JPH1054707A - 歪み測定方法及び歪み測定装置 - Google Patents
歪み測定方法及び歪み測定装置Info
- Publication number
- JPH1054707A JPH1054707A JP5010297A JP5010297A JPH1054707A JP H1054707 A JPH1054707 A JP H1054707A JP 5010297 A JP5010297 A JP 5010297A JP 5010297 A JP5010297 A JP 5010297A JP H1054707 A JPH1054707 A JP H1054707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- measuring
- image
- slit
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 扁平な鋳造部品に好適な、自動歪み測定方法
及び装置を得る。 【解決手段】 画像処理カメラと、横スリット光を照射
するレーザ光源とを備えた計測部を産業用ロボットのハ
ンド部に配し、ワーク保持治具上の鋳造部品と、ワーク
保持治具に固定した測定基準ボスとに上記計測部を正対
させて、レーザー光源から鋳造部品と測定基準ボスとに
スリット光を照射すると共に、鋳造部品と測定基準ボス
でできたスリット像を画像入力し、スリット像の変曲点
の変化量から測定基準ボスを基準とした鋳造部品の歪み
を検出する。
及び装置を得る。 【解決手段】 画像処理カメラと、横スリット光を照射
するレーザ光源とを備えた計測部を産業用ロボットのハ
ンド部に配し、ワーク保持治具上の鋳造部品と、ワーク
保持治具に固定した測定基準ボスとに上記計測部を正対
させて、レーザー光源から鋳造部品と測定基準ボスとに
スリット光を照射すると共に、鋳造部品と測定基準ボス
でできたスリット像を画像入力し、スリット像の変曲点
の変化量から測定基準ボスを基準とした鋳造部品の歪み
を検出する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は被測定物の歪み、特
に扁平で歪み易い鋳造部品の鋳造時又は熱処理時等に発
生した歪みを自動で測定するのに好適な歪み測定方法及
び歪み測定装置に関するものである。
に扁平で歪み易い鋳造部品の鋳造時又は熱処理時等に発
生した歪みを自動で測定するのに好適な歪み測定方法及
び歪み測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】被測定物の歪みを三次元的に測定するに
は多数の部位の変位を測定しなければならず面倒であ
り、後工程で機械加工を行うものについては、機械加工
で加工できる範囲にあるかどうかを判定する簡易測定で
対応している。この方法は、例えば機械加工する際に用
いる加工治具と同一支持構造をした検査用治具に被測定
物を載せ、機械加工を想定した寸法に仕上げた限界ゲー
ジを加工対象面に当てて所定寸法に入っているかを目視
検査するものである(第一の方法)。また自動で測定す
る方法として、前記と同様の検査治具上に載せた被測定
物に対して、測定部位の変位が検出できるように各種変
位センサーをセットしておき、予め前記部位の変位量が
分かっているマスターワークを測定し、被測定物の測定
値と比較する方法がある(第二の方法)。
は多数の部位の変位を測定しなければならず面倒であ
り、後工程で機械加工を行うものについては、機械加工
で加工できる範囲にあるかどうかを判定する簡易測定で
対応している。この方法は、例えば機械加工する際に用
いる加工治具と同一支持構造をした検査用治具に被測定
物を載せ、機械加工を想定した寸法に仕上げた限界ゲー
ジを加工対象面に当てて所定寸法に入っているかを目視
検査するものである(第一の方法)。また自動で測定す
る方法として、前記と同様の検査治具上に載せた被測定
物に対して、測定部位の変位が検出できるように各種変
位センサーをセットしておき、予め前記部位の変位量が
分かっているマスターワークを測定し、被測定物の測定
値と比較する方法がある(第二の方法)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】鋳造部品、特に扁平な
ものは鋳造時又は熱処理時に歪み易い上、各部位の変位
と全体の三次元的歪みの関係は複雑である。さらに、近
年扁平な鋳造部品の種類は多く、形状も多岐にわたる
上、製品のライフサイクルも短い。これに対して、測定
者の技能に頼る第一の方法は、技能の習熟が間に合わ
ず、目視検査精度の信頼性に問題がある。また第二の方
法は、対象製品が変わる毎に変位センサーの取り付け状
態を変更しなければならない。しかし、一つの測定部位
に対して1カ所以上、望ましくは直交する2カ所の測定
が必要であることから、多数の測定部位に対して変位セ
ンサーの位置調整をすることは非常に難しく、測定部位
数が少なくなりがちで、測定精度が低下するという問題
がある。本発明の目的は、測定者の技能に頼らず、かつ
対象製品及び測定部位の変更に対しても容易に変位測定
ができるような歪み測定方法及び測定装置を提供するこ
とである。
ものは鋳造時又は熱処理時に歪み易い上、各部位の変位
と全体の三次元的歪みの関係は複雑である。さらに、近
年扁平な鋳造部品の種類は多く、形状も多岐にわたる
上、製品のライフサイクルも短い。これに対して、測定
者の技能に頼る第一の方法は、技能の習熟が間に合わ
ず、目視検査精度の信頼性に問題がある。また第二の方
法は、対象製品が変わる毎に変位センサーの取り付け状
態を変更しなければならない。しかし、一つの測定部位
に対して1カ所以上、望ましくは直交する2カ所の測定
が必要であることから、多数の測定部位に対して変位セ
ンサーの位置調整をすることは非常に難しく、測定部位
数が少なくなりがちで、測定精度が低下するという問題
がある。本発明の目的は、測定者の技能に頼らず、かつ
対象製品及び測定部位の変更に対しても容易に変位測定
ができるような歪み測定方法及び測定装置を提供するこ
とである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の歪み測定方法
は、被測定物の複数の測定部にスリット光を照射してス
リット像を形成し、画像処理カメラで撮像し、各測定部
の変位を算出することによって被測定物の歪みを測定す
る歪み測定方法において、測定部と上面が平面で既知の
幅寸法を持った測定基準ボス上面に、前記幅方向に横断
するようにスリット光を照射し、測定基準ボスの既知の
実際の幅寸法とその撮像寸法から、測定基準ボス上面に
おける測定倍率を求め、この測定倍率と画像処理カメラ
固有のレンズ・撮像素子間寸法から、レンズと測定基準
ボス上面までのレンズ測定面間距離を求め、前記で求め
た測定倍率とレンズ測定面間距離、及びスリット光の照
射光軸と画像処理カメラへの入射光軸の配置関係から得
ることができる段差間に生じるスリット像とレンズ位置
関係をもとに、実際の段差量と撮像値の関係式を求め、
前記段差量と撮像値の関係式をもとに、測定部の撮像値
から測定基準ボス上面を基準にした実際の変位量を求め
ることを特徴としている。被測定物が鋳造品である場合
は、測定部の中の予め決めた検出すべき特徴点を、スリ
ット像を測定部表面形状に合わせて設定した関数で曲線
近似化し、曲線上で前記特徴点に相当する点を求め、こ
の点に対応するスリット像上の点で設定する。また本発
明の歪み測定装置は、被測定物の複数の測定部にスリッ
ト光を照射してスリット像を形成し、画像処理カメラで
撮像し、各測定部の変位を算出することによって被測定
物の歪みを測定する歪み測定装置において、スリット光
照射手段とスリット像撮像手段を所定の位置関係に保持
した計測部と、計測部を任意の位置と姿勢に移動させる
ロボットと、被測定物を位置決めするワーク保持治具
と、被測定部の測定部の近傍所定位置に設けた測定基準
ボスと、撮像手段から入力されるスリット像をもとに測
定部の変位を求め、被測定物の歪みを算出する制御装置
とを備えていることを特徴としている。
は、被測定物の複数の測定部にスリット光を照射してス
リット像を形成し、画像処理カメラで撮像し、各測定部
の変位を算出することによって被測定物の歪みを測定す
る歪み測定方法において、測定部と上面が平面で既知の
幅寸法を持った測定基準ボス上面に、前記幅方向に横断
するようにスリット光を照射し、測定基準ボスの既知の
実際の幅寸法とその撮像寸法から、測定基準ボス上面に
おける測定倍率を求め、この測定倍率と画像処理カメラ
固有のレンズ・撮像素子間寸法から、レンズと測定基準
ボス上面までのレンズ測定面間距離を求め、前記で求め
た測定倍率とレンズ測定面間距離、及びスリット光の照
射光軸と画像処理カメラへの入射光軸の配置関係から得
ることができる段差間に生じるスリット像とレンズ位置
関係をもとに、実際の段差量と撮像値の関係式を求め、
前記段差量と撮像値の関係式をもとに、測定部の撮像値
から測定基準ボス上面を基準にした実際の変位量を求め
ることを特徴としている。被測定物が鋳造品である場合
は、測定部の中の予め決めた検出すべき特徴点を、スリ
ット像を測定部表面形状に合わせて設定した関数で曲線
近似化し、曲線上で前記特徴点に相当する点を求め、こ
の点に対応するスリット像上の点で設定する。また本発
明の歪み測定装置は、被測定物の複数の測定部にスリッ
ト光を照射してスリット像を形成し、画像処理カメラで
撮像し、各測定部の変位を算出することによって被測定
物の歪みを測定する歪み測定装置において、スリット光
照射手段とスリット像撮像手段を所定の位置関係に保持
した計測部と、計測部を任意の位置と姿勢に移動させる
ロボットと、被測定物を位置決めするワーク保持治具
と、被測定部の測定部の近傍所定位置に設けた測定基準
ボスと、撮像手段から入力されるスリット像をもとに測
定部の変位を求め、被測定物の歪みを算出する制御装置
とを備えていることを特徴としている。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、被測定物として鋳造部品を
例にして説明する。図1に本発明の歪み測定装置の構成
例を示す。基台20上にロボット2とワーク保持治具4
を設ける。ロボット2は、θ1からθ5までの5つの回
転軸と、上下移動の上下軸、総計6軸にて構成されてお
り、ロボット2先端の回転軸θ5軸に計測部1を取り付
ける。従って計測部1は、任意の位置及び姿勢を取るこ
とができる。計測部1は画像処理用カメラ5とレーザ光
源6とを備えている。計測部1の配置例を図2に示す
が、測定面9に照射したスリット光8を所定角度から撮
像できるように、レーザ光源6と画像処理カメラ5をブ
ラケット10上に所定相対位置となるように配置する。
測定対象の鋳造部品3は、ワーク保持治具4に位置決め
載置される。図10に示すように、鋳造部品3の測定部
近傍所定位置に、上面が平面の測定部の基準となる測定
基準ボスを設ける。後述するように画像処理カメラ5で
撮像したスリット像をもとに測定部の変位を求め、被測
定物の歪みを算出する制御装置(図示せず)を設ける。
例にして説明する。図1に本発明の歪み測定装置の構成
例を示す。基台20上にロボット2とワーク保持治具4
を設ける。ロボット2は、θ1からθ5までの5つの回
転軸と、上下移動の上下軸、総計6軸にて構成されてお
り、ロボット2先端の回転軸θ5軸に計測部1を取り付
ける。従って計測部1は、任意の位置及び姿勢を取るこ
とができる。計測部1は画像処理用カメラ5とレーザ光
源6とを備えている。計測部1の配置例を図2に示す
が、測定面9に照射したスリット光8を所定角度から撮
像できるように、レーザ光源6と画像処理カメラ5をブ
ラケット10上に所定相対位置となるように配置する。
測定対象の鋳造部品3は、ワーク保持治具4に位置決め
載置される。図10に示すように、鋳造部品3の測定部
近傍所定位置に、上面が平面の測定部の基準となる測定
基準ボスを設ける。後述するように画像処理カメラ5で
撮像したスリット像をもとに測定部の変位を求め、被測
定物の歪みを算出する制御装置(図示せず)を設ける。
【0006】次に測定原理について説明する。図3に示
すように、画像処理カメラ5のカメラレンズと測定面の
垂直方向距離(以降、レンズ測定面間距離と呼ぶ)を
L、カメラレンズと撮像部であるCCD面の距離をL0
とすると、Lは設定値で既知であり、L0は画像処理カ
メラ5固有の値で既知であり、これよりこの測定面にお
ける測定倍率NLを次のように求めることができる。な
おこれは実験的にも求めることはできる。 NL=L/L0 また、レンズ測定面間距離がGだけ変化しL+Gとなっ
た時は、この測定面での測定倍率NGは次のように表す
ことができる。 NG=NL×(1+G/L) これより、CCD上の測定対象物撮像長さとこの測定倍
率を用いて、測定面上の実際の長さを求めることができ
る。逆にレンズ測定面間距離をLとなるようにして撮像
すると、該測定面上の長さだけでなく後述するように視
野内にある凹凸寸法及びこの面上の実際の長さを補正し
て求めることができる。
すように、画像処理カメラ5のカメラレンズと測定面の
垂直方向距離(以降、レンズ測定面間距離と呼ぶ)を
L、カメラレンズと撮像部であるCCD面の距離をL0
とすると、Lは設定値で既知であり、L0は画像処理カ
メラ5固有の値で既知であり、これよりこの測定面にお
ける測定倍率NLを次のように求めることができる。な
おこれは実験的にも求めることはできる。 NL=L/L0 また、レンズ測定面間距離がGだけ変化しL+Gとなっ
た時は、この測定面での測定倍率NGは次のように表す
ことができる。 NG=NL×(1+G/L) これより、CCD上の測定対象物撮像長さとこの測定倍
率を用いて、測定面上の実際の長さを求めることができ
る。逆にレンズ測定面間距離をLとなるようにして撮像
すると、該測定面上の長さだけでなく後述するように視
野内にある凹凸寸法及びこの面上の実際の長さを補正し
て求めることができる。
【0007】以下、画像処理カメラ5とレーザ光源6の
配置の違いによる、CCD上の撮像長さと測定面上の実
際の長さの関係の違いについて、図4〜図8を参照しな
がら説明する。図4はモデルワークの凹凸面(A〜E
面)を横断するようにスリット光8を照射したときの、
A〜E面に生じたスリット像11(11a〜11e)を
表している。B及びD面は同一高さの凸面、A・C及び
E面はB及びD面から同一段差Hをなす凹面であり、以
後代表してB面とC面に対して説明する。B面の実際の
幅に相当するスリット像11bの長さS、C面の実際の
幅に相当するスリット像11cの長さW、及びB面とC
面の実際の段差Hに対し、図5で示すように画像処理カ
メラ5のCCD上に撮像されたスリット像(以降撮像線
と称す)の長さを各々s、w及び段差Hに相当する撮像
線の間隔をhとする。
配置の違いによる、CCD上の撮像長さと測定面上の実
際の長さの関係の違いについて、図4〜図8を参照しな
がら説明する。図4はモデルワークの凹凸面(A〜E
面)を横断するようにスリット光8を照射したときの、
A〜E面に生じたスリット像11(11a〜11e)を
表している。B及びD面は同一高さの凸面、A・C及び
E面はB及びD面から同一段差Hをなす凹面であり、以
後代表してB面とC面に対して説明する。B面の実際の
幅に相当するスリット像11bの長さS、C面の実際の
幅に相当するスリット像11cの長さW、及びB面とC
面の実際の段差Hに対し、図5で示すように画像処理カ
メラ5のCCD上に撮像されたスリット像(以降撮像線
と称す)の長さを各々s、w及び段差Hに相当する撮像
線の間隔をhとする。
【0008】まず図5に示す配置Xの場合について、図
6を参照しながら説明する。画像処理カメラ5の光軸7
とレーザ光源6のスリット光8が45°の角度を成して
交差し、かつカメラ光軸7が測定面に対し鉛直を成して
いる。画像処理カメラ5を、B面に対しレンズ測定面間
距離がLとなるように位置決めする。C面に対するレン
ズ測定面間距離はL+Gとなるので、上述したようにB
面上のスリット像11bに対しては測定倍率NLを用
い、C面上のスリット像11cについては測定倍率NG
を用いて計算する。即ちS・W・Hとs・w・hの関係
は次のように表すことができる。前記したようにCCD
上の撮像線間隔hは、カメラレンズに相対した水平方向
のB面とC面に生づるスリット像の間隔Jに相当する。
即ち本配置ではJ=NG×hであり、当然ながらJはH
の関数である。 S=NL×s …(1) W=NG×w=NL×(1+G/L)×w …(2) H=J=NG×h=NL×(1+G/L)×h …(3) 実際の測定においては、NL及びLを既知とするように
条件を設定する。J及びGは画像処理カメラ5とレーザ
光源6の配置からHに換算できるので、CCD上の撮像
値をもとにS・W・H全てを計算で求めることができ
る。例えばHについては本配置ではH=Gであり、上記
式3を変換した下式で求めることができる。 H=(L×NL×h)/(L−NL×h) …(4)
6を参照しながら説明する。画像処理カメラ5の光軸7
とレーザ光源6のスリット光8が45°の角度を成して
交差し、かつカメラ光軸7が測定面に対し鉛直を成して
いる。画像処理カメラ5を、B面に対しレンズ測定面間
距離がLとなるように位置決めする。C面に対するレン
ズ測定面間距離はL+Gとなるので、上述したようにB
面上のスリット像11bに対しては測定倍率NLを用
い、C面上のスリット像11cについては測定倍率NG
を用いて計算する。即ちS・W・Hとs・w・hの関係
は次のように表すことができる。前記したようにCCD
上の撮像線間隔hは、カメラレンズに相対した水平方向
のB面とC面に生づるスリット像の間隔Jに相当する。
即ち本配置ではJ=NG×hであり、当然ながらJはH
の関数である。 S=NL×s …(1) W=NG×w=NL×(1+G/L)×w …(2) H=J=NG×h=NL×(1+G/L)×h …(3) 実際の測定においては、NL及びLを既知とするように
条件を設定する。J及びGは画像処理カメラ5とレーザ
光源6の配置からHに換算できるので、CCD上の撮像
値をもとにS・W・H全てを計算で求めることができ
る。例えばHについては本配置ではH=Gであり、上記
式3を変換した下式で求めることができる。 H=(L×NL×h)/(L−NL×h) …(4)
【0009】配置Yの場合、すなわち画像処理カメラ5
の光軸7とレーザ光源6のスリット光8がB面で90°
の角度をなして交差し、カメラ光軸7が測定面に対し4
5°の角度で置かれている。この時は図7に示すよう
に、B面に対しレンズ測定面間距離がLとなるように位
置決めすると、C面に対するレンズ測定面間距離もLと
同一となるために、CCD上の撮像長さは測定倍率NL
だけを用いて次のように表すことができる。なお本配置
ではJ=NL×hである。 S=NL×s W=NL×w H=J/√2=NL×h/√2 なおカメラ光軸7と測定面Bのなす角度は、45°に限
らず適宜な角度をとることができる。ただしこの時は上
記式は設定した角度に応じた数式に変更する必要があ
る。
の光軸7とレーザ光源6のスリット光8がB面で90°
の角度をなして交差し、カメラ光軸7が測定面に対し4
5°の角度で置かれている。この時は図7に示すよう
に、B面に対しレンズ測定面間距離がLとなるように位
置決めすると、C面に対するレンズ測定面間距離もLと
同一となるために、CCD上の撮像長さは測定倍率NL
だけを用いて次のように表すことができる。なお本配置
ではJ=NL×hである。 S=NL×s W=NL×w H=J/√2=NL×h/√2 なおカメラ光軸7と測定面Bのなす角度は、45°に限
らず適宜な角度をとることができる。ただしこの時は上
記式は設定した角度に応じた数式に変更する必要があ
る。
【0010】次に配置Zの場合に関して説明する。配置
Zは配置Xの逆、すなわちレーザ光源6のスリット光8
が測定面に対し鉛直に置かれている場合で、図8に示す
ように、B面に対しレンズ測定面間距離がLとなるよう
に位置決めすると、C面に対するレンズ測定面間距離は
L+Gとなるので、前述した配置Xの場合と同様にB面
上のスリット像11bに対しては測定倍率NLを用い、
C面上のスリット像11cについては測定倍率NGを用
いて計算する。なおJ=NG×hである。 S=NL×s W=NG×w=NL×(1+G/L)×w H=√2J=√2NG×h=√2NL×(1+G/L)×
h 本配置においてはG=√2Hであり、上式のGはHに置
換えることができる。以上画像処理カメラ5とレーザ光
源6の幾何学的配置例を3例示したが、これに限定され
るものでなく、計測部1を構成する画像処理カメラ5と
レーザ光源6の幾何学的配置スペース等の条件から適宜
に選択すれば良い。
Zは配置Xの逆、すなわちレーザ光源6のスリット光8
が測定面に対し鉛直に置かれている場合で、図8に示す
ように、B面に対しレンズ測定面間距離がLとなるよう
に位置決めすると、C面に対するレンズ測定面間距離は
L+Gとなるので、前述した配置Xの場合と同様にB面
上のスリット像11bに対しては測定倍率NLを用い、
C面上のスリット像11cについては測定倍率NGを用
いて計算する。なおJ=NG×hである。 S=NL×s W=NG×w=NL×(1+G/L)×w H=√2J=√2NG×h=√2NL×(1+G/L)×
h 本配置においてはG=√2Hであり、上式のGはHに置
換えることができる。以上画像処理カメラ5とレーザ光
源6の幾何学的配置例を3例示したが、これに限定され
るものでなく、計測部1を構成する画像処理カメラ5と
レーザ光源6の幾何学的配置スペース等の条件から適宜
に選択すれば良い。
【0011】次に、このような画像処理カメラ5とレー
ザ光源6とを備えた計測部1をロボット2の先端のハン
ド部に取り付け、ワーク保持治具4に保持した鋳造部品
3の歪みを測定する方法について説明する。ここで画像
処理カメラ5とレーザ光源6の配置は、前述した配置X
とする。
ザ光源6とを備えた計測部1をロボット2の先端のハン
ド部に取り付け、ワーク保持治具4に保持した鋳造部品
3の歪みを測定する方法について説明する。ここで画像
処理カメラ5とレーザ光源6の配置は、前述した配置X
とする。
【0012】図9に測定対象の鋳造部品3の平面図を示
す。以下、左右及び上下は、紙面に対し垂直方向から見
たときの方向を称するものとする。厚さ方向(図示せ
ず)が薄い扁平形状をしており、二股に分かれた部材の
二つの先端部α・β部は、紙面の上下方向に垂直に切っ
た断面が円形をした円柱形状をしている。ワーク保持治
具4に対し、鋳造部品(以下ワークと称する)3をα・
β・γの三つの部分で平面的に支持し、二股に分かれた
部材の一端側面δ部で左右方向に、上部ε部で上下方向
に位置決めする。なおα及びβ部をV形状で受ければ、
ε部での位置決めは省いても良い。以下前記二股に分か
れた部材のうち先端部β部を例に、左右方向ねじれη及
び左右方向のズレμを測定する方法を述べる。
す。以下、左右及び上下は、紙面に対し垂直方向から見
たときの方向を称するものとする。厚さ方向(図示せ
ず)が薄い扁平形状をしており、二股に分かれた部材の
二つの先端部α・β部は、紙面の上下方向に垂直に切っ
た断面が円形をした円柱形状をしている。ワーク保持治
具4に対し、鋳造部品(以下ワークと称する)3をα・
β・γの三つの部分で平面的に支持し、二股に分かれた
部材の一端側面δ部で左右方向に、上部ε部で上下方向
に位置決めする。なおα及びβ部をV形状で受ければ、
ε部での位置決めは省いても良い。以下前記二股に分か
れた部材のうち先端部β部を例に、左右方向ねじれη及
び左右方向のズレμを測定する方法を述べる。
【0013】図10に、ワーク保持治具4に保持したワ
ーク3のβ部付近の詳細を示す。ワーク保持治具4のβ
部左右端に近接した場所に、測定基準ボス21及び22
を、所定の左右方向幅寸法を持った標準ワークに対して
所定の間隔W0を有するように各々配設する。測定基準
ボス21は、その上面は平面であり、その高さはワーク
3に歪みの無い場合にβ部の左方部頂点P1と同一のレ
ベルになるようにする。その平面部左右方向幅寸法S1
は既知の値である。測定基準ボス22に対しても同様で
ある。まず視野ρに対して、測定基準ボス21に対する
β部の左方部における段差及び間隔を求め、次に視野σ
について測定基準ボス22に対するβ部の右方部におけ
る段差及び間隔を求め、これをもとに先端部β部の左右
方向ねじれη及び左右方向のズレμを計算する以下、説
明を簡単にするために視野ρについてのみ、段差及び間
隔の求め方を説明する。また、図10では視野をρ及び
σの二カ所に分けているが、視野の数は画像処理分解
能、すなわちどれ程の精度で測定するかで決まり、測定
精度が低くても良い場合にはρとσが一つの視野に入る
ようにして同様な処理をしてもよい。
ーク3のβ部付近の詳細を示す。ワーク保持治具4のβ
部左右端に近接した場所に、測定基準ボス21及び22
を、所定の左右方向幅寸法を持った標準ワークに対して
所定の間隔W0を有するように各々配設する。測定基準
ボス21は、その上面は平面であり、その高さはワーク
3に歪みの無い場合にβ部の左方部頂点P1と同一のレ
ベルになるようにする。その平面部左右方向幅寸法S1
は既知の値である。測定基準ボス22に対しても同様で
ある。まず視野ρに対して、測定基準ボス21に対する
β部の左方部における段差及び間隔を求め、次に視野σ
について測定基準ボス22に対するβ部の右方部におけ
る段差及び間隔を求め、これをもとに先端部β部の左右
方向ねじれη及び左右方向のズレμを計算する以下、説
明を簡単にするために視野ρについてのみ、段差及び間
隔の求め方を説明する。また、図10では視野をρ及び
σの二カ所に分けているが、視野の数は画像処理分解
能、すなわちどれ程の精度で測定するかで決まり、測定
精度が低くても良い場合にはρとσが一つの視野に入る
ようにして同様な処理をしてもよい。
【0014】ロボット2の先端をワーク3方向に移動
し、画像処理カメラ5の視野が図10に示すρになるよ
うに位置決め停止する。レーザ光源6からのスリット光
8は左右方向に照射され、測定基準ボス21上面とβ部
左方にスリット像11が生じる。測定基準ボス21上面
のスリット像は直線となるが、β部左方のスリット像1
1は、照射されている部分の形状に応じた曲線となる。
図11(a)に、ワーク3が歪んでいるときのスリット
像11を、画像処理カメラ5で撮像したときのCCDに
撮像された撮像線の一例を示す。もしワーク3に歪みが
なければ、測定基準ボス21上のスリット像の延長線上
に、β部の左方部頂点P1を通るスリット像があるよう
に撮像されることになるが、図11(a)では上下にズ
レており段差があることがわかる。CCD上の撮像寸法
s1及びw1は、各々実際の測定基準ボス21の上面平
面部幅S1及び測定基準ボス21の右端面とβ部の左端
面の間隔W1に相当する。また、撮像寸法h1及びh2
は、測定基準ボス21上のスリット像延長線上から垂直
方向に測った実際の測定基準ボス21上面からβ部のス
リット像切端までの段差H1及び頂点P1までの段差H
2に相当する。
し、画像処理カメラ5の視野が図10に示すρになるよ
うに位置決め停止する。レーザ光源6からのスリット光
8は左右方向に照射され、測定基準ボス21上面とβ部
左方にスリット像11が生じる。測定基準ボス21上面
のスリット像は直線となるが、β部左方のスリット像1
1は、照射されている部分の形状に応じた曲線となる。
図11(a)に、ワーク3が歪んでいるときのスリット
像11を、画像処理カメラ5で撮像したときのCCDに
撮像された撮像線の一例を示す。もしワーク3に歪みが
なければ、測定基準ボス21上のスリット像の延長線上
に、β部の左方部頂点P1を通るスリット像があるよう
に撮像されることになるが、図11(a)では上下にズ
レており段差があることがわかる。CCD上の撮像寸法
s1及びw1は、各々実際の測定基準ボス21の上面平
面部幅S1及び測定基準ボス21の右端面とβ部の左端
面の間隔W1に相当する。また、撮像寸法h1及びh2
は、測定基準ボス21上のスリット像延長線上から垂直
方向に測った実際の測定基準ボス21上面からβ部のス
リット像切端までの段差H1及び頂点P1までの段差H
2に相当する。
【0015】このときの測定基準ボス21上平面におけ
る測定倍率NSは、既知寸法S1とCCD上の撮像寸法
s1から式1を変換し次のように求めることができる。 NS=S1/s1 また前述したように、カメラレンズとCCD部の距離L
0は既知であり、測定倍率がわかればこのときのレンズ
測定面間距離Lを求めることができる。レンズ測定面間
距離Lと測定倍率NSがわかれば、測定値h1及びh2
から式4を使用して下記のように実際の段差H1及びH
2を求めることができる。 H1=(L×NS×h1)/(L−NS×h1) H2=(L×NS×h2)/(L−NS×h2) また前記間隔W1は、測定値w1及び上記で求めたH2
から式2を使用して次のように求めることができる。 W1=NS×(1+H2/L)×w1
る測定倍率NSは、既知寸法S1とCCD上の撮像寸法
s1から式1を変換し次のように求めることができる。 NS=S1/s1 また前述したように、カメラレンズとCCD部の距離L
0は既知であり、測定倍率がわかればこのときのレンズ
測定面間距離Lを求めることができる。レンズ測定面間
距離Lと測定倍率NSがわかれば、測定値h1及びh2
から式4を使用して下記のように実際の段差H1及びH
2を求めることができる。 H1=(L×NS×h1)/(L−NS×h1) H2=(L×NS×h2)/(L−NS×h2) また前記間隔W1は、測定値w1及び上記で求めたH2
から式2を使用して次のように求めることができる。 W1=NS×(1+H2/L)×w1
【0016】次に計測部1をロボット2で移動し、視野
σに対し図11(b)に示すs2・w2・h3・h4を
CCD上で計測し、これから前述したと同様にして実際
の段差及び間隔を求める。視野ρ及びσ各々で前記各々
の値が求められると、予めわかっている標準ワークと測
定基準ボス21及び22の間隔W0をもとに、先端部β
部の左右方向のズレμ及び左右方向ねじれηを計算する
ことができる。その後α部についても同様な測定をして
いく。このようにして予め決めたワーク3の各部で測定
データを蓄積し処理すれば、最終的なワーク3の三次元
的な歪みを算出できる。以上説明した方法では、各測定
部周辺に測定基準ボスを設ける必要があるが、測定基準
ボスが基準になり、測定精度はロボット2の位置決め精
度には左右されない。
σに対し図11(b)に示すs2・w2・h3・h4を
CCD上で計測し、これから前述したと同様にして実際
の段差及び間隔を求める。視野ρ及びσ各々で前記各々
の値が求められると、予めわかっている標準ワークと測
定基準ボス21及び22の間隔W0をもとに、先端部β
部の左右方向のズレμ及び左右方向ねじれηを計算する
ことができる。その後α部についても同様な測定をして
いく。このようにして予め決めたワーク3の各部で測定
データを蓄積し処理すれば、最終的なワーク3の三次元
的な歪みを算出できる。以上説明した方法では、各測定
部周辺に測定基準ボスを設ける必要があるが、測定基準
ボスが基準になり、測定精度はロボット2の位置決め精
度には左右されない。
【0017】もしワーク3の目標測定精度に対しロボッ
ト2の位置再現性が無視できる程に良い場合、例えばレ
ンズ測定面間距離の位置再現精度が良好であるならば、
以下に示す方法で測定することもできる。まず歪みがな
いマスターワークをワーク保持治具4にセットする。こ
のときマスターワークの測定対象部位置、特に高さ方向
位置データは、ロボット2に入力しておく。前述したと
同様にして画像処理カメラ5で撮像処理するが、以下前
述と異なる処理を中心に説明する。
ト2の位置再現性が無視できる程に良い場合、例えばレ
ンズ測定面間距離の位置再現精度が良好であるならば、
以下に示す方法で測定することもできる。まず歪みがな
いマスターワークをワーク保持治具4にセットする。こ
のときマスターワークの測定対象部位置、特に高さ方向
位置データは、ロボット2に入力しておく。前述したと
同様にして画像処理カメラ5で撮像処理するが、以下前
述と異なる処理を中心に説明する。
【0018】マスターワークのβ部の視野ρにおいて、
前記頂点P1に対しレンズ測定面間距離がLとなるよう
に計測部1を位置決めして撮像し、そのスリット像を記
憶する。次に視野σにおいて、前記頂点P2に対しレン
ズ測定面間距離がLとなるように計測部1を位置決めし
て撮像し、そのスリット像を記憶する。以下次々にレン
ズ測定面間距離がLとなるように測定対象部へ計測部1
を移動して撮像し、そのスリット像を記憶しておく。こ
こで、前述したようにしてレンズ測定面間距離がLの場
合の測定倍率NLを予め求めておく。次に、実際に測定
するワーク3をワーク保持治具4にセットし、マスター
ワークを撮像したと同じ位置に計測部1を移動位置決め
し、そのスリット像を記憶してゆく。図12に視野ρに
おける、マスターワークと実測定ワークの撮像線を重ね
合わせた状態を示す。実ワークに歪みが生じておれば、
本図に示すように両撮像線は一致しない。
前記頂点P1に対しレンズ測定面間距離がLとなるよう
に計測部1を位置決めして撮像し、そのスリット像を記
憶する。次に視野σにおいて、前記頂点P2に対しレン
ズ測定面間距離がLとなるように計測部1を位置決めし
て撮像し、そのスリット像を記憶する。以下次々にレン
ズ測定面間距離がLとなるように測定対象部へ計測部1
を移動して撮像し、そのスリット像を記憶しておく。こ
こで、前述したようにしてレンズ測定面間距離がLの場
合の測定倍率NLを予め求めておく。次に、実際に測定
するワーク3をワーク保持治具4にセットし、マスター
ワークを撮像したと同じ位置に計測部1を移動位置決め
し、そのスリット像を記憶してゆく。図12に視野ρに
おける、マスターワークと実測定ワークの撮像線を重ね
合わせた状態を示す。実ワークに歪みが生じておれば、
本図に示すように両撮像線は一致しない。
【0019】視野ρにおいて、前述したようにレンズ測
定面間距離Lと測定倍率NLがわかっており、測定値h
1及びh2から前記式4を使用して実際の各々の段差H
1及びH2を求めることができる。 H1=(L×NL×h1)/(L−NL×h1) H2=(L×NL×h2)/(L−NL×h2) また間隔W1は、測定値w1及び上記で求めたH1から
前記式2を使用して次のように求めることができる。 W1=NL×(1+H1/L)×w1 視野ρにおいても同様して段差及び間隔を求めることが
できる。これら求めた値と、予め既知のマスターワーク
の頂点を基準とした端部までの寸法とから、前述したと
同様にβ部の左右方向ねじれ及び左右方向のズレを計算
することができる。このようにして予め決めたワークの
各部で測定データを蓄積し処理すれば、最終的な鋳造部
品3の三次元的な歪みを測定できる。この場合にはロボ
ット2の位置決めは高精度が要求されるが、各測定部に
測定基準ボスを設ける必要はなく、測定個所に測定基準
ボスを設けられない場合や、測定基準ボスが作業上邪魔
になる場合に有効である。なお、基準ボスを設けてもよ
い場合には、基準ボスをマスターワークとして用いるこ
ともできる。
定面間距離Lと測定倍率NLがわかっており、測定値h
1及びh2から前記式4を使用して実際の各々の段差H
1及びH2を求めることができる。 H1=(L×NL×h1)/(L−NL×h1) H2=(L×NL×h2)/(L−NL×h2) また間隔W1は、測定値w1及び上記で求めたH1から
前記式2を使用して次のように求めることができる。 W1=NL×(1+H1/L)×w1 視野ρにおいても同様して段差及び間隔を求めることが
できる。これら求めた値と、予め既知のマスターワーク
の頂点を基準とした端部までの寸法とから、前述したと
同様にβ部の左右方向ねじれ及び左右方向のズレを計算
することができる。このようにして予め決めたワークの
各部で測定データを蓄積し処理すれば、最終的な鋳造部
品3の三次元的な歪みを測定できる。この場合にはロボ
ット2の位置決めは高精度が要求されるが、各測定部に
測定基準ボスを設ける必要はなく、測定個所に測定基準
ボスを設けられない場合や、測定基準ボスが作業上邪魔
になる場合に有効である。なお、基準ボスを設けてもよ
い場合には、基準ボスをマスターワークとして用いるこ
ともできる。
【0020】ところで、鋳造部品は表面がザラついて画
像計測における光学的ノイズとなり、また端面にはバリ
等の異物が発生し易く、測定基準ボスと被測定物との間
隔Wおよび段差Hを求める場合に正確な測定の障害とな
る。以下、画像処理にてこれらのノイズやバリの影響を
抑制し、信頼性高く測定する方法について説明する。
像計測における光学的ノイズとなり、また端面にはバリ
等の異物が発生し易く、測定基準ボスと被測定物との間
隔Wおよび段差Hを求める場合に正確な測定の障害とな
る。以下、画像処理にてこれらのノイズやバリの影響を
抑制し、信頼性高く測定する方法について説明する。
【0021】前述したように鋳造部品にはバリが発生し
易く、この形状を予測することは不可能である。また、
バリを含む鋳造部品とそうでない鋳造部品ではスリット
像切端の位置が大きく異なる。その様子を図13に示
す。このように、鋳造部品の場合、測定基準ボスとスリ
ット像切端の距離をそのまま測定し間隔とすると、バリ
の影響により誤差が生じてしまう。上記問題を回避する
ために、間隔の測定にはスリット像切端ではなく、スリ
ット像のうち鋳造部品が平面部から端面に落ち込むコー
ナー部であるスリット像屈曲点を用いることにする。ス
リット像屈曲点は、鋳造部品側の撮像線に対し、接線傾
きをX軸方向に走査していき、それが設定したしきい値
を超えるあるいは下回る点を撮像線屈曲点として求め、
これをもとに前述した方法で算出する。図13および図
14にスリット像屈曲点を示す。図14に示すように、
測定基準ボスと屈曲点の距離を新しい間隔として測定す
れば、バリ等の異物の影響を受けずに、信頼性高く間隔
を測定できる。
易く、この形状を予測することは不可能である。また、
バリを含む鋳造部品とそうでない鋳造部品ではスリット
像切端の位置が大きく異なる。その様子を図13に示
す。このように、鋳造部品の場合、測定基準ボスとスリ
ット像切端の距離をそのまま測定し間隔とすると、バリ
の影響により誤差が生じてしまう。上記問題を回避する
ために、間隔の測定にはスリット像切端ではなく、スリ
ット像のうち鋳造部品が平面部から端面に落ち込むコー
ナー部であるスリット像屈曲点を用いることにする。ス
リット像屈曲点は、鋳造部品側の撮像線に対し、接線傾
きをX軸方向に走査していき、それが設定したしきい値
を超えるあるいは下回る点を撮像線屈曲点として求め、
これをもとに前述した方法で算出する。図13および図
14にスリット像屈曲点を示す。図14に示すように、
測定基準ボスと屈曲点の距離を新しい間隔として測定す
れば、バリ等の異物の影響を受けずに、信頼性高く間隔
を測定できる。
【0022】次に、撮像線屈曲点及び撮像線頂点を設定
する方法について説明する。図11に示す撮像線は変曲
点を連ねた線であり、変曲点はスリット像をCCDカメ
ラで撮像し、図15(a)に示すように撮像素子内でY軸
方向に走査し、しきい値より輝度の高い点を検出したも
ので、これをX軸方向についてインクリメントして、図
15(b)に示すような変曲点群を得る。
する方法について説明する。図11に示す撮像線は変曲
点を連ねた線であり、変曲点はスリット像をCCDカメ
ラで撮像し、図15(a)に示すように撮像素子内でY軸
方向に走査し、しきい値より輝度の高い点を検出したも
ので、これをX軸方向についてインクリメントして、図
15(b)に示すような変曲点群を得る。
【0023】上記の方法で求めた変曲点群は、前述した
ように鋳造部品特有のノイズを含んでおりなめらかな撮
像線を形成しない。このノイズの影響を受けずに撮像線
屈曲点および頂点を検出するため、この変曲点群を予め
設定した表面形状に対応する関数で曲線近似し、求めら
れた近似曲線をもとに撮像線屈曲点および頂点を求め
る。
ように鋳造部品特有のノイズを含んでおりなめらかな撮
像線を形成しない。このノイズの影響を受けずに撮像線
屈曲点および頂点を検出するため、この変曲点群を予め
設定した表面形状に対応する関数で曲線近似し、求めら
れた近似曲線をもとに撮像線屈曲点および頂点を求め
る。
【0024】撮像線屈曲点の設定では、まず屈曲部分近
傍の変曲点群をN次曲線あるいは円曲線にて近似しなめ
らかな曲線にする。図16(a)に近似処理前の屈曲部の
変曲点群、図16(b)にN次曲線近似後の曲線を形成す
る新しい変曲点群を示す。次に、新しい変曲点各点の傾
きを算出し、その傾きをX軸方向に走査し、傾きがしき
い値を超えるあるいは下回る点を検出する。これを仮屈
曲点とする。図16(c)にその様子を示す。次に、近似
処理前の変曲点群の中から、この仮屈曲点に対応する点
を求めて屈曲点とする。図16(d)に屈曲点を示す。
傍の変曲点群をN次曲線あるいは円曲線にて近似しなめ
らかな曲線にする。図16(a)に近似処理前の屈曲部の
変曲点群、図16(b)にN次曲線近似後の曲線を形成す
る新しい変曲点群を示す。次に、新しい変曲点各点の傾
きを算出し、その傾きをX軸方向に走査し、傾きがしき
い値を超えるあるいは下回る点を検出する。これを仮屈
曲点とする。図16(c)にその様子を示す。次に、近似
処理前の変曲点群の中から、この仮屈曲点に対応する点
を求めて屈曲点とする。図16(d)に屈曲点を示す。
【0025】撮像線頂点の設定では、まず頂点部分の変
曲点群をN次曲線にて近似しなめらかな曲線にする。図
17(a)に近似処理前の頂点部の変曲点群、図17(b)
にN次曲線近似後の曲線を形成する新しい変曲点群を示
す。次に、新しい変曲点各点のY座標値を算出し最も値
の高い点を検出する。これを仮頂点とする。図17(c)
に仮頂点を示す。次に、近似処理前の変曲点群の中か
ら、この仮頂点に対応する点を求めて頂点とする。図1
7(d)に頂点を示す。以上の画像処理方法で設定した撮
像線屈曲点および頂点より、測定基準ボスと鋳造部品の
間隔および段差をノイズ等を排除して算出できる。
曲点群をN次曲線にて近似しなめらかな曲線にする。図
17(a)に近似処理前の頂点部の変曲点群、図17(b)
にN次曲線近似後の曲線を形成する新しい変曲点群を示
す。次に、新しい変曲点各点のY座標値を算出し最も値
の高い点を検出する。これを仮頂点とする。図17(c)
に仮頂点を示す。次に、近似処理前の変曲点群の中か
ら、この仮頂点に対応する点を求めて頂点とする。図1
7(d)に頂点を示す。以上の画像処理方法で設定した撮
像線屈曲点および頂点より、測定基準ボスと鋳造部品の
間隔および段差をノイズ等を排除して算出できる。
【0026】
【発明の効果】以上示した本発明によれば、スリット光
照射光軸と画像処理カメラへの入射光軸の配置で一義的
に決まる数式をもとに、基準部と測定部を画像処理で比
較処理するので、自動で測定部の変位状況が計測でき
る。このため測定部が多数あっても信頼性の高い測定デ
ータが収集でき、全体の歪み状態が精度高く測定でき
る。また、被測定物が鋳造部品であっても、その表面粗
さやバリの影響を除去して測定の基準点を設定すること
ができるので、精度良く測定できる。
照射光軸と画像処理カメラへの入射光軸の配置で一義的
に決まる数式をもとに、基準部と測定部を画像処理で比
較処理するので、自動で測定部の変位状況が計測でき
る。このため測定部が多数あっても信頼性の高い測定デ
ータが収集でき、全体の歪み状態が精度高く測定でき
る。また、被測定物が鋳造部品であっても、その表面粗
さやバリの影響を除去して測定の基準点を設定すること
ができるので、精度良く測定できる。
【図1】本発明の実施の形態を説明するための測定装置
構成を表す図
構成を表す図
【図2】上記における計測部を表す図
【図3】測定原理を説明するための図
【図4】測定用モデルワークを示す図
【図5】画像処理カメラとレーザ光源の配置とスリット
像を説明する図
像を説明する図
【図6】配置Xの光学系を説明する際の説明図
【図7】配置Yの光学系を説明する際の説明図
【図8】配置Zの光学系を説明する際の説明図
【図9】測定対象の鋳造部品の平面図
【図10】測定部位におけるスリット光と視野の配置例
【図11】上記の撮像されたスリット像を表す図
【図12】マスターワークと実測定ワークの撮像された
スリット像を表す図
スリット像を表す図
【図13】鋳造部品のスリット像切端のバリ発生状況を
示す図
示す図
【図14】屈曲点をもとにした新しい間隔を示す図
【図15】撮像線を構成する変曲点群を示す図
【図16】撮像線屈曲点を求める説明のための図
【図17】撮像線頂点を求める説明のための図
1…計測部 2…ロボット 3…被測定物 4…ワーク保持治具 5…画像処理カメラ 6…レーザ光源 8…スリット光 11…スリット像 21…測定基準治具 22…測定基準治具 L…レンズ測定面間距離
Claims (3)
- 【請求項1】 被測定物の複数の測定部にスリット光を
照射してスリット像を形成し、画像処理カメラで撮像
し、各測定部の変位を算出することによって被測定物の
歪みを測定する歪み測定方法において、 測定部と上面が平面で既知の幅寸法を持った測定基準ボ
ス上面に、前記幅方向に横断するようにスリット光を照
射し、 測定基準ボスの既知の実際の幅寸法とその撮像寸法か
ら、測定基準ボス上面における測定倍率を求め、 この測定倍率と画像処理カメラ固有のレンズ・撮像素子
間寸法から、レンズと測定基準ボス上面までのレンズ測
定面間距離を求め、 前記で求めた測定倍率とレンズ測定面間距離、及びスリ
ット光の照射光軸と画像処理カメラへの入射光軸の配置
関係から得ることができる段差間に生じるスリット像と
レンズ位置関係をもとに、実際の段差量と撮像値の関係
式を求め、 前記段差量と撮像値の関係式をもとに、測定部の撮像値
から測定基準ボス上面を基準にした実際の変位量を求め
ることを特徴とする歪み測定方法。 - 【請求項2】 被測定物が鋳造品であり、測定部の中の
予め決めた検出すべき特徴点を、スリット像を測定部表
面形状に合わせて設定した関数で曲線近似化し、曲線上
で前記特徴点に相当する点を求め、この点に対応するス
リット像上の点で設定することを特徴とする請求項1記
載の歪み測定方法。 - 【請求項3】 被測定物の複数の測定部にスリット光を
照射してスリット像を形成し、画像処理カメラで撮像
し、各測定部の変位を算出することによって被測定物の
歪みを測定する歪み測定装置において、 スリット光照射手段とスリット像撮像手段を所定の位置
関係に保持した計測部と、計測部を任意の位置と姿勢に
移動させるロボットと、被測定物を位置決めするワーク
保持治具と、被測定部の測定部の近傍所定位置に設けた
測定基準ボスと、撮像手段から入力されるスリット像を
もとに測定部の変位を求め、被測定物の歪みを算出する
制御装置とを備えていることを特徴とする歪み測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5010297A JPH1054707A (ja) | 1996-06-04 | 1997-03-05 | 歪み測定方法及び歪み測定装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14186496 | 1996-06-04 | ||
JP8-141864 | 1996-06-04 | ||
JP5010297A JPH1054707A (ja) | 1996-06-04 | 1997-03-05 | 歪み測定方法及び歪み測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1054707A true JPH1054707A (ja) | 1998-02-24 |
Family
ID=26390543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5010297A Pending JPH1054707A (ja) | 1996-06-04 | 1997-03-05 | 歪み測定方法及び歪み測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1054707A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006174440A (ja) * | 2000-02-21 | 2006-06-29 | Sharp Corp | 画像合成装置 |
JP2008224370A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | 3次元形状計測装置のキャリブレーション方法および3次元形状計測方法 |
JP2015165210A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-17 | Dmg森精機株式会社 | 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械 |
JP6099833B1 (ja) * | 2015-09-15 | 2017-03-22 | 三菱電機株式会社 | 画像処理装置、画像処理システム及び画像処理方法 |
CN110337577A (zh) * | 2016-12-05 | 2019-10-15 | 优质视觉技术国际公司 | 用于光学测量机探头的可更换透镜模块系统 |
-
1997
- 1997-03-05 JP JP5010297A patent/JPH1054707A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006174440A (ja) * | 2000-02-21 | 2006-06-29 | Sharp Corp | 画像合成装置 |
JP4658787B2 (ja) * | 2000-02-21 | 2011-03-23 | シャープ株式会社 | 画像合成装置 |
JP2008224370A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | 3次元形状計測装置のキャリブレーション方法および3次元形状計測方法 |
JP2015165210A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-17 | Dmg森精機株式会社 | 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械 |
JP6099833B1 (ja) * | 2015-09-15 | 2017-03-22 | 三菱電機株式会社 | 画像処理装置、画像処理システム及び画像処理方法 |
CN110337577A (zh) * | 2016-12-05 | 2019-10-15 | 优质视觉技术国际公司 | 用于光学测量机探头的可更换透镜模块系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6067165A (en) | Position calibrating method for optical measuring apparatus | |
KR102056076B1 (ko) | 용접비드 비전 검사 장치 및 용접 불량 검사방법 | |
JP5911904B2 (ja) | 形状および位置の光学的計測のための構造化光システムに関する正確な画像取得 | |
JP4705479B2 (ja) | ビード形状検出方法及び装置 | |
Santolaria et al. | A one-step intrinsic and extrinsic calibration method for laser line scanner operation in coordinate measuring machines | |
JPH10311711A (ja) | 光学的形状センサ | |
WO2007018118A1 (ja) | レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法 | |
CA3118012A1 (en) | Method and computer program product for oct measurement beam adjustment | |
JP5438475B2 (ja) | 隙間段差計測装置、隙間段差計測方法、及びそのプログラム | |
JP2002515124A (ja) | 三次元検査システム | |
JPH06147863A (ja) | 曲げ加工機における曲げ角度検出装置 | |
JP4705792B2 (ja) | 軸間角度補正方法 | |
JPH1054707A (ja) | 歪み測定方法及び歪み測定装置 | |
JP2013148375A (ja) | 三次元形状測定装置に用いられる校正方法、校正器およびプログラムならびに三次元形状測定装置 | |
JP3095463B2 (ja) | 三次元測定方法 | |
JP4532556B2 (ja) | 測定物体を測定するためのミラー装置を備えた干渉計 | |
JP2624557B2 (ja) | 折曲機の角度計測装置 | |
JP2007121124A (ja) | Ccdカメラ式3次元形状測定機の精度保証治具 | |
JP2899875B2 (ja) | 非接触表面粗さ測定方法およびその測定装置 | |
JP4494189B2 (ja) | 非接触画像測定機の精度測定方法及び校正方法 | |
JP2016095243A (ja) | 計測装置、計測方法、および物品の製造方法 | |
JP2005274309A (ja) | 三次元物体の検査方法および検査装置 | |
KR101833055B1 (ko) | 3차원 측정 장치 | |
JP2010044027A (ja) | 厚さ測定装置および厚さ分布測定方法 | |
JP2515932B2 (ja) | 平面形状の測定方法 |