JPH1038789A - 流体センサ - Google Patents
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- JPH1038789A JPH1038789A JP8276510A JP27651096A JPH1038789A JP H1038789 A JPH1038789 A JP H1038789A JP 8276510 A JP8276510 A JP 8276510A JP 27651096 A JP27651096 A JP 27651096A JP H1038789 A JPH1038789 A JP H1038789A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサ素子から信号を外部に取り出すための
電極端子部を容易かつ確実に流体から気密に保持するこ
とができる流体センサを提供する。 【解決手段】 振動部７を有する基体２と、振動部７の
一方の表面に固定された、圧電膜４と圧電膜４に接して
設けられた少なくとも一対の電極５ａ，５ｂとを有する
圧電素子３と、基体２の表面にあって一対の電極５ａ，
５ｂに電気的に接続する電極端子６と、電極端子６の周
辺において基体２表面に設けられたコーティング材８
と、基体２と押え板１４ａ，１４ｂとによって挾持さ
れ、電極端子６を取り囲むように形成された封止部材１
２とを有する流体センサである。コーティング材８と押
え板１４ａ，１４ｂとによって封止部材１２が挾持され
ることにより、電極端子６が被測定流体から気密に保持
される。
電極端子部を容易かつ確実に流体から気密に保持するこ
とができる流体センサを提供する。 【解決手段】 振動部７を有する基体２と、振動部７の
一方の表面に固定された、圧電膜４と圧電膜４に接して
設けられた少なくとも一対の電極５ａ，５ｂとを有する
圧電素子３と、基体２の表面にあって一対の電極５ａ，
５ｂに電気的に接続する電極端子６と、電極端子６の周
辺において基体２表面に設けられたコーティング材８
と、基体２と押え板１４ａ，１４ｂとによって挾持さ
れ、電極端子６を取り囲むように形成された封止部材１
２とを有する流体センサである。コーティング材８と押
え板１４ａ，１４ｂとによって封止部材１２が挾持され
ることにより、電極端子６が被測定流体から気密に保持
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、流体中で作動す
る流体センサに係り、更に詳しくは、硫酸などの腐食性
の流体、具体的には鉛蓄電池の中あるいは極性溶媒タン
ク中で作動する流体センサに関する。
る流体センサに係り、更に詳しくは、硫酸などの腐食性
の流体、具体的には鉛蓄電池の中あるいは極性溶媒タン
ク中で作動する流体センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】 圧電素子などを有するセンサ素子は、
流体の粘度測定、流体中の固体粒子の検出、振動の検出
などに用いられている。例えば、特願平７−１１２１２
８号においては、圧電膜及び振動部を振動させ、圧電膜
の損失係数、電気抵抗、リアクタンス等の変化により、
粘度を測定する。ここで、圧電膜又は振動部が流体に接
触するので、流体の粘度が大きい場合には、圧電膜及び
振動部の振幅が小さくなり、流体の粘度が小さい場合に
は、圧電膜及び振動部の振幅が大きくなる。そして、圧
電膜に電圧を印加した場合には、振幅などに対応する電
流を検出する。流体の粘度が、流体の密度又は流体中の
成分の濃度と相関を有する場合には、流体の密度や濃度
も検出することができる。例えば、硫酸水溶液では、粘
度と密度とが一定の相関があり、又、粘度と硫酸の濃度
とも一定の相関がある。
流体の粘度測定、流体中の固体粒子の検出、振動の検出
などに用いられている。例えば、特願平７−１１２１２
８号においては、圧電膜及び振動部を振動させ、圧電膜
の損失係数、電気抵抗、リアクタンス等の変化により、
粘度を測定する。ここで、圧電膜又は振動部が流体に接
触するので、流体の粘度が大きい場合には、圧電膜及び
振動部の振幅が小さくなり、流体の粘度が小さい場合に
は、圧電膜及び振動部の振幅が大きくなる。そして、圧
電膜に電圧を印加した場合には、振幅などに対応する電
流を検出する。流体の粘度が、流体の密度又は流体中の
成分の濃度と相関を有する場合には、流体の密度や濃度
も検出することができる。例えば、硫酸水溶液では、粘
度と密度とが一定の相関があり、又、粘度と硫酸の濃度
とも一定の相関がある。
【０００３】 また、流体中の固体粒子の検出として
は、例えば、特開平７−３０１５９４号公報が提案され
ており、圧電膜を有する粒子センサについて記載する。
流体中の粒子が、圧電膜を有する検出部又は検出部を固
定する振動部に衝突することにより、振動部及び検出部
が振動し、圧電膜がこの振動を電気信号に変換し、圧電
膜を挟む電極がこの電気信号を出力する。
は、例えば、特開平７−３０１５９４号公報が提案され
ており、圧電膜を有する粒子センサについて記載する。
流体中の粒子が、圧電膜を有する検出部又は検出部を固
定する振動部に衝突することにより、振動部及び検出部
が振動し、圧電膜がこの振動を電気信号に変換し、圧電
膜を挟む電極がこの電気信号を出力する。
【０００４】 ところで、上記のような構造のセンサ素
子を用いた流体の粘度測定、流体中の固体粒子の検出及
び振動を検出する場合においては、流体中にセンサ素子
を配置することが必要であり、そのため、流体中で作動
するセンサ素子から信号を外部に取り出すための電極端
子部を流体から気密に保持する必要がある。このため、
従来は、図５に示すように、電極端子６にリード線１１
を接続した上で、有機樹脂等３０でその接続部をモール
ドすることにより封止し、電極端子部を流体から気密に
保持していた。
子を用いた流体の粘度測定、流体中の固体粒子の検出及
び振動を検出する場合においては、流体中にセンサ素子
を配置することが必要であり、そのため、流体中で作動
するセンサ素子から信号を外部に取り出すための電極端
子部を流体から気密に保持する必要がある。このため、
従来は、図５に示すように、電極端子６にリード線１１
を接続した上で、有機樹脂等３０でその接続部をモール
ドすることにより封止し、電極端子部を流体から気密に
保持していた。
【０００５】 しかしながら、上記した従来の方法で
は、有機樹脂とセンサ素子の基体を構成するセラミック
材料との間の付着力が弱いため、モールドしている有機
樹脂等３０が容易に剥離してしまうという問題があっ
た。
は、有機樹脂とセンサ素子の基体を構成するセラミック
材料との間の付着力が弱いため、モールドしている有機
樹脂等３０が容易に剥離してしまうという問題があっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 従って、本発明は上
記した従来の課題に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、センサ素子から信号を外部に取り出
すための電極端子部を容易かつ確実に流体から気密に保
持することができる流体センサを提供するものである。
記した従来の課題に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、センサ素子から信号を外部に取り出
すための電極端子部を容易かつ確実に流体から気密に保
持することができる流体センサを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 すなわち、本発明によ
れば、振動部を有する基体と、該振動部の一方の表面に
固定された、圧電膜と該圧電膜に接して設けられる少な
くとも一対の電極とを有する圧電素子と、該基体の表面
にあって、該一対の電極に電気的に接続する電極端子
と、該電極端子の周辺において該基体表面に設けられた
コーティング材と、該基体と押え板とによって挟持さ
れ、該電極端子を取り囲むように形成された封止部材と
を有し、該コーティング材と該押え板とによって該封止
部材が挟持されることにより、該電極端子が被測定流体
から気密に保持されることを特徴とする流体センサ、が
提供される。
れば、振動部を有する基体と、該振動部の一方の表面に
固定された、圧電膜と該圧電膜に接して設けられる少な
くとも一対の電極とを有する圧電素子と、該基体の表面
にあって、該一対の電極に電気的に接続する電極端子
と、該電極端子の周辺において該基体表面に設けられた
コーティング材と、該基体と押え板とによって挟持さ
れ、該電極端子を取り囲むように形成された封止部材と
を有し、該コーティング材と該押え板とによって該封止
部材が挟持されることにより、該電極端子が被測定流体
から気密に保持されることを特徴とする流体センサ、が
提供される。
【０００８】 本発明の流体センサにおいては、さら
に、押え板を貫通するリード線と、リード線の先端に設
けられた電気接続部材を有し、電気接続部材と電極端子
が接触するようにすることが好ましい。尚、流体とは、
主に液体を意味し、特に、鉛蓄電池に使用する硫酸水溶
液などの腐食性の高い液体、あるいは水などの極性溶媒
ないしこれを使った溶液をいう。
に、押え板を貫通するリード線と、リード線の先端に設
けられた電気接続部材を有し、電気接続部材と電極端子
が接触するようにすることが好ましい。尚、流体とは、
主に液体を意味し、特に、鉛蓄電池に使用する硫酸水溶
液などの腐食性の高い液体、あるいは水などの極性溶媒
ないしこれを使った溶液をいう。
【０００９】
【発明の実施の形態】 図１（ａ）（ｂ）は本発明の流
体センサの一例を示すものであり、図１（ａ）は概略斜
視図、図１（ｂ）は概略分解図である。図２は、センサ
素子の一例を示す断面説明図である。センサ素子１は、
振動部７を有する平板状基体２と、振動部７の一方の表
面７ｓに固定された圧電素子３を有する。平板状基体２
には、振動部７が肉薄になるように、内部空間５が形成
されている。図示しないが、内部空間５は、基体２の一
部に設けられた孔等により、被測定流体導かれるように
構成される。圧電素子３は、圧電膜４と、圧電膜４を挟
む一対の電極５ａ、５ｂとを有する。また、平板状基体
２の表面には、一対の電極５ａ、５ｂに電気的に接続す
る電極端子６が形成されている。
体センサの一例を示すものであり、図１（ａ）は概略斜
視図、図１（ｂ）は概略分解図である。図２は、センサ
素子の一例を示す断面説明図である。センサ素子１は、
振動部７を有する平板状基体２と、振動部７の一方の表
面７ｓに固定された圧電素子３を有する。平板状基体２
には、振動部７が肉薄になるように、内部空間５が形成
されている。図示しないが、内部空間５は、基体２の一
部に設けられた孔等により、被測定流体導かれるように
構成される。圧電素子３は、圧電膜４と、圧電膜４を挟
む一対の電極５ａ、５ｂとを有する。また、平板状基体
２の表面には、一対の電極５ａ、５ｂに電気的に接続す
る電極端子６が形成されている。
【００１０】 平板状基体２の電極端子６が設けられた
表面のうち、電極端子６を取り囲む周辺部を覆うよう
に、ガラス印刷層などで形成されるコーティング材８が
設けられている。このコーティング材８には、電極端子
６に対応する部分をくり貫いたくり貫き部９が形成され
ている。なお、コーティング材８には、平板状基体２の
圧電素子３に対応する部分をくり貫いたくり貫き部１７
も形成されており、このくり貫き部１７の上部は、Ｚｒ
Ｏ2 などのセラミック材料から成るカバー１６により被
覆、固定される。
表面のうち、電極端子６を取り囲む周辺部を覆うよう
に、ガラス印刷層などで形成されるコーティング材８が
設けられている。このコーティング材８には、電極端子
６に対応する部分をくり貫いたくり貫き部９が形成され
ている。なお、コーティング材８には、平板状基体２の
圧電素子３に対応する部分をくり貫いたくり貫き部１７
も形成されており、このくり貫き部１７の上部は、Ｚｒ
Ｏ2 などのセラミック材料から成るカバー１６により被
覆、固定される。
【００１１】 コーティング材８のくり貫き部９に対応
するように、平板状基体２と押え板１４ａとの間に、電
極端子６を取り囲むように形成された封止部材たるＯ−
リング１２が挟持される。押え板１４ａは、先端に板バ
ネ状端子１０を備えたリード線１１が貫通保持されてお
り、電極端子６と接触されるようになっている。また、
平板状基体２の電極端子６が形成されていない側を収容
するため、押え板１４ｂには窪み部１５が形成されてい
る。このように、電極端子６周辺の平板状基体２の表面
ないしコーティング材８表面と押え板１４ａ、１４ｂの
表面によってＯ−リング１２が挟持されることにより、
平板状基体２の電極端子６が被測定流体から気密に保持
される。又、押え板１４ａとリード線１１との隙間は、
両部材と接着しやすい封止材料を充填すること、また該
隙間を両部材の嵌め合わせで実質的にゼロにする、ある
いは、両部材を一体成形することにより、液封止の状態
で構成されている。
するように、平板状基体２と押え板１４ａとの間に、電
極端子６を取り囲むように形成された封止部材たるＯ−
リング１２が挟持される。押え板１４ａは、先端に板バ
ネ状端子１０を備えたリード線１１が貫通保持されてお
り、電極端子６と接触されるようになっている。また、
平板状基体２の電極端子６が形成されていない側を収容
するため、押え板１４ｂには窪み部１５が形成されてい
る。このように、電極端子６周辺の平板状基体２の表面
ないしコーティング材８表面と押え板１４ａ、１４ｂの
表面によってＯ−リング１２が挟持されることにより、
平板状基体２の電極端子６が被測定流体から気密に保持
される。又、押え板１４ａとリード線１１との隙間は、
両部材と接着しやすい封止材料を充填すること、また該
隙間を両部材の嵌め合わせで実質的にゼロにする、ある
いは、両部材を一体成形することにより、液封止の状態
で構成されている。
【００１２】 図３は、平板状基体の周囲を封止するに
した場合の流体センサの例を示すものであり、図３
（ａ）は概略斜視図、図３（ｂ）は概略分解図であり、
図３（ｃ）は概略断面図である。また、図４は電極端子
周辺部の部分断面説明図である。図３の例では、平板状
基体２の表面の端部に存在する電極端子６を流体から気
密に保持するため、平板状基体２の周囲を封止部材１３
にて被着し、この封止部材１３の両面を押え板１８ａ、
１８ｂによって挟着することにより、電極端子６を被測
定流体から気密に保持したものである。
した場合の流体センサの例を示すものであり、図３
（ａ）は概略斜視図、図３（ｂ）は概略分解図であり、
図３（ｃ）は概略断面図である。また、図４は電極端子
周辺部の部分断面説明図である。図３の例では、平板状
基体２の表面の端部に存在する電極端子６を流体から気
密に保持するため、平板状基体２の周囲を封止部材１３
にて被着し、この封止部材１３の両面を押え板１８ａ、
１８ｂによって挟着することにより、電極端子６を被測
定流体から気密に保持したものである。
【００１３】 本例にあっても、押え板１８ａ、１８ｂ
とリード線１１とは、前記の図２と同様に、液封止の状
態に構成されており、更に、押え板１８ａ、１８ｂの周
辺は、接着剤で接着されるか、封止部材１３が延長され
て、被測定流体から気密にされている。なお、この例で
は、封止部材１３によるセンサ素子１の厚み（段差）部
分において、封止の信頼性が劣る可能性があるため、封
止部材１３の材質として、柔軟性に富む材料を選定する
ことが重要である。この点において、上記の図１の例で
は、センサ素子１の厚みにより封止の信頼性が劣るとい
う問題はなく、確実に電極端子６を流体から気密に封止
することができる。
とリード線１１とは、前記の図２と同様に、液封止の状
態に構成されており、更に、押え板１８ａ、１８ｂの周
辺は、接着剤で接着されるか、封止部材１３が延長され
て、被測定流体から気密にされている。なお、この例で
は、封止部材１３によるセンサ素子１の厚み（段差）部
分において、封止の信頼性が劣る可能性があるため、封
止部材１３の材質として、柔軟性に富む材料を選定する
ことが重要である。この点において、上記の図１の例で
は、センサ素子１の厚みにより封止の信頼性が劣るとい
う問題はなく、確実に電極端子６を流体から気密に封止
することができる。
【００１４】 本発明の流体センサにおいて、基体２
は、平板状でることが好ましいが、棒状、パイプ状であ
ってもよい。また、基体２の材質としては、セラミック
であることが好ましく、ジルコニア、アルミナを主成分
としたものが、より好ましい。振動部７は、振動に好適
な板状であることが好ましく、振動部７の片面に圧電素
子３が配設されている。
は、平板状でることが好ましいが、棒状、パイプ状であ
ってもよい。また、基体２の材質としては、セラミック
であることが好ましく、ジルコニア、アルミナを主成分
としたものが、より好ましい。振動部７は、振動に好適
な板状であることが好ましく、振動部７の片面に圧電素
子３が配設されている。
【００１５】 圧電素子３は、圧電膜４と、圧電膜４を
挟む一対の電極５ａ、５ｂとを有する。一対の電極５
ａ、５ｂを介して電圧を圧電膜４に印可すると、誘電分
極を生じ、圧電素子３が振動部７と共に圧電膜４及び振
動部７の厚さ方向に屈曲振動する。
挟む一対の電極５ａ、５ｂとを有する。一対の電極５
ａ、５ｂを介して電圧を圧電膜４に印可すると、誘電分
極を生じ、圧電素子３が振動部７と共に圧電膜４及び振
動部７の厚さ方向に屈曲振動する。
【００１６】 板バネ状端子などの電気接続部材１０
は、押え板１４ａを貫通するリード線１１の先端に設け
られ、電気接続部材１０と電極端子６が接触している。
なお、電極接続部材１０と電極端子６との接触方法は、
電極接続部材１０に板バネ端子等を用いた機械的なもの
のほか、電極接続部材１０を機械的応力で変形しやすい
材料で構成された電極ポール等とし、これを変形させて
機械的接触で導通を確保するものでも良いし、電極接続
部材１０を半田、導電体ペースト等の流動性のある導通
部材で構成し、これを固化させることにより、導通を確
保してもよい。
は、押え板１４ａを貫通するリード線１１の先端に設け
られ、電気接続部材１０と電極端子６が接触している。
なお、電極接続部材１０と電極端子６との接触方法は、
電極接続部材１０に板バネ端子等を用いた機械的なもの
のほか、電極接続部材１０を機械的応力で変形しやすい
材料で構成された電極ポール等とし、これを変形させて
機械的接触で導通を確保するものでも良いし、電極接続
部材１０を半田、導電体ペースト等の流動性のある導通
部材で構成し、これを固化させることにより、導通を確
保してもよい。
【００１７】 コーティング材８は、平板状基体２の電
極端子６が設けられた表面のうち、少なくとも電極端子
６の圧電素子３側部を覆うように設けられたものであ
る。コーティング材８は、図１（ｂ）に示すように、平
板状基体２の表面に電極端子６が配置されている場合、
電極端子６を覆うように構成されていれば、必ずしも同
等の面積を有する必要はなく、その両端部に電極端子用
くり貫き部９とカバー用の枠状くり貫き部１７が穿設さ
れていることが好ましい。尚、カバー用の枠状くり貫き
部１７は、コーティング材８が圧電素子３に直接接する
ことが防止される構成であれば、必ずしも必要はないコ
ーティング材８の材質としては特にその種類を限定され
ないが、ガラス、有機樹脂、セラミック等であることが
好ましい。尚、基体２は、セラミックが好ましいため、
接着性の面からコーティング材８はガラスであること
が、より好ましい。この場合、ガラスからなるコーティ
ング材８は、基体２の上に配置され、次いで、カバー１
６がくり貫き部１７を覆うように配置された後、加熱溶
融することで、コーティング材８が基体２に接着すると
同時にカバー１６とも接着することが好ましい。又、カ
バー１６を配置しない場合には、コーティング材８のく
り貫き部１７を省略するとともに、くり貫き部１７に対
応する部分のコーティング材８と圧電素子３との間に、
加熱により消失する材料を配置した後、加熱することに
より、圧電素子３とコーティング材８との間に空間を設
けると同時に、コーティング材８を基体２に接着させる
ことが好ましい。
極端子６が設けられた表面のうち、少なくとも電極端子
６の圧電素子３側部を覆うように設けられたものであ
る。コーティング材８は、図１（ｂ）に示すように、平
板状基体２の表面に電極端子６が配置されている場合、
電極端子６を覆うように構成されていれば、必ずしも同
等の面積を有する必要はなく、その両端部に電極端子用
くり貫き部９とカバー用の枠状くり貫き部１７が穿設さ
れていることが好ましい。尚、カバー用の枠状くり貫き
部１７は、コーティング材８が圧電素子３に直接接する
ことが防止される構成であれば、必ずしも必要はないコ
ーティング材８の材質としては特にその種類を限定され
ないが、ガラス、有機樹脂、セラミック等であることが
好ましい。尚、基体２は、セラミックが好ましいため、
接着性の面からコーティング材８はガラスであること
が、より好ましい。この場合、ガラスからなるコーティ
ング材８は、基体２の上に配置され、次いで、カバー１
６がくり貫き部１７を覆うように配置された後、加熱溶
融することで、コーティング材８が基体２に接着すると
同時にカバー１６とも接着することが好ましい。又、カ
バー１６を配置しない場合には、コーティング材８のく
り貫き部１７を省略するとともに、くり貫き部１７に対
応する部分のコーティング材８と圧電素子３との間に、
加熱により消失する材料を配置した後、加熱することに
より、圧電素子３とコーティング材８との間に空間を設
けると同時に、コーティング材８を基体２に接着させる
ことが好ましい。
【００１８】 封止部材１２としては、図１（ｂ）に示
すように、Ｏ−リングが好ましいが、これに限られず、
電極端子６を取り囲む構成のものであれば何ら問題はな
く使用することができる。封止部材たるＯ−リング１２
を、押え板１４ａとコーティング材８の間に挟み、しか
も平板状基体２および押え板１４ｂとで挟持することに
より、コーティング材８表面と押え板１４ａ，１４ｂの
表面とによってＯ−リング１２が弾性変形し、隙間を密
閉するため、リード線１１、電気接続部材１０及び電極
端子６を被測定流体から確実に気密に保持することがで
きる。
すように、Ｏ−リングが好ましいが、これに限られず、
電極端子６を取り囲む構成のものであれば何ら問題はな
く使用することができる。封止部材たるＯ−リング１２
を、押え板１４ａとコーティング材８の間に挟み、しか
も平板状基体２および押え板１４ｂとで挟持することに
より、コーティング材８表面と押え板１４ａ，１４ｂの
表面とによってＯ−リング１２が弾性変形し、隙間を密
閉するため、リード線１１、電気接続部材１０及び電極
端子６を被測定流体から確実に気密に保持することがで
きる。
【００１９】 封止部材１２、１３の材質としては、弾
性変形に優れた材料であることが好ましい。しかしなが
ら、塑性変形しても電気接続部材１０及び電極端子６を
被測定流体から気密に保持することができれば問題な
い。このような材料として、フッ素ゴム、アクリルゴ
ム、シリコンゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、ウレタ
ンゴム等のゴム材料のほか、軟質塩化ビニル、ポリエス
テル、ウレタンなどの有機樹脂を挙げることができる。
性変形に優れた材料であることが好ましい。しかしなが
ら、塑性変形しても電気接続部材１０及び電極端子６を
被測定流体から気密に保持することができれば問題な
い。このような材料として、フッ素ゴム、アクリルゴ
ム、シリコンゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、ウレタ
ンゴム等のゴム材料のほか、軟質塩化ビニル、ポリエス
テル、ウレタンなどの有機樹脂を挙げることができる。
【００２０】 押え板は、平板状基体２の一方の側だげ
設けて基体２とで挟持しても良いが、図１（ｂ）に示す
ように、平板状基体２の両側に押え板１４ａ、１４ｂを
設けて平板状基体２を挾持することが、より確実な封止
を達成でき、好ましい。尚、押え板１４ａ、１４ｂを平
板状基体２の両側で用いる場合では、図１（ｂ）に示す
ように、ボルト２０を、押え板１４ａ、押え板１４ｂに
それぞれ穿設された穴２１に貫通させて、ナット２２で
螺合することにより、それぞれの部材を挟持することが
できる。それ以外の方法としては、有機樹脂からなる棒
状体を、押え板１４ａ，１４ｂにそれぞれ設けられた穴
２１，２１に貫通させて配置した後、押え板１４ａ，１
４ｂに圧力を加えながら押え板１４ａ，１４ｂから突出
する部分を加熱変形させて、押え板１４ａ，１４ｂを挟
持する方法や、押え板１４ａ，１４ｂに爪部を設けて押
え板１４ａ，１４ｂを押えることにより、爪部がお互い
に絡み合うことで両板を挟持する方法を用いることがで
きるが、平板状基体２を確実に他の部材と挟持すること
ができるものであれば、特に限定されない。
設けて基体２とで挟持しても良いが、図１（ｂ）に示す
ように、平板状基体２の両側に押え板１４ａ、１４ｂを
設けて平板状基体２を挾持することが、より確実な封止
を達成でき、好ましい。尚、押え板１４ａ、１４ｂを平
板状基体２の両側で用いる場合では、図１（ｂ）に示す
ように、ボルト２０を、押え板１４ａ、押え板１４ｂに
それぞれ穿設された穴２１に貫通させて、ナット２２で
螺合することにより、それぞれの部材を挟持することが
できる。それ以外の方法としては、有機樹脂からなる棒
状体を、押え板１４ａ，１４ｂにそれぞれ設けられた穴
２１，２１に貫通させて配置した後、押え板１４ａ，１
４ｂに圧力を加えながら押え板１４ａ，１４ｂから突出
する部分を加熱変形させて、押え板１４ａ，１４ｂを挟
持する方法や、押え板１４ａ，１４ｂに爪部を設けて押
え板１４ａ，１４ｂを押えることにより、爪部がお互い
に絡み合うことで両板を挟持する方法を用いることがで
きるが、平板状基体２を確実に他の部材と挟持すること
ができるものであれば、特に限定されない。
【００２１】 なお、図３（ｃ）に示すように、押え板
１８ａ、１８ｂを、平板状基体２の両側に配置して、平
板状基体２の周囲に被着された封止部材１３に挟着させ
ることが好ましい。この場合、押え板１８ａ、１８ｂ
は、ともに封止部材１３を被着した平板状基体２と一体
化しやすい形状であり、封止部材１３の弾性変化を考慮
にいれたものが好ましい。
１８ａ、１８ｂを、平板状基体２の両側に配置して、平
板状基体２の周囲に被着された封止部材１３に挟着させ
ることが好ましい。この場合、押え板１８ａ、１８ｂ
は、ともに封止部材１３を被着した平板状基体２と一体
化しやすい形状であり、封止部材１３の弾性変化を考慮
にいれたものが好ましい。
【００２２】 押え板１４の材質としては、特に限定さ
れないが、セラミック、ガラス、有機樹脂等であること
が好ましい。なお、コスト面から、塩化ビニル、ポリエ
ステル、ＡＢＳ、アクリル、ポリプロピレン等の有機樹
脂がより好ましく、被覆リード線の被覆材料と同質にす
ることが更に好ましい。
れないが、セラミック、ガラス、有機樹脂等であること
が好ましい。なお、コスト面から、塩化ビニル、ポリエ
ステル、ＡＢＳ、アクリル、ポリプロピレン等の有機樹
脂がより好ましく、被覆リード線の被覆材料と同質にす
ることが更に好ましい。
【００２３】 平板状基体を挾持する手段は、前記押え
板のような板状体に限られず、例えば図６に示すような
嵌合する２種の支持部材２３、２４により挾持してもよ
い（この支持部材を、後述の「箱型」と対比して「標準
型」という。）。一方の支持部材２３の凹部２５に平板
状基体２をセットして他方の支持部材２４で挾持し、該
２種の部材に穿設した孔２６、２７に軸体２８を貫通す
ることにより、前記２種の支持部材２３、２４が平板状
基体２を挾持した状態で固着する。こうすることによ
り、部品形状を単純化して、部材の低減を図ることがで
き、工程の簡略化、耐腐食性の向上を図ることができ
る。
板のような板状体に限られず、例えば図６に示すような
嵌合する２種の支持部材２３、２４により挾持してもよ
い（この支持部材を、後述の「箱型」と対比して「標準
型」という。）。一方の支持部材２３の凹部２５に平板
状基体２をセットして他方の支持部材２４で挾持し、該
２種の部材に穿設した孔２６、２７に軸体２８を貫通す
ることにより、前記２種の支持部材２３、２４が平板状
基体２を挾持した状態で固着する。こうすることによ
り、部品形状を単純化して、部材の低減を図ることがで
き、工程の簡略化、耐腐食性の向上を図ることができ
る。
【００２４】 支持部材の形状としては、図７に示すよ
うな箱型の部材２９、３０を用い、部材２９に平板状基
体２を挿通させるための開口部３１を設けてもよく、ま
た、図８、９に示すように、支持部材２３と２４、２９
と３０の上下を逆転して配設しても構わない。軸体２８
の断面形状としては、円形、楕円形、若しくは多角形の
ものを用いることができるが、軸周りの回転をなくして
組立精度が向上できる点では、図１０のような多角形
（例えば、三角形３２）が好ましく、さらに、図１１に
示すように断面積を容易に増すことが可能である四角形
の板状体３３が最も好ましい。
うな箱型の部材２９、３０を用い、部材２９に平板状基
体２を挿通させるための開口部３１を設けてもよく、ま
た、図８、９に示すように、支持部材２３と２４、２９
と３０の上下を逆転して配設しても構わない。軸体２８
の断面形状としては、円形、楕円形、若しくは多角形の
ものを用いることができるが、軸周りの回転をなくして
組立精度が向上できる点では、図１０のような多角形
（例えば、三角形３２）が好ましく、さらに、図１１に
示すように断面積を容易に増すことが可能である四角形
の板状体３３が最も好ましい。
【００２５】 また、四角形の板状体３３を用いる場合
にあっては、図１２の如く孔部３４、３５が支持部材２
９、３０の全長に渡るように、すなわちスリット状に構
成してもよい。こうすることにより、支持部材への組み
込みが更に容易となる。なお、断面形状は長さ方向全般
に渡って同一形状である必要はなく、テーパー部、不連
続形状を有していても構わない。また、例えば軸体２８
にネジ溝を構成する、軸体２８の代わりに孔２６、２７
に有機樹脂を流し込み固化させる等の構成の変更は許容
される。
にあっては、図１２の如く孔部３４、３５が支持部材２
９、３０の全長に渡るように、すなわちスリット状に構
成してもよい。こうすることにより、支持部材への組み
込みが更に容易となる。なお、断面形状は長さ方向全般
に渡って同一形状である必要はなく、テーパー部、不連
続形状を有していても構わない。また、例えば軸体２８
にネジ溝を構成する、軸体２８の代わりに孔２６、２７
に有機樹脂を流し込み固化させる等の構成の変更は許容
される。
【００２６】 軸体２８が挿通される孔２６、２７は、
図１３に示すように、単数に限られず複数個穿設するこ
とも可能である。こうすることにより、平板状基体２の
接合部の強度、耐久性が向上する。また、必ずしも軸体
２８が両支持部材２３、２４を貫通する必要はなく、図
１４のように、支持部材２３を貫通した軸体２８によ
り、支持部材２４の両端を挿通してそれぞれを固着する
ものであってもよい。さらに、孔２６、２７は平板状基
体２が突出する方向と交差する方向に設けるが、箱型の
支持部材２９、３０を用いた場合には、図１５の如く平
板状基体の突出方向と同方向に設けてもよい。
図１３に示すように、単数に限られず複数個穿設するこ
とも可能である。こうすることにより、平板状基体２の
接合部の強度、耐久性が向上する。また、必ずしも軸体
２８が両支持部材２３、２４を貫通する必要はなく、図
１４のように、支持部材２３を貫通した軸体２８によ
り、支持部材２４の両端を挿通してそれぞれを固着する
ものであってもよい。さらに、孔２６、２７は平板状基
体２が突出する方向と交差する方向に設けるが、箱型の
支持部材２９、３０を用いた場合には、図１５の如く平
板状基体の突出方向と同方向に設けてもよい。
【００２７】 また、図１６（ｃ）に示すように、Ｏ−
リングの反発方向に対する角度θが０°＜θ＜９０°と
なるように挿入することにより、支持部材同士の結合が
より強固なものとなる。なお、Ｏ−リングシール部の気
密性を向上させるために、図１７のように板バネ、ゴム
スポンジ、スプリングワッシャー等の弾性部材３６を平
板状基体２と支持部材２４の間に挿入することも可能で
ある。支持部材形状、軸体形状、軸体挿入方向、弾性部
材の使用については、適宜組み合わせて構成することが
できる。表１にその組合せ例と対応図面番号を表示し
た。
リングの反発方向に対する角度θが０°＜θ＜９０°と
なるように挿入することにより、支持部材同士の結合が
より強固なものとなる。なお、Ｏ−リングシール部の気
密性を向上させるために、図１７のように板バネ、ゴム
スポンジ、スプリングワッシャー等の弾性部材３６を平
板状基体２と支持部材２４の間に挿入することも可能で
ある。支持部材形状、軸体形状、軸体挿入方向、弾性部
材の使用については、適宜組み合わせて構成することが
できる。表１にその組合せ例と対応図面番号を表示し
た。
【００２８】
【表１】
【００２９】 カバー１６は圧電素子３を保護するため
のもので、必須のものではなく、任意に選択され、その
材質も、金属、合成樹脂、セラミックなどいずれも使用
することができるが、耐腐食性の観点からＺｒＯ2 など
のセラミックが好ましい。なお、カバー１６と平板状基
体２との間は、有機樹脂、ガラス等からなるコーティン
グ材８を接着層として接合したり、コーティング材８を
含めてこれらの部材がセラミックの場合には、焼成によ
り一体化することもできる。これにより、硫酸等の強
酸、水酸化ナトリウム水溶液等の強塩基の流体を用いる
場合に、カバー１６により圧電素子３とこれらの液体と
を更に隔離することができる。
のもので、必須のものではなく、任意に選択され、その
材質も、金属、合成樹脂、セラミックなどいずれも使用
することができるが、耐腐食性の観点からＺｒＯ2 など
のセラミックが好ましい。なお、カバー１６と平板状基
体２との間は、有機樹脂、ガラス等からなるコーティン
グ材８を接着層として接合したり、コーティング材８を
含めてこれらの部材がセラミックの場合には、焼成によ
り一体化することもできる。これにより、硫酸等の強
酸、水酸化ナトリウム水溶液等の強塩基の流体を用いる
場合に、カバー１６により圧電素子３とこれらの液体と
を更に隔離することができる。
【００３０】 本発明の好ましい実施態様としては、ジ
ルコニア、ガラス等のセラミックを単独ないし組み合せ
て加熱処理してセンサ素子先端部の圧電素子部上部に空
間部を形成して、圧電素子部を被測定流体から気密に保
持するとともに、電極端子部の一部を露出させると同時
に電極端子部の圧電素子側を被覆する部分についてガラ
ス、セラミック等のコーティング材を加熱処理して被覆
し、前記の露出される電極端子部周辺のガラス、セラミ
ック等のコーティング材の表面と押え板の表面とによ
り、封止部材を挟持して電極端子部を被測定流体から気
密に保持することが挙げらえる。
ルコニア、ガラス等のセラミックを単独ないし組み合せ
て加熱処理してセンサ素子先端部の圧電素子部上部に空
間部を形成して、圧電素子部を被測定流体から気密に保
持するとともに、電極端子部の一部を露出させると同時
に電極端子部の圧電素子側を被覆する部分についてガラ
ス、セラミック等のコーティング材を加熱処理して被覆
し、前記の露出される電極端子部周辺のガラス、セラミ
ック等のコーティング材の表面と押え板の表面とによ
り、封止部材を挟持して電極端子部を被測定流体から気
密に保持することが挙げらえる。
【００３１】
【実施例】 以下、本発明を実施例により具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。 （実施例１） 図２に示される先端構造を有し、表面に
電極端子６が露出したジルコニアからなるセンサ素子１
を、印刷焼成を繰り返すことにより作成した。このセン
サ素子１の上部に、図１に示される形状のコーティング
材８をガラスペーストで印刷配置し、くり貫き部１７の
上部にジルコニアからなる板１６を載せた後、全体を７
００℃で焼成し、電極端子６の後端部（くり貫き部９）
を残して、電極端子全体がガラスとジルコニアで被覆さ
れた素子を形成した。
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。 （実施例１） 図２に示される先端構造を有し、表面に
電極端子６が露出したジルコニアからなるセンサ素子１
を、印刷焼成を繰り返すことにより作成した。このセン
サ素子１の上部に、図１に示される形状のコーティング
材８をガラスペーストで印刷配置し、くり貫き部１７の
上部にジルコニアからなる板１６を載せた後、全体を７
００℃で焼成し、電極端子６の後端部（くり貫き部９）
を残して、電極端子全体がガラスとジルコニアで被覆さ
れた素子を形成した。
【００３２】 次に、図１に示されるように、塩化ビニ
ル製押え板１４ａ、ブチルゴム製封止部材１２、センサ
素子１とを位置合わせした後、塩化ビニル製のボルト２
０とナット２２で締め合わせて、封止部材１２と押え板
１４ａとセンサ素子１表面のガラス層で電極端子が気密
に保持されるようにした。また、押え板１４ａと塩化ビ
ニルで被覆されたリード線１１との間に塩化ビニル製接
着剤を充填することにより、電極端子部空間が完全に被
測定液体から気密に封止される構成とした。このように
して得られたセンサ全体を、６０℃、５０％の硫酸水溶
液中に３ヶ月間浸漬処理して気密性を測定したところ、
硫酸水溶液のセンサへの浸漬は全く認められなかった。
ル製押え板１４ａ、ブチルゴム製封止部材１２、センサ
素子１とを位置合わせした後、塩化ビニル製のボルト２
０とナット２２で締め合わせて、封止部材１２と押え板
１４ａとセンサ素子１表面のガラス層で電極端子が気密
に保持されるようにした。また、押え板１４ａと塩化ビ
ニルで被覆されたリード線１１との間に塩化ビニル製接
着剤を充填することにより、電極端子部空間が完全に被
測定液体から気密に封止される構成とした。このように
して得られたセンサ全体を、６０℃、５０％の硫酸水溶
液中に３ヶ月間浸漬処理して気密性を測定したところ、
硫酸水溶液のセンサへの浸漬は全く認められなかった。
【００３３】（実施例２） 実施例１と同様の方法によ
り、電極端子全体がガラスとジルコニアで被覆された素
子を形成した。次に、図１１に示されるように、支持部
材２３、２４、ブチルゴム製封止部材１２、センサ素子
１とを位置合わせした後、四角形板状の軸体３３を挿通
して、封止部材１２と支持部材２３、２４とセンサ素子
１表面のガラス層で電極端子が気密に保持されるように
した。
り、電極端子全体がガラスとジルコニアで被覆された素
子を形成した。次に、図１１に示されるように、支持部
材２３、２４、ブチルゴム製封止部材１２、センサ素子
１とを位置合わせした後、四角形板状の軸体３３を挿通
して、封止部材１２と支持部材２３、２４とセンサ素子
１表面のガラス層で電極端子が気密に保持されるように
した。
【００３４】 また、支持部材２３、２４と塩化ビニル
で被覆されたリード線１１との間に塩化ビニル製接着剤
を充填することにより、電極端子部空間が完全に被測定
液体から気密に封止される構成とした。このようにして
得られたセンサ全体を、６０℃、５０％の硫酸水溶液中
に３ヶ月間浸漬処理して気密性を測定したところ、硫酸
水溶液のセンサへの浸漬は全く認められなかった。
で被覆されたリード線１１との間に塩化ビニル製接着剤
を充填することにより、電極端子部空間が完全に被測定
液体から気密に封止される構成とした。このようにして
得られたセンサ全体を、６０℃、５０％の硫酸水溶液中
に３ヶ月間浸漬処理して気密性を測定したところ、硫酸
水溶液のセンサへの浸漬は全く認められなかった。
【００３５】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の流体セ
ンサによれば、センサ素子から信号を外部に取り出すた
めの電極端子部を容易かつ確実に流体から気密に保持す
ることができる。従って、特に、鉛蓄電池の硫酸水溶液
などの腐食性の液体あるいは極性溶媒ないしこれを使っ
た溶液の中で作動する流体センサに好ましく適用するこ
とができる。
ンサによれば、センサ素子から信号を外部に取り出すた
めの電極端子部を容易かつ確実に流体から気密に保持す
ることができる。従って、特に、鉛蓄電池の硫酸水溶液
などの腐食性の液体あるいは極性溶媒ないしこれを使っ
た溶液の中で作動する流体センサに好ましく適用するこ
とができる。
【図１】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１（ａ）は概略斜視図、図１（ｂ）は概略分解図
である。
り、図１（ａ）は概略斜視図、図１（ｂ）は概略分解図
である。
【図２】 センサ素子の一例を示す断面説明図である。
【図３】 平板状基体の周囲を封止した場合の流体セン
サの例を示すものであり、図３（ａ）は概略斜視図、図
３（ｂ）は概略分解図であり、図３（ｃ）は概略断面図
である。
サの例を示すものであり、図３（ａ）は概略斜視図、図
３（ｂ）は概略分解図であり、図３（ｃ）は概略断面図
である。
【図４】 電極端子周辺部の部分断面説明図である。
【図５】 従来の流体センサの電極端子周辺部の部分断
面説明図である。
面説明図である。
【図６】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図６（ａ）は概略斜視図、図６（ｂ）は概略分解図
である。
り、図６（ａ）は概略斜視図、図６（ｂ）は概略分解図
である。
【図７】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図７（ａ）は概略斜視図、図７（ｂ）は概略分解図
である。
り、図７（ａ）は概略斜視図、図７（ｂ）は概略分解図
である。
【図８】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図８（ａ）は概略斜視図、図８（ｂ）は概略分解図
である。
り、図８（ａ）は概略斜視図、図８（ｂ）は概略分解図
である。
【図９】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図９（ａ）は概略斜視図、図９（ｂ）は概略分解図
である。
り、図９（ａ）は概略斜視図、図９（ｂ）は概略分解図
である。
【図１０】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１０（ａ）は概略斜視図、図１０（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１０（ａ）は概略斜視図、図１０（ｂ）は概略分
解図である。
【図１１】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１１（ａ）は概略斜視図、図１１（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１１（ａ）は概略斜視図、図１１（ｂ）は概略分
解図である。
【図１２】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１２（ａ）は概略斜視図、図１２（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１２（ａ）は概略斜視図、図１２（ｂ）は概略分
解図である。
【図１３】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１３（ａ）は概略斜視図、図１３（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１３（ａ）は概略斜視図、図１３（ｂ）は概略分
解図である。
【図１４】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１４（ａ）は概略斜視図、図１４（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１４（ａ）は概略斜視図、図１４（ｂ）は概略分
解図である。
【図１５】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１５（ａ）は概略斜視図、図１５（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１５（ａ）は概略斜視図、図１５（ｂ）は概略分
解図である。
【図１６】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１６（ａ）は概略斜視図、図１６（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１６（ａ）は概略斜視図、図１６（ｂ）は概略分
解図である。
【図１７】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１７（ａ）は概略斜視図、図１７（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１７（ａ）は概略斜視図、図１７（ｂ）は概略分
解図である。
【図１８】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１８（ａ）は概略斜視図、図１８（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１８（ａ）は概略斜視図、図１８（ｂ）は概略分
解図である。
【図１９】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図１９（ａ）は概略斜視図、図１９（ｂ）は概略分
解図である。
り、図１９（ａ）は概略斜視図、図１９（ｂ）は概略分
解図である。
【図２０】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２０（ａ）は概略斜視図、図２０（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２０（ａ）は概略斜視図、図２０（ｂ）は概略分
解図である。
【図２１】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２１（ａ）は概略斜視図、図２１（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２１（ａ）は概略斜視図、図２１（ｂ）は概略分
解図である。
【図２２】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２２（ａ）は概略斜視図、図２２（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２２（ａ）は概略斜視図、図２２（ｂ）は概略分
解図である。
【図２３】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２３（ａ）は概略斜視図、図２３（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２３（ａ）は概略斜視図、図２３（ｂ）は概略分
解図である。
【図２４】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２４（ａ）は概略斜視図、図２４（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２４（ａ）は概略斜視図、図２４（ｂ）は概略分
解図である。
【図２５】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２５（ａ）は概略斜視図、図２５（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２５（ａ）は概略斜視図、図２５（ｂ）は概略分
解図である。
【図２６】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２６（ａ）は概略斜視図、図２６（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２６（ａ）は概略斜視図、図２６（ｂ）は概略分
解図である。
【図２７】 本発明の流体センサの一例を示すものであ
り、図２７（ａ）は概略斜視図、図２７（ｂ）は概略分
解図である。
り、図２７（ａ）は概略斜視図、図２７（ｂ）は概略分
解図である。
１…センサ素子、２…平板状基体、３…圧電素子、４…
圧電膜、５ａ、５ｂ…一対の電極、６…電極端子、７…
振動部、８…コーティング材、１０…電気接続部材、１
１…リード線、１２…封止部材、１４ａ，１４ｂ…押え
板、１６…カバー、２３、２４…支持部材、２５…支持
部材凹部、２６、２７…孔、２８…軸体、２９、３０…
支持部材（箱型）、３１…開口部、３２…軸体（三角
形）、３３…軸体（四角形板状）、３４、３５…孔部
（スリット状）、３６…弾性部材
圧電膜、５ａ、５ｂ…一対の電極、６…電極端子、７…
振動部、８…コーティング材、１０…電気接続部材、１
１…リード線、１２…封止部材、１４ａ，１４ｂ…押え
板、１６…カバー、２３、２４…支持部材、２５…支持
部材凹部、２６、２７…孔、２８…軸体、２９、３０…
支持部材（箱型）、３１…開口部、３２…軸体（三角
形）、３３…軸体（四角形板状）、３４、３５…孔部
（スリット状）、３６…弾性部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年１１月１２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中尾 成希 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 振動部を有する基体と、 該振動部の一方の表面に固定された、圧電膜と該圧電膜
に接して設けられた少なくとも一対の電極とを有する圧
電素子と、 該基体の表面にあって、該一対の電極に電気的に接続す
る電極端子と、 該電極端子の周辺において該基体表面に設けられたコー
ティング材と、 該基体と押え板とによって挟持され、該電極端子を取り
囲むように形成された封止部材と、を有し、 該コーティング材と該押え板とによって該封止部材が挟
持されることにより、該電極端子が被測定流体から気密
に保持されることを特徴とする流体センサ。 - 【請求項２】 さらに、該押え板を貫通するリード線
と、該リード線の先端に設けられた電気接続部材とを有
し、該電気接続部材と該電極端子が接触することを特徴
とする請求項１記載の流体センサ。 - 【請求項３】 基体が、平板状でセラミックスから構成
されている請求項１記載の流体センサ。 - 【請求項４】 封止部材が、Ｏ−リング状に形成された
ものである請求項１記載の流体センサ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8276510A JPH1038789A (ja) | 1996-05-22 | 1996-10-18 | 流体センサ |
| US08/857,337 US5877411A (en) | 1996-05-22 | 1997-05-16 | Fluid sensor |
| IDP971692A ID16950A (id) | 1996-05-22 | 1997-05-21 | Sensor fluida |
| DE69710385T DE69710385T2 (de) | 1996-05-22 | 1997-05-22 | Sensor für flüssige und gasförmige Medien |
| EP97303494A EP0809106B1 (en) | 1996-05-22 | 1997-05-22 | Fluid sensor |
| CN97113558A CN1174988A (zh) | 1996-05-22 | 1997-05-22 | 流控传感器 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-127498 | 1996-05-22 | ||
| JP12749896 | 1996-05-22 | ||
| JP8276510A JPH1038789A (ja) | 1996-05-22 | 1996-10-18 | 流体センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038789A true JPH1038789A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=26463453
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8276510A Pending JPH1038789A (ja) | 1996-05-22 | 1996-10-18 | 流体センサ |
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| US (1) | US5877411A (ja) |
| EP (1) | EP0809106B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1038789A (ja) |
| CN (1) | CN1174988A (ja) |
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| A02 | Decision of refusal |
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