JPH0557610A - 研削加工方法 - Google Patents
研削加工方法Info
- Publication number
- JPH0557610A JPH0557610A JP21548991A JP21548991A JPH0557610A JP H0557610 A JPH0557610 A JP H0557610A JP 21548991 A JP21548991 A JP 21548991A JP 21548991 A JP21548991 A JP 21548991A JP H0557610 A JPH0557610 A JP H0557610A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- work
- grinding wheel
- abrasive grain
- grindstone
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- Pending
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研削砥石によりワークの研削加工を行いつ
つ、ワークに当接していない部分の研削砥石を洗浄する
研削加工方法。 【構成】 研削砥石２８の回転中心から半径方向に離隔
した位置の砥粒部３５をワーク２６に当接させる。そし
て、研削液を超音波発振器３０により超音波発振させ
て、ワーク２６に当接する砥粒部３５から離隔した位置
の砥粒部３５に向けて噴射し、研削砥石２８によりワー
ク２６を研削加工しながら砥粒部３５を洗浄する研削加
工方法。
つ、ワークに当接していない部分の研削砥石を洗浄する
研削加工方法。 【構成】 研削砥石２８の回転中心から半径方向に離隔
した位置の砥粒部３５をワーク２６に当接させる。そし
て、研削液を超音波発振器３０により超音波発振させ
て、ワーク２６に当接する砥粒部３５から離隔した位置
の砥粒部３５に向けて噴射し、研削砥石２８によりワー
ク２６を研削加工しながら砥粒部３５を洗浄する研削加
工方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、研削砥石を使用した研
削加工方法に関する。
削加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】研削砥石を使用して高精度、高能率に研
削加工を行なうには、研削砥石の目詰りを防止して常に
切れ味のよい状態に研削砥石を保つことが重要である。
削加工を行なうには、研削砥石の目詰りを防止して常に
切れ味のよい状態に研削砥石を保つことが重要である。
【０００３】そして、従来から採られている最も一般的
な方法は、研削砥石の目詰りが生ずると研削砥石の砥粒
部をドレッサに接触させて目立てを行う方法である。
な方法は、研削砥石の目詰りが生ずると研削砥石の砥粒
部をドレッサに接触させて目立てを行う方法である。
【０００４】また、最近、半導体や光電子機器分野など
では研削砥石の粒度が微細化され、超精密鏡面加工とと
もに加工物の寸法精度の要求がますますきびしくなって
いる。これに対しては上記の方法では研削砥石はすぐに
目詰りをおこし寿命は短く、生産性は極めて悪い。そし
て、これらを解決する方法として、電解ドレッシング研
削、電解ドレス振動研削、超音波振動研削等がおこなわ
れている。
では研削砥石の粒度が微細化され、超精密鏡面加工とと
もに加工物の寸法精度の要求がますますきびしくなって
いる。これに対しては上記の方法では研削砥石はすぐに
目詰りをおこし寿命は短く、生産性は極めて悪い。そし
て、これらを解決する方法として、電解ドレッシング研
削、電解ドレス振動研削、超音波振動研削等がおこなわ
れている。
【０００５】次に、これらの方法につき、先ず、電解ド
レッシング研削の一例として例えば特開平２−２３２１
６２号公報に記載のものを図２により説明する。
レッシング研削の一例として例えば特開平２−２３２１
６２号公報に記載のものを図２により説明する。
【０００６】最初にツルア１の導電性砥石部２に対しノ
ズル３から研削液を供給し、電極４及び給電ブラシ５を
それぞれ陰極及び陽極として電源装置６に接続して電解
ドレッシングを行いつつ駆動軸７を回転させ、被ツルー
イング砥石８の導電性砥石部９にツルア１によりツルー
イングを実施する。しかるのち、被ツルーイング砥石８
の導電性砥石部９にノズル３から研削液を供給しつつ電
極１１及び給電ブラシ１２を陰極及び陽極になるように
スイッチ１３，１４を切り換え、ツルーイング後の被ツ
ルーイング砥石８の導電性砥石部９の電解ドレッシング
を行う。また、図３に示すものは、特開平２−２３２１
６３号公報に記載のもので、前述の電解ドレッシング研
削によるドレッシング装置に振動テーブル１５とパルス
発振器１６と駆動用電源１７とを設け、振動テーブル１
５を振動させることによりこの振動テーブル１５に載置
される被削材１８を振動させつつ導電性砥石によって研
削するとともに導電性砥石にドレッシングを行う方法で
ある。
ズル３から研削液を供給し、電極４及び給電ブラシ５を
それぞれ陰極及び陽極として電源装置６に接続して電解
ドレッシングを行いつつ駆動軸７を回転させ、被ツルー
イング砥石８の導電性砥石部９にツルア１によりツルー
イングを実施する。しかるのち、被ツルーイング砥石８
の導電性砥石部９にノズル３から研削液を供給しつつ電
極１１及び給電ブラシ１２を陰極及び陽極になるように
スイッチ１３，１４を切り換え、ツルーイング後の被ツ
ルーイング砥石８の導電性砥石部９の電解ドレッシング
を行う。また、図３に示すものは、特開平２−２３２１
６３号公報に記載のもので、前述の電解ドレッシング研
削によるドレッシング装置に振動テーブル１５とパルス
発振器１６と駆動用電源１７とを設け、振動テーブル１
５を振動させることによりこの振動テーブル１５に載置
される被削材１８を振動させつつ導電性砥石によって研
削するとともに導電性砥石にドレッシングを行う方法で
ある。
【０００７】さらに、図４に示すものは、特開平２−２
３２１６４号公報に記載のもので、被加工物１９を保持
する被加工物保持部２０と砥石２１を保持する砥石保持
部２２とを備え、被加工物保持部２０及び砥石保持部２
２の少なくとも一方に砥石２１による被加工物１９の研
削箇所へ超音波を印加する超音波振動子２３を埋設し
て、砥石２１の目詰りを防止するようにしたものであ
る。
３２１６４号公報に記載のもので、被加工物１９を保持
する被加工物保持部２０と砥石２１を保持する砥石保持
部２２とを備え、被加工物保持部２０及び砥石保持部２
２の少なくとも一方に砥石２１による被加工物１９の研
削箇所へ超音波を印加する超音波振動子２３を埋設し
て、砥石２１の目詰りを防止するようにしたものであ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記の特開
平２−２３２１６２号公報に記載のもの及び特開平２−
２３２１６３号公報に記載のものは、研削砥石に電流を
流して電解作用を利用し、結合材を溶解させることで目
詰りを防止する方法なので、漏電を起こさぬように各種
の絶縁対策が必要であり、また、研削液も電解作用に適
応したものが必要でその選択にも制限を受けるという問
題がある。また、特開平２−２３２１６４号公報に記載
のものは、研削砥石あるいはワークに超音波振動を与え
つつ研削加工を行う方法であり、研削砥石あるいはワー
クの回転部に超音波発振器を内装させるので、構造的に
むずかしく、したがって、回転部の高剛性化ができず、
高精度を必要とする研削加工には不向きである等の問題
があった。
平２−２３２１６２号公報に記載のもの及び特開平２−
２３２１６３号公報に記載のものは、研削砥石に電流を
流して電解作用を利用し、結合材を溶解させることで目
詰りを防止する方法なので、漏電を起こさぬように各種
の絶縁対策が必要であり、また、研削液も電解作用に適
応したものが必要でその選択にも制限を受けるという問
題がある。また、特開平２−２３２１６４号公報に記載
のものは、研削砥石あるいはワークに超音波振動を与え
つつ研削加工を行う方法であり、研削砥石あるいはワー
クの回転部に超音波発振器を内装させるので、構造的に
むずかしく、したがって、回転部の高剛性化ができず、
高精度を必要とする研削加工には不向きである等の問題
があった。
【０００９】本発明はこれに鑑み、研削加工を行いつつ
研削砥石の洗浄を行うことにより、高精度の研削加工が
できる研削加工方法を提供することを、目的としてなさ
れたものである。
研削砥石の洗浄を行うことにより、高精度の研削加工が
できる研削加工方法を提供することを、目的としてなさ
れたものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明においては、研削砥石の回転中心から半径方
向に離隔した位置の砥粒部をワークに当接させ、研削液
を超音波発振器により超音波発振させてワークに当接す
る砥粒部から離隔した位置の砥粒部に向けて噴射し、研
削砥石によりワークを研削しながら研削砥石の砥粒部を
洗浄することを特徴とするものである。
めの本発明においては、研削砥石の回転中心から半径方
向に離隔した位置の砥粒部をワークに当接させ、研削液
を超音波発振器により超音波発振させてワークに当接す
る砥粒部から離隔した位置の砥粒部に向けて噴射し、研
削砥石によりワークを研削しながら研削砥石の砥粒部を
洗浄することを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】研削砥石の砥粒部をワークに当接させるととも
に、超音波発振器により超音波発振させた研削液をワー
クに当接する砥粒部から離隔する砥粒部に向けて噴射す
ることにより、研削砥石によりワークを研削しつつ研削
砥石の砥粒部が洗浄される。
に、超音波発振器により超音波発振させた研削液をワー
クに当接する砥粒部から離隔する砥粒部に向けて噴射す
ることにより、研削砥石によりワークを研削しつつ研削
砥石の砥粒部が洗浄される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図１に示す一実施例を参照し
て説明する。なお、本実施例は、本発明を横軸対向形ロ
ータリ平面研削盤に適用した場合で、図１はその研削加
工装置の縦断面を示している。
て説明する。なお、本実施例は、本発明を横軸対向形ロ
ータリ平面研削盤に適用した場合で、図１はその研削加
工装置の縦断面を示している。
【００１３】研削加工装置２４は、箱体２５と、ワーク
２６を装着する主軸頭２７と、研削砥石２８を装着する
砥石頭２９と超音波発振器３０とを備えている。
２６を装着する主軸頭２７と、研削砥石２８を装着する
砥石頭２９と超音波発振器３０とを備えている。
【００１４】箱体２５は、鋼板等よりなり、主軸頭２７
に設けられたワーク２６と砥石頭２９に設けられた研削
砥石２８とを内設するようにして主軸頭２７と砥石頭２
９とに装着されている。
に設けられたワーク２６と砥石頭２９に設けられた研削
砥石２８とを内設するようにして主軸頭２７と砥石頭２
９とに装着されている。
【００１５】そして、ワーク２６と研削砥石２８との当
接状況が見える位置にはプラスチック板が使用されてお
り、箱体２５の下部には研削液の排出口３１と排出配管
３２とが設けられている。また、箱体２５には図示しな
い蓋がワーク２６及び研削砥石２８を取外すために設け
られている。主軸頭２７は、ワーク２６の装着されるワ
ーク軸３３を有し、このワーク軸３３は、図示しないモ
ータにより回転するようになっている。砥石頭２９は、
研削砥石２８の装着される砥石軸３４を有し、この砥石
軸３４は図示しないモータにより回転するようになって
いる。そして、砥石軸３４と、ワーク軸３３との間には
所定のオフセット（Ｌ）を設けて砥石頭２９と主軸頭２
７とは対向して配設されている。また、研削砥石２８の
外周端部には砥粒部３５が形成されている。
接状況が見える位置にはプラスチック板が使用されてお
り、箱体２５の下部には研削液の排出口３１と排出配管
３２とが設けられている。また、箱体２５には図示しな
い蓋がワーク２６及び研削砥石２８を取外すために設け
られている。主軸頭２７は、ワーク２６の装着されるワ
ーク軸３３を有し、このワーク軸３３は、図示しないモ
ータにより回転するようになっている。砥石頭２９は、
研削砥石２８の装着される砥石軸３４を有し、この砥石
軸３４は図示しないモータにより回転するようになって
いる。そして、砥石軸３４と、ワーク軸３３との間には
所定のオフセット（Ｌ）を設けて砥石頭２９と主軸頭２
７とは対向して配設されている。また、研削砥石２８の
外周端部には砥粒部３５が形成されている。
【００１６】超音波発振器３０は、噴射口３６を有して
おり、この噴射口３６が研削砥石２８の砥粒部３５に向
かうようにして箱体２５に装着されている。そして、高
周波発振された研削液３７によって砥粒部３５に付着す
る微細な汚れ等が瞬時に除去されるようになっている。
なお、３８は洗浄液の供給配管、３９は電源コードを示
している。
おり、この噴射口３６が研削砥石２８の砥粒部３５に向
かうようにして箱体２５に装着されている。そして、高
周波発振された研削液３７によって砥粒部３５に付着す
る微細な汚れ等が瞬時に除去されるようになっている。
なお、３８は洗浄液の供給配管、３９は電源コードを示
している。
【００１７】次に、この研削加工装置２４による研削加
工方法について説明する。
工方法について説明する。
【００１８】先ず、主軸頭２７のワーク軸３３にワーク
２６を装着し、主軸頭２７を図示しない移動装置により
図１に示す矢印Ａ方向へ移動して研削砥石２８の砥粒部
３５をワーク２６の所定の位置へ当接させる。しかるの
ち、超音波発振器３０を作動させて供給配管３８からの
研削液に発振を与え噴射口３６から研削砥石２８の砥粒
部３５に向けて噴射する。次いで、ワーク２６及び研削
砥石２８を回転させることによりワーク２６と研削砥石
２８の砥粒部３５との当接部にも超音波発振された研削
液３７がかかるとともに超音波発振された研削液３７の
エネルギーにより砥粒部３５の目詰まりが洗浄される。
そして、研削加工が終了するとワーク２６、研削砥石２
８及び超音波発振器３０を停止し、主軸頭２７を図１に
示す矢印Ｂ方向へ移動し、ワーク軸３３からワーク２６
を取外して完了する。
２６を装着し、主軸頭２７を図示しない移動装置により
図１に示す矢印Ａ方向へ移動して研削砥石２８の砥粒部
３５をワーク２６の所定の位置へ当接させる。しかるの
ち、超音波発振器３０を作動させて供給配管３８からの
研削液に発振を与え噴射口３６から研削砥石２８の砥粒
部３５に向けて噴射する。次いで、ワーク２６及び研削
砥石２８を回転させることによりワーク２６と研削砥石
２８の砥粒部３５との当接部にも超音波発振された研削
液３７がかかるとともに超音波発振された研削液３７の
エネルギーにより砥粒部３５の目詰まりが洗浄される。
そして、研削加工が終了するとワーク２６、研削砥石２
８及び超音波発振器３０を停止し、主軸頭２７を図１に
示す矢印Ｂ方向へ移動し、ワーク軸３３からワーク２６
を取外して完了する。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による研削
加工方法は、研削砥石の回転中心から半径方向に離隔し
た位置の砥粒部をワークに当接させ、研削液を超音波発
振器により超音波発振させて、ワークに当接する砥粒部
から離れた位置の砥粒部に噴射するようにしたので、ワ
ークを研削加工しながら研削液のエネルギーにより砥粒
部の洗浄を行うことができる。したがって、研削砥石は
常に切れ味の良い状態に保たれ生産性が大巾に向上する
とともに研削砥石の長寿命化を図ることができる。そし
て、研削加工に使用する研削液を洗浄に利用するために
研削液の供給及び回収に特別な装置を必要とすることは
ない。さらに、回転する研削砥石に通電することがない
ので作業の安全性は高く、研削砥石の砥石軸の構造が簡
単になるので装置が安価になるなどの優れた効果があ
る。
加工方法は、研削砥石の回転中心から半径方向に離隔し
た位置の砥粒部をワークに当接させ、研削液を超音波発
振器により超音波発振させて、ワークに当接する砥粒部
から離れた位置の砥粒部に噴射するようにしたので、ワ
ークを研削加工しながら研削液のエネルギーにより砥粒
部の洗浄を行うことができる。したがって、研削砥石は
常に切れ味の良い状態に保たれ生産性が大巾に向上する
とともに研削砥石の長寿命化を図ることができる。そし
て、研削加工に使用する研削液を洗浄に利用するために
研削液の供給及び回収に特別な装置を必要とすることは
ない。さらに、回転する研削砥石に通電することがない
ので作業の安全性は高く、研削砥石の砥石軸の構造が簡
単になるので装置が安価になるなどの優れた効果があ
る。
【図１】本発明の研削加工方法に使用する研削加工装置
の一実施例を示す縦断面図。
の一実施例を示す縦断面図。
【図２】従来技術の研削加工方法に使用する装置の概略
図
図
【図３】従来技術の研削加工方法に使用する装置の概略
図
図
【図４】従来技術の研削加工方法に使用する装置の概略
図
図
２４ 研削加工装置 ２６ ワーク ２８ 研削砥石 ３０ 超音波発振器 ３５ 砥粒部 ３７ 研削液
Claims (1)
- 【請求項１】研削砥石の回転中心から半径方向に離隔し
た位置の砥粒部をワークに当接させ、研削液を超音波発
振器により超音波発振させてワークに当接する砥粒部か
ら離隔した位置の砥粒部に向けて噴射し、研削砥石によ
りワークを研削しながら研削砥石の砥粒部を洗浄するこ
とを特徴とする研削加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21548991A JPH0557610A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 研削加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21548991A JPH0557610A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 研削加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0557610A true JPH0557610A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=16673235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21548991A Pending JPH0557610A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 研削加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0557610A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006000997A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Nachi Fujikoshi Corp | 研削砥石の砥粒面洗浄装置 |
| KR20170015150A (ko) * | 2015-07-30 | 2017-02-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 연삭 장치 |
-
1991
- 1991-08-27 JP JP21548991A patent/JPH0557610A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006000997A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Nachi Fujikoshi Corp | 研削砥石の砥粒面洗浄装置 |
| KR20170015150A (ko) * | 2015-07-30 | 2017-02-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 연삭 장치 |
| JP2017030071A (ja) * | 2015-07-30 | 2017-02-09 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
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