JP3158913B2 - 差圧／圧力伝送器 - Google Patents
差圧／圧力伝送器Info
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- JP3158913B2 JP3158913B2 JP32250494A JP32250494A JP3158913B2 JP 3158913 B2 JP3158913 B2 JP 3158913B2 JP 32250494 A JP32250494 A JP 32250494A JP 32250494 A JP32250494 A JP 32250494A JP 3158913 B2 JP3158913 B2 JP 3158913B2
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- pressure receiving
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プロセス計装に用いら
れ差圧あるいは圧力を測定する差圧／圧力伝送器に係
り、特に、内蔵されるセンサがこの差圧あるいは圧力に
より破壊されるのを防止することができるように改良さ
れた差圧／圧力伝送器に関する。
れ差圧あるいは圧力を測定する差圧／圧力伝送器に係
り、特に、内蔵されるセンサがこの差圧あるいは圧力に
より破壊されるのを防止することができるように改良さ
れた差圧／圧力伝送器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の圧力伝送器をプロセス配管
に取り付けたときのシステム構成図である。１０は圧力
伝送器であり、この圧力伝送器１０は、操作し易いよう
に、一般に圧力を測定するプロセス配管１１とは離れた
場所に設置される。
に取り付けたときのシステム構成図である。１０は圧力
伝送器であり、この圧力伝送器１０は、操作し易いよう
に、一般に圧力を測定するプロセス配管１１とは離れた
場所に設置される。
【０００３】この圧力伝送器１０とプロセス配管１１と
の間は、導圧管で接続され、この導圧管には、少なくと
も１つ以上のストップ弁が配置されて圧力伝送器１０の
取外しが可能なようになっている。
の間は、導圧管で接続され、この導圧管には、少なくと
も１つ以上のストップ弁が配置されて圧力伝送器１０の
取外しが可能なようになっている。
【０００４】図５の場合は、プロセス配管１１にストッ
プ弁１２が導圧管１３を介して設置され、このストップ
弁１２と次のストップ弁１４との間は、導圧管１５で接
続され、さらにストップ弁１４と圧力伝送器１０との間
は導圧管１６で接続される構成となっている。
プ弁１２が導圧管１３を介して設置され、このストップ
弁１２と次のストップ弁１４との間は、導圧管１５で接
続され、さらにストップ弁１４と圧力伝送器１０との間
は導圧管１６で接続される構成となっている。
【０００５】図６はこの圧力伝送器１０の構造の詳細を
示す部分断面図である。受圧ボデイ１７の中央部には凹
部１８が設けられ、ハーメチック部材１９に保持部材２
０を介して周囲が気密に保持されて固定されたセンサ２
１が凹部１８の中に挿入固定されている。
示す部分断面図である。受圧ボデイ１７の中央部には凹
部１８が設けられ、ハーメチック部材１９に保持部材２
０を介して周囲が気密に保持されて固定されたセンサ２
１が凹部１８の中に挿入固定されている。
【０００６】センサ２１は、例えば外形が全体として円
柱或いは角柱などに形成されたシリコンの単結晶で作ら
れ、その中央部が圧力に感応し易いように薄くエッチン
グされて凹部２２とされ、反対側の面に圧力に感応する
シリコンゲージ２３（図示せず）が設けられている。
柱或いは角柱などに形成されたシリコンの単結晶で作ら
れ、その中央部が圧力に感応し易いように薄くエッチン
グされて凹部２２とされ、反対側の面に圧力に感応する
シリコンゲージ２３（図示せず）が設けられている。
【０００７】凹部１８のセンサ２１に対抗する面には貫
通孔２４が設けられこの貫通孔２４の上部は波形のダイ
アフラム２５で覆われている。そして、これらの凹部１
８、貫通孔２４、ダイアフラム２５で連通される空間は
シリコンオイルなどの封液で密封されている。
通孔２４が設けられこの貫通孔２４の上部は波形のダイ
アフラム２５で覆われている。そして、これらの凹部１
８、貫通孔２４、ダイアフラム２５で連通される空間は
シリコンオイルなどの封液で密封されている。
【０００８】シリコンゲージ２３からはリード線により
ハーメチック部材１９にガラス封じされたハーメチック
端子２６を介して受圧ボデイ１７の外部に信号が取り出
されている。ハーメチック端子２６からは、受圧ボデイ
１７のハーメチック部材１９側に固定された変換器ケー
ス２７に信号が取り出され、ここで信号処理がなされ
る。
ハーメチック部材１９にガラス封じされたハーメチック
端子２６を介して受圧ボデイ１７の外部に信号が取り出
されている。ハーメチック端子２６からは、受圧ボデイ
１７のハーメチック部材１９側に固定された変換器ケー
ス２７に信号が取り出され、ここで信号処理がなされ
る。
【０００９】一方、ダイアフラム２５側の受圧ボデイ１
７にはフランジ２８がボルト２９、３０などで固定され
ている。ダイアフラム２５と対向するフランジ２８の対
向面には凹部３１が設けられ、凹部３１はこのフランジ
２８の側面に設けられた圧力導入口３２と連通されてい
る。
７にはフランジ２８がボルト２９、３０などで固定され
ている。ダイアフラム２５と対向するフランジ２８の対
向面には凹部３１が設けられ、凹部３１はこのフランジ
２８の側面に設けられた圧力導入口３２と連通されてい
る。
【００１０】以上の構成において、プロセス配管１１か
ら導入された測定圧力は、導圧管１３、１５、１６を介
して圧力導入口３２に導入される。導入された測定圧力
はダイアフラム２５に印加され、内部の封液を介してセ
ンサ２１に印加され、ここに設けられたシリコンゲージ
２３で測定圧力に対応した電圧信号、或いは周波数信号
などに変換される。
ら導入された測定圧力は、導圧管１３、１５、１６を介
して圧力導入口３２に導入される。導入された測定圧力
はダイアフラム２５に印加され、内部の封液を介してセ
ンサ２１に印加され、ここに設けられたシリコンゲージ
２３で測定圧力に対応した電圧信号、或いは周波数信号
などに変換される。
【００１１】これらの信号はハーメチック端子２６を介
して変換器ケース２７に伝送されて内蔵される信号処理
回路でリニアリテイ補正、スパン補正、ゼロ点補正など
がなされて必要に応じて統一信号に変換して外部に電流
信号として伝送される。
して変換器ケース２７に伝送されて内蔵される信号処理
回路でリニアリテイ補正、スパン補正、ゼロ点補正など
がなされて必要に応じて統一信号に変換して外部に電流
信号として伝送される。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような圧力伝送器は、測定流体の圧力を測定中に何らか
の理由によりストップ弁１２或いはストップ弁１４を閉
じた場合、測定流体はストップ弁１２或いは１４から圧
力伝送器１０までの間の導圧管１５或いは１６に封じ込
められる。
ような圧力伝送器は、測定流体の圧力を測定中に何らか
の理由によりストップ弁１２或いはストップ弁１４を閉
じた場合、測定流体はストップ弁１２或いは１４から圧
力伝送器１０までの間の導圧管１５或いは１６に封じ込
められる。
【００１３】この状態で温度が上昇すると、封じ込めら
れた測定流体の体積が膨張するので、導圧管１５或いは
１６の中の圧力が上昇する。このときの圧力上昇ΔＰは
配管の膨らみを無視すると、αを体積膨張係数、Δｔを
温度変化、Ｊを体積圧縮率とすれば、ΔＰ＝α・Δｔ／
Ｊで計算される。
れた測定流体の体積が膨張するので、導圧管１５或いは
１６の中の圧力が上昇する。このときの圧力上昇ΔＰは
配管の膨らみを無視すると、αを体積膨張係数、Δｔを
温度変化、Ｊを体積圧縮率とすれば、ΔＰ＝α・Δｔ／
Ｊで計算される。
【００１４】その大きさは、測定流体によって異なる
が、ものによっては２０°Ｃの変化で２００kg／cm2に
も達することがある。そして、この圧力上昇ΔＰが一定
の限度を越えると、圧力伝送器の中に格納されているシ
リコンゲージ２３を破壊するなどの問題がある。
が、ものによっては２０°Ｃの変化で２００kg／cm2に
も達することがある。そして、この圧力上昇ΔＰが一定
の限度を越えると、圧力伝送器の中に格納されているシ
リコンゲージ２３を破壊するなどの問題がある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するための主な構成として、差圧或いは圧力を検出
するセンサが内蔵され少なくとも一端面にシールダイア
フラムが設けられて封液により先のセンサと連通された
受圧ボデイと、このセンサからのセンサ信号を伝送信号
に変換する伝送部と、先の差圧或いは圧力を導入する導
圧孔が設けられこの導圧孔と先のシールダイアフラムに
対向して形成される受圧室とを連通し先の受圧ボデイに
取付けられるフランジとを有する差圧／圧力伝送器にお
いて、先の差圧或いは圧力によって先の受圧室の内部の
体積を変化させる変形部材を先の受圧室に設けるように
したものである。
解決するための主な構成として、差圧或いは圧力を検出
するセンサが内蔵され少なくとも一端面にシールダイア
フラムが設けられて封液により先のセンサと連通された
受圧ボデイと、このセンサからのセンサ信号を伝送信号
に変換する伝送部と、先の差圧或いは圧力を導入する導
圧孔が設けられこの導圧孔と先のシールダイアフラムに
対向して形成される受圧室とを連通し先の受圧ボデイに
取付けられるフランジとを有する差圧／圧力伝送器にお
いて、先の差圧或いは圧力によって先の受圧室の内部の
体積を変化させる変形部材を先の受圧室に設けるように
したものである。
【００１６】
【作 用】導圧管内に何らかの原因によって体積膨張が
あっても、受圧ボデイの中の受圧室に設けられた変形部
材自身の体積が小さくなるように変形し、結果として、
受圧室の内部の圧力上昇を吸収し、これによりセンサの
破壊を防止する。
あっても、受圧ボデイの中の受圧室に設けられた変形部
材自身の体積が小さくなるように変形し、結果として、
受圧室の内部の圧力上昇を吸収し、これによりセンサの
破壊を防止する。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示す部分断面
図である。この場合は、圧力伝送器の場合を示してい
る。なお、図６に示す従来の圧力伝送器と同一の機能を
有する部分には同一の符号を付して適宜にその説明を省
略する。
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示す部分断面
図である。この場合は、圧力伝送器の場合を示してい
る。なお、図６に示す従来の圧力伝送器と同一の機能を
有する部分には同一の符号を付して適宜にその説明を省
略する。
【００１８】圧力伝送器３３は、増幅器などが搭載され
た変換器ケース２７、この変換器ケース２７と一方の面
が固定された受圧ボデイ１７、この受圧ボデイ１７の他
方の面にはボルト２９、３０などで固定されたフランジ
３４などで構成されている。
た変換器ケース２７、この変換器ケース２７と一方の面
が固定された受圧ボデイ１７、この受圧ボデイ１７の他
方の面にはボルト２９、３０などで固定されたフランジ
３４などで構成されている。
【００１９】受圧ボデイ１７の他方の面に固定されたダ
イアフラム２５と対向するフランジ３４の対向面には凹
部３５が設けられ、この凹部３５はこのフランジ３４の
側面に設けられた圧力導入口３２と連通されている。
イアフラム２５と対向するフランジ３４の対向面には凹
部３５が設けられ、この凹部３５はこのフランジ３４の
側面に設けられた圧力導入口３２と連通されている。
【００２０】さらに、この凹部３５の中央部には、球状
をなす凹部３６が形成されており、この凹部３６の中
に、所定の圧力以上で変形する変形部材として機能する
体積圧縮率の大きい材質、例えばテフロン、ゴムなどで
出来た球体３７が収納されている。
をなす凹部３６が形成されており、この凹部３６の中
に、所定の圧力以上で変形する変形部材として機能する
体積圧縮率の大きい材質、例えばテフロン、ゴムなどで
出来た球体３７が収納されている。
【００２１】以上の構成において、導圧管内に測定圧力
が印加されたときには、圧力導入口３２を介して凹部３
５に圧力が伝達され、この圧力がダイアフラム２５の内
部に封入された封液を介してセンサ２１に印加されるこ
ととなる。この場合、球体３７が変形しても導圧管より
圧力が供給されるので、測定誤差にはならない。
が印加されたときには、圧力導入口３２を介して凹部３
５に圧力が伝達され、この圧力がダイアフラム２５の内
部に封入された封液を介してセンサ２１に印加されるこ
ととなる。この場合、球体３７が変形しても導圧管より
圧力が供給されるので、測定誤差にはならない。
【００２２】一方、この構成によれば、導圧管の途中の
バルブを閉めた閉空間で温度上昇があると、内部流体が
膨張して圧力が上昇するが、凹部３５の中に所定圧力以
上で変形する体積圧縮率の大きい球体３７が存在するの
で、この球体３７の体積が縮小して膨張した体積を吸収
し圧力上昇を抑え、センサ２１に過大圧力が印加される
のが防止される。
バルブを閉めた閉空間で温度上昇があると、内部流体が
膨張して圧力が上昇するが、凹部３５の中に所定圧力以
上で変形する体積圧縮率の大きい球体３７が存在するの
で、この球体３７の体積が縮小して膨張した体積を吸収
し圧力上昇を抑え、センサ２１に過大圧力が印加される
のが防止される。
【００２３】図２は本発明の第２の実施例の構成を示す
部分断面図である。この場合も圧力伝送器を想定してい
る。圧力伝送器３８は、増幅器などが搭載された変換器
ケース２７、この変換器ケース２７と一方の面が固定さ
れた受圧ボデイ１７、この受圧ボデイ１７の他方の面に
はボルト２９、３０などで固定されたフランジ３９など
で構成されている。
部分断面図である。この場合も圧力伝送器を想定してい
る。圧力伝送器３８は、増幅器などが搭載された変換器
ケース２７、この変換器ケース２７と一方の面が固定さ
れた受圧ボデイ１７、この受圧ボデイ１７の他方の面に
はボルト２９、３０などで固定されたフランジ３９など
で構成されている。
【００２４】受圧ボデイ１７の他方の面に固定されたダ
イアフラム２５と対向するフランジ３９の対向面には凹
部４０が設けられ、この凹部４０はこのフランジ３９の
側面に設けられた圧力導入口３２と連通されている。
イアフラム２５と対向するフランジ３９の対向面には凹
部４０が設けられ、この凹部４０はこのフランジ３９の
側面に設けられた圧力導入口３２と連通されている。
【００２５】さらに、この凹部４０の中央部には、球状
をなす凹部４１が形成されており、この凹部４１の中に
所定圧力以上で変形する変形部材として機能する中空の
金属ボール４２が収納されている。この金属ボール４２
は、図１に記載された球体３７と同様な作用をする。
をなす凹部４１が形成されており、この凹部４１の中に
所定圧力以上で変形する変形部材として機能する中空の
金属ボール４２が収納されている。この金属ボール４２
は、図１に記載された球体３７と同様な作用をする。
【００２６】図３は本発明の第３の実施例の構成を示す
部分断面図である。この場合も圧力伝送器を想定してい
る。圧力伝送器４３は、増幅器などが搭載された変換器
ケース２７、この変換器ケース２７と一方の面が固定さ
れた受圧ボデイ１７、この受圧ボデイ１７の他方の面に
はボルト２９、３０などで固定されたフランジ４４など
で構成されている。
部分断面図である。この場合も圧力伝送器を想定してい
る。圧力伝送器４３は、増幅器などが搭載された変換器
ケース２７、この変換器ケース２７と一方の面が固定さ
れた受圧ボデイ１７、この受圧ボデイ１７の他方の面に
はボルト２９、３０などで固定されたフランジ４４など
で構成されている。
【００２７】受圧ボデイ１７の他方の面に固定されたダ
イアフラム２５と対向するフランジ４４の対向面には凹
部４５が設けられ、この凹部４５はこのフランジ４４の
側面に設けられた圧力導入口３２と連通されている。
イアフラム２５と対向するフランジ４４の対向面には凹
部４５が設けられ、この凹部４５はこのフランジ４４の
側面に設けられた圧力導入口３２と連通されている。
【００２８】さらに、この凹部４５の中央部には、円弧
状をなす凹部４６が形成されており、この凹部４６の上
部には変形部材として機能する板状の平板４７がその周
囲が気密に保持されて、例えば所定圧力に対応する初期
応力が付与された状態で、溶接固定されている。
状をなす凹部４６が形成されており、この凹部４６の上
部には変形部材として機能する板状の平板４７がその周
囲が気密に保持されて、例えば所定圧力に対応する初期
応力が付与された状態で、溶接固定されている。
【００２９】そして、この平板４７と凹部４６とで囲ま
れた内部には封液は満たされていない。したがって、所
定圧力以上の過大圧力が圧力導入口３２から印加される
と、この平板４７が撓んで過大圧力を吸収することがで
きる。
れた内部には封液は満たされていない。したがって、所
定圧力以上の過大圧力が圧力導入口３２から印加される
と、この平板４７が撓んで過大圧力を吸収することがで
きる。
【００３０】図４は本発明の第４の実施例の構成を示す
部分断面図である。この場合は差圧伝送器を想定してい
る。この差圧伝送器５０は、増幅器が内蔵された変換器
ケース５１と、この変換器ケース５１の下端が側面に固
定された例えば円柱状の受圧ボデイ５２と、この受圧ボ
デイ５２の両端面に配置された、例えば円柱状のフラン
ジ５３、５４などから構成されている。
部分断面図である。この場合は差圧伝送器を想定してい
る。この差圧伝送器５０は、増幅器が内蔵された変換器
ケース５１と、この変換器ケース５１の下端が側面に固
定された例えば円柱状の受圧ボデイ５２と、この受圧ボ
デイ５２の両端面に配置された、例えば円柱状のフラン
ジ５３、５４などから構成されている。
【００３１】受圧ボデイ５２の側面には、中央部に向か
って凹部５５が設けられ、ハーメチック部材５６に保持
部材５７を介して周囲が気密に保持されて固定されたセ
ンサ５８が凹部５５の中に挿入固定されている。
って凹部５５が設けられ、ハーメチック部材５６に保持
部材５７を介して周囲が気密に保持されて固定されたセ
ンサ５８が凹部５５の中に挿入固定されている。
【００３２】センサ５８は、例えば外形が全体として円
柱或いは角柱などに形成されたシリコンの単結晶で作ら
れ、その中央部が圧力に感応し易いように薄くエッチン
グされて凹部５９とされ、反対側の面に圧力に感応する
シリコンゲージ６０（図示せず）が設けられている。
柱或いは角柱などに形成されたシリコンの単結晶で作ら
れ、その中央部が圧力に感応し易いように薄くエッチン
グされて凹部５９とされ、反対側の面に圧力に感応する
シリコンゲージ６０（図示せず）が設けられている。
【００３３】凹部５５は導圧孔６１を介して受圧ボデイ
５２の一方の面６２に連通され、この面６２の中央部に
は導圧孔６１を覆うようにダイアフラム６３が密封固定
されている。そして、これらの凹部５５、導圧孔６１、
ダイアフラム６３で連通される空間はシリコンオイルな
どの封液で密封されている。
５２の一方の面６２に連通され、この面６２の中央部に
は導圧孔６１を覆うようにダイアフラム６３が密封固定
されている。そして、これらの凹部５５、導圧孔６１、
ダイアフラム６３で連通される空間はシリコンオイルな
どの封液で密封されている。
【００３４】また、センサ５８の凹部５９側は、保持部
材５７とハーメチック部材５６を介して、受圧ボデイ５
２の他方の面６４に導圧孔６５により連通されており、
この面６４の中央部には導圧孔６５を覆うようにダイア
フラム６６が密封固定されている。そして、これらの凹
部５９、導圧孔６５、ダイアフラム６６で連通される空
間はシリコンオイルなどの封液で密封されている。
材５７とハーメチック部材５６を介して、受圧ボデイ５
２の他方の面６４に導圧孔６５により連通されており、
この面６４の中央部には導圧孔６５を覆うようにダイア
フラム６６が密封固定されている。そして、これらの凹
部５９、導圧孔６５、ダイアフラム６６で連通される空
間はシリコンオイルなどの封液で密封されている。
【００３５】シリコンゲージ６０からはリード線により
ハーメチック部材５６にガラス封じされたハーメチック
端子６７を介して受圧ボデイ５２の外部に信号が取り出
されている。ハーメチック端子６７からは、受圧ボデイ
５２のハーメチック部材５６側に固定された変換器ケー
ス５１に信号が取り出され、内部の信号処理回路で信号
処理がなされる。
ハーメチック部材５６にガラス封じされたハーメチック
端子６７を介して受圧ボデイ５２の外部に信号が取り出
されている。ハーメチック端子６７からは、受圧ボデイ
５２のハーメチック部材５６側に固定された変換器ケー
ス５１に信号が取り出され、内部の信号処理回路で信号
処理がなされる。
【００３６】ダイアフラム６３側の受圧ボデイ５２には
フランジ５４が図示しないボルトなどにより固定されて
いる。ダイアフラム６３と対向するフランジ５４の対向
面には凹部６８が設けられ、凹部６８はこのフランジ５
４の側面に設けられた圧力導入口６９と導圧管７０を介
して連通されている。
フランジ５４が図示しないボルトなどにより固定されて
いる。ダイアフラム６３と対向するフランジ５４の対向
面には凹部６８が設けられ、凹部６８はこのフランジ５
４の側面に設けられた圧力導入口６９と導圧管７０を介
して連通されている。
【００３７】また、この凹部６８の中央には半球状の凹
部７１が形成され、この凹部７１の中に金属ボール７２
が収納されている。この金属ボール７２は図２に示す金
属ボール４２と同様な機能・構成を持つ。
部７１が形成され、この凹部７１の中に金属ボール７２
が収納されている。この金属ボール７２は図２に示す金
属ボール４２と同様な機能・構成を持つ。
【００３８】ダイアフラム６６側の受圧ボデイ５２には
フランジ５３が図示しないボルトなどにより固定されて
いる。ダイアフラム６６と対向するフランジ５３の対向
面には凹部７３が設けられ、凹部７３はこのフランジ５
３の側面に設けられた圧力導入口７４と導圧管７５を介
して連通されている。
フランジ５３が図示しないボルトなどにより固定されて
いる。ダイアフラム６６と対向するフランジ５３の対向
面には凹部７３が設けられ、凹部７３はこのフランジ５
３の側面に設けられた圧力導入口７４と導圧管７５を介
して連通されている。
【００３９】また、この凹部７３の中央には半球状の凹
部７６が形成され、この凹部７６の中に金属ボール７７
が収納されている。この金属ボール７７も図２に示す金
属ボール４２と同様な機能・構成を持つ。
部７６が形成され、この凹部７６の中に金属ボール７７
が収納されている。この金属ボール７７も図２に示す金
属ボール４２と同様な機能・構成を持つ。
【００４０】図４では、過大圧を吸収する素子として金
属ボールを用いる構成を例に用いて説明したが、図１、
図３に示すように、球体、平板などで過大圧を吸収する
素子を用いて差圧伝送器を構成しても良い。
属ボールを用いる構成を例に用いて説明したが、図１、
図３に示すように、球体、平板などで過大圧を吸収する
素子を用いて差圧伝送器を構成しても良い。
【００４１】以上の構成において、圧力導入口６９と７
４に差圧が印加されると、この差圧に基づいてセンサ５
８に設けられたシリコンゲージ６０が変形して、対応す
る電圧信号に変換して変換器ケース５１に内蔵された信
号処理回路により信号処理が行われる。
４に差圧が印加されると、この差圧に基づいてセンサ５
８に設けられたシリコンゲージ６０が変形して、対応す
る電圧信号に変換して変換器ケース５１に内蔵された信
号処理回路により信号処理が行われる。
【００４２】この場合に、導圧管の途中のバルブを閉め
た閉空間で温度上昇があると、内部流体が膨張して圧力
が上昇するが、金属ボール７２或いは７７の体積が縮小
して膨張した体積を吸収し圧力上昇を抑え、センサ５８
に過大圧力が印加されるのが防止される。
た閉空間で温度上昇があると、内部流体が膨張して圧力
が上昇するが、金属ボール７２或いは７７の体積が縮小
して膨張した体積を吸収し圧力上昇を抑え、センサ５８
に過大圧力が印加されるのが防止される。
【００４３】なお、いままでの説明では、変形部材をフ
ランジ側に設ける構成として説明したが、これに限られ
ることはなく、例えば受圧ボデイ側に設けるように構成
しても良い。
ランジ側に設ける構成として説明したが、これに限られ
ることはなく、例えば受圧ボデイ側に設けるように構成
しても良い。
【００４４】以上、実施例と共に具体的に説明したよう
に本発明によれぱ、受圧室の中に圧力を吸収する変形部
材を設ける構成としたので、測定中にストップ弁を閉め
た状態で温度が上昇して導圧管内に体積膨張があって
も、受圧室に設けられた変形部材自身の体積を小さく変
形させ、結果として、受圧室の内部の圧力上昇を抑え、
これによりセンサの破壊を防止することができる。さら
に、プロセス配管に生じるウォ一タハンマなどのように
圧力の突変があっても、変形部材の変形によりこの圧力
の急変を抑える効果があり、センサの破壊を防ぐことが
できる。
に本発明によれぱ、受圧室の中に圧力を吸収する変形部
材を設ける構成としたので、測定中にストップ弁を閉め
た状態で温度が上昇して導圧管内に体積膨張があって
も、受圧室に設けられた変形部材自身の体積を小さく変
形させ、結果として、受圧室の内部の圧力上昇を抑え、
これによりセンサの破壊を防止することができる。さら
に、プロセス配管に生じるウォ一タハンマなどのように
圧力の突変があっても、変形部材の変形によりこの圧力
の急変を抑える効果があり、センサの破壊を防ぐことが
できる。
【００４５】さらに、プロセス配管に生じるウオータハ
ンマなどのように圧力の突変があっても、変形部材の変
形によりこの圧力の急変を抑える効果があり、センサの
破壊を防ぐことができる。
ンマなどのように圧力の突変があっても、変形部材の変
形によりこの圧力の急変を抑える効果があり、センサの
破壊を防ぐことができる。
【図１】本発明の１実施例の構成を示す部分断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２の実施例の構成を示す部分断面図
である。
である。
【図３】本発明の第３の実施例の構成を示す部分断面図
である。
である。
【図４】本発明の第４の実施例の構成を示す部分断面図
である。
である。
【図５】従来の圧力伝送器をプロセス配管に取り付けた
ときのシステム構成図である。
ときのシステム構成図である。
【図６】図５に示す圧力伝送器の構造の詳細を示す部分
断面図である。
断面図である。
１０、３３、３８ 圧力伝送器 １１ プロセス配管 １２、１４ ストップ弁 １３、１５、１６ 導圧管 １７、５２ 受圧ボデイ ２１ センサ ２７ 変換器ケース ２８、３４、３９、４４、５３、５４ フランジ ３２、６９、７４ 圧力導入口 ３７ 球体 ４２、７２、７７ 金属ボール ４７ 平板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 13/00 G01L 19/06
Claims (4)
- 【請求項１】内部空所を有する受圧ボデイと、この内部空所の一壁面に一面が固定されて設けられ 差圧
或いは圧力を検出するセンサと、 このセンサからのセンサ信号を伝送信号に変換する伝送
部と、前記受圧ボデイの一端面に設けられ前記受圧ボデイとシ
ール室を構成する シールダイアフラムと、前記受圧ボデイに設けられ前記シール室と前記内部空所
とを連通する 連通孔と前記受圧ボデイに取付けられ前記
受圧ボデイと前記シールダイアフラムと前記差圧或いは
圧力が導入される受圧室を構成するフランジとを具備す
る差圧／圧力伝送器において、 前記受圧室に設けられ前記受圧室の内部の体積を変化さ
せて前記受圧室内の前記差圧或いは圧力が所定値以上上
昇するのを吸収する変形部材を具備した事を特徴とする
差圧／圧力伝送器。 - 【請求項２】前記変形部材は内部が中空の部材であるこ
とを特徴とする請求項１記載の差圧／圧力伝送器。 - 【請求項３】前記変形部材は高い体積圧縮率を有する材
料からなることを特徴とする請求項１記載の差圧／圧力
伝送器。 - 【請求項４】前記変形部材は一定面積の平板を気密を保
持して前記フランジに固定したことを特徴とする請求項
１記載の差圧／圧力伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32250494A JP3158913B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 差圧／圧力伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32250494A JP3158913B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 差圧／圧力伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178783A JPH08178783A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3158913B2 true JP3158913B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=18144395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32250494A Expired - Fee Related JP3158913B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 差圧／圧力伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3158913B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102044767B (zh) | 2009-10-20 | 2013-06-05 | 上海莫仕连接器有限公司 | 电连接器 |
| JP2018080929A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 株式会社堀場エステック | 流体機器 |
| JP2022018624A (ja) * | 2020-07-16 | 2022-01-27 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
-
1994
- 1994-12-26 JP JP32250494A patent/JP3158913B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08178783A (ja) | 1996-07-12 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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