JPH10327571A - リニアパルスモータ - Google Patents

リニアパルスモータ

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JPH10327571A JP9150032A JP15003297A JPH10327571A JP H10327571 A JPH10327571 A JP H10327571A JP 9150032 A JP9150032 A JP 9150032A JP 15003297 A JP15003297 A JP 15003297A JP H10327571 A JPH10327571 A JP H10327571A
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020028064A (ko) * 2000-10-05 2002-04-16 김지석 양측식 리니어펄스 모터 및 그 구동방법
US6674186B2 (en) 2001-05-10 2004-01-06 Smc Kabushiki Kaisha Linear motor
US7138734B2 (en) 2002-02-20 2006-11-21 Hitachi, Ltd. Linear drive unit reducing stress generated in movable part in horizontal direction
US7250696B2 (en) * 2003-11-18 2007-07-31 Hitachi, Ltd. Linear motor and X-Y stage
JP2009153371A (ja) * 2007-11-30 2009-07-09 Sinfonia Technology Co Ltd モータ
WO2010058500A1 (ja) * 2008-11-18 2010-05-27 日立金属株式会社 可動子、電機子及びリニアモータ
WO2011118568A1 (ja) * 2010-03-23 2011-09-29 日立金属株式会社 リニアモータ
WO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
WO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
JP2022017151A (ja) * 2020-07-13 2022-01-25 東佑達自動化科技股▲ふん▼有限公司 コイル装置及びコアレスリニアモータ

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020028064A (ko) * 2000-10-05 2002-04-16 김지석 양측식 리니어펄스 모터 및 그 구동방법
US6674186B2 (en) 2001-05-10 2004-01-06 Smc Kabushiki Kaisha Linear motor
DE10220822B4 (de) * 2001-05-10 2020-07-02 Smc K.K. Linearmotor
US7138734B2 (en) 2002-02-20 2006-11-21 Hitachi, Ltd. Linear drive unit reducing stress generated in movable part in horizontal direction
US7250696B2 (en) * 2003-11-18 2007-07-31 Hitachi, Ltd. Linear motor and X-Y stage
JP2009153371A (ja) * 2007-11-30 2009-07-09 Sinfonia Technology Co Ltd モータ
US8884473B2 (en) 2008-11-18 2014-11-11 Hitachi Metals, Ltd. Mover, armature, and linear motor
JP5434917B2 (ja) * 2008-11-18 2014-03-05 日立金属株式会社 電機子及びリニアモータ
WO2010058500A1 (ja) * 2008-11-18 2010-05-27 日立金属株式会社 可動子、電機子及びリニアモータ
TWI472126B (zh) * 2008-11-18 2015-02-01 Hitachi Metals Ltd 電樞，以及線性馬達
KR20110084329A (ko) * 2008-11-18 2011-07-21 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 가동자, 전기자 및 리니어모터
CN102792571B (zh) * 2010-03-23 2016-01-20 日立金属株式会社 线性电机
CN102792571A (zh) * 2010-03-23 2012-11-21 日立金属株式会社 线性电机
WO2011118568A1 (ja) * 2010-03-23 2011-09-29 日立金属株式会社 リニアモータ
JPWO2011118568A1 (ja) * 2010-03-23 2013-07-04 日立金属株式会社 リニアモータ
CN102934337A (zh) * 2010-06-09 2013-02-13 株式会社日立制作所 发电机以及使用发电机的发电装置
JPWO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2013-08-01 株式会社日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
JPWO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2013-08-01 株式会社日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
US20130093264A1 (en) * 2010-06-09 2013-04-18 Hitachi Ltd Linear Motor and Positioning Apparatus
US20130088099A1 (en) * 2010-06-09 2013-04-11 Hitachi, Ltd. Generator and Electricity-Generating System
WO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
US10218252B2 (en) 2010-06-09 2019-02-26 Hitachi, Ltd. Linear motor and positioning apparatus
WO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
JP2022017151A (ja) * 2020-07-13 2022-01-25 東佑達自動化科技股▲ふん▼有限公司 コイル装置及びコアレスリニアモータ

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