JPH07202488A - ヘッド部駆動機構 - Google Patents
ヘッド部駆動機構Info
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- JPH07202488A JPH07202488A JP33488193A JP33488193A JPH07202488A JP H07202488 A JPH07202488 A JP H07202488A JP 33488193 A JP33488193 A JP 33488193A JP 33488193 A JP33488193 A JP 33488193A JP H07202488 A JPH07202488 A JP H07202488A
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- sub
- head
- belt
- drive mechanism
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チップ部品吸引装置用のヘッド部を載置した
副軸ユニットの左右端を常に同一速度で且つ同一量だけ
円滑に移動させ、搭載動作の高速化を図ると共に位置決
め精度とタクトの著しい向上を図る。 【構成】 ヘッド２０を載置した副軸ユニット２２の両
端を左右の主軸ベース部２７Ａ、２７Ｂに沿って、ベル
ト３０Ａ、３０Ｂにより駆動する際に、これらベルト３
０Ａ、３０Ｂの両端のベルト駆動プーリ３２Ａ、３２
Ｂ、３３Ａ、３３Ｂのそれぞれを主軸駆動サーボモータ
３１Ａ〜３１Ｄにより駆動すると共に、左右の主軸ベー
ス部２７Ａ、２７Ｂに取付けたリニアエンコーダ３５
Ａ、３５Ｂにより副軸ユニット２２の両端の位置と速度
を検出して、リニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂとサーボ
モータ３１Ａ〜３１Ｄとがフルクローズループにより制
御されるように配置し、２本のベルト３０Ａ、３０Ｂを
同期駆動させる。
副軸ユニットの左右端を常に同一速度で且つ同一量だけ
円滑に移動させ、搭載動作の高速化を図ると共に位置決
め精度とタクトの著しい向上を図る。 【構成】 ヘッド２０を載置した副軸ユニット２２の両
端を左右の主軸ベース部２７Ａ、２７Ｂに沿って、ベル
ト３０Ａ、３０Ｂにより駆動する際に、これらベルト３
０Ａ、３０Ｂの両端のベルト駆動プーリ３２Ａ、３２
Ｂ、３３Ａ、３３Ｂのそれぞれを主軸駆動サーボモータ
３１Ａ〜３１Ｄにより駆動すると共に、左右の主軸ベー
ス部２７Ａ、２７Ｂに取付けたリニアエンコーダ３５
Ａ、３５Ｂにより副軸ユニット２２の両端の位置と速度
を検出して、リニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂとサーボ
モータ３１Ａ〜３１Ｄとがフルクローズループにより制
御されるように配置し、２本のベルト３０Ａ、３０Ｂを
同期駆動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばＩＣチップ部品
を部品供給部から真空圧により吸引し、該チップ部品を
基板上に装着するためのヘッド部あるいはＸ−Ｙプロッ
タのヘッド部等をＸ−Ｙ方向に駆動するヘッド部駆動機
構に関する。
を部品供給部から真空圧により吸引し、該チップ部品を
基板上に装着するためのヘッド部あるいはＸ−Ｙプロッ
タのヘッド部等をＸ−Ｙ方向に駆動するヘッド部駆動機
構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来知られているＩＣチップ装着用のヘ
ッド部駆動機構としては図３、図４に示すようなものが
ある。
ッド部駆動機構としては図３、図４に示すようなものが
ある。
【０００３】図３において、ＩＣチップ部品吸引装着ヘ
ッド１０は下端にＩＣチップ部品を吸引し、Ｘ方向（副
軸方向）及びＹ方向（主軸方向）に移動した後これを基
板上に装着するものである。
ッド１０は下端にＩＣチップ部品を吸引し、Ｘ方向（副
軸方向）及びＹ方向（主軸方向）に移動した後これを基
板上に装着するものである。
【０００４】このヘッド１０は、該ヘッド１０をＸ方向
に移動させるための直動軸受レール１１へ摺動自在に取
り付けられている。又このレール１１は両端をそれぞれ
受部１３Ａ、１３Ｂに支持された支持体即ち副軸１２に
固定されている。副軸１２に取り付けられているモータ
１４はヘッド１０を、図示していないベルトを介してレ
ール１１に沿ってＸ方向に移動させる作用をしている。
に移動させるための直動軸受レール１１へ摺動自在に取
り付けられている。又このレール１１は両端をそれぞれ
受部１３Ａ、１３Ｂに支持された支持体即ち副軸１２に
固定されている。副軸１２に取り付けられているモータ
１４はヘッド１０を、図示していないベルトを介してレ
ール１１に沿ってＸ方向に移動させる作用をしている。
【０００５】また受部１３Ａ、１３ＢはＸ方向に伸長し
ているレール１１に対して直交するＹ方向に伸長する一
対の主軸ベース部１９Ａ、１９Ｂへ固定された直動軸受
レール即ち直動ガイドベアリング１５Ａ、１５Ｂに支持
されている。前記受部１３Ａ、１３Ｂはフレームに固定
された主軸駆動サーボモータ１７及びロータリーエンコ
ーダ１８によって制御駆動されている駆動ベルト１６に
より駆動され、前記レール１５Ａ、１５Ｂ上をＹ方向に
移動される。この従来例ではモータ１４、１７の回転を
ベルトにより直線運動に変換しているが、これ以外にボ
ールネジによる直線駆動も広く知られている。
ているレール１１に対して直交するＹ方向に伸長する一
対の主軸ベース部１９Ａ、１９Ｂへ固定された直動軸受
レール即ち直動ガイドベアリング１５Ａ、１５Ｂに支持
されている。前記受部１３Ａ、１３Ｂはフレームに固定
された主軸駆動サーボモータ１７及びロータリーエンコ
ーダ１８によって制御駆動されている駆動ベルト１６に
より駆動され、前記レール１５Ａ、１５Ｂ上をＹ方向に
移動される。この従来例ではモータ１４、１７の回転を
ベルトにより直線運動に変換しているが、これ以外にボ
ールネジによる直線駆動も広く知られている。
【０００６】しかしこのように一方の主軸ベース部１９
Ａ側にて副軸１２を駆動制御する装置においては、副軸
を駆動するため副軸端部に設けた副軸駆動部に該副軸自
体の質量によりもたらされる大きなモーメントがかか
り、このため副軸の移動に関してダンピング（振動収
束）の問題が発生する。かかる問題を解消するためには
高剛性の主軸及び副軸ユニットが必要となり、且つ大容
量の駆動モータが使用されなければならない。しかしそ
うすると高速における作動が困難となる。又ダンピング
を防止するためにボールねじを用いるとボールねじのリ
ードが大となり、実質上高速化が困難となる欠点があっ
た。
Ａ側にて副軸１２を駆動制御する装置においては、副軸
を駆動するため副軸端部に設けた副軸駆動部に該副軸自
体の質量によりもたらされる大きなモーメントがかか
り、このため副軸の移動に関してダンピング（振動収
束）の問題が発生する。かかる問題を解消するためには
高剛性の主軸及び副軸ユニットが必要となり、且つ大容
量の駆動モータが使用されなければならない。しかしそ
うすると高速における作動が困難となる。又ダンピング
を防止するためにボールねじを用いるとボールねじのリ
ードが大となり、実質上高速化が困難となる欠点があっ
た。
【０００７】換言すると、図３の従来例においては、長
い棒状の副軸１２の一端のみが駆動され、他端は直動軸
受でガイドしているだけであるのでいわば片持構造とな
っているため、モータ１７によるＹ方向への特に駆動時
及び停止時に振動が発生し易く、また、その振動を収束
するための振動収束時間（ダンピング時間）が長くな
る。
い棒状の副軸１２の一端のみが駆動され、他端は直動軸
受でガイドしているだけであるのでいわば片持構造とな
っているため、モータ１７によるＹ方向への特に駆動時
及び停止時に振動が発生し易く、また、その振動を収束
するための振動収束時間（ダンピング時間）が長くな
る。
【０００８】ところで、一般にチップマウンタは基板を
高速度で生産する必要があるため、ヘッドを出来る限り
Ｘ及びＹ方向に高速度で移動させる必要がある。その一
方で、近年、装着するＩＣチップ部品の形状は小型化し
ており、基板に対するチップ搭載時の精度は数１０ミク
ロン以内であることが要求されている。
高速度で生産する必要があるため、ヘッドを出来る限り
Ｘ及びＹ方向に高速度で移動させる必要がある。その一
方で、近年、装着するＩＣチップ部品の形状は小型化し
ており、基板に対するチップ搭載時の精度は数１０ミク
ロン以内であることが要求されている。
【０００９】図３の装置でヘッド１０をＹ方向へ高速移
動すると、副軸１２にかかる加速度が大きくなり、固有
振動を発生する。Ｙ方向への移動を停止後、直ちにチッ
プ部品を装着した場合、ヘッドが振動しているため、所
望の精度で搭載することは出来ない。もし、振動の収束
を持つこととすると、折角支持体を高速度で駆動した意
味が無くなる。又振動防止のため副軸１２の剛性を増や
せば、固有振動数は大きくなり、収束は早まるが剛性の
増加は重量の増加を伴い、サーボモータ１７の出力増加
を必要とする。一般にはサーボモータの出力が増加する
とサーボモータのロータ直径が大きくなり、角慣性モー
メントが増加し、結局は高加速駆動には不利となる。
動すると、副軸１２にかかる加速度が大きくなり、固有
振動を発生する。Ｙ方向への移動を停止後、直ちにチッ
プ部品を装着した場合、ヘッドが振動しているため、所
望の精度で搭載することは出来ない。もし、振動の収束
を持つこととすると、折角支持体を高速度で駆動した意
味が無くなる。又振動防止のため副軸１２の剛性を増や
せば、固有振動数は大きくなり、収束は早まるが剛性の
増加は重量の増加を伴い、サーボモータ１７の出力増加
を必要とする。一般にはサーボモータの出力が増加する
とサーボモータのロータ直径が大きくなり、角慣性モー
メントが増加し、結局は高加速駆動には不利となる。
【００１０】このような問題を解消するため、一方の主
軸ベース部に固定したサーボモータ及びロータリーエン
コーダからベルトや固定回転軸、例えばボールねじ等を
使って他方の主軸ベース部に駆動力を伝達し、これによ
り副軸の両端を同時に駆動する装置が発表されている。
しかしこのような装置では伝達装置におけるピッチ誤差
や伝達遅れが発生するため、高精度の位置制御や高速作
動が困難である。
軸ベース部に固定したサーボモータ及びロータリーエン
コーダからベルトや固定回転軸、例えばボールねじ等を
使って他方の主軸ベース部に駆動力を伝達し、これによ
り副軸の両端を同時に駆動する装置が発表されている。
しかしこのような装置では伝達装置におけるピッチ誤差
や伝達遅れが発生するため、高精度の位置制御や高速作
動が困難である。
【００１１】これらの問題を解消するため更に図４に示
すような装置も発表されている。図４の従来例が図３の
従来例と異なるところは、図３ではＹ方向駆動のための
主軸駆動サーボモータ１７及びロータリエンコーダ１８
を、副軸１２の片側のみを駆動するために一方の主軸ベ
ース部１９Ａにのみ用いていたが、図４の従来例では副
軸１２の両側を同時に駆動するためベルト１６Ｂ、サー
ボモータ１７Ｂ及びロータリエンコーダ１８Ｂを他方の
主軸ベース部１９Ｂにも設けたことである。これによっ
て、Ｙ方向におけるヘッド１０の停止位置精度を向上さ
せるものである。
すような装置も発表されている。図４の従来例が図３の
従来例と異なるところは、図３ではＹ方向駆動のための
主軸駆動サーボモータ１７及びロータリエンコーダ１８
を、副軸１２の片側のみを駆動するために一方の主軸ベ
ース部１９Ａにのみ用いていたが、図４の従来例では副
軸１２の両側を同時に駆動するためベルト１６Ｂ、サー
ボモータ１７Ｂ及びロータリエンコーダ１８Ｂを他方の
主軸ベース部１９Ｂにも設けたことである。これによっ
て、Ｙ方向におけるヘッド１０の停止位置精度を向上さ
せるものである。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図４に示
す従来の装置においては以下のような種々の解決すべき
課題があった。
す従来の装置においては以下のような種々の解決すべき
課題があった。
【００１３】即ち、副軸１２の両端が同時駆動されるた
め、サーボモータ１台当りの負荷量が減少するので固有
振動数が大幅に上昇し、図３の従来例装置の欠点の大部
分が解決されているが、副軸１２を高速移動するため通
常サーボモータ１７、１７Ｂを使用しているので、これ
らのサーボモータを駆動装置に組み合わせた場合、個々
のモータのサーボ特性は、通常、モータの慣性負荷や粘
性負荷の差等により異なり、同一の指令パルスレートで
両サーボモータ１７、１７Ｂに指令を与えても、指令パ
ルスとエンコーダ１８、１８Ｂからのフィードバックパ
ルスの差即ちたまりパルスは必ずしも一致すものではな
く、副軸の一端を他端より先行して進ませてしまうこと
がある。その結果双方のモータが互いに干渉しあって激
しい振動を発生し、スムーズな移動が得られないことが
ある。
め、サーボモータ１台当りの負荷量が減少するので固有
振動数が大幅に上昇し、図３の従来例装置の欠点の大部
分が解決されているが、副軸１２を高速移動するため通
常サーボモータ１７、１７Ｂを使用しているので、これ
らのサーボモータを駆動装置に組み合わせた場合、個々
のモータのサーボ特性は、通常、モータの慣性負荷や粘
性負荷の差等により異なり、同一の指令パルスレートで
両サーボモータ１７、１７Ｂに指令を与えても、指令パ
ルスとエンコーダ１８、１８Ｂからのフィードバックパ
ルスの差即ちたまりパルスは必ずしも一致すものではな
く、副軸の一端を他端より先行して進ませてしまうこと
がある。その結果双方のモータが互いに干渉しあって激
しい振動を発生し、スムーズな移動が得られないことが
ある。
【００１４】また図３の主軸、副軸、図４の両主軸、副
軸とも、ループ状のベルトの両端がプーリで保持され、
２つのプーリのうち片方がモータに連結され、他方が従
動するようになっているが、ＸＹの移動の加速度を大き
くすればするほど、モータは大出力である必要があり、
一般的に出力を大きくするためには、モータ内部のロー
タ径を大きくしなければならずその結果モータ自身の角
慣性モーメントも増加する。よって高加速度で駆動させ
ようとしても、出力のエネルギーをモータ自身の回転に
消費してしまい、大出力モータを使用しても実質的な加
速度をあげることができない。
軸とも、ループ状のベルトの両端がプーリで保持され、
２つのプーリのうち片方がモータに連結され、他方が従
動するようになっているが、ＸＹの移動の加速度を大き
くすればするほど、モータは大出力である必要があり、
一般的に出力を大きくするためには、モータ内部のロー
タ径を大きくしなければならずその結果モータ自身の角
慣性モーメントも増加する。よって高加速度で駆動させ
ようとしても、出力のエネルギーをモータ自身の回転に
消費してしまい、大出力モータを使用しても実質的な加
速度をあげることができない。
【００１５】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、大出力のモータを用いることなく
ヘッド部の移動速度を増大し、且つ、位置決め精度とタ
クトの向上を図ることができるヘッド部駆動機構を提供
することを目的とする。
されたものであって、大出力のモータを用いることなく
ヘッド部の移動速度を増大し、且つ、位置決め精度とタ
クトの向上を図ることができるヘッド部駆動機構を提供
することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ヘッ
ド部を副軸方向に駆動する副軸方向駆動機構と、ヘッド
部を副軸方向と直交する主軸方向に駆動する主軸方向駆
動機構と、を備えてなるヘッド部駆動機構において、前
記主軸方向駆動機構を、前記副軸ユニットの両端部を独
立して駆動する一対のベルトと、これらのベルトを独立
して駆動するサーボモータと、該副軸ユニットの両端部
の移動速度及び移動量の少なくとも一方を検知するリニ
アエンコーダと、を含んで構成し、前記サーボモータ
を、前記一対のベルトの少なくとも一方のベルトのプー
リに、２台設置し、前記リニアエンコーダとサーボモー
タとがフルクローズループにより制御されるように配置
して上記目的を達成するものである。
ド部を副軸方向に駆動する副軸方向駆動機構と、ヘッド
部を副軸方向と直交する主軸方向に駆動する主軸方向駆
動機構と、を備えてなるヘッド部駆動機構において、前
記主軸方向駆動機構を、前記副軸ユニットの両端部を独
立して駆動する一対のベルトと、これらのベルトを独立
して駆動するサーボモータと、該副軸ユニットの両端部
の移動速度及び移動量の少なくとも一方を検知するリニ
アエンコーダと、を含んで構成し、前記サーボモータ
を、前記一対のベルトの少なくとも一方のベルトのプー
リに、２台設置し、前記リニアエンコーダとサーボモー
タとがフルクローズループにより制御されるように配置
して上記目的を達成するものである。
【００１７】また、請求項２のように、前記副軸方向駆
動機構を、ヘッド部を支承する副軸ユニットと、ヘッド
部を該副軸ユニットの長手方向に沿って駆動するベルト
と、このベルトを駆動するサーボモータと、を含んで構
成し、該サーボモータを、ベルト端部のプーリに２台設
置するようにしてもよい。
動機構を、ヘッド部を支承する副軸ユニットと、ヘッド
部を該副軸ユニットの長手方向に沿って駆動するベルト
と、このベルトを駆動するサーボモータと、を含んで構
成し、該サーボモータを、ベルト端部のプーリに２台設
置するようにしてもよい。
【００１８】更に、請求項３のように、前記２台のサー
ボモータを、ベルト両端のプーリに各々独立して設置す
るようにしてもよい。
ボモータを、ベルト両端のプーリに各々独立して設置す
るようにしてもよい。
【００１９】
【作用】副軸の両端をそれぞれ支持している一対の主軸
ベース部にそれぞれ取付けたリニアエンコーダが、副軸
の両端をそれぞれ駆動している主軸駆動サーボモータ及
び駆動ベルトによる副軸端部の駆動速度、送りピッチ等
を検知する。そして、該副軸の位置を更に別に配置した
リニアエンコーダが駆動速度を検知し、且つこれらの値
が左右両側において常に同じになるように該サーボモー
タを制御している。
ベース部にそれぞれ取付けたリニアエンコーダが、副軸
の両端をそれぞれ駆動している主軸駆動サーボモータ及
び駆動ベルトによる副軸端部の駆動速度、送りピッチ等
を検知する。そして、該副軸の位置を更に別に配置した
リニアエンコーダが駆動速度を検知し、且つこれらの値
が左右両側において常に同じになるように該サーボモー
タを制御している。
【００２０】
【実施例】以下、図１、図２に示される本発明の実施例
について説明する。これは図３、図４に示す従来のヘッ
ド部駆動機構を改良したものであり、図１において符号
２０は下端にチップ部品（図示なし）を吸引しＸ及びＹ
方向に移動した後、これを基板（図示省略）上に装着す
るチップ部品吸引装着ヘッドである。このヘッド２０
は、副軸ユニット２２上に取付けられた直動軸受レール
（図示省略）上に摺動自在に取り付けられている。また
この副軸ユニット２２の両側には副軸駆動モータ２４
Ａ、２４Ｂが載置されている。これらのモータ２４Ａ、
２４Ｂによって駆動されるベルト駆動プーリ２６Ａ、２
６Ｂにはベルト２５がかけてある。このベルト２５には
前記ヘッド２０が固定されていて、モータ２４Ａ、２４
Ｂの回転によってヘッド２０がＸ方向に迅速に移動出来
るようになっている。
について説明する。これは図３、図４に示す従来のヘッ
ド部駆動機構を改良したものであり、図１において符号
２０は下端にチップ部品（図示なし）を吸引しＸ及びＹ
方向に移動した後、これを基板（図示省略）上に装着す
るチップ部品吸引装着ヘッドである。このヘッド２０
は、副軸ユニット２２上に取付けられた直動軸受レール
（図示省略）上に摺動自在に取り付けられている。また
この副軸ユニット２２の両側には副軸駆動モータ２４
Ａ、２４Ｂが載置されている。これらのモータ２４Ａ、
２４Ｂによって駆動されるベルト駆動プーリ２６Ａ、２
６Ｂにはベルト２５がかけてある。このベルト２５には
前記ヘッド２０が固定されていて、モータ２４Ａ、２４
Ｂの回転によってヘッド２０がＸ方向に迅速に移動出来
るようになっている。
【００２１】副軸ユニット２２の両端は、基板（図示省
略）の両側に配置されている主軸ベース部２７Ａ、２７
Ｂの上面に取付けられた直動ガイドベアリング２８Ａ、
２８Ｂに公知の手段によってこれら直動ガイドベアリン
グ２８Ａ、２８Ｂ上を移動可能に受け入れられている。
更に副軸ユニット２２はその両端から主軸ベース部２７
Ａ、２７Ｂに沿って垂下している一対の副軸駆動連結板
２９Ａ、２９Ｂを有している。この連結板２９Ａ、２９
ＢはＹ方向に往復移動するベルト３０Ａ、３０Ｂに対し
て固定されている。又これらのベルト３０Ａ、３０Ｂは
それぞれ主軸ベース部２７Ａ、２７Ｂに固定されている
主軸駆動サーボモータ３１Ａ〜３１Ｄによって一対のベ
ルト駆動プーリ３２Ａ、３３Ａ及び３２Ｂ、３３Ｂ間を
駆動されている。
略）の両側に配置されている主軸ベース部２７Ａ、２７
Ｂの上面に取付けられた直動ガイドベアリング２８Ａ、
２８Ｂに公知の手段によってこれら直動ガイドベアリン
グ２８Ａ、２８Ｂ上を移動可能に受け入れられている。
更に副軸ユニット２２はその両端から主軸ベース部２７
Ａ、２７Ｂに沿って垂下している一対の副軸駆動連結板
２９Ａ、２９Ｂを有している。この連結板２９Ａ、２９
ＢはＹ方向に往復移動するベルト３０Ａ、３０Ｂに対し
て固定されている。又これらのベルト３０Ａ、３０Ｂは
それぞれ主軸ベース部２７Ａ、２７Ｂに固定されている
主軸駆動サーボモータ３１Ａ〜３１Ｄによって一対のベ
ルト駆動プーリ３２Ａ、３３Ａ及び３２Ｂ、３３Ｂ間を
駆動されている。
【００２２】更に主軸ベース部２７Ａ、２７Ｂの側部に
はリニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂが取付けられてい
る。このリニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂは公知のよう
に光学的エッチング又は磁気的処理が施してあるスケー
ルと、検出体と、から構成されている。
はリニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂが取付けられてい
る。このリニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂは公知のよう
に光学的エッチング又は磁気的処理が施してあるスケー
ルと、検出体と、から構成されている。
【００２３】ここで、図２に示すように、前記サーボモ
ータ３１Ａ〜３１Ｄは、主軸移動距離及び主軸移動速度
について、予め定めた設定値に基づいて装置内のＣＰＵ
（図示省略）を介して所定の指令が発せられると、その
指令が同時に主軸サーボドライバ４１Ａ〜４１Ｄに送ら
れ、これら主軸サーボドライバ４１Ａ〜４１Ｄからの信
号が入って両ベルト３０Ａ、３０Ｂを同時に回動し、副
軸ユニット２２の両端を同時に駆動し始めるようにされ
ている。
ータ３１Ａ〜３１Ｄは、主軸移動距離及び主軸移動速度
について、予め定めた設定値に基づいて装置内のＣＰＵ
（図示省略）を介して所定の指令が発せられると、その
指令が同時に主軸サーボドライバ４１Ａ〜４１Ｄに送ら
れ、これら主軸サーボドライバ４１Ａ〜４１Ｄからの信
号が入って両ベルト３０Ａ、３０Ｂを同時に回動し、副
軸ユニット２２の両端を同時に駆動し始めるようにされ
ている。
【００２４】この際その副軸ユニット２２の主軸方向の
移動距離及び移動速度をリニアエンコーダ３５Ａ、３５
Ｂが前記連結板２９と同様の手段を介して正確に感知
し、次いで公知のサーボ機構を介して２つの主軸側の駆
動回路を図２に示すようにフルクローズループとするこ
とにより主軸サーボドライバ４１Ａ〜４１Ｄへ信号を繰
り返しフィードバックするようにされている。
移動距離及び移動速度をリニアエンコーダ３５Ａ、３５
Ｂが前記連結板２９と同様の手段を介して正確に感知
し、次いで公知のサーボ機構を介して２つの主軸側の駆
動回路を図２に示すようにフルクローズループとするこ
とにより主軸サーボドライバ４１Ａ〜４１Ｄへ信号を繰
り返しフィードバックするようにされている。
【００２５】これによりベルト３０Ａ、３０Ｂのピッチ
誤差が解消し、副軸ユニット２２の位置決め精度が向上
し、且つ図４の装置の場合のような双方モータの相互干
渉を無くし、主軸の各モータにかかる負荷を軽減して高
速化を図ることが出来るのである。この結果、２つの主
軸の独立した２つのモータベルト等の位置関係を同一に
することが出来、又ベルトによるダンピング特性を同等
にすることにより、位置決め精度とタクトの著しい向上
を図ることができる。
誤差が解消し、副軸ユニット２２の位置決め精度が向上
し、且つ図４の装置の場合のような双方モータの相互干
渉を無くし、主軸の各モータにかかる負荷を軽減して高
速化を図ることが出来るのである。この結果、２つの主
軸の独立した２つのモータベルト等の位置関係を同一に
することが出来、又ベルトによるダンピング特性を同等
にすることにより、位置決め精度とタクトの著しい向上
を図ることができる。
【００２６】ここに述べた実施例ではリニアエンコーダ
３５Ａ、３５Ｂが副軸ユニット２２の回転数（速度）と
位置とを共に感知する例について述べた。しかしなが
ら、リニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂが副軸ユニット２
２の位置のみを感知し、一方図５に示すロータリエンコ
ーダ１８Ａ、１８Ｂと同様のロータリエンコーダを図１
のサーボモータ３１Ａ、３１Ｂに連動させるようにして
取り付け、このロータリエンコーダによってサーボモー
タの回転数を感知し、これらの信号をサーボモータに送
り、互いにフィードバック制御することも出来る。
３５Ａ、３５Ｂが副軸ユニット２２の回転数（速度）と
位置とを共に感知する例について述べた。しかしなが
ら、リニアエンコーダ３５Ａ、３５Ｂが副軸ユニット２
２の位置のみを感知し、一方図５に示すロータリエンコ
ーダ１８Ａ、１８Ｂと同様のロータリエンコーダを図１
のサーボモータ３１Ａ、３１Ｂに連動させるようにして
取り付け、このロータリエンコーダによってサーボモー
タの回転数を感知し、これらの信号をサーボモータに送
り、互いにフィードバック制御することも出来る。
【００２７】また、主軸、副軸の負荷の大きい方のみ両
プーリにモータを接続し、負荷の小さい方は片側プーリ
にのみモータを接続しても良い。更に、サーボモータを
２台設ける場合は、実施例においてはベルト両端のプー
リそれぞれに１台設けているが、これは一方のプーリに
２台のサーボモータを設けるようにしてもよい。
プーリにモータを接続し、負荷の小さい方は片側プーリ
にのみモータを接続しても良い。更に、サーボモータを
２台設ける場合は、実施例においてはベルト両端のプー
リそれぞれに１台設けているが、これは一方のプーリに
２台のサーボモータを設けるようにしてもよい。
【００２８】なお上記実施例ではチップマウンタについ
て説明したが本発明はＸＹ方向にヘッドを移動するプロ
ッタ等の他の装置にも適用することができる。
て説明したが本発明はＸＹ方向にヘッドを移動するプロ
ッタ等の他の装置にも適用することができる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、両主軸のベルトのうち
少なくとも一方のベルトのプーリに２個のモータが取り
付けられているため、各モータの負荷が減るので、大出
力のモータを必要とせず、その結果、モータ自身の角慣
性モーメントが減り高加速度動作ができる上、一対のリ
ニアエンコーダの使用により２つの主軸の独立した２つ
のモータベルトの位置関係を同一にすることが出来、又
ベルトによるダンピング特性を同等にすることにより、
位置決め精度とタクトの著しい向上を図ることができ
る。
少なくとも一方のベルトのプーリに２個のモータが取り
付けられているため、各モータの負荷が減るので、大出
力のモータを必要とせず、その結果、モータ自身の角慣
性モーメントが減り高加速度動作ができる上、一対のリ
ニアエンコーダの使用により２つの主軸の独立した２つ
のモータベルトの位置関係を同一にすることが出来、又
ベルトによるダンピング特性を同等にすることにより、
位置決め精度とタクトの著しい向上を図ることができ
る。
【図１】本発明の実施例に係るヘッド部駆動機構の概略
構成を示す斜視図
構成を示す斜視図
【図２】同実施例のヘッド部駆動機構の作動を示すブロ
ック図
ック図
【図３】公知のヘッド部駆動機構を示す斜視図
【図４】別の公知のヘッド部駆動機構を示す斜視図
２０…チップ部品吸引装着ヘッド ２２…副軸ユニット ２４Ａ、２４Ｂ…副軸駆動モータ ２５、３０Ａ、３０Ｂ…ベルト ２６Ａ、２６Ｂ、３２Ａ、３２Ｂ、３３Ａ、３３Ｂ…ベ
ルト駆動プーリ ２７Ａ、２７Ｂ…主軸ベース部 ３１Ａ〜３１Ｄ…主軸駆動サーボモータ ３５Ａ、３５Ｂ…リニアエンコーダ
ルト駆動プーリ ２７Ａ、２７Ｂ…主軸ベース部 ３１Ａ〜３１Ｄ…主軸駆動サーボモータ ３５Ａ、３５Ｂ…リニアエンコーダ
Claims (3)
- 【請求項１】ヘッド部を副軸方向に駆動する副軸方向駆
動機構と、ヘッド部を副軸方向と直交する主軸方向に駆
動する主軸方向駆動機構と、を備えてなるヘッド部駆動
機構において、 前記主軸方向駆動機構を、前記副軸ユニットの両端部を
独立して駆動する一対のベルトと、これらのベルトを独
立して駆動するサーボモータと、該副軸ユニットの両端
部の移動速度及び移動量の少なくとも一方を検知するリ
ニアエンコーダと、を含んで構成し、前記サーボモータ
を、前記一対のベルトの少なくとも一方のベルトのプー
リに、２台設置し、前記リニアエンコーダとサーボモー
タとがフルクローズループにより制御されるように配置
したことを特徴とするヘッド部駆動機構。 - 【請求項２】請求項１において、前記副軸方向駆動機構
を、ヘッド部を支承する副軸ユニットと、ヘッド部を該
副軸ユニットの長手方向に沿って駆動するベルトと、こ
のベルトを駆動するサーボモータと、を含んで構成し、
該サーボモータは、ベルト端部のプーリに２台設置され
たことを特徴とするヘッド部駆動機構。 - 【請求項３】請求項１又は２において、前記２台のサー
ボモータは、ベルト両端のプーリに各々独立して設置さ
れたことを特徴とするヘッド部駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33488193A JP3510912B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ヘッド部駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33488193A JP3510912B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ヘッド部駆動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07202488A true JPH07202488A (ja) | 1995-08-04 |
| JP3510912B2 JP3510912B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=18282271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33488193A Expired - Fee Related JP3510912B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | ヘッド部駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3510912B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008199777A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Juki Corp | マウンタのタンデム駆動装置 |
| KR100895933B1 (ko) * | 2001-10-30 | 2009-05-07 | 쥬키 가부시키가이샤 | Ｘｙ 위치결정 제어장치 및 전자부품 탑재장치 |
| JP2011014866A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Wecon Automation Corp | 駆動装置およびダイボンダ |
| JP2013233569A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Honda Motor Co Ltd | 加工装置 |
| CN106181980A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-07 | 富创得科技（沈阳）有限公司 | 同步驱动型直角坐标机器人 |
| US10745251B2 (en) | 2017-01-27 | 2020-08-18 | The Boeing Company | Belt drive dual robot gantry |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5241413B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-07-17 | Ｊｕｋｉ株式会社 | ガントリ型ｘｙ位置決め装置の同期防振制御装置 |
| CN104647356A (zh) * | 2015-01-04 | 2015-05-27 | 周玉梅 | 一种机械手结构 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33488193A patent/JP3510912B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN106181980B (zh) * | 2016-08-30 | 2018-06-19 | 上海大族富创得科技有限公司 | 同步驱动型直角坐标机器人 |
| US10745251B2 (en) | 2017-01-27 | 2020-08-18 | The Boeing Company | Belt drive dual robot gantry |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3510912B2 (ja) | 2004-03-29 |
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