JPH10337682A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボットInfo
- Publication number
- JPH10337682A JPH10337682A JP9168130A JP16813097A JPH10337682A JP H10337682 A JPH10337682 A JP H10337682A JP 9168130 A JP9168130 A JP 9168130A JP 16813097 A JP16813097 A JP 16813097A JP H10337682 A JPH10337682 A JP H10337682A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed screw
- power transmission
- fixed
- transmission mechanism
- support frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 送りねじの直動ガイドに対する位置決め調整
が簡単にできる産業用ロボットを提供する。 【解決手段】 送りねじ支持部材３をコラム１に取付
け、直動ガイド２に対して、所定の相対位置を取るよう
に位置決め調整し、送りねじ６を送りねじ支持部材３に
固定し、動力伝達機構４を送りねじ６の軸心を基準にし
て送りねじ支持部材３に固定し、モータを動力伝達機構
４に固定する。送りねじ６を動力伝達機構４と関係なし
に、位置決め調整するので、送りねじ６の位置決め調整
が容易である。
が簡単にできる産業用ロボットを提供する。 【解決手段】 送りねじ支持部材３をコラム１に取付
け、直動ガイド２に対して、所定の相対位置を取るよう
に位置決め調整し、送りねじ６を送りねじ支持部材３に
固定し、動力伝達機構４を送りねじ６の軸心を基準にし
て送りねじ支持部材３に固定し、モータを動力伝達機構
４に固定する。送りねじ６を動力伝達機構４と関係なし
に、位置決め調整するので、送りねじ６の位置決め調整
が容易である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、直動機構を有する
産業用ロボットに関する。
産業用ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の水平または、垂直方向に直動する
機構を有する産業用ロボット、例えば水平多関節型パレ
タイジングロボットの上下動軸の機構を図に基づいて説
明する。図２は従来の水平多関節型パレタイジングロボ
ットを示す側断面図である。図において、１は支持枠体
である。支持枠体１は、天板１１と背板１２と底板１３
および、図示しない２枚の側板からなる、前面が開いた
直方体の箱状の構造であり、その内部には中板１４が、
その３辺を前記天板１１と、前記両側板に固定されて、
配設されている。天板１１の上面と、底板１３の下面
と、中板１４の前面は、それぞれ互いに、平行及び垂直
な平面になるように機械加工されている。また底板１３
には、嵌合穴１５が中板１４の前記機械加工面を基準に
心出しして、機械加工されている。２は直動ガイドであ
り、中板１４の前面の機械加工された面に固定されてい
る。４は、例えばギヤボックスのような動力伝達機構で
あり、その下面に精度良く加工された凸部４１を備えて
いる。動力伝達機構４は凸部４１を嵌合穴１５に嵌合さ
せて、水平面内での位置決めを行い、さらに図示しない
位置決め具を調整して、直動ガイド２に対して所定の位
置と姿勢をなすように位置決めされて、底板１３に固定
されている。５はモータであり、動力伝達機構４に固定
され、モータ５の図示しない駆動軸は、動力伝達機構４
に結合している。６は送りねじであり、ねじ本体６１と
ナット部６２と上部軸受６３と下部軸受６４とからな
る。ねじ本体６１の下端部は、図示しないスプラインが
刻まれ、動力伝達機構４の図示しない歯車と嵌合されて
いる。下部軸受６４は、動力伝達機構４に固定され、上
部軸受６３は、天板１１の上面の機械加工された面に固
定されている。送りねじ６は、直動ガイド２に平行であ
り、所定の間隔をとるように位置決め調整されている。
７は、腕支持スライダであり、直動ガイド２に摺動自在
に支持され、ナット部６２に固定されている。腕支持ス
ライダ７は、動力伝達機構４と送りねじ６を介して、モ
ータ５で駆動され、直動ガイド２に沿って上下に移動す
る。８は腕部であり、第１アーム８１、第２アーム８２
および手首８３からなる。第１アーム８１は腕支持スラ
イダ７に、第２アーム８２は第１アーム８１に、手首８
３は第２アーム８２に、それぞれ図示しない垂直軸回り
に回動自在に取付けられ、図示しないモータで駆動され
る。手首８３の先端には、図示しないハンド等を取付
け、前記ハンドで物品を把持する。このようにして、こ
の水平多関節型パレタイジングロボットは、前記ハンド
で把持した物品を、図示しない制御装置の指令に従っ
て、任意の場所まで運んで積み上げる作業を行う。
機構を有する産業用ロボット、例えば水平多関節型パレ
タイジングロボットの上下動軸の機構を図に基づいて説
明する。図２は従来の水平多関節型パレタイジングロボ
ットを示す側断面図である。図において、１は支持枠体
である。支持枠体１は、天板１１と背板１２と底板１３
および、図示しない２枚の側板からなる、前面が開いた
直方体の箱状の構造であり、その内部には中板１４が、
その３辺を前記天板１１と、前記両側板に固定されて、
配設されている。天板１１の上面と、底板１３の下面
と、中板１４の前面は、それぞれ互いに、平行及び垂直
な平面になるように機械加工されている。また底板１３
には、嵌合穴１５が中板１４の前記機械加工面を基準に
心出しして、機械加工されている。２は直動ガイドであ
り、中板１４の前面の機械加工された面に固定されてい
る。４は、例えばギヤボックスのような動力伝達機構で
あり、その下面に精度良く加工された凸部４１を備えて
いる。動力伝達機構４は凸部４１を嵌合穴１５に嵌合さ
せて、水平面内での位置決めを行い、さらに図示しない
位置決め具を調整して、直動ガイド２に対して所定の位
置と姿勢をなすように位置決めされて、底板１３に固定
されている。５はモータであり、動力伝達機構４に固定
され、モータ５の図示しない駆動軸は、動力伝達機構４
に結合している。６は送りねじであり、ねじ本体６１と
ナット部６２と上部軸受６３と下部軸受６４とからな
る。ねじ本体６１の下端部は、図示しないスプラインが
刻まれ、動力伝達機構４の図示しない歯車と嵌合されて
いる。下部軸受６４は、動力伝達機構４に固定され、上
部軸受６３は、天板１１の上面の機械加工された面に固
定されている。送りねじ６は、直動ガイド２に平行であ
り、所定の間隔をとるように位置決め調整されている。
７は、腕支持スライダであり、直動ガイド２に摺動自在
に支持され、ナット部６２に固定されている。腕支持ス
ライダ７は、動力伝達機構４と送りねじ６を介して、モ
ータ５で駆動され、直動ガイド２に沿って上下に移動す
る。８は腕部であり、第１アーム８１、第２アーム８２
および手首８３からなる。第１アーム８１は腕支持スラ
イダ７に、第２アーム８２は第１アーム８１に、手首８
３は第２アーム８２に、それぞれ図示しない垂直軸回り
に回動自在に取付けられ、図示しないモータで駆動され
る。手首８３の先端には、図示しないハンド等を取付
け、前記ハンドで物品を把持する。このようにして、こ
の水平多関節型パレタイジングロボットは、前記ハンド
で把持した物品を、図示しない制御装置の指令に従っ
て、任意の場所まで運んで積み上げる作業を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来技
術では、送りねじ６を、支持枠体１に取り付けるとき
に、送りねじ６を、直動ガイド２と動力伝達機構４の両
方を基準にして、位置決めしなければならないので、送
りねじ６を正確に位置決め調整するのが難しいという問
題があった。これは次のような問題である。送りねじ６
の位置決め調整には、次の手順が必要であった。 （１）動力伝達機構４を、底板１３に固定する。 （２）ねじ本体６１の下端部を動力伝達機構４に挿入
し、下部軸受６４を動力伝達機構４に固定する。 （３）上部軸受６３を、天板１１に仮固定する。 （４）下部軸受６４の取付位置を基準にして、送りねじ
６の直動ガイド２に対する倒れと、距離を測定しなが
ら、所定の平行度が得られるように、ナット部６２と、
上部軸受６３の固定位置を微調整する。 このように、下部軸受６４の取付位置を基準としなが
ら、ナット部６２と、上部軸受６３の２箇所の固定位置
を同時に微調整するのは、煩雑で時間がかかる作業であ
った。
術では、送りねじ６を、支持枠体１に取り付けるとき
に、送りねじ６を、直動ガイド２と動力伝達機構４の両
方を基準にして、位置決めしなければならないので、送
りねじ６を正確に位置決め調整するのが難しいという問
題があった。これは次のような問題である。送りねじ６
の位置決め調整には、次の手順が必要であった。 （１）動力伝達機構４を、底板１３に固定する。 （２）ねじ本体６１の下端部を動力伝達機構４に挿入
し、下部軸受６４を動力伝達機構４に固定する。 （３）上部軸受６３を、天板１１に仮固定する。 （４）下部軸受６４の取付位置を基準にして、送りねじ
６の直動ガイド２に対する倒れと、距離を測定しなが
ら、所定の平行度が得られるように、ナット部６２と、
上部軸受６３の固定位置を微調整する。 このように、下部軸受６４の取付位置を基準としなが
ら、ナット部６２と、上部軸受６３の２箇所の固定位置
を同時に微調整するのは、煩雑で時間がかかる作業であ
った。
【０００４】また、送りねじ６を取り外さないと、動力
伝達機構４を支持枠体１から、取り外せないので、動力
伝達機構４を修理等のため交換する際には、送りねじ６
を取り外さなければならず、その度に送りねじ６の位置
決め調整を行う必要があるという問題もあった。さら
に、支持枠体１は、天板１１、底板１３及び中板１４の
３面に対して精密な機械加工を必要とするので、加工工
数が多くなり、コストがかかるという問題もあった。そ
こで本発明は、送りねじの直動ガイドに対する位置決め
調整が簡単にでき、さらに、送りねじを支持枠体に取り
付けたまま、動力伝達機構を支持枠体から取り外せる産
業用ロボットを提供することを目的とする。
伝達機構４を支持枠体１から、取り外せないので、動力
伝達機構４を修理等のため交換する際には、送りねじ６
を取り外さなければならず、その度に送りねじ６の位置
決め調整を行う必要があるという問題もあった。さら
に、支持枠体１は、天板１１、底板１３及び中板１４の
３面に対して精密な機械加工を必要とするので、加工工
数が多くなり、コストがかかるという問題もあった。そ
こで本発明は、送りねじの直動ガイドに対する位置決め
調整が簡単にでき、さらに、送りねじを支持枠体に取り
付けたまま、動力伝達機構を支持枠体から取り外せる産
業用ロボットを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明は、送りねじ支持部材を支持枠体に取付け、
送りねじを直動ガイドに対して、所定の相対位置を取る
ように位置決め調整して、前記送りねじ支持部材に固定
し、動力伝達機構を前記送りねじを基準に位置決めし
て、前記送りねじ支持部材に固定するものである。また
前記送りねじを、前記送りねじ支持部材に取り付けたま
ま、前記動力伝達機構を前記送りねじ支持部材から取り
外し、前記動力伝達機構から前記送りねじの先端を引き
抜いて、前記支持枠体から引き出せるような空間を、前
記支持枠体と前記動力伝達機構の間に設けたものであ
る。
に、本発明は、送りねじ支持部材を支持枠体に取付け、
送りねじを直動ガイドに対して、所定の相対位置を取る
ように位置決め調整して、前記送りねじ支持部材に固定
し、動力伝達機構を前記送りねじを基準に位置決めし
て、前記送りねじ支持部材に固定するものである。また
前記送りねじを、前記送りねじ支持部材に取り付けたま
ま、前記動力伝達機構を前記送りねじ支持部材から取り
外し、前記動力伝達機構から前記送りねじの先端を引き
抜いて、前記支持枠体から引き出せるような空間を、前
記支持枠体と前記動力伝達機構の間に設けたものであ
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は、本発明の実施例を示す水平多関
節型パレタイジングロボットの側断面図である。従来技
術と共通する部分についての説明は省略する。図におい
て、３は送りねじ支持部材であり、中板１４に固定され
ている。送りねじ６は、上部軸受６３をブラケット６５
を介して中板１４に固定し、下部軸受６４の下面を、送
りねじ支持部材３の上面で受けて、送りねじ支持部材３
に下部軸受６４を固定して取り付けてある。動力伝達機
構４には、送りねじ６のねじ本体６１の下端部が挿入さ
れ、図示しないスプラインで動力伝達機構４の図示しな
い歯車と嵌合している。動力伝達機構４は、送りねじ６
を基準に位置決め調整して、送りねじ支持部材３に固定
してある。また動力伝達機構４と底板１３の間には、所
定の空間を設けてあり、送りねじ６を送りねじ支持部材
３に固定したまま、動力伝達機構４を、底板１３まで下
ろすと、動力伝達機構４を送りねじ６から分離して取り
外せる。また、支持枠体１は、中板１４の直動ガイド２
の取付け面には、機械加工を行い、所定の平面度を得る
必要があるが、天板１１および底板１３は、取り付ける
部品がないので、機械加工は不要である。
いて説明する。図１は、本発明の実施例を示す水平多関
節型パレタイジングロボットの側断面図である。従来技
術と共通する部分についての説明は省略する。図におい
て、３は送りねじ支持部材であり、中板１４に固定され
ている。送りねじ６は、上部軸受６３をブラケット６５
を介して中板１４に固定し、下部軸受６４の下面を、送
りねじ支持部材３の上面で受けて、送りねじ支持部材３
に下部軸受６４を固定して取り付けてある。動力伝達機
構４には、送りねじ６のねじ本体６１の下端部が挿入さ
れ、図示しないスプラインで動力伝達機構４の図示しな
い歯車と嵌合している。動力伝達機構４は、送りねじ６
を基準に位置決め調整して、送りねじ支持部材３に固定
してある。また動力伝達機構４と底板１３の間には、所
定の空間を設けてあり、送りねじ６を送りねじ支持部材
３に固定したまま、動力伝達機構４を、底板１３まで下
ろすと、動力伝達機構４を送りねじ６から分離して取り
外せる。また、支持枠体１は、中板１４の直動ガイド２
の取付け面には、機械加工を行い、所定の平面度を得る
必要があるが、天板１１および底板１３は、取り付ける
部品がないので、機械加工は不要である。
【０００７】このように構成されているので、送りねじ
６の位置決め調整は次のように簡略になる。 （１）送りねじ６を送りねじ支持部材３に差し込んで立
てて、下部軸受６４の下面と送りねじ支持部材３の上面
３１を合わせる。 （２）送りねじ６と直動ガイド２の距離を計測し、上部
軸受６３、ナット部６２、および下部軸受６４を微調整
して、送りねじ６が直動ガイド２に対して所定の位置に
なるようにする。 （３）下部軸受６４を送りねじ支持部材３に固定する。 （４）上部軸受６３を中板１４に固定する。 （５）ナット部６２を腕支持スライダ７に固定する。 （６）動力伝達機構４を、送りねじ支持部材３の下から
差し込み、上に持ち上げて、送りねじ６と嵌合させる。 （７）送りねじ６を基準に動力伝達機構４を位置決めし
て、送りねじ支持部材３に固定する。 このように、送りねじ６を、動力伝達機構４に関係なし
に、直動ガイド２を基準に位置決めできるので、送りね
じ６の位置決めは非常に簡単である。また、動力伝達機
構４は、位置決めの完了した、送りねじ６に合わせて取
り付けるだけでよい。また、動力伝達機構４は、送りね
じ支持部材３との結合を解いて、底板１３の上に下ろせ
ば、送りねじ６と分離できるから、送りねじ６を送りね
じ支持部材３に固定したまま取り外せる。さらに、支持
枠体１の製造における機械加工は、中板１４の直動ガイ
ド２の取付け面だけでよく、天板１１、底板１３には機
械加工を要しないので、加工工数、コストが削減され
る。本実施例では、垂直方向の直動機構について説明し
たが、水平方向の直動機構についても、本発明が適用で
きることは、言うまでもない。
６の位置決め調整は次のように簡略になる。 （１）送りねじ６を送りねじ支持部材３に差し込んで立
てて、下部軸受６４の下面と送りねじ支持部材３の上面
３１を合わせる。 （２）送りねじ６と直動ガイド２の距離を計測し、上部
軸受６３、ナット部６２、および下部軸受６４を微調整
して、送りねじ６が直動ガイド２に対して所定の位置に
なるようにする。 （３）下部軸受６４を送りねじ支持部材３に固定する。 （４）上部軸受６３を中板１４に固定する。 （５）ナット部６２を腕支持スライダ７に固定する。 （６）動力伝達機構４を、送りねじ支持部材３の下から
差し込み、上に持ち上げて、送りねじ６と嵌合させる。 （７）送りねじ６を基準に動力伝達機構４を位置決めし
て、送りねじ支持部材３に固定する。 このように、送りねじ６を、動力伝達機構４に関係なし
に、直動ガイド２を基準に位置決めできるので、送りね
じ６の位置決めは非常に簡単である。また、動力伝達機
構４は、位置決めの完了した、送りねじ６に合わせて取
り付けるだけでよい。また、動力伝達機構４は、送りね
じ支持部材３との結合を解いて、底板１３の上に下ろせ
ば、送りねじ６と分離できるから、送りねじ６を送りね
じ支持部材３に固定したまま取り外せる。さらに、支持
枠体１の製造における機械加工は、中板１４の直動ガイ
ド２の取付け面だけでよく、天板１１、底板１３には機
械加工を要しないので、加工工数、コストが削減され
る。本実施例では、垂直方向の直動機構について説明し
たが、水平方向の直動機構についても、本発明が適用で
きることは、言うまでもない。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、動
力伝達機構に関係なく、送りねじを直動ガイドを基準に
位置決め調整できるので、送りねじの位置決め調整が簡
単になるという効果がある。また、動力伝達機構と支持
枠体の底板の間に、空間を設けたので、送りねじを支持
枠体に固定したまま、動力伝達機構を支持枠体から取り
外せるという効果もある。
力伝達機構に関係なく、送りねじを直動ガイドを基準に
位置決め調整できるので、送りねじの位置決め調整が簡
単になるという効果がある。また、動力伝達機構と支持
枠体の底板の間に、空間を設けたので、送りねじを支持
枠体に固定したまま、動力伝達機構を支持枠体から取り
外せるという効果もある。
【図１】本発明の実施例を示す産業用ロボットの側断面
図である。
図である。
【図２】従来技術の例を示す産業用ロボットの側断面図
である。
である。
１：支持枠体 １１：天板 １２：背板 １３：底板 １４：中板 １５：嵌合穴 ２：直動ガイド ３：送りねじ支持部材 ４：動力伝達機構 ４１：凸部 ５：モータ ６：送りねじ ６１：ねじ本体 ６２：ナット部 ６３：上部軸受 ６４：下部軸受 ６５：ブラケット ７：腕支持スライダ ８：腕部 ８１：第１アーム ８２：第２アーム ８３：手首
Claims (2)
- 【請求項１】 支持枠体と、前記支持枠体に固定された
直動ガイドと、前記直動ガイドに平行に、前記支持枠体
に取り付けられた送りねじと、前記送りねじのナット部
に固定され、前記直動ガイドに摺動支持された腕支持ス
ライダと、前記送りねじを駆動するモータと、前記モー
タと前記送りねじの間で動力を伝達する動力伝達機構と
を有する産業用ロボットにおいて、 送りねじ支持部材を前記支持枠体に取付け、前記送りね
じは前記直動ガイドに対して、所定の相対位置を取るよ
うに位置決め調整されて、前記送りねじ支持部材に固定
され、前記動力伝達機構は前記送りねじの軸心を基準に
位置決めされて、前記送りねじ支持部材の、前記送りね
じを取り付けた面の反対側の面に固定され、前記モータ
は前記動力伝達機構に固定されたことを特徴とする産業
用ロボット。 - 【請求項２】 前記送りねじを、前記送りねじ支持部材
に取り付けたまま、前記動力伝達機構を前記送りねじ支
持部材から取り外して、前記支持枠体から引き出せる空
間を、前記支持枠体と前記動力伝達機構の間に設けたこ
とを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16813097A JP3389456B2 (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 産業用ロボット |
| US09/445,397 US6285152B1 (en) | 1997-06-09 | 1998-06-09 | Industrial robot |
| EP98923180A EP1010498A4 (en) | 1997-06-09 | 1998-06-09 | INDUSTRIAL ROBOT |
| PCT/JP1998/002539 WO1998056541A1 (fr) | 1997-06-09 | 1998-06-09 | Robot industriel |
| CN98805902A CN1078838C (zh) | 1997-06-09 | 1998-06-09 | 工业机器人 |
| KR10-1999-7010977A KR100473292B1 (ko) | 1997-06-09 | 1998-06-09 | 산업용 로봇 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16813097A JP3389456B2 (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 産業用ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10337682A true JPH10337682A (ja) | 1998-12-22 |
| JP3389456B2 JP3389456B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=15862403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16813097A Expired - Fee Related JP3389456B2 (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 産業用ロボット |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6285152B1 (ja) |
| EP (1) | EP1010498A4 (ja) |
| JP (1) | JP3389456B2 (ja) |
| KR (1) | KR100473292B1 (ja) |
| CN (1) | CN1078838C (ja) |
| WO (1) | WO1998056541A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20213904U1 (de) | 2002-09-09 | 2003-02-20 | Deckel Maho Pfronten GmbH, 87459 Pfronten | Austragsvorrichtung für Werkstücke |
| CN100419304C (zh) * | 2006-11-02 | 2008-09-17 | 上海交通大学 | 二级变速直动机构 |
| CN102873682A (zh) * | 2011-07-15 | 2013-01-16 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 机械手及使用该机械手的生产设备及生产线 |
| CN102909722A (zh) * | 2011-08-01 | 2013-02-06 | 扬州多维数控系统有限公司 | 一种平面多关节机器人手臂 |
| TWI548499B (zh) * | 2013-05-23 | 2016-09-11 | Hiwin Tech Corp | Mechanical arm |
| CN104175316B (zh) * | 2013-05-28 | 2016-06-08 | 上银科技股份有限公司 | 机械手臂 |
| CN104343937B (zh) * | 2014-09-17 | 2016-07-06 | 安徽吉晟精密机械科技有限公司 | 一种冲压机器人二轴连接件 |
| CN104369187B (zh) * | 2014-09-17 | 2016-06-08 | 安徽吉晟精密机械科技有限公司 | 一种冲压机器人一轴总成 |
| KR101556497B1 (ko) | 2015-06-15 | 2015-10-13 | 주식회사 케디엠 | 자세복합형 상·하지 근골격계 재활운동장치 |
| KR102290893B1 (ko) * | 2015-10-27 | 2021-08-19 | 엘지전자 주식회사 | 연속 레이저 조형이 가능한 레이저 신터링 장치 |
| US10737817B2 (en) * | 2016-09-26 | 2020-08-11 | Yaskawa America, Inc. | Method, apparatus, and system for robotic article handling |
| JP7018452B2 (ja) * | 2017-11-22 | 2022-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144462A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-07-02 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 産業用ロボツトの駆動装置 |
| DE58901091D1 (de) * | 1988-12-31 | 1992-05-07 | System Gmbh | Palettierroboter. |
| JP2507583B2 (ja) * | 1989-03-01 | 1996-06-12 | 三菱電機株式会社 | クリ―ンロボット |
| JPH0638802Y2 (ja) * | 1989-03-30 | 1994-10-12 | 石川島播磨重工業株式会社 | スライド装置及びそれを使用した自動倉庫 |
| JPH0319781A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボット装置 |
| JPH04294995A (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-19 | Tokico Ltd | 工業用ロボット |
| JP3135331B2 (ja) * | 1991-12-28 | 2001-02-13 | エスエムシー株式会社 | アクチュエータおよびその構造体 |
-
1997
- 1997-06-09 JP JP16813097A patent/JP3389456B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-06-09 WO PCT/JP1998/002539 patent/WO1998056541A1/ja active IP Right Grant
- 1998-06-09 EP EP98923180A patent/EP1010498A4/en not_active Withdrawn
- 1998-06-09 US US09/445,397 patent/US6285152B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-09 CN CN98805902A patent/CN1078838C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-09 KR KR10-1999-7010977A patent/KR100473292B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010013004A (ko) | 2001-02-26 |
| CN1259070A (zh) | 2000-07-05 |
| WO1998056541A1 (fr) | 1998-12-17 |
| KR100473292B1 (ko) | 2005-03-07 |
| US6285152B1 (en) | 2001-09-04 |
| CN1078838C (zh) | 2002-02-06 |
| EP1010498A4 (en) | 2001-10-24 |
| JP3389456B2 (ja) | 2003-03-24 |
| EP1010498A1 (en) | 2000-06-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1602439B1 (en) | Nozzle change magazine for laser beam machine | |
| JPH10337682A (ja) | 産業用ロボット | |
| EP0500309B1 (en) | Work holding device | |
| JPH11221737A (ja) | 工作機械テーブル上でワークピースを位置合わせするための方法および装置 | |
| EP0940229B1 (en) | Cartesian coordinates robot | |
| JPH0283118A (ja) | 金属被加工物の放電加工方法及びその装置 | |
| KR100509281B1 (ko) | 평판디스플레이의 이방전도성필름 및 구동칩 본딩장치 | |
| JPH05277870A (ja) | 駆動装置及びこれを具備したｘｙ駆動装置 | |
| CN209988692U (zh) | 一种全自动快速门式搬运结构 | |
| CN114952037B (zh) | 一种薄板外轮廓修边的激光切割设备 | |
| CN116460439A (zh) | 一种激光焊接机器人及其焊接方法 | |
| CN214779209U (zh) | 一种自动调节宽度的上料装置 | |
| CN210358928U (zh) | 数控折弯机六轴后挡料 | |
| CN209785895U (zh) | Led晶元角度位置调整机构以及自动led固晶机 | |
| KR100628457B1 (ko) | 레이저 가공 장치의 구동부 | |
| JPH07202488A (ja) | ヘッド部駆動機構 | |
| JP3160045B2 (ja) | 曲げ・レーザ複合加工装置 | |
| JPH0338006B2 (ja) | ||
| US5105136A (en) | Structure of shaft supporter in industrial robot | |
| CN221364542U (zh) | 定位装置 | |
| JP2000237923A (ja) | 工作機械 | |
| CN215728241U (zh) | 一种无线线圈测试装置 | |
| CN221234754U (zh) | 可变距的真空吸抓取机构和搬运机器人 | |
| CN109262229B (zh) | 装配装置 | |
| CN213876212U (zh) | 一种真空贴合装置及显示面板生产线 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090117 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100117 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110117 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110117 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120117 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |