JPH1048085A - 隔膜ユニット付き差圧検出装置 - Google Patents
隔膜ユニット付き差圧検出装置Info
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- JPH1048085A JPH1048085A JP20868696A JP20868696A JPH1048085A JP H1048085 A JPH1048085 A JP H1048085A JP 20868696 A JP20868696 A JP 20868696A JP 20868696 A JP20868696 A JP 20868696A JP H1048085 A JPH1048085 A JP H1048085A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高温プラントにおいて差圧測定の安定化を図
る。 【解決手段】第１実施例が従来例と異なる点は、フラン
ジ５のボス部分の内部に空洞７を形成し、この空洞７
に、ベローズ８とコイル状バネ９を設けたことである。
バネ９は、温度に応じて伸縮特性が定まる形状記憶合金
からなり、ベローズ８の内部に設けられ、かつベローズ
８の内部空間がパイプ６の内部空間と連通する。測定流
体の温度の上昇・下降に応じてシリコーンオイル自体の
容積が変化（膨張・収縮）しても、同時に温度の上昇・
下降に応じて伸縮するバネ９を介して、ベローズ８の容
積が増大・減少し、シリコーンオイルを封入するための
空間容積が増大・減少する。したがって、シリコーンオ
イル自体の容積変化分（膨張・収縮分）が吸収され、隔
膜ユニット内部のシリコーンオイルの圧力変化を抑え、
ひいては高温プラントにおいて差圧測定の安定化を図る
ことができる。
る。 【解決手段】第１実施例が従来例と異なる点は、フラン
ジ５のボス部分の内部に空洞７を形成し、この空洞７
に、ベローズ８とコイル状バネ９を設けたことである。
バネ９は、温度に応じて伸縮特性が定まる形状記憶合金
からなり、ベローズ８の内部に設けられ、かつベローズ
８の内部空間がパイプ６の内部空間と連通する。測定流
体の温度の上昇・下降に応じてシリコーンオイル自体の
容積が変化（膨張・収縮）しても、同時に温度の上昇・
下降に応じて伸縮するバネ９を介して、ベローズ８の容
積が増大・減少し、シリコーンオイルを封入するための
空間容積が増大・減少する。したがって、シリコーンオ
イル自体の容積変化分（膨張・収縮分）が吸収され、隔
膜ユニット内部のシリコーンオイルの圧力変化を抑え、
ひいては高温プラントにおいて差圧測定の安定化を図る
ことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、シールダイヤフ
ラム付きフランジと連結用パイプからなる隔膜ユニット
の２個を差圧検出部の対応する導圧側にそれぞれ付設
し、内部に非圧縮性で絶縁性の流体を封入した構成をと
り、測定流体の差圧に係る各圧力が対応するシールダイ
ヤフラムで受圧され、封入流体を介して差圧検出部に伝
達される装置であって、とくに高温プラントにおいて差
圧測定の安定化を図ることができる隔膜ユニット付き差
圧検出装置に関する。
ラム付きフランジと連結用パイプからなる隔膜ユニット
の２個を差圧検出部の対応する導圧側にそれぞれ付設
し、内部に非圧縮性で絶縁性の流体を封入した構成をと
り、測定流体の差圧に係る各圧力が対応するシールダイ
ヤフラムで受圧され、封入流体を介して差圧検出部に伝
達される装置であって、とくに高温プラントにおいて差
圧測定の安定化を図ることができる隔膜ユニット付き差
圧検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について、図３の断面図を参照し
ながら説明する。図において、差圧検出部１は、たとえ
ば静電容量方式で、その各導圧側がそれぞれカバー２に
よって覆われる。この差圧検出部１には、その各導圧側
のカバー２に隔膜ユニットが付設される。隔膜ユニット
は、測定流体が高温度や高真空度であっても、その影響
が差圧検出部１に及ばないようにして、正確な差圧測定
を保証する機能をもち、フランジ１１およびパイプ６か
ら構成される。このフランジ１１は、測定差圧に係る圧
力を受圧するシールダイヤフラム４を備えるとともに、
パイプ６が連結される。このパイプ６の他端部で各導圧
側のカバー２に接続される。この隔膜ユニットの内部空
間（シールダイヤフラム４・フランジ１１の波形表面間
の空間と、パイプ６の内部空間）、および、カバー２の
内部空間には、非圧縮性で絶縁性の圧力伝達流体として
のシリコーンオイルが封入される。このシリコーンオイ
ル封入は、カバー２の穴２ａと、フランジ１１の穴１１
ａを介しておこなわれ、封入後に各穴２ａ，１１ａは密
閉される。当然ながら、隔膜ユニットの内部空間と、カ
バー２の内部空間に封入されるシリコーンオイルは、十
分に脱気される必要がある。そうでないと測定流体が高
温度や高真空度の場合に、シリコーンオイル内に含まれ
る気体が、たとえ初期にはわずかであっても膨張して差
圧検出部１への正常な圧力伝達を阻害することになるか
らである。シリコーンオイルの脱気は、カバー２の穴２
ａと、フランジ１１の穴１１ａを介しておこなわれる。
つまり、各穴２ａ，１１ａは、シリコーンオイルの封入
と脱気に共用される。
ながら説明する。図において、差圧検出部１は、たとえ
ば静電容量方式で、その各導圧側がそれぞれカバー２に
よって覆われる。この差圧検出部１には、その各導圧側
のカバー２に隔膜ユニットが付設される。隔膜ユニット
は、測定流体が高温度や高真空度であっても、その影響
が差圧検出部１に及ばないようにして、正確な差圧測定
を保証する機能をもち、フランジ１１およびパイプ６か
ら構成される。このフランジ１１は、測定差圧に係る圧
力を受圧するシールダイヤフラム４を備えるとともに、
パイプ６が連結される。このパイプ６の他端部で各導圧
側のカバー２に接続される。この隔膜ユニットの内部空
間（シールダイヤフラム４・フランジ１１の波形表面間
の空間と、パイプ６の内部空間）、および、カバー２の
内部空間には、非圧縮性で絶縁性の圧力伝達流体として
のシリコーンオイルが封入される。このシリコーンオイ
ル封入は、カバー２の穴２ａと、フランジ１１の穴１１
ａを介しておこなわれ、封入後に各穴２ａ，１１ａは密
閉される。当然ながら、隔膜ユニットの内部空間と、カ
バー２の内部空間に封入されるシリコーンオイルは、十
分に脱気される必要がある。そうでないと測定流体が高
温度や高真空度の場合に、シリコーンオイル内に含まれ
る気体が、たとえ初期にはわずかであっても膨張して差
圧検出部１への正常な圧力伝達を阻害することになるか
らである。シリコーンオイルの脱気は、カバー２の穴２
ａと、フランジ１１の穴１１ａを介しておこなわれる。
つまり、各穴２ａ，１１ａは、シリコーンオイルの封入
と脱気に共用される。
【０００３】差圧検出部１は、従来例と後述の発明に係
る実施例に共通で、図４の断面図に示すように、検出部
２０および保護部３０と、これらを連結する各導圧管１
６，１７からなる。検出部２０は、たとえば周知の静電
容量方式に基づく構成と周知の電子回路によって、測定
差圧に比例した電流信号を出力する。保護部３０は、次
に述べるような構成をとって、誤って作用した過大な導
入圧力から検出部２０を保護する。検出部２０の構造と
動作は周知であるから、その説明は省略する。保護部３
０は、保護ダイヤフラム１３を両側から各本体３１，３
２によって挟んだ構造をとり、各本体３１，３２の同心
円状波形に形成された端面には、それぞれ微小空間を介
してシールダイヤフラム３４，３５が付設される。各本
体３１，３２には、保護ダイヤフラム１３に相対するす
り鉢状凹部１５，２５と、軸線に沿って貫通する穴１
４，２４と、導圧管１６，１７をそれぞれ貫通する穴４
５，５５が連通して設けられる。各穴４５，５５は、一
方が検出部２０の対応する導圧側に連通し、他方がすり
鉢状凹部１５，２５の近くで穴１４，２４に開口し、図
３に示したように、各シールダイヤフラム３４，３５を
覆う形でそれぞれカバー２が取り付けられる。
る実施例に共通で、図４の断面図に示すように、検出部
２０および保護部３０と、これらを連結する各導圧管１
６，１７からなる。検出部２０は、たとえば周知の静電
容量方式に基づく構成と周知の電子回路によって、測定
差圧に比例した電流信号を出力する。保護部３０は、次
に述べるような構成をとって、誤って作用した過大な導
入圧力から検出部２０を保護する。検出部２０の構造と
動作は周知であるから、その説明は省略する。保護部３
０は、保護ダイヤフラム１３を両側から各本体３１，３
２によって挟んだ構造をとり、各本体３１，３２の同心
円状波形に形成された端面には、それぞれ微小空間を介
してシールダイヤフラム３４，３５が付設される。各本
体３１，３２には、保護ダイヤフラム１３に相対するす
り鉢状凹部１５，２５と、軸線に沿って貫通する穴１
４，２４と、導圧管１６，１７をそれぞれ貫通する穴４
５，５５が連通して設けられる。各穴４５，５５は、一
方が検出部２０の対応する導圧側に連通し、他方がすり
鉢状凹部１５，２５の近くで穴１４，２４に開口し、図
３に示したように、各シールダイヤフラム３４，３５を
覆う形でそれぞれカバー２が取り付けられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上に述べたように、
従来例では、とくに高温プラントにおいて、隔膜ユニッ
ト内のシリコーンオイルが高温度で膨張し、この膨張に
基づく圧力増分によって差圧出力が不安定になる、また
は正確な差圧測定が阻害される、という問題点がある。
従来例では、とくに高温プラントにおいて、隔膜ユニッ
ト内のシリコーンオイルが高温度で膨張し、この膨張に
基づく圧力増分によって差圧出力が不安定になる、また
は正確な差圧測定が阻害される、という問題点がある。
【０００５】この発明が解決しようとする課題は、従来
の技術がもつ以上の問題点を解消して、高温プラントに
おいて差圧測定の安定化を図ることができる隔膜ユニッ
ト付き差圧検出装置を提供することにある。
の技術がもつ以上の問題点を解消して、高温プラントに
おいて差圧測定の安定化を図ることができる隔膜ユニッ
ト付き差圧検出装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、シールダイ
ヤフラム付きフランジと連結用パイプからなる隔膜ユニ
ットの２個を差圧検出部の対応する導圧側にそれぞれ付
設し、内部に非圧縮性で絶縁性の流体を封入した構成を
とり、測定流体の差圧に係る各圧力が対応するシールダ
イヤフラムで受圧され、封入流体を介して差圧検出部に
伝達される装置において、各隔膜ユニットのフランジに
内設される、圧力を受け一定方向に弾性変形して容積が
変化する弾性体、および、これに付設された形状記憶合
金の、前記一定方向に変形するバネを備え、弾性体に接
する空間を連結用パイプの内部空間と連通させるととも
に、測定流体の温度に応じて封入空間流体の封入容積を
変化させることができる、という構成である。
ヤフラム付きフランジと連結用パイプからなる隔膜ユニ
ットの２個を差圧検出部の対応する導圧側にそれぞれ付
設し、内部に非圧縮性で絶縁性の流体を封入した構成を
とり、測定流体の差圧に係る各圧力が対応するシールダ
イヤフラムで受圧され、封入流体を介して差圧検出部に
伝達される装置において、各隔膜ユニットのフランジに
内設される、圧力を受け一定方向に弾性変形して容積が
変化する弾性体、および、これに付設された形状記憶合
金の、前記一定方向に変形するバネを備え、弾性体に接
する空間を連結用パイプの内部空間と連通させるととも
に、測定流体の温度に応じて封入空間流体の封入容積を
変化させることができる、という構成である。
【０００７】また、この発明において、弾性体は、ベロ
ーズであり、バネは、ベローズの内部に付設され、連結
用パイプの内部空間は、ベローズの内部空間と連通す
る、という構成にしたり、または、弾性体は、ベローズ
であり、バネは、ベローズの内部に付設され、連結用パ
イプの内部空間は、ベローズの外部空間と連通する、と
いう構成にするのが好ましい。
ーズであり、バネは、ベローズの内部に付設され、連結
用パイプの内部空間は、ベローズの内部空間と連通す
る、という構成にしたり、または、弾性体は、ベローズ
であり、バネは、ベローズの内部に付設され、連結用パ
イプの内部空間は、ベローズの外部空間と連通する、と
いう構成にするのが好ましい。
【０００８】したがって、この発明では、測定流体の温
度に応じて封入流体自体の容積が変化（膨張・収縮）し
たとき、同時に温度に応じて伸縮量が記憶された形状記
憶合金のバネによって弾性体、たとえばベローズの容積
が温度に応じて変化し、ひいては封入流体の封入空間容
積が温度に応じて変化（増大・減少）する。したがっ
て、封入流体自体の容積変化分（膨張・収縮分）が吸収
されて、隔膜ユニット内部の封入流体の圧力変化を抑え
ることができる。
度に応じて封入流体自体の容積が変化（膨張・収縮）し
たとき、同時に温度に応じて伸縮量が記憶された形状記
憶合金のバネによって弾性体、たとえばベローズの容積
が温度に応じて変化し、ひいては封入流体の封入空間容
積が温度に応じて変化（増大・減少）する。したがっ
て、封入流体自体の容積変化分（膨張・収縮分）が吸収
されて、隔膜ユニット内部の封入流体の圧力変化を抑え
ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態として、第
１，第２の各実施例を以下に図を参照しながら説明す
る。図１は第１実施例の断面図である。図において、こ
の第１実施例が従来例と異なる点は、フランジ５のボス
部分の内部に空洞７を形成し、この空洞７に、ベローズ
８とコイル状バネ９を設けたことである。バネ９は、温
度に応じて伸縮特性が定まる形状記憶合金からなり、ベ
ローズ８の内部に設けられる。ベローズ８は発明におけ
る弾性体に相当し、弾性変形する一定方向が図の上下方
向であり、バネ９の変形（伸縮）方向と一致する。ベロ
ーズ８の内部空間がパイプ６の内部空間と連通する構成
にしてある。
１，第２の各実施例を以下に図を参照しながら説明す
る。図１は第１実施例の断面図である。図において、こ
の第１実施例が従来例と異なる点は、フランジ５のボス
部分の内部に空洞７を形成し、この空洞７に、ベローズ
８とコイル状バネ９を設けたことである。バネ９は、温
度に応じて伸縮特性が定まる形状記憶合金からなり、ベ
ローズ８の内部に設けられる。ベローズ８は発明におけ
る弾性体に相当し、弾性変形する一定方向が図の上下方
向であり、バネ９の変形（伸縮）方向と一致する。ベロ
ーズ８の内部空間がパイプ６の内部空間と連通する構成
にしてある。
【００１０】この第１実施例の動作は次のようになる。
測定流体の温度の上昇・下降に応じてシリコーンオイル
自体の容積が変化（膨張・収縮）しても、同時に温度の
上昇・下降に応じて伸縮するバネ９を介して、ベローズ
８の容積が増大・減少し、シリコーンオイルを封入する
ための空間容積が増大・減少する。したがって、シリコ
ーンオイル自体の容積変化分（膨張・収縮分）が吸収さ
れ、隔膜ユニット内部のシリコーンオイルの圧力変化を
抑えることができ、ひいては高温プラントにおいて差圧
測定の安定化を図ることができる。
測定流体の温度の上昇・下降に応じてシリコーンオイル
自体の容積が変化（膨張・収縮）しても、同時に温度の
上昇・下降に応じて伸縮するバネ９を介して、ベローズ
８の容積が増大・減少し、シリコーンオイルを封入する
ための空間容積が増大・減少する。したがって、シリコ
ーンオイル自体の容積変化分（膨張・収縮分）が吸収さ
れ、隔膜ユニット内部のシリコーンオイルの圧力変化を
抑えることができ、ひいては高温プラントにおいて差圧
測定の安定化を図ることができる。
【００１１】図２は第２実施例の断面図で、この第２実
施例が第１実施例と異なる点は、ベローズ８の外部空間
がパイプ６の内部空間と連通する構成であり、関連して
バネ９Ａが温度の上昇・下降に応じて、第１実施例での
バネ９のときと逆に収縮・伸長する特性にしてあること
である。したがって、測定流体の温度の上昇・下降に応
じてシリコーンオイル自体の容積が変化（膨張・収縮）
するとき、同時に温度の上昇・下降に応じてバネ９Ａが
収縮・伸長し、ベローズ８の容積が減少・増大し、シリ
コーンオイルを封入するための空間容積が増大・減少す
る。したがって結果的に、第１実施例におけるときと同
様に、シリコーンオイル自体の容積変化分（膨張・収縮
分）が吸収され、隔膜ユニット内部のシリコーンオイル
の圧力変化を抑えることができ、ひいては高温プラント
において差圧測定の安定化を図ることができる。
施例が第１実施例と異なる点は、ベローズ８の外部空間
がパイプ６の内部空間と連通する構成であり、関連して
バネ９Ａが温度の上昇・下降に応じて、第１実施例での
バネ９のときと逆に収縮・伸長する特性にしてあること
である。したがって、測定流体の温度の上昇・下降に応
じてシリコーンオイル自体の容積が変化（膨張・収縮）
するとき、同時に温度の上昇・下降に応じてバネ９Ａが
収縮・伸長し、ベローズ８の容積が減少・増大し、シリ
コーンオイルを封入するための空間容積が増大・減少す
る。したがって結果的に、第１実施例におけるときと同
様に、シリコーンオイル自体の容積変化分（膨張・収縮
分）が吸収され、隔膜ユニット内部のシリコーンオイル
の圧力変化を抑えることができ、ひいては高温プラント
において差圧測定の安定化を図ることができる。
【００１２】ところで、構成上でベローズとバネの位置
関係（バネをベローズの内部に設けるか、外部に設ける
か）と、パイプとベローズの連通関係（パイプの内部空
間をベローズの内部空間と連通させるか、外部空間と連
通させるか）と、バネの伸縮の温度特性との組合わせに
係る種々な選択肢をとることができる。パイプとベロー
ズの連通関係は、バネの伸縮の温度特性と相まって、前
記の第１，第２の各実施例のように設計上の選択肢とな
り得る。
関係（バネをベローズの内部に設けるか、外部に設ける
か）と、パイプとベローズの連通関係（パイプの内部空
間をベローズの内部空間と連通させるか、外部空間と連
通させるか）と、バネの伸縮の温度特性との組合わせに
係る種々な選択肢をとることができる。パイプとベロー
ズの連通関係は、バネの伸縮の温度特性と相まって、前
記の第１，第２の各実施例のように設計上の選択肢とな
り得る。
【００１３】
【発明の効果】この発明によれば、測定流体の温度に応
じ封入流体自体の容積が変化しても、同時に形状記憶合
金のバネによって弾性体、たとえばベローズの容積が温
度に応じて変化し、ひいては封入流体の封入空間容積が
温度に応じて変化するから、封入流体自体の容積変化分
が吸収されて、隔膜ユニット内部の封入流体の圧力変化
を抑えることができる。したがって、高温プラントにお
いて差圧測定の安定化を図ることができる、という優れ
た効果が期待できる。
じ封入流体自体の容積が変化しても、同時に形状記憶合
金のバネによって弾性体、たとえばベローズの容積が温
度に応じて変化し、ひいては封入流体の封入空間容積が
温度に応じて変化するから、封入流体自体の容積変化分
が吸収されて、隔膜ユニット内部の封入流体の圧力変化
を抑えることができる。したがって、高温プラントにお
いて差圧測定の安定化を図ることができる、という優れ
た効果が期待できる。
【図１】この発明に係る第１実施例の断面図
【図２】同じくその第２実施例の断面図
【図３】従来例の断面図
【図４】各実施例と従来例に共通な差圧検出部の断面図
１ 差圧検出部 ２ カバー ２ａ 穴 ４ シールダイヤフラム ５ フランジ ５ａ 穴 ６ パイプ ７ 空洞 ８ べローズ ９，９Ａ バネ
Claims (3)
- 【請求項１】シールダイヤフラム付きフランジと連結用
パイプからなる隔膜ユニットの２個を差圧検出部の対応
する導圧側にそれぞれ付設し、内部に非圧縮性で絶縁性
の流体を封入した構成をとり、測定流体の差圧に係る各
圧力が対応するシールダイヤフラムで受圧され、封入流
体を介して差圧検出部に伝達される装置において、各隔
膜ユニットのフランジに内設される、圧力を受け一定方
向に弾性変形して容積が変化する弾性体、および、これ
に付設された形状記憶合金の、前記一定方向に変形する
バネを備え、弾性体に接する空間を連結用パイプの内部
空間と連通させるとともに、測定流体の温度に応じて封
入流体の封入空間容積を変化させることができる、こと
を特徴とする隔膜ユニット付き差圧検出装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の装置において、弾性体
は、ベローズであり、バネは、ベローズの内部に付設さ
れ、連結用パイプの内部空間は、ベローズの内部空間と
連通する、ことを特徴とする隔膜ユニット付き差圧検出
装置。 - 【請求項３】請求項１に記載の装置において、弾性体
は、ベローズであり、バネは、ベローズの内部に付設さ
れ、連結用パイプの内部空間は、ベローズの外部空間と
連通する、ことを特徴とする隔膜ユニット付き差圧検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20868696A JPH1048085A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 隔膜ユニット付き差圧検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20868696A JPH1048085A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 隔膜ユニット付き差圧検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048085A true JPH1048085A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16560399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20868696A Pending JPH1048085A (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 隔膜ユニット付き差圧検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048085A (ja) |
-
1996
- 1996-08-08 JP JP20868696A patent/JPH1048085A/ja active Pending
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