JPH1044036A - 研削加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＥＬＩＤ研削法を適用した研削加工装置にお
いて、装置本体から電極板を取り外すことなく電極面に
付着した汚れを除去するようにした研削加工装置を提供
する。 【解決手段】 砥石を回転させながらワークを研削する
と共に砥石と所定の間隔を存して電極板を対向配置し、
これら両者間に研削液を供給しながら通電して砥石の目
詰まりを解消する研削加工装置において、電極板３２を
砥石２３と前記間隔を存して移動させる駆動手段３３
と、電極板３２の砥石２３と対向する電極面３２ｂの汚
れを払拭するブラシ３４と、ブラシ３４を駆動する駆動
手段３５とを備えた構成としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、脆性材料を超精密
に研削可能な研削加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】脆性材料を超精密に研削して鏡面研削を
可能とする研削法として電解インプロセスドレッシング
（Electrolytic In-process Dressing）研削法（以下
「ＥＬＩＤ研削法」という）が提案されている。このＥ
ＬＩＤ研削法は、微細粒子を有するメタルボンド砥石を
用いて脆性材料を能率的に、且つ安定的に鏡面に創成す
ることが可能で、１μｍ以下の超微粒砥石が使用され
る。

【０００３】メタルボンド砥石としては、例えば、鋳鉄
ファイバボンドダイアモンド（CastIron Fiber Bonded-
Diamnd）砥石（以下「CIFB-D砥石」という）がある。こ
のCIFB-D砥石は、鋳鉄ファイバの基材に粒径１μｍ以下
の微細なダイアモンドの砥粒とカーボニル鉄粉とを混合
して成形焼結した繊維強化複合材の一種で、砥粒は、強
い結合力により保持され、セラミックス等の硬い脆性材
料を研削することが可能である。

【０００４】ところで、メタルボンド砥石は、超微細砥
粒であるために目詰まりが発生し、この目詰まりを解消
するために、砥石表面の砥粒を取り巻くボンド（結合
材）だけを取り除き、砥粒の切れ刃を露出させるドレッ
シングが必要である。このドレッシングを、水溶性研削
液を使用して電気的に行う方法が電解ドレッシングとい
われ、更に、研削中に電解ドレッシングを行うものが電
解インプロセスドレッシング（ＥＬＩＤ）といわれる。
この電解インプロセスドレッシングは、導電性を有する
鋳鉄をボンド材とするメタルボンド砥石を使用し、砥石
の研削面と僅かな間隙を存して電極板を対向配置し、こ
の間隙に研削液を供給しながらこれら砥石と電極板間に
通電して行われる。

【０００５】図８及び図９にＥＬＩＤ研削法を適用した
研削加工装置の概要を示す。図８及び図９において、研
削加工装置１は、回転軸２、この回転軸２の先端に固定
されたメタルボンド砥石（以下単に「砥石」という）
３、この砥石３の端面３ａ、外周面３ｂと夫々僅かな間
隙を存して対向配置された電極板４、５、砥石３の本体
部外周面３ｃに摺接するブラシ６、砥石３の端面３ａ、
外周面３ｂと電極板４、５との間に研削液（純水））を
供給するノズル７、及び正極端子がブラシ６に、負極端
子が電極板４、５に接続されて砥石３の端面３ａ、外周
面３ｂと電極板４、５との間に研削液を介して通電する
電源８等により構成されている。

【０００６】図８に示すように支持手段１０にワーク１
１を固定し、回転軸２により砥石３を回転させながら端
面３ａをワーク１１に圧接させると共に、砥石３の端面
３ａ、外周面３ｂと電極板４、５との間に研削液を供給
し、電源８により通電する。砥石３は、回転に伴いワー
ク１１を研削する。砥石３は、ワーク１１を研削するに
伴い目詰まりを起こすが、研削液と電極板４、５とによ
り電解ドレッシングされ、目詰まりが解消される。これ
により連続的にワーク１１の研削加工を行うことができ
る。

【０００７】また、図９に示すように砥石３の外周面３
ｂに支持手段１２により矢印のようにワーク１３を水平
面内（又は、垂直面内）で揺動させながら圧接させ、ワ
ーク１３を球面、或いは非球面に研削加工する。そし
て、研削に伴い目詰まりした砥石３の外周面３ｂは、研
削液と電極板５とにより電解ドレッシングされ、目詰ま
りが解消される。これにより連続的にワーク１３の研削
加工を行うことができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記ＥＬＩＤ研削方法
による研削加工装置は、電極板４、５の砥石３と対向す
る面が汚れ、これに伴い通電電流量が低下するために、
電極板４、５を定期的（１回／日）に取り外して清浄す
る必要がある。しかしながら、電極板４、５と砥石３の
端面３ａ、外周面３ｂは、約 0.1〜0.15 mmと僅かな間
隙を存して対向配置するために、これらの電極板４、５
を取り外して汚れを落とし、再度装着する際に砥石３の
端面３ａ、外周面３ｂとの間の間隙を取り外す前の元の
間隙に正確に設定することが困難である。このため、装
着に手間がかかり作業能率が著しく低下する。また、電
解条件が微妙に変化してしまうためにＥＬＩＤ効果にバ
ラツキができ研削加工精度に影響する等の問題がある。

【０００９】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、ＥＬＩＤ研削法を適用した研削加工装置において、
装置本体から電極板を取り外すことなく電極面に付着し
た汚れを除去するようにした研削加工装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明では、砥石を回転させながらワークを
研削すると共に前記砥石と所定の間隔を存して電極板を
対向配置し、これら両者間に研削液を供給しながら通電
して前記砥石の目詰まりを解消する研削加工装置におい
て、前記電極板を前記砥石と前記間隔を存して移動させ
る駆動手段と、前記電極板の前記砥石と対向する電極面
の汚れを払拭するブラシと、前記ブラシを駆動する駆動
手段とを備えた構成としたものである。

【００１１】砥石の研削加工に伴い対向する電極面にゴ
ミ等の不純物が付着して汚れ、通電状態が悪くなる。電
極板は、砥石に対して移動され、良好な電極面が研削面
と対向する。一方、不純物が付着して汚れて電極面は、
ブラシにより払拭されて綺麗な面とされる。これにより
砥石と対向する電極面を常時良好に維持することがで
き、電極板を装置から取り外すことなく長期間に亘り使
用することができる。

【００１２】請求項２の発明では、前記電極板は、円板
状をなし、電極面の一部が前記砥石と対向して設けら
れ、回転される構成としたものである。電極板は、円板
とされ、且つ回転させることにより、電極面の砥石と対
向する面を簡単に変えることができる。請求項３の発明
では、前記電極板は、電極面が前記砥石の外周面に対応
する凹曲面に形成され、前記外周面と離隔対向して配置
され回転及び軸方向に移動自在に設けられた支持部材の
外周面に周方向に沿って複数設けられ、前記支持部材の
軸方向の移動及び間欠的な回転により、順次交代される
構成としたものである。

【００１３】使用中の電極板の電極面が汚れたときに、
支持部材を砥石の外周面に対して軸方向に移動させて砥
石からずらし、次いで、所定量回動させて隣の電極板を
使用可能とし、支持部材を軸方向に元の位置まで戻して
当該電極部材の電極面を砥石の外周面に対向させる。前
記電極面が汚れて交代された電極部材は、電極面がブラ
シにより払拭されて汚れが除去される。このようにして
間欠的に電極部材を交代させる。

【００１４】請求項４では、前記電極板は、電極面が前
記砥石の外周面に対応する凹曲面をなして前記砥石の軸
方向に沿う長い形状とされ、前記砥石の軸方向に移動さ
れる構成としたものである。砥石の外周面と対向する電
極面が汚れて来たときに、電極部材を研削面に対して所
定量移動させ、綺麗な電極面を砥石の外周面に対向させ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の態様を実施例
１、実施例２、実施例３により説明する。 （実施例１）図１において研削加工装置２０は、フレー
ム２１に砥石の回転軸２２が水平、且つ回転自在に軸支
されており、当該回転軸２２の一端に円盤状の砥石２３
が装着されている。また、回転軸２２の他端は、図示し
ない駆動装置に連結されて回転駆動される。砥石２３
は、メタルボンド砥石で、端面２３ａ、外周面２３ｂが
夫々研削面とされている。

【００１６】図１乃至図３に示すように電極板制御装置
３０は、研削加工装置２０と一体的に構成されており、
フレーム３１がフレーム２１に固定されている。電極板
制御装置３０は、電極板３２、この電極板３２を回転さ
せる駆動部３３、電極板３２の電極面清掃用のブラシ３
４、このブラシ３４を回転させる駆動部３５（図２）、
駆動部３３及び３５を支持するフレーム３６、このフレ
ーム３６をフレーム３１に水平に且つ進退可能に支持す
る送り機構３７（図２、図３）等により構成されてい
る。

【００１７】図１に示すように駆動部３３の回転軸４１
は、砥石２３の回転軸２２の一側に平行且つ水平に配置
され、フレーム３６に絶縁性を有する例えば、セラミッ
ク軸受４２により回転自在に支持されている。また、回
転軸４１とフレーム３６との間には絶縁性を有するゴム
シール部材が装着されている。回転軸４１の軸心には研
削液を供給するための孔４１ａが設けられている。回転
軸４１の後部にはスリップリング４３、ギヤ４４が装着
固定されており、後端には孔４１ａに連通する回り継手
４５が取り付けられている。回転軸４１は、鉄部材によ
り構成されており、スリップリング４３と電気的に接続
されている。このため回転軸４１は、セラミック軸受４
２によりフレーム３６と電気的に絶縁されている。回り
継手４５は、図示しないホースを介して研削液供給部に
接続される。

【００１８】この回転軸４１の前部は、フレーム３１に
設けられた孔３１ａを僅かな間隙で遊貫しており、先端
に電極板３２が着脱可能に装着されている。この電極板
３２は、円板状の厚板とされ、内部に放射状に小孔３２
ａが多数設けられており、各小孔３２ａの基端は、回転
軸４１の孔４１ａに連通され、各先端は、外周面近傍の
内面（以下「電極面」という）３２ｂに開口している。

【００１９】図２に示すように駆動用モータ４６は、フ
レーム３６に回転軸４１の後部に配設されており、回転
軸に固定されたギヤ４７が回転軸４１のギヤ４４と噛合
している。また、フレーム３６には回転軸４１のスリッ
プリング４３と直交してブラシ４８が装着されており、
先端面がスリップリング４３の外周面に当接して電気的
に接続されている。このブラシ４８は、電線４９を介し
て電源（図示せず）の負極に接続される。砥石２３（図
１）の回転軸２２は、スリップリング２４、ブラシ及び
電線（共に図示せず）を介して前記電源の正極に、電極
板３２は、負極に接続される。そして、砥石２３は、前
記電源の正極に接続される。

【００２０】図２に示すように清掃用ブラシ３４の駆動
部３５の回転軸５０は、電極板３２の回転軸４１の下側
に当該回転軸４１と平行且つ水平に配置され、軸受５１
によりフレーム３６に回転自在に支持されている。駆動
用モータ５２は、回転軸５０の後方に配置され、フレー
ム３６に固定されている。このモータ５２の回転軸は、
カップリング５３を介して回転軸５０の後端に接続され
ている。回転軸５０の前部は、フレーム３１に設けられ
た孔３１ｂを僅かな間隙を存して遊貫し、先端に清掃用
のブラシ３４が固定されている。ブラシ３４は、円板に
例えば、ナイロン繊維が植毛されて形成されており、そ
の外径が電極板３２の外周から回転軸４１の外周面まで
の長さ程度とされている。そして、ブラシ３４は、毛先
がナイロンの弾性により電極板３２の電極面３２ｂに適
度な押圧力で圧接している。

【００２１】図１及び図３に示すように送り機構３７
は、フレーム３１とフレーム３６との間に設けられてお
り、２本のスライドレール６０、６０、送りねじ６１、
送りねじ６１と螺合するナット６２、駆動用モータ６３
等により構成されている。図３に示すようにスライドレ
ール６０、６０は、上下に所定の間隔を存して水平に且
つフレーム３６と平行に配置されてフレーム３１に固定
されている。そして、これらのスライドレール６０、６
０にフレーム３６が水平に摺動可能に装着されている。
図１に示すように駆動用モータ６３は、スライドレール
６０、６０の後方且つこれらの間に水平に配置されてフ
レーム３１に固定されている。ナット６２は、スライド
レール６０、６０の間に水平に摺動可能に配置され、一
側部がフレーム３６に固定されている。送りねじ６１
は、ナット６２に螺合し、基端が駆動用モータ６３の回
転軸に固定されている。そして、送り機構３７は、モー
タ６３の回転によりフレーム３６を水平に前後方向に駆
動する。これにより図１の矢印Ａ又はＢ方向に電極板３
２が、砥石２３に対して進退可能とされる。

【００２２】電極板３２を駆動する駆動用モータ４６、
ブラシ３４を駆動する駆動用モータ５２及び送り機構３
７の駆動用モータ６３は、図示しない制御装置により制
御される。尚、制御装置としては、例えば、精密旋盤装
置を制御するＮＣ装置を利用しても良い。精密ＮＣ旋盤
装置にＥＬＩＤ研削法を付加することにより、研削加
工、ラップ加工をＥＬＩＤ研削加工の１工程で対応する
ことが可能であり、高精度研削を高能率に、安定的に実
現、自動化することが可能である。そこで、このＮＣ制
御装置を利用して前記各モータを制御するようにしても
良い。また、送り機構３７の駆動用モータ６３として、
例えば、パルスモータを使用することにより、電極３２
の位置決め制御等を良好に行うことが可能である。

【００２３】以下に作用を説明する。図１おいて、砥石
２３により研削を開始する前に、送り機構３７によりフ
レーム３６を矢印Ｂ方向に後退させ、電極板３２を２点
鎖線で示す所定位置位置まで移動させる。そして、電極
板３２の電極面３２ｂを砥石２３の端面２３ａと所定の
間隙を存して対向させる。次いで、回転軸４１の孔４１
ａに研削液を供給し、電極板３２の各孔３２ａから電極
面３２ｂと砥石２３の端面２３ａとの間に供給すると共
に、前記電源を投入する。この電源から出力される電流
は、スリップリング２４、回転軸２２、砥石２３、研削
液、電極３２、回転軸４１、スリップリング４３、ブラ
シ４８、電線４９、電源の経路で流れ電解ドレッシング
が開始される。

【００２４】また、駆動用モータ４６により電極板３２
を回転させ、駆動用モータ５２により清掃用のブラシ３
４を回転させる。電極板３２は、回転に伴い電極面３２
ｂの砥石２３の端面２３ａと対向する部位が変化する。
また、ブラシ３４は、回転に伴い電極面３２ｂを擦り、
当該電極面３２ｂに付着しているゴミ等を払い落とす。

【００２５】この状態で回転軸２２を所定の回転速度で
駆動し、砥石２３を回転させてワーク（図示せず）の研
削加工を開始する。ワークの研削加工に伴い目詰まりし
た砥石２３の端面２３ａは、研削液により電解ドレッシ
ングされ、目詰まりが解消される。電極板３２は、電極
面３２ｂの砥石２３と対向する部位が電解ドレッシング
伴いゴミ（不純物）が付着して汚れてくる。しかしなが
ら、電極板３２は、回転し、ブラシ３４により電極面３
２ｂに付着しているゴミが払拭される。この結果、電極
面３２ｂは、常時良好な状態に維持される。これにより
電極板３２を取り外すことなく長時間に亘り研削加工を
行うことができる。

【００２６】ところで、従来電極板の手入即ち、電極面
に付着したゴミの払拭は、１日１回程度である。従っ
て、電極板３２は、低速回転例えば、１回／分程度、或
いは、これ以下の回転速度でも十分である。また、電極
板３２は、連続的に回転させる必要もなく、間欠的に回
転させるようにしてもよい。従って、ブラシ３４は、電
極板３２の回転に応じて回転させるようにしてもよい。
即ち、電極板３２を連続的に回転させる場合にはブラシ
３４も連続的に回転させ、電極板３２を間欠的に回転さ
せる場合には、回転させた分に応じてブラシ３４を回転
させて払拭した後、次に電極板３２が回転するまでの間
ブラシ３４回転を停止させるようにしても良い。要する
に、電極面３２ｂの砥石２３の端面２３ａと対向する部
位を常に払拭して良好な面にすればよい。これにより電
極板３２を装置から取り外すことなく長期間に亘り使用
することができる。

【００２７】尚、上記実施例では、回転軸４１の孔４１
ａから電極板３２の多数の孔３２ａを通して電極面３２
ｂと砥石２３との間に研削液を供給するようにしたがこ
れに限るものではなく、従来と同様にノズルを設けて研
削液を供給するようにしてもよい。このようにノズルを
別に設けた方が回転軸４１、電極板３２の構造を簡単に
することができる。 （実施例２）実施例２は、砥石２３の外周面２３ｂの電
解ドレッシングを行うための電極板とこの電極板の電極
面の汚れを払拭する清掃ブラシに関するものである。図
４及び図５に示すように電極板を支持する電極ホルダ６
５は、砥石２３の一側方に配置されている。この電極ホ
ルダ６５は、円板状をなし、外周面に周方向に複数例え
ば、４枚の電極板６６〜６９が等間隔で固定されてい
る。電極板６６〜６９は、電極面６６ａ〜６９ａが砥石
２３の外周面２３ｂの外径に応じた凹曲面とされ、当該
外周面２３ｂと所定の間隔を存して対向可能とされてい
る。

【００２８】電極ホルダ６５は、砥石２３の回転軸２２
と平行に配置された回転軸７０の先端に固定されてい
る。回転軸７０は、間欠的に所定の角度回転し、更に図
５の矢印Ｃで示す軸方向に所定距離進退可能とされてい
る。この回転軸７０は、図示しない駆動機構により所定
のタイミングで回転及び進退駆動される。そして、回転
軸７０は、前述したように４枚の電極板６６〜６９が電
極ホルダ６５の外周面に等間隔で設けられている場合に
は、９０°づつ図４の矢印Ｄ方向に回転する。また、電
極ホルダ６５は、図５の実線で示す位置において電極板
６６〜６９の電極面６６ａ〜６９ａが外周面２３ｂと対
向可能とされ、２点鎖線で示す位置において外周面２３
ｂから僅かに外れるようになっている。

【００２９】ブラシ７１は、円板状のホルダ７２の外周
面に全周面に亘りナイロン繊維が植毛されて形成されて
いる。このブラシ７１は、図４及び図５に示すように電
極ホルダ６５が砥石２３の外周面２３ｂと対向する位置
において、現在外周面２３ｂと対向していない電極板例
えば、現在外周面２３ｂと対向して使用している電極板
６６の隣に位置し、次に使用される電極板６７の電極面
６７ａに弾性的に圧接するようになっている。このブラ
シ７１は、ホルダ７２が電極ホルダ６５の回転軸７０と
平行に配置されている回転軸７３の先端に固定されてい
る。この回転軸７３は、図示しない駆動機構により回転
駆動される。

【００３０】以下に作用を説明する。図４及び図５に示
すように例えば、電極板６６の電極面６６ａを砥石２３
の外周面２３ｂと対向させて配置し、これらの間に図示
しないノズルから研削液を供給する。そして、砥石２３
から研削液を介して電極面６６ａに通電し、電解ドレッ
シングを行う。この状態で砥石２３を回転させて外周面
２３ｂによりワーク（図示せず）を研削加工する。一
方、ブラシ７１は、次に使用する電極板６７の電極面６
７ａを払拭して付着しているゴミを除去する。尚、ブラ
シ７１は、電極面６７ａに付着しているゴミを取り除い
た後、停止させても良い。

【００３１】電極板６６を適当な時間使用した後、砥石
２３の回転を停止し、回転軸７０を図５の矢印Ｃ方向に
突き出して電極ホルダ６５を砥石２３から外し、次い
で、図４の矢印Ｄ方向に９０°回転させ、再び後退させ
て電極板６７の電極面６７ａを砥石２３の外周面２３ｂ
に対向させる。このようにして電極ホルダ６５を間欠的
に矢印Ｄ方向に回動させて、ゴミ等を払拭した電極板を
使用する。これにより長期間に亘り電極板６６〜６９を
装置から取り外すことなく使用することができる。 （実施例３）実施例３は、砥石２３の外周面２３ｂの電
極板の形状を示す。図６及び図７に示すように、電極板
７５は、棒状をなし、一側面７５ａが電極面（以下「電
極面７５ａ」という）とされている。この電極面７５ａ
は、図６に示すように外周面２３ｂと対応する凹曲面と
されており、所定の間隔を存して外周面２３ｂと対向可
能とされている。この電極板７５は、砥石２３の側方に
回転軸４１と平行に配置され、図示しない駆動機構によ
り軸方向に移動可能とされている。

【００３２】この電極板７５は、図７に示すように例え
ば、電極面７５ａの先端近傍から外周面２３ｂに対向さ
せて使用し、順次矢印Ｅ方向に移動させる。これによ
り、電極板７５は、電極面７５ａの良好な面が外周面２
３ｂと対向することとなる。そして、電極面７５ａの先
端部から基端部まで全長に亘り使用した後、当該電極板
７５を取り外し、付着している汚れを払拭する。

【００３３】尚、例えば、図示のように砥石２３の端面
２３ａと対向させて円板状のブラシ８０を配置し、図示
しない回転機構により回転軸８１を回転させて電極面７
５ａの汚れを払拭するようにしてもよい。この場合電極
板７５を軸方向に往復動させる。これにより電極板７５
を装置から取り外すことなく繰り返し使用することがで
きる。

【００３４】或いは、砥石２３を挟んで両側に歯ブラシ
状のブラシを配置し、電極板７５を軸方向に往復動させ
ることにより、装置から取り外すことなく繰り返し使用
することができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の本発明で
は、電極板は、砥石に対して移動され、良好な電極面が
研削面と対向する。一方、電極板は、砥石の研削加工に
伴い電極面に付着したゴミ等の不純物がブラシにより払
拭される。これにより、砥石と対向する電極面を常時良
好な状態に維持することができ、電極板を装置から取り
外すことなく長期間に亘り使用することができ、作業能
率の大幅な向上が図られると共に、研削加工条件を一定
に維持することができ、加工精度の向上が図られる。

【００３６】請求項２の発明では、電極板を円板として
回転させることにより、電極面の砥石との対向面を簡単
に、且つ連続的に変えることができる。また、装置の構
成が簡単となる。請求項３の発明では、砥石の外周面と
対向する電極板の電極面が汚れたときに、順次隣の電極
板と交代し、汚れた電極板の電極面をブラシで払拭する
ようにしたので、常時良好な電極面を維持することがで
きる。

【００３７】請求項４の発明では、砥石の外周面と対向
する電極面が汚れて来たときに、電極部材を砥石に対し
て所定量移動させることで、良好な電極面を砥石に簡単
に対向させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＥＬＩＤ研削法を適用した本発明に係る研削加
工装置の第１実施例を示す要部切欠平面図である。

【図２】図１の要部切欠側面図である。

【図３】図１の背面図である。

【図４】本発明に係る研削加工装置の砥石と電極板及び
清掃用のブラシの第２実施例の概要を示す端面図であ
る。

【図５】図４の矢線Ｖ−Ｖに沿う断面図である。

【図６】本発明に係る研削加工装置の砥石と電極板の第
３実施例の概要を示す端面図である。

【図７】図６の一部切欠側面図である。

【図８】ＥＬＩＤ研削法の概要を示し、砥石の端面によ
る研削加工を示す説明図である。

【図９】ＥＬＩＤ研削法の概要を示し、砥石の外周面に
よる研削加工を示す説明図である。

【符号の説明】

２０ 研削加工装置 ２１、３１、３６ フレーム ２２、４１、５０、７０、７３ 回転軸 ２３ 砥石 ３０ 電極板制御装置 ３２、６６〜６９、７５ 電極板 ３３、３５ 駆動部 ３７ 送り機構 ３４、７１、８０ ブラシ ４６、５２、６３ 駆動用モータ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥石を回転させながらワークを研削する
   と共に前記砥石と所定の間隔を存して電極板を対向配置
   し、これら両者間に研削液を供給しながら通電して前記
   砥石の目詰まりを解消する研削加工装置において、 前記電極板を前記砥石と前記間隔を存して移動させる駆
   動手段と、 前記電極板の前記砥石と対向する電極面の汚れを払拭す
   るブラシと、 前記ブラシを駆動する駆動手段とを備えたことを特徴と
   する研削加工装置。
2. 【請求項２】 前記電極板は、円板状をなし、電極面の
   一部が前記砥石と対向して設けられ、回転されることを
   特徴とする請求項１記載の研削加工装置。
3. 【請求項３】 前記電極板は、電極面が前記砥石の外周
   面に対応する凹曲面に形成され、前記外周面と離隔対向
   して配置され回転及び軸方向に移動自在に設けられた支
   持部材の外周面に周方向に沿って複数設けられ、前記支
   持部材の軸方向の移動及び間欠的な回転により、順次交
   代されることを特徴とする請求項１記載の研削加工装
   置。
4. 【請求項４】 前記電極板は、電極面が前記砥石の外周
   面に対応する凹曲面をなして前記砥石の軸方向に沿う長
   い形状とされ、前記砥石の軸方向に移動されることを特
   徴とする請求項１記載の研削加工装置。