JP4006170B2 - 平面研削装置のツルーイング方法および研削装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は平面研削装置のツルーイング方法および研削装置に関し、さらに詳細には、メタルボンド・ダイヤモンド砥石等の導電性砥石を用いた平面研削装置に対して放電作用を利用したツルーイングを行なう放電ツルーイング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、先端精密加工技術の一つとして、超砥粒砥石を用いた研削技術が注目され、特にレジン系やメタル系結合材料によりダイヤモンド砥粒を結合してなるダイヤモンド砥石は、セラミック等の硬脆材料を研削加工する場合に最適な砥石として好適に使用されている。
【０００３】
ところで、このような超砥粒砥石を研削砥石として用いた平面研削装置では、砥石車のツルーイング(truing)は、従来より以下のような手法により行なわれている。
【０００４】
ここで研削砥石としてメタルボンド・ダイヤモンド砥石を用いた縦軸両頭平面研削盤を例にとれば、そのツルーイングは、図９(a) に示すように、回転駆動中の砥石車ａ，ａの間にツルーイング用の目立砥石ｂを挿入し、該目立砥石ｂの遊離砥粒をもって研削砥石表面のボンド（結合材）Ｂを削り取り、研削砥石の砥粒Ａを突出させながら（ドレッシングしながら）、研削面の成形（ツルーイング）を行なっている。
【０００５】
つまり、平面研削装置における超砥粒砥石のツルーイングは、目立砥石ｂの遊離砥粒を工具とした圧力加工（ラップ技術）によって行なわれていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなラップ技術を用いた従来のツルーイングでは、以下に述べるような問題があり、その改善が望まれていた。
【０００７】
すなわち、ラップ技術を用いた研削砥石のツルーイングでは、研削砥石の成形が遊離砥粒の研削作用によって行なわれるため、研削砥石の砥粒刃先が磨耗し、砥粒の切れ味が鈍るという問題があった。しかも、このようなラップ技術による場合、研削砥石の成形に長時間を要するといった問題もあった。
【０００８】
また、特に両頭平面研削盤のツルーイングにおいては、図９(b) に示すように、ツルーイング中に砥石車ａ，ａによって目立砥石ｂに加えられる圧力のバランスが崩れると、目立砥石ｂを支持するアームｃが撓んでしまうため、正確な成形が困難になり、高精度のツルーイングを行なえないといった問題もあった。
【０００９】
本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、平面研削装置において、短時間で高精度なツルーイングを行い得るツルーイング方法および研削装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の導電性砥石のツルーング方法は、回転駆動される砥石車の環状研削面で工作物の研削を行なう平面研削装置であって、上記環状研削面が導電性結合材料により砥粒が結合されてなる導電性砥石によって形成されたものにおいて、放電ツルーイング電極を前記環状研削面に臨んで配置させるとともに、該放電ツルーイング電極の位置を上記環状研削面に対して相対的にトラバース移動させながら環状研削面に放電ツルーイングを施すように構成し、上記放電ツルーイング電極の上記環状研削面に対する相対的なトラバース移動速度を、放電ツルーイング電極に対面する環状研削面の周速度が一定となるように基本制御するとともに、上記放電ツルーイング時の放電電圧に基づいて上記基本制御に修正を加えて上記トラバース移動速度を修正することを特徴とする。
【００１１】
すなわち、本発明は、平面研削装置のツルーイングにあたり、放電ツルーイング電極を砥石車の環状研削面に臨んで配置し、この放電ツルーイング電極を環状研削面に沿って面方向に相対的にトラバース移動させながら放電ツルーイングを施すことによって平面研削装置の研削面と非接触でのツルーイングを実現する。つまり、この方法では、対面して配置される環状研削面と放電ツルーイング電極のうちのいずれか一方または双方を、両者が接触しないように面方向にスライドさせながら放電ツルーイングが行なわれる。なお、本発明にいう環状研削面には、いわゆるカップ型砥石の研削面の他、中央部に凹部が設けられたディスク状の砥石の研削面が含まれる。
【００１２】
したがって、この方法によれば、研削砥石の砥粒刃先を損なうことなく短時間で砥石車のツルーイングが行なえる。しかも、放電ツルーイング電極は研削面と非接触で放電ツルーイングを行なうので、両頭平面研削装置においても精度の高いツルーイングを行なうことが可能となる。
【００１３】
そして、このツルーイング方法は、その好適な実施態様として、上記放電ツルーイング電極を環状研削面に対して相対的にトラバース移動させるにあたり、該放電ツルーイング電極が上記環状研削面の最外周端縁と最内周端縁を含む範囲でトラバース移動される。また、トラバース移動中、上記放電ツルーイング電極に対面する環状研削面の単位面積当たりの除去量が一定となるように、上記放電ツルーイング電極のトラバース移動速度または砥石車の回転数が調節される。
【００１４】
つまり、放電ツルーイング電極を環状研削面の最外周端縁と最内周端縁を含む範囲でトラバース移動させることにより、環状研削面の全面のツルーイングを可能にし、また、上記放電ツルーイング電極に対面する環状研削面の単位面積あたりの除去量を一定に保つようにすることで、環状研削面の全面にわたって均一なツルーイングを可能とする。
【００１５】
そして、本発明の平面研削装置は、上述したツルーイング方法を実現するために、導電性結合材料により砥粒が結合されてなる導電性砥石を用いた砥石車を備える平面研削装置において、上記砥石車の環状研削面に対向して配される放電ツルーイング電極と、この放電ツルーイング電極を、上記環状研削面の最外周端縁と最内周端縁を含む範囲でトラバース移動させるツルーイング電極駆動手段と、上記ツルーイング電極駆動手段による放電ツルーイング電極のトラバース移動速度を制御する制御手段とを備え、この制御手段は、上記放電ツルーイング電極の上記環状研削面に対する相対的なトラバース移動速度を、上記放電ツルーイング電極に対面する上記環状研削面の周速度が一定となるように基本制御するとともに、上記放電ツルーイング時の放電電圧に基づいて上記基本制御に修正を加えて上記トラバース移動速度を修正するように構成されていることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図１乃至図８に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明に係る平面研削装置の一例を示している。この平面研削装置１は縦軸の両頭平面研削装置であって、砥石車２，２、放電ツルーイング電極３、ツルーイング電極駆動手段４および制御手段５を主要部として構成される。そして、図示の実施形態においては、上記砥石車２，２は、図示しないが、砥石車駆動手段によって砥石軸の軸線ｘを中心として回転駆動可能に設けられるとともに、図示しない砥石車切込駆動手段によって上記軸方向への切り込み動作が可能とされている。
【００１８】
上記砥石車２は、導電性結合材料により砥粒が結合されてなる導電性砥石２１を備えてなり、この導電性砥石２１の端面には環状の研削面（環状研削面）２１ａが形成されている。具体的には、この導電性砥石２１は、たとえば、その砥粒Ａとして微小なダイヤモンド砥粒やＣＢＮ（キュービックボロンナイトライド）砥粒等のいわゆる超砥粒が用いられる。また、これら砥粒Ａの結合材料Ｂとしてメタルボンドや導電物質を含有した導電性レジンボンドが好適に使用される（砥粒Ａと結合材料Ｂの状態は図５(a) 参照）。
【００１９】
また、この砥石車２は、給電線６ａを介して直流電源装置７の（＋）極に電気的に接続されている。具体的には、図１に示すように、給電線６ａの先端にブラシ状の給電体６１ａが設けられ、この給電体６１ａに上記砥石軸が回転可能な状態で接触せしめられ、これにより該砥石軸を介して砥石車２（具体的には、導電性砥石２１）に直流電源が供給可能とされている。
【００２０】
放電ツルーイング電極３は、上記環状研削面２１ａに対して放電ツルーイングを施すための電極であって、給電線６ｂを介して上記直流電源装置７の（−）極に電気的に接続されている。この放電ツルーイング電極３は、後述するツルーイング電極駆動手段４の先端に回転可能に取り付けられた幅狭の小円盤状の形態からなる電極（ロータリ電極）とされ、その外周面が、砥石車２の環状研削面２１ａに対向する円筒状電極面３１とされている。
【００２１】
ツルーイング電極駆動手段４は、図２(a) に示すように、上記放電ツルーイング電極３を環状研削面２１ａの最外周端縁２１ｂと最内周端縁２１ｃとを含む範囲でトラバース移動させるための装置であって、本実施形態では図３および図４に示す構造を備えている。
【００２２】
このツルーイング電極駆動手段４は、図３に示すように、基台４１と、この基台４１上に図示しない旋回駆動手段を介して回転運動可能に設けられた旋回台４２と、この旋回台４２上に固定的に取り付けられたアーム部材４３とを主要部として構成される。
【００２３】
そして、上記放電ツルーイング電極３の回転軸３２が、このアーム部材４３の先端に軸受４３１を介して回転可能に保持されており（図４参照）、この回転軸３２が後述する動力伝達機構を介して電極回転駆動手段４４と連係されることによって放電ツルーイング電極３が回転駆動可能とされている。
【００２４】
具体的には、本実施形態では、上記電極回転駆動手段４４は上記旋回台４２上に固定的に設けられた電動モータ４４１で構成され、このモータ４４１の出力軸４４２が上記アーム部材４３の基端側に軸受４３２を介して保持されている。そして、上記回転軸３２と出力軸４４２にそれぞれ動力伝達機構としてプーリ３２１、４４３が設けられ、これらがベルト４４４によって連係されている。
【００２５】
なお、上記回転軸３２の先端には、上述した直流電源装置７の（−）極と接続するための給電体６１ｂが設けられており、これにより放電ツルーイング電極３に（−）の電圧が印加可能とされている。また、これに伴って、上記回転軸３２の軸受４３１としては、漏電防止の観点からセラミック製の軸受が好適に採用される。
【００２６】
また、このツルーイング電極駆動手段４には、後述する放電ツルーイング時において放電ツルーイング電極３を冷却するためのクーラント（冷却液）を供給するクーラント供給手段４５と、上記放電ツルーイング電極３に付着したクーラントを除去するためのクーラント除去手段４６とが設けられている。
【００２７】
上記クーラント供給手段４５は、図示しないクーラント供給源と、上記アーム部材４３の先端に放電ツルーイング電極３の内側面に臨んで設けられるクーラント噴出口４５１と、これらを接続するクーラント供給用の配管４５２とで構成される。そして、上記クーラント供給源から加圧供給されたクーラントが、上記配管４５２を経てクーラント噴出口４５１から放電ツルーイング電極３の内側面に吹きつけられるように構成されている。
【００２８】
一方、クーラント除去手段４６は、上記クーラント供給手段４５によって放電ツルーイング電極３に吹きつけられたクーラントを除去して放電ツルーイング電極３の円筒状電極面３１と導電性砥石２１の環状研削面２１ａとの電気的な絶縁を確保するための手段であって、本実施形態では、エア噴射によって上記クーラントの除去が行なわれる。
【００２９】
具体的には、このクーラント除去手段４６は、図示しないエア供給源と、上記アーム部材４３の先端に放電ツルーイング電極３の円筒状電極面３１に臨んで設けられるエア噴射ノズル４６１と、これらを配管接続するエア供給用の配管４６２とで構成される。そして、上記エア供給源から加圧供給されたエアが、上記配管４６２を経てエア噴射ノズル４６１の先端から放電ツルーイング電極３の円筒状電極面３１に吹きつけられ、これによって上記円筒状電極面３１に付着したクーラントが除去されるように構成されている。
【００３０】
なお、本実施形態では、研削装置１が縦軸の両頭平面研削装置であることから、上記エア噴射ノズル４６１は、砥石車２の数に対応して、図３に示すように、アーム部材４３の側面に上下一対設けられている。また、このエア噴射ノズル４６１は、上述したように放電ツルーイング電極３と導電性砥石２１の電気的な絶縁を確保するために設けられているため、これらの間隙にエアを噴射可能なように、その取り付けにあたってはノズル先端のエア噴射方向の調節が可能に取り付けられている（図３の二点鎖線参照）。さらに、このエア噴射ノズル４６１の先端部は、上記クーラント噴出口４５１から供給されるクーラントが放電ツルーイング電極３の内側面に吹きつけられるのを阻害しないように、図４に示すように、円筒状電極面３１の中央よりやや外側に偏心して設けられる。
【００３１】
制御手段５は、平面研削装置１の各部の動作を制御する制御中枢であって、具体的には、所定の制御プログラムを記憶してなるマイクロコンピュータで構成される。つまり、この制御手段５によって、上記砥石車駆動手段、砥石車切込駆動手段、旋回駆動手段および電極回転駆動手段４４等の動作が制御され、これにより、砥石車２の回転数や切り込み量の他、放電ツルーイング電極３のトラバース移動（移動方向や移動速度）や電極への電圧の印加、さらには上記クーラント供給源やエア供給源の加圧動作などが相互に関連付けられて制御可能とされている。
【００３２】
しかして、このように構成された平面研削装置１においては、砥石車２のツルーイングに際して、上記制御手段５が砥石車２および放電ツルーイング電極３等を以下のように制御することによって、砥石車２の機上放電ツルーイングが行なわれる。
【００３３】
Ａ：ツルーイングの基本原理および基本動作
まず、ツルーイングの開始にあたり、上記制御手段５は、上記砥石車２，２の間隔ならびに砥石車２，２の回転数を予め定められた所定の状態に設定するとともに、上記放電ツルーイング電極３を所定の回転数で回転駆動させる。
【００３４】
また、これらの処理と並行して、上記制御手段５は、直流電源装置７の電源を投入し、砥石車２，２および放電ツルーイング電極３に所定の電圧を印加する。
【００３５】
そして、これらの処理が完了すると、次に上記制御手段５は、上記旋回台４２の旋回駆動手段を動作させ、放電ツルーイング電極３を環状研削面２１ａの最外周端縁２１ｂ側から最内周端縁２１ｃ側に向かってトラバース移動させる（図２(a) 参照）。
【００３６】
この時、上記環状研削面２１ａには（＋）の電圧が印加され、放電ツルーイング電極３には（−）の電圧が印加されているので、放電ツルーイング電極３の進行にともなって両電極間で放電作用が生じ、これにより図５(a) に示すように、導電性砥石２１のメタルボンドＢ部分が溶解除去され、環状研削面２１ａが新たに成形される。なお、本実施形態においては、上記クーラント噴出口４５１から噴射されたクーラントが、エア噴射ノズル４６１から噴射されるエアによってミスト状態となって上記環状研削面２１ａと放電ツルーイング電極３との間に介在するため、これによって放電効果の増大が図られている。
【００３７】
この放電作用による環状研削面２１ａの成形過程をより詳細に説明すると、まず、図６に示すように、放電ツルーイング電極３を環状研削面２１ａの最外周端部２１ｂから最内周端部２１ｂに向けてトラバース移動させて環状研削面２１ａの表面部分のメタルボンドＢが溶解除去する（図６(a) 参照) 。
【００３８】
そして、上記トラバース移動により、放電ツルーイング電極３が環状研削面２１ａの最内周端部２１ｃまで到達すると（図６(b) 参照）、今度は、砥石車２，２に所定の切り込み動作を与えて、再び放電ツルーイング電極３を最外周端部２１ｂに向けてトラバース移動させる（図６(c) 参照）。
【００３９】
そして、上記環状研削面２１ａが所望の形に成形されるまで、放電ツルーイング電極３のトラバース移動と砥石車２，２の切り込み動作が繰り返し行なわれる。
【００４０】
このように、本実施形態に示す平面研削装置１によれば、砥石車２，２のツルーイングが、放電ツルーイング技術を用いることによって環状研削面２１ａのツルーイングが非接触で行なわれるので、両頭平面研削装置のツルーイングにおいても、図５(b) に示すようにアーム部材４３が撓むことなく高精度のツルーイングを行なうことが可能となる。
【００４１】
Ｂ：トラバース移動の速度制御
上述したように本発明の平面研削装置１では、放電ツルーイング電極３を環状研削面２１ａに沿ってトラバース移動させながら砥石車２，２のツルーイングが行なわれるが、砥石車２，２の回転数が一定回転数に維持されている場合、放電ツルーイング電極３を一定速度でトラバース移動させたのでは、環状研削面２１ａの内外周部位における周速度の相違から均一なツルーイングを施すことができない。
【００４２】
そのため、本実施形態の平面研削装置１では、上記制御手段５において、トラバース移動中に、放電ツルーイング電極３に対面する環状研削面２１ａの周速度が常にほぼ一定となるように、以下のようなトラバース移動速度の基本制御が行なわれる。
【００４３】
すなわち、本実施形態では、放電ツルーイング電極３のトラバース移動が上記旋回駆動手段の回転駆動によって実現されているので、上記制御手段５は、放電ツルーイング電極３のトラバース移動に同期して、上記放電ツルーイング電極３が環状研削面２１ａの外周付近に位置する場合にはトラバース速度を遅くなるように、また、環状研削面２１ａの内周付近に位置する場合には早くなるように、上記旋回駆動手段の回転速度を調節する基本制御を行い、放電ツルーイング電極３に対面する環状研削面２１ａの単位面積あたりの除去量を一定に保つ。
【００４４】
なお、このトラバース移動速度の制御に際しては、上記旋回駆動手段の回転速度は一定に保持し、放電ツルーイング電極３のトラバース移動に同期させて砥石車２の回転数を調節するように構成することも可能である。
【００４５】
このように、本実施形態では、トラバース移動中の放電ツルーイング電極３に対面する環状研削面２１ａの単位面積当たりの除去量が一定となるように、放電ツルーイング電極３のトラバース移動速度または砥石車２の回転数が制御されるので、環状研削面２１ａの全面にわたって均一なツルーイングが実現される。
【００４６】
ところで、このトラバース移動速度の制御に関して、ツルーイングの対象となる砥石車２が型崩れするなどして環状研削面２１ａに凹凸（ギャップ）が生じている場合には、上述したトラバース移動速度の基本制御のみではこれらギャップを完全に取り除くのに上述したトラバース移動を繰り返し行なう必要が生じる。そのため、本実施形態では、上述したトラバース移動速度の基本制御は、制御手段５によって以下のように修正されている。
【００４７】
すなわち、この場合、上記直流電源装置７に放電ツルーイング時の放電電圧を検出する放電電圧検出手段（図示せず）を設けて放電電圧を検出し、この放電電圧に基づいて上記トラバース移動速度の修正が行なわれる。
【００４８】
具体的には、砥石表面が突出していると放電電圧は低くなる一方、砥石表面が陥没していると放電電圧は高くなることから、これらを上記制御手段５で検出して、砥石表面が突出している場合にはトラバース移動速度を遅らせて突出した部分のメタルボンドＢを集中的に除去する一方、砥石表面が陥没している場合にはトラバース移動速度を速めてメタルボンドＢの除去量を少なくする。つまり、砥石表面の凹凸に応じてトラバース移動速度を修正することにより、放電ツルーイング電極３のトラバース移動の繰り返しを少なくすることができ、これにより、短時間でのツルーイングが実現され得る。
【００４９】
なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれに限定されることなく、その範囲内で種々設計変更可能である。
【００５０】
例えば、上記実施形態では、本発明を縦軸の両頭平面研削装置に適用した場合を示したが、本発明は縦軸の両頭平面研削装置に限らず、図７(a) に示すような横軸の両頭平面研削装置にも適用可能であり、さらには両頭平面研削装置に限らず図７(b) に示すようないわゆる単頭の平面研削装置にも適用可能である。つまり、本発明は、放電ツルーイング電極３を平面研削装置１の環状研削面２１ａに沿って相対的にトラバース移動させながら放電ツルーイングを施すものであれば、どのうようなタイプの平面研削装置においても適用可能である。
【００５１】
また、上記実施形態では、放電ツルーイング電極３として回転駆動されるロータリ電極の形態を示したが、この放電ツルーイング電極としては回転駆動されない固定電極を採用することも可能である。
【００５２】
また、上記実施形態では、放電ツルーイング電極３をトラバース移動させるにあたり、アーム部材４３を旋回させて行なう場合を示したが、たとえば図２(b) に示すように、アーム部材４３を進退入させることによって放電ツルーイング電極３をトラバース移動させることも可能である。
【００５３】
また、上記実施形態では、放電ツルーイング電極３のトラバース移動に際し、放電ツルーイング電極３をスライドさせる場合を示したが、砥石車２をスライドさせて放電ツルーイングを施すことも可能である。
【００５４】
さらに、上記実施形態では、環状研削面２１ａがフラットな場合を示したが、放電ツルーイング電極３のトラバース移動に同期させて砥石車２の切り込み量を変化させることにより、たとえば図８に示すような形状にツルーイングすることも可能である。
【００５５】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、導電性砥石を用いた平面研削装置のツルーイングにあたり、放電ツルーイング電極の位置を平面研削装置の環状研削面に対して相対的にトラバース移動させながら放電ツルーイングが行なわれるので、ツルーイングにかかる所要時間を従来のラップ技術を用いたツルーイングより大幅に短縮できる。
【００５６】
また、放電ツルーイング電極と環状研削面とが非接触でツルーイングが行なわれるので、研削砥石の砥粒刃先が磨耗せず、砥粒の切れ味が鈍ることがないので、高精度のツルーイングを行なうことができる。特に、両頭平面研削装置のツルーイングにおいては、従来のようなアームの撓みによる歪みが解消でき、より高精度なツルーイングを実現できる他、一回のツルーイング作業で二枚の研削砥石を同時にツルーイングできるので作業時間を大幅に短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る導電性砥石のツルーイング方法を適用した縦軸両頭平面研削装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】同平面研削装置における放電ツルーイング電極のトラバース移動の状態を示す説明図である。
【図３】同平面研削装置において放電ツルーイング電極をトラバース移動させるツルーイング電極駆動手段の概略構成を示す側面図である。
【図４】同ツルーイング電極駆動手段の概略構成を示す平面図である。
【図５】本発明に係る導電性砥石のツルーイング方法を説明する説明図であり、図５(a) は縦軸両頭平面研削装置における放電ツルーイングの原理を、図５(b) は同平面研削装置のツルーイング時におけるアーム部材の状態をそれぞれ示している。
【図６】同上平面研削装置における放電ツルーイングの過程の一例を作業手順に従って示した説明図である。
【図７】本発明に係る導電性砥石のツルーイング方法の適用例を示す説明図であり、図７(a) は横軸の両頭平面研削装置への適用例を、図７(b) は単頭の平面研削装置への適用例を示している。
【図８】同ツルーイング方法を用いた研削面の成形例を示す説明図である。
【図９】従来の平面研削装置における砥石車のツルーイング方法を説明する説明図であり、図９(a) はツルーイング時の研削砥石の状態を拡大して示し、図９(b) はツルーイング時における目立て砥石を支持するアーム部材の状態を強調的に示している。
【符号の説明】
１ 平面研削装置
２ 砥石車
２１ 導電性砥石
２１ａ 環状研削面
３ 放電ツルーイング電極
３１ 円筒状電極面
４ ツルーイング電極駆動手段
４１ 基台
４２ 旋回台
４３ アーム部材
４５ クーラント供給手段
４５１ クーラント噴出口
４６ クーラント除去手段
４６１ エア噴射ノズル
５ 制御手段
６ａ，６ｂ 給電線
６１ａ，６１ｂ 給電体
７ 直流電源装置
Ａ 砥粒
Ｂ 結合材料

Claims (8)

1. 回転駆動される砥石車の環状研削面で工作物の研削を行なう平面研削装置であって、前記環状研削面が導電性結合材料により砥粒が結合されてなる導電性砥石によって形成されたものにおいて、
   放電ツルーイング電極を前記環状研削面に臨んで配置させるとともに、該放電ツルーイング電極の位置を前記環状研削面に対して相対的にトラバース移動させながら環状研削面に放電ツルーイングを施すように構成し、
   前記放電ツルーイング電極の前記環状研削面に対する相対的なトラバース移動速度を、前記放電ツルーイング電極に対面する前記環状研削面の周速度が一定となるように基本制御するとともに、前記放電ツルーイング時の放電電圧に基づいて前記基本制御に修正を加えて前記トラバース移動速度を修正する
   ことを特徴とする平面研削装置のツルーイング方法。
2. 前記放電ツルーイング電極を、前記環状研削面の最外周端縁と最内周端縁を含む範囲でトラバース移動させる
   ことを特徴とする請求項１に記載の平面研削装置のツルーイング方法。
3. 前記放電ツルーイング電極の前記環状研削面に対する相対的なトラバース移動速度の制御は、前記放電ツルーイング電極のトラバース移動速度または砥石車の回転数を調節して、トラバース移動中の放電ツルーイング電極に対面する環状研削面の周速度が一定となるようにする
   ことを特徴とする請求項２に記載の平面研削装置のツルーイング方法。
4. 導電性結合材料により砥粒が結合されてなる導電性砥石を用いた砥石車を備える平面研削装置において、
   前記砥石車の環状研削面に対向して配される放電ツルーイング電極と、
   この放電ツルーイング電極を、前記環状研削面の最外周端縁と最内周端縁を含む範囲でトラバース移動させるツルーイング電極駆動手段と、
   前記ツルーイング電極駆動手段による放電ツルーイング電極のトラバース移動速度を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記放電ツルーイング電極の前記環状研削面に対する相対的なトラバース移動速度を、前記放電ツルーイング電極に対面する前記環状研削面の周速度が一定となるように基本制御するとともに、前記放電ツルーイング時の放電電圧に基づいて前記基本制御に修正を加えて前記トラバース移動速度を修正するように構成されている
   ことを特徴とする平面研削装置。
5. 前記ツルーイング電極駆動手段が、前記放電ツルーイング電極を前記環状研削面に沿って旋回運動させる構造を備えたことを特徴とする請求項４に記載の平面研削装置。
6. 前記ツルーイング電極駆動手段が、前記放電ツルーイング電極を前記環状研削面に沿って進退運動させる構造を備えた
   ことを特徴とする請求項４に記載の平面研削装置。
7. 前記放電ツルーイング電極が、ロータリ電極の形態とされている
   ことを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の平面研削装置。
8. 前記ロータリ電極を冷却するためのクーラントを供給するクーラント供給手段と、前記ロータリ電極に付着したクーラントを除去するためのクーラント除去手段とを備えた
   ことを特徴とする請求項７に記載の平面研削装置。

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