法等により電極間に形成される。

【００２８】本発明の基本となる電子放出素子（単位素
子）は、図１，図２，図３，ならびに図４で示すよう
に、２つ以上の複数個からなる電子放出部５を電気的に
直列に接続して１つの電子放出素子群を構成し、該電子
放出素子群が１つの電子照射領域（一画素）７に対応し
た構成を有するものである。

【００２９】前記、電子放出部５となる電極１，２の間
隔は、０．１μｍから１００μｍが望ましく、一般には
０．５μｍから１０μｍが実用的である。さらに隣接す
る電子放出部５の間隔Ｓは０．５μｍから２ｍｍが望ま
しく、一般には、１μｍから１０００μｍが実用的であ
る。

【００３０】以上のような複数個の電子放出素子に設け
られた電子放出材料からなる微粒子膜６の通電処理の方
法は、微粒子膜６を通電加熱によりその一部を高抵抗化
して電子放出部を形成するものや、微粒子膜６に通電す
ることによりその一部を低抵抗化して電子放出部を形成
するものがあるが、いずれを用いても構わず、少なくと
も電子放出素子の複数個分の回数前述の処理を施こすこ
とにより、全ての電子放出材料からなる微粒子膜の構造
が変わり、上述したような不連続な電子放出部５が形成
される。

【００３１】次に、前記通電処理を施した表面伝導形電
子放出素子（単位素子）に駆動用の電圧を印加すると、
複数個の電子放出部のうち、一つの電子放出部のみから
電子が放出された。実際、どのようにして一つの電子放
出部のみから電子が放出されるかは不明であるが、発明
者等は、かかる現象は表面伝導形電子放出素子固有の特
性であるものと推測している。

【００３２】また、図１に示されるように、表面伝導形
電子放出素子による電子照射領域（発光部）７は、その
特性上Ｌ＞Ｗとなった楕円形に近い形状となる。

【００３３】次に、本発明の特徴を図２を用いて説明す
る。同図において、１，２及び９は電極、６は電子放出
材料からなる微粒子膜、５は電子放出部である。

【００３４】同図では、２つの電子放出部５−ａ，５−
ｂが直列に接続された電子放出素子が、６素子並列接続
された電子源となっており、上述のように電極１，２間
に通電処理することで電子放出部が形成される。このと
き、直列に接続された２つの電子放出部５−ａ，５−ｂ
のうちのどちらか一方に電界集中が生じ、電子放出がは
じまると（例えば、５−ｂの電子放出部のうちの１ケ
所）、５−ｂと並列に接続された電極２側の電子放出部
が全て電子放出部として機能する。このとき、５−ａ側
の電子放出部列は全て低抵抗であり、電子放出部として
ではなく導体として働くことになる。逆に、電極１側の
電子放出部５−ａが放出機能を持った場合には、電子放
出部５−ａ列が全て電子放出部となり、５−ｂ側は導体
として機能する。

【００３５】上述のように、直列に配置した電子放出部
のどちらか一方が電子を放出する機構については不明確
であるが、かかる素子を並列に接続して用いた場合に
は、前述のごとく電子を放出する列はどちらか一方に規
定されるため、一列のライン状電子源が容易に実現でき
る。さらに、本構成を用いることで、どちらか一方の電
子放出部が劣化した場合には、他の電子放出部列に切り
換えるといった応用も可能となる。

【００３６】さらに、本発明の電子放出装置を画像形成
装置に応用する場合には、図５に示す構成が考えられ
る。同図において、５１は絶縁性基板、５３及び５４は
電極、５５は直列接続された電子放出部、５６は微粒子
膜、５７はグリッド電極、５８は電子通過孔、５９はメ
タルバック６０，蛍光体６１，ガラス板６２を積層した
フェースプレートである。尚、６３は蛍光体の輝点であ
る。

【００３７】ここでは、１つの蛍光体の輝点６３に対応
する電子放出素子（単位素子）において、２個の電子放
出部を有した構成となっている。かかる構成によれば、
直列に接続された電子放出部５５のうちどちらか一方が
何らかの原因で特性劣化を生じた場合に、残る他の放出
部を使うことで、各輝点間のばらつきを補正できる。従
って、画像形成装置用の電子放出装置としては長寿命化
が可能となる。

【００３８】尚、本発明の画像形成装置に用いる画像形
成部材は、電子放出素子から放出された電子線の照射に
よって発光，変色，帯電，変質あるいは変形等を起こす
材料により形成されたものであれば、いかなるものであ
っても良いが、その一例として、蛍光体，レジスト材料
等が挙げられる。とりわけ、画像形成部材として蛍光体
が用いられる場合には、形成される画像は発光（蛍光）
画像である。

【００３９】

【実施例】以下、本発明の実施例について述べる。

【００４０】（実施例１）本実施例では、図３に示すよ
うな構成の電子放出装置を作製した。先ず、かかる装置
の製造工程について説明する。．先ず、十分脱脂，洗
浄を行ったガラス基板４上に、通常のフォトリソグラフ
ィ技術を用いてレジスト形成し、真空蒸着により電極
１，２及び９を形成した。各電子放出部５の幅は全て３
００μｍ、電極１と９及び２と９の間隔を全て２μｍと
した。

【００４１】また、電極９の幅は１００μｍで、図示す
るように電極１，２間に並列接続される全ての素子に共
通である。また、並列接続される電子放出素子（単位素
子）を１００素子とした。．次に、で形成した電極
１，９間及び２，９間に形成された２μｍ間隔に、有機
パラジウム化合物を含む有機溶媒（奥野製薬工業製キャ
タペーストＣＣＰ）をスピンコータを用いて回転塗布し
た。

【００４２】その後、３００℃にて１０分間の焼成を行
い、塗布されたＰｄ微粒子膜を島構造を有する不連続な
状態として電子放出部５を形成した。この時、放出部材
料６を電極間の２μｍ間隔部にのみ形成するために、Ｃ
ｒ薄膜を用いた。このＣｒ薄膜は、３００℃−１０分間
焼成後エッチング除去した。．さらに、素子配線抵抗
を低減するため、電極１及び２上に、Ｃｕ２μｍの配
線電極を形成して（不図示）、ライン状電子源を完成し
た。

【００４３】こうして得られたライン状電子放出素子の
電極１をアース電位として、電極２に０〜１４Ｖの電圧
を印加したところ、１回目の電圧印加時に印加電圧１０
Ｖから電子放出がはじまり、１４Ｖで放出電流〜５０μ
Ａが得られた（この時の測定条件は、素子形成基板４の
鉛直上方５ｍｍの位置に蛍光体を塗布した透明電極付き
ガラス基板を設け、その基板に加速電圧１ｋＶを加えて
測定したものである）。

【００４４】また、放出電流〜５０μＡが得られた状態
での蛍光体の発光は、２個直列に接続された電子放出部
のうちのアース電位側のみにて確認され、１００素子全
てがアース電位側放出部から電子放出されていることが
確認された。

【００４５】次に、一度印加電圧をゼロに戻した後、再
度前回と同一方向に電圧を印加して測定したところ、前
回とは異なり蛍光板の発光輝点は＋１４Ｖ側のみにて確
認され、＋１４Ｖ側の電子放出部のみから電子が放出さ
れていることが分かった。

【００４６】その後、電圧印加の方向等を変化させても
同様の変化が生じ、直列に接続された２つの放出部のう
ち、どちらから電子放出が生じるかは不明であり、ラン
ダムに起こっていることが明らかになった。

【００４７】また、電子放出中の各放出部で発生してい
る電圧降下を測定したところ、印加電圧の殆どがどちら
か一方の放出部にかかっており、残る一方の放出部は単
なる導体として機能していることが確認された。

【００４８】（実施例２）本実施例では、直列に接続さ
れた電子放出部が４個存在する場合の電子放出装置を作
製した。図４はその電子放出装置の上面図である。本図
中、１及び２は電極であり、６は実施例１と同様にＰｄ
微粒子膜（電子放出部材料）であり、１０，１１，１２
は４つの電子放出部５を直列とするための電位不定電極
（共通電極）である。

【００４９】本実施例に係る電子放出装置の製造方法
は、実施例１と同様であるため省略する。また、電子放
出位置を確認するため、本実施例では、電極１０，１
１，１２の幅を全て１ｍｍ、電極間隔は実施例１と同様
全て２μｍとした。

【００５０】こうして得られた素子基板を〜１×１０^-6
Ｔｏｒｒの真空中に入れ、実施例１同様に電極１をアー
ス電位として、電極２に０〜１４Ｖの電圧を印加したと
ころ、＋１４Ｖ時に電極１０と電極２の間に形成された
電子放出部のみから、電子放出が得られた。

【００５１】次に、電圧を一度ゼロに戻し、再度＋１４
Ｖまで印加した場合には、電極１０，１１間に形成され
た電子放出部のみから、電子放出が得られた。同一の操
作をくり返したところ、全ての放出部から電子放出が確
認されたが、直列に接続された４ケ所の放出部から同時
に電子放出することはなく、常にそのうちの１ケ所より
電子が放出されることが確認された。

【００５２】さらに、並列に接続された５個の電子放出
素子（単位素子）間では、常に５素子とも同一の列が電
子放出しており、直列に接続された４個の電子放出部の
うちのどの列が放出するかはランダムであるが、常に一
ラインの発光となることが確認された。

【００５３】（実施例３）図５は、本実施例の画像形成
装置を示す構成図である。本実施例の面状電子源は、実
施例１の電子放出素子を複数配列したもので、とくに電
極５３と電極５４の間に電子放出素子を並列に配置した
線電子源を複数本基板に規則正しく設けたものである。

【００５４】同図において、５７はグリッド電極、５８
は電子通過孔、６２はガラス板、６１は蛍光体、６０は
アルミニウム材からなるメタルバック、５９はフェース
プレート、６３は蛍光体の輝点である。

【００５５】本実施例において、グリッド電極５７は複
数のライン電極群からなり、面状電子源の電極群と直角
方向に配置される。電子通過孔５８は電子放出部５５の
ほぼ鉛直上に設けられ、グリッド電極５７を信号電極、
線電子源群を走査電極として、ＸＹマトリックス駆動を
行い画像を形成するものである。フェースプレート５９
は透明なガラス板６２の上に蛍光体６１が一様に塗布さ
れ、さらにその上にメタルバック６０を設けたものであ
る。

【００５６】本実施例の画像形成装置に於いて、電極５
３と電極５４に１４Ｖの電圧を印加することにより各電
子放出部５６から電子を放出させ、グリッド電極５９に
適当な電圧を印加することにより電子を引き出し、蛍光
体に電子を衝突させた。本画像形成装置は、当然ながら
真空度１×１０^-5Ｔｏｒｒ〜１×１０^-7Ｔｏｒｒの環境
下に置かれ、蛍光体に５００〜５０００Ｖの電圧を印加
した。

【００５７】本実施例の電子放出装置を用いた画像形成
装置では、以下の結果が得られた。．各電子放出部か
ら放出される電子量が等しいので明るさが均一な表示画
面が得られた。．各電子放出部の位置が正確に定まっ
ているので蛍光体上の輝点もほぼ同一な形状で規則正し
い配列であった。

【００５８】また、上述の駆動条件でＯＮ−ＯＦＦのく
り返しと連続駆動を長時間にわたって行ったが、殆ど劣
化は見られなかった。特に、連続駆動によって輝度低下
を生じた場合には、一度駆動を停止した後再度駆動を行
うことで、他の輝点と同等の明るさが得られるようにな
り、画像形成装置として十分な寿命が確認された。

【００５９】以上、本実施例は画像形成装置についての
み説明してきたが、画像形成部材としては、蛍光体の他
にレジスト材や薄膜金属のような電子ビームが衝突する
ことにより状態が変化する全ての部材が含まれ、電子ビ
ーム応用装置としては、記録装置，記憶装置，電子ビー
ム描画装置等の様々な装置があり、本発明は電子放出素
子が複数配置された面状電子源を用いた画像形成装置で
あれば同等の効果がある。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように、複数の電子放出部
を直列に接続した表面伝導形放出素子を、複数並列接続
し、さらに、相隣接する２つの放出部間の電極が、複数
並列接続された放出素子間で各々共通電位となっている
ことによって、以下のような効果がある。．直列接続
でありながら、１素子のみの駆動が可能。．直列素子
を並列接続することでライン状電子放出装置を容易に実
現できる。．直列接続によって１素子中に複数の放出
部が形成できるため、故障時のリペアが不要となる。
．電子源の長寿命化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に用いられる複数（ここでは２個）の電
子放出部が電気的に直列に接続された表面伝導形放出素
子の概略図である。

【図２】本発明の特徴を示すライン状電子放出装置の概
略図である。

【図３】実施例１で作製した電子放出装置の部分上面図
である。

【図４】実施例２で作製した電子放出装置の上面図であ
る。

【図５】実施例３で作製した画像形成装置の構成図であ
る。

【図６】従来の表面伝導形放出素子の概略図である。

【図７】微粒子膜及び微粒子を含む薄膜から形成された
表面伝導形放出素子の構成図である。

【図８】従来形電子放出素子を用いた画像形成装置の構
成図である。

【符号の説明】

１電極２電極３薄膜４基板５電子放出部６微粒子膜７電子照射領域８蛍光体ターゲット９共通電極５１基板５３電極５４電極５５電子放出部５６微粒子膜５７グリッド電極５８電子通過孔５９フェースプレート６０メタルバック６１蛍光体６２ガラス板６３蛍光体の輝点８１基板８２支持体８３配線電極８４電子放出部８５電子通過孔８６変調電極８７ガラス板８８画像形成部材８９蛍光体の輝点

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者金子哲也東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者鱸英俊東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電極間に電子放出部を有する構成であっ
て、該電子放出部が複数であり、かつ、各電子放出部が
電気的に直列に接続されていることを特徴とする表面伝
導形電子放出素子。
【請求項２】相隣接する電子放出部の間に電極を有す
ることを特徴とする請求項１記載の表面伝導形電子放出
素子。
【請求項３】請求項２に記載の表面伝導形電子放出素
子を、複数電気的に並列に接続配置し、かつ、各表面伝
導形電子放出素子の電子放出部間に位置する相対応する
電極同士を接続して共通電極としたことを特徴とする電
子放出装置。
【請求項４】真空容器内に少なくとも、請求項３に記
載の電子放出装置を複数配置した電子源と、該電子源か
ら放出された電子の照射により画像を形成する画像形成
部とを有し、かつ、該電子源を構成する複数の電子放出
部が直列に接続された一つの表面伝導形電子放出素子に
対して画像形成部の一画素が対応する配置関係を有する
ことを特徴とする画像形成装置。