JPH10326812A - 検査システムおよび分析装置並びに分析データ表示方法 - Google Patents
検査システムおよび分析装置並びに分析データ表示方法Info
- Publication number
- JPH10326812A JPH10326812A JP16659898A JP16659898A JPH10326812A JP H10326812 A JPH10326812 A JP H10326812A JP 16659898 A JP16659898 A JP 16659898A JP 16659898 A JP16659898 A JP 16659898A JP H10326812 A JPH10326812 A JP H10326812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- analysis
- analysis result
- inspection apparatus
- analyzing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の目的は、どんな成分の異物がウェハ上
でどのように分布しているか明らかにするものである。 【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、ウ
エハを検査する検査装置と、該検査装置が検査して得た
検査結果に含まれる座標データを用いて該ウエハを分析
する分析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析
結果をその分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力
するとともに、該検査装置が検査したウエハ内の位置に
対応させて該記号を出力するように構成したものであ
る。該目的が達成されると、異物のウェハ付着状況が一
目瞭然に判るので、異物発生原因を解明することが容易
になる。
でどのように分布しているか明らかにするものである。 【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、ウ
エハを検査する検査装置と、該検査装置が検査して得た
検査結果に含まれる座標データを用いて該ウエハを分析
する分析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析
結果をその分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力
するとともに、該検査装置が検査したウエハ内の位置に
対応させて該記号を出力するように構成したものであ
る。該目的が達成されると、異物のウェハ付着状況が一
目瞭然に判るので、異物発生原因を解明することが容易
になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ上異
物の分析結果を、その分布にあわせて表示する方法に関
する。
物の分析結果を、その分布にあわせて表示する方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造においてはウェハに付着する
異物が歩留り低下の重大な要因になる。そこでウェハに
付着した異物を計数して、異物発生量管理をしたり、ウ
ェハに付着した異物を分析して異物発生源を解析したり
していた。
異物が歩留り低下の重大な要因になる。そこでウェハに
付着した異物を計数して、異物発生量管理をしたり、ウ
ェハに付着した異物を分析して異物発生源を解析したり
していた。
【０００３】従来半導体ウェハに付着した異物を分析す
るとき、ウェハの異物の付着している部分を切断して小
片にして、分析装置にかけていた。しかし、ウェハを切
断する手間がかかること、切断の際、ウェハの切り粉が
表面に付着してしまう等の不都合があった。そこで、ウ
ェハ上の異物を検出する機能とそのままウェハを切断せ
ずに付着異物を分析する機能の２つの機能を合わせ持つ
装置が開発された（特開昭６０−２１８８４５）。前記
発明の装置では異物を検出し、その座標を記録し、該座
標の異物を分析していた。該装置により異物を切断する
手間が省け、切り粉が表面に付着しなくなったことによ
り、誤って切り粉を分析することがなくなった。
るとき、ウェハの異物の付着している部分を切断して小
片にして、分析装置にかけていた。しかし、ウェハを切
断する手間がかかること、切断の際、ウェハの切り粉が
表面に付着してしまう等の不都合があった。そこで、ウ
ェハ上の異物を検出する機能とそのままウェハを切断せ
ずに付着異物を分析する機能の２つの機能を合わせ持つ
装置が開発された（特開昭６０−２１８８４５）。前記
発明の装置では異物を検出し、その座標を記録し、該座
標の異物を分析していた。該装置により異物を切断する
手間が省け、切り粉が表面に付着しなくなったことによ
り、誤って切り粉を分析することがなくなった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来分析した
異物は成分情報のみを利用して、その位置情報を利用し
ていなかったので、どんな成分の異物がウェハ上でどの
ように分布していたか判らなかった。
異物は成分情報のみを利用して、その位置情報を利用し
ていなかったので、どんな成分の異物がウェハ上でどの
ように分布していたか判らなかった。
【０００５】本発明の目的は、どんな成分の異物がウェ
ハ上でどのように分布しているか明らかにするものであ
る。該目的が達成されると、異物のウェハ付着状況が一
目瞭然に判るので、異物発生原因を解明することが容易
になる。
ハ上でどのように分布しているか明らかにするものであ
る。該目的が達成されると、異物のウェハ付着状況が一
目瞭然に判るので、異物発生原因を解明することが容易
になる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、ウエハを検査する検査装置と、該検査装
置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用い
て該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装置が
分析して得た分析結果をその分析結果に含まれる成分を
表わす記号で出力するとともに、該検査装置が検査した
ウエハ内の位置に対応させて該記号を出力するように構
成したものである。
成するために、ウエハを検査する検査装置と、該検査装
置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用い
て該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装置が
分析して得た分析結果をその分析結果に含まれる成分を
表わす記号で出力するとともに、該検査装置が検査した
ウエハ内の位置に対応させて該記号を出力するように構
成したものである。
【０００７】また、ウエハに付着した異物を検出しその
検出した異物の座標データを出力する検査装置と、該座
標データに基づいてウエハ内の異物の成分を分析する分
析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果を
その分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力すると
ともに、該検査装置が異物を検出したウエハ内の位置に
対応させて該記号を出力するように構成したものであ
る。
検出した異物の座標データを出力する検査装置と、該座
標データに基づいてウエハ内の異物の成分を分析する分
析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果を
その分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力すると
ともに、該検査装置が異物を検出したウエハ内の位置に
対応させて該記号を出力するように構成したものであ
る。
【０００８】また、検査装置から得られた座標データに
基づいたウエハ内の位置において分析する分析手段と、
該分析手段が分析して得た分析結果をその分析結果に含
まれる成分を表わす記号で出力するとともに、該検査装
置が検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力
する出力手段とを備えたものである。
基づいたウエハ内の位置において分析する分析手段と、
該分析手段が分析して得た分析結果をその分析結果に含
まれる成分を表わす記号で出力するとともに、該検査装
置が検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力
する出力手段とを備えたものである。
【０００９】また、検査装置が出力した座標データを用
いて分析するウエハ内の位置を制御する制御手段と、そ
の制御手段により制御された位置に付着した異物の成分
を分析する分析手段と、該分析手段が分析して得た分析
結果をその分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力
するとともに、該検査装置が検査したウエハ内の位置に
対応させて該記号を出力する出力手段とを備えたもので
ある。
いて分析するウエハ内の位置を制御する制御手段と、そ
の制御手段により制御された位置に付着した異物の成分
を分析する分析手段と、該分析手段が分析して得た分析
結果をその分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力
するとともに、該検査装置が検査したウエハ内の位置に
対応させて該記号を出力する出力手段とを備えたもので
ある。
【００１０】また、検査装置から得られた座標データと
その座標データを用いて分析して得た分析結果とを関連
付けて記憶しておき、該分析結果をその分析結果に含ま
れる成分を表わす記号で出力するとともに、該検査装置
が検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力す
るものである。
その座標データを用いて分析して得た分析結果とを関連
付けて記憶しておき、該分析結果をその分析結果に含ま
れる成分を表わす記号で出力するとともに、該検査装置
が検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力す
るものである。
【００１１】また、検査装置から得られたウエハに付着
した異物の座標データとその座標データを用いて異物の
成分を分析して得た分析結果とを関連付けて記憶してお
き、該分析結果をその分析結果に含まれる成分を表わす
記号で出力するとともに、該検査装置が検査したウエハ
内の異物の位置に対応させて該記号を出力するものであ
る。
した異物の座標データとその座標データを用いて異物の
成分を分析して得た分析結果とを関連付けて記憶してお
き、該分析結果をその分析結果に含まれる成分を表わす
記号で出力するとともに、該検査装置が検査したウエハ
内の異物の位置に対応させて該記号を出力するものであ
る。
【００１２】また、ウエハを検査する検査装置と、該検
査装置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを
用いて該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装
置が分析して得た分析結果を複数個のカテゴリーに分類
する手段と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応
した記号で出力するとともに該検査装置が検査したウエ
ハ内の位置に対応させて該記号を出力する手段とを備え
たものである。
査装置が検査して得た検査結果に含まれる座標データを
用いて該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装
置が分析して得た分析結果を複数個のカテゴリーに分類
する手段と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応
した記号で出力するとともに該検査装置が検査したウエ
ハ内の位置に対応させて該記号を出力する手段とを備え
たものである。
【００１３】また、ウエハに付着した異物を検出しその
検出した異物の座標データを出力する検査装置と、該座
標データに基づいてウエハ内の異物の成分を分析する分
析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果を
複数個のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリーに分
類する手段と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対
応した記号で出力するとともに該検査装置が異物を検出
したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力する手段
とを備えたものである。
検出した異物の座標データを出力する検査装置と、該座
標データに基づいてウエハ内の異物の成分を分析する分
析装置とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果を
複数個のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリーに分
類する手段と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対
応した記号で出力するとともに該検査装置が異物を検出
したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力する手段
とを備えたものである。
【００１４】また、前記分析結果に含まれる成分に基づ
いて前記カテゴリーに分類するものである。
いて前記カテゴリーに分類するものである。
【００１５】また、前記分析結果が少なくとも２種類以
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
【００１６】また、検査装置から得られた座標データに
基づいたウエハ内の位置において分析する分析手段と、
該分析手段が分析して得た分析結果を複数個のカテゴリ
ーのうちのいずれかのカテゴリーに分類する分類手段
と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応した記号
で出力するとともに該検査装置が検査したウエハ内の位
置に対応させて該記号を出力する出力手段とを備えたも
のである。
基づいたウエハ内の位置において分析する分析手段と、
該分析手段が分析して得た分析結果を複数個のカテゴリ
ーのうちのいずれかのカテゴリーに分類する分類手段
と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応した記号
で出力するとともに該検査装置が検査したウエハ内の位
置に対応させて該記号を出力する出力手段とを備えたも
のである。
【００１７】また、検査装置が出力した座標データを用
いて分析するウエハ内の位置を制御する制御手段と、そ
の制御手段により制御された位置に付着した異物の成分
を分析する分析手段と、該分析手段が分析して得た分析
結果を複数個のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリ
ーに分類する分類手段と、該分析結果を該分類したカテ
ゴリーに対応した記号で出力するとともに該検査装置が
検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力する
出力手段とを備えたものである。
いて分析するウエハ内の位置を制御する制御手段と、そ
の制御手段により制御された位置に付着した異物の成分
を分析する分析手段と、該分析手段が分析して得た分析
結果を複数個のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリ
ーに分類する分類手段と、該分析結果を該分類したカテ
ゴリーに対応した記号で出力するとともに該検査装置が
検査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力する
出力手段とを備えたものである。
【００１８】また、前記分析結果に含まれる成分に基づ
いて前記カテゴリーに分類するものである。
いて前記カテゴリーに分類するものである。
【００１９】また、前記分析結果が少なくとも２種類以
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
【００２０】また、検査装置から得られた座標データと
その座標データを用いて分析して得た分析結果とを関連
付けて記憶しておき、該分析結果を複数個のカテゴリー
のうちのいずれかのカテゴリーに分類するとともに該検
査装置が検査したウエハ内の位置に対応させて該分類し
たカテゴリーを表わす記号を出力するものである。
その座標データを用いて分析して得た分析結果とを関連
付けて記憶しておき、該分析結果を複数個のカテゴリー
のうちのいずれかのカテゴリーに分類するとともに該検
査装置が検査したウエハ内の位置に対応させて該分類し
たカテゴリーを表わす記号を出力するものである。
【００２１】また、検査装置から得られたウエハに付着
した異物の座標データとその座標データを用いて異物の
成分を分析して得た分析結果とを関連付けて記憶してお
き、該分析結果を複数個のカテゴリーのうちのいずれか
のカテゴリーに分類するとともに該検査装置が検査した
ウエハ内の異物の位置に対応させて該分類したカテゴリ
ーを表わす記号を出力するものである。
した異物の座標データとその座標データを用いて異物の
成分を分析して得た分析結果とを関連付けて記憶してお
き、該分析結果を複数個のカテゴリーのうちのいずれか
のカテゴリーに分類するとともに該検査装置が検査した
ウエハ内の異物の位置に対応させて該分類したカテゴリ
ーを表わす記号を出力するものである。
【００２２】また、前記分析結果に含まれる成分に基づ
いて前記カテゴリーに分類するものである。
いて前記カテゴリーに分類するものである。
【００２３】また、前記分析結果が少なくとも２種類以
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
【００２４】また、ウエハを分析して得た分析結果をそ
の分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力するとと
もに、該分析したウエハ内の位置に対応させて該記号を
出力するものである。
の分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力するとと
もに、該分析したウエハ内の位置に対応させて該記号を
出力するものである。
【００２５】また、ウエハを分析して得た分析結果を複
数個のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリーに分類
し、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応した記号
で出力するとともに該分析したウエハ内の位置に対応さ
せて該記号を出力するものである。
数個のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリーに分類
し、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応した記号
で出力するとともに該分析したウエハ内の位置に対応さ
せて該記号を出力するものである。
【００２６】また、前記分析結果に含まれる成分に基づ
いて前記カテゴリーに分類するものである。
いて前記カテゴリーに分類するものである。
【００２７】また、前記分析結果が少なくとも２種類以
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
上の成分を含むことで分類されるカテゴリーを有するも
のである。
【００２８】これによって特定の成分の異物分布を知る
ことができるようになり、例えば成分ごとの分布の形状
から、発塵の原因となった治具、装置等が判明する。
ことができるようになり、例えば成分ごとの分布の形状
から、発塵の原因となった治具、装置等が判明する。
【００２９】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面と共に説明
する。
する。
【００３０】実施例１ 本実施例において本発明に必要な機器構成を説明する。
図１を説明する。検査装置１はウェハ上の異物を検出す
ることができる異物検査装置であって、検出した異物の
ウェハ上の座標を出力できる装置であればよい。該検査
装置として、日立電子エンジニアリング（株）社製ＩＳ
−１０１０が利用できる。分析装置２はウェハを切断せ
ずに異物を分析できる分析装置であって、検査装置１の
座標データをもとに異物を分析できる装置であればよ
い。分析装置２では検査装置１で検出した順に全て異物
を分析する。該分析装置としては多数の装置が市販され
ている。ワークステーション３は異物座標データと異物
分析データを記録し、該２つのデータを突き合わせる機
能と突き合わせた結果を表示できる機能があればよい。
データ転送手段４は異物座標データを検査装置１から分
析装置２に渡す手段であって、検査装置１でプリントア
ウトされたデータを作業者が分析装置２に入力してもよ
いし、フロッピディスクやメモリカード等軽可能な記憶
媒体で渡してもよいし、ネットワークを介してデータを
渡してもよい。データ転送手段５は分析装置２からワー
クステーション３に異物座標データと異物分析データを
渡す手段であって、実現方法はデータ転送手段４と同じ
である。表示手段２００に異物座標データと異物分析デ
ータを合わせたものを表示する。
図１を説明する。検査装置１はウェハ上の異物を検出す
ることができる異物検査装置であって、検出した異物の
ウェハ上の座標を出力できる装置であればよい。該検査
装置として、日立電子エンジニアリング（株）社製ＩＳ
−１０１０が利用できる。分析装置２はウェハを切断せ
ずに異物を分析できる分析装置であって、検査装置１の
座標データをもとに異物を分析できる装置であればよ
い。分析装置２では検査装置１で検出した順に全て異物
を分析する。該分析装置としては多数の装置が市販され
ている。ワークステーション３は異物座標データと異物
分析データを記録し、該２つのデータを突き合わせる機
能と突き合わせた結果を表示できる機能があればよい。
データ転送手段４は異物座標データを検査装置１から分
析装置２に渡す手段であって、検査装置１でプリントア
ウトされたデータを作業者が分析装置２に入力してもよ
いし、フロッピディスクやメモリカード等軽可能な記憶
媒体で渡してもよいし、ネットワークを介してデータを
渡してもよい。データ転送手段５は分析装置２からワー
クステーション３に異物座標データと異物分析データを
渡す手段であって、実現方法はデータ転送手段４と同じ
である。表示手段２００に異物座標データと異物分析デ
ータを合わせたものを表示する。
【００３１】実施例２ ここでは実施例１の代案を示す。図２における異物解析
装置１００は異物を検出し、更に該異物を分析できる機
能を有した装置で、例えば先に述べた特開昭６０−２１
８８４５に記載した装置で実現できる。ワークステーシ
ョン６はワークステーション３と同じ役割を果たす。デ
ータ転送手段７はデータ転送手段５と同じ役割を果た
す。表示手段２００に異物座標データと異物分析データ
を合わせたものを表示する。
装置１００は異物を検出し、更に該異物を分析できる機
能を有した装置で、例えば先に述べた特開昭６０−２１
８８４５に記載した装置で実現できる。ワークステーシ
ョン６はワークステーション３と同じ役割を果たす。デ
ータ転送手段７はデータ転送手段５と同じ役割を果た
す。表示手段２００に異物座標データと異物分析データ
を合わせたものを表示する。
【００３２】実施例３ ここでは実施例１の代案を示す。図３における検査装置
８は検査装置１と同じ機能を有するが、異物の座標デー
タを分析装置９とワークステーション１０に転送する。
分析装置９は分析装置２と同じ機能を有する。ワークス
テーション１０はワークステーション３と同じ機能を有
する。データ転送手段１１はデータ転送手段４と同じも
のである。データ転送手段１２は異物検査装置８からワ
ークステーション１０に異物座標データを転送する手段
で、実現方法はデータ転送手段４と同じものである。デ
ータ転送手段１４は分析装置９からワークステーション
１０に異物の分析データを転送する手段で、実現方法は
データ転送手段４と同じである。表示手段２００に異物
座標データと異物分析データを合わせたものを表示す
る。
８は検査装置１と同じ機能を有するが、異物の座標デー
タを分析装置９とワークステーション１０に転送する。
分析装置９は分析装置２と同じ機能を有する。ワークス
テーション１０はワークステーション３と同じ機能を有
する。データ転送手段１１はデータ転送手段４と同じも
のである。データ転送手段１２は異物検査装置８からワ
ークステーション１０に異物座標データを転送する手段
で、実現方法はデータ転送手段４と同じものである。デ
ータ転送手段１４は分析装置９からワークステーション
１０に異物の分析データを転送する手段で、実現方法は
データ転送手段４と同じである。表示手段２００に異物
座標データと異物分析データを合わせたものを表示す
る。
【００３３】実施例４ ワークステーション３の中の処理を説明する。本実施例
は実施例１と実施例２の機器構成に対応する。図１にお
いて分析装置からワークステーション３は異物の座標デ
ータと分析データを受取り、データテーブル１５を作成
する。データテーブル１５のフォーマットを図４に示
す。データテーブル１５は少なくとも異物座標データ１
６と異物分析データ１７からなる。必要に応じて異物ご
との異物ＩＤ１８、付帯情報１９を持たせる。図４では
付帯情報１９の例として異物の大きさに関する情報を挙
げている。ここでは異物の粒径を３つに分類して大きい
順にＬ，Ｍ，Ｓとして記述している。データテーブル１
５は分析したウェハ毎に１つ作成し、それぞれにウェハ
の識別子２０を割り付けて区別する。異物ＩＤの付け方
としてウェハ識別子の後にデータが送られてきた順に通
し番号を付ける方法がある。ワークステーション３は、
作業者がウェハ識別子を入力すると該識別子が一致する
データテーブル１５を検索し、該当するデータを表示手
段２００に表示する。
は実施例１と実施例２の機器構成に対応する。図１にお
いて分析装置からワークステーション３は異物の座標デ
ータと分析データを受取り、データテーブル１５を作成
する。データテーブル１５のフォーマットを図４に示
す。データテーブル１５は少なくとも異物座標データ１
６と異物分析データ１７からなる。必要に応じて異物ご
との異物ＩＤ１８、付帯情報１９を持たせる。図４では
付帯情報１９の例として異物の大きさに関する情報を挙
げている。ここでは異物の粒径を３つに分類して大きい
順にＬ，Ｍ，Ｓとして記述している。データテーブル１
５は分析したウェハ毎に１つ作成し、それぞれにウェハ
の識別子２０を割り付けて区別する。異物ＩＤの付け方
としてウェハ識別子の後にデータが送られてきた順に通
し番号を付ける方法がある。ワークステーション３は、
作業者がウェハ識別子を入力すると該識別子が一致する
データテーブル１５を検索し、該当するデータを表示手
段２００に表示する。
【００３４】実施例５ 実施例４の代案を説明する。本実施例は実施例３で説明
した機器構成に対応する。図３においてワークステーシ
ョン１０は検査装置８から異物の座標データを受取り、
座標データテーブル２１を作成する。座標データテーブ
ルのフォーマットを図５で示す。座標データテーブル２
１はウェハ識別子２２、異物ＩＤ２３、異物座標データ
２４からなる。必要に応じて付帯情報２５を加えても良
い。付帯情報２５は実施例４で示したように異物粒径を
示す情報等がある。またワークステーション１０は分析
装置９から異物分析データを受取り、分析データテーブ
ル２６を作成する。分析データテーブルのフォーマット
を図６に示す。分析データテーブル２６はウェハ識別子
２７、異物ＩＤ２８、異物分析データ２９からなる。
した機器構成に対応する。図３においてワークステーシ
ョン１０は検査装置８から異物の座標データを受取り、
座標データテーブル２１を作成する。座標データテーブ
ルのフォーマットを図５で示す。座標データテーブル２
１はウェハ識別子２２、異物ＩＤ２３、異物座標データ
２４からなる。必要に応じて付帯情報２５を加えても良
い。付帯情報２５は実施例４で示したように異物粒径を
示す情報等がある。またワークステーション１０は分析
装置９から異物分析データを受取り、分析データテーブ
ル２６を作成する。分析データテーブルのフォーマット
を図６に示す。分析データテーブル２６はウェハ識別子
２７、異物ＩＤ２８、異物分析データ２９からなる。
【００３５】分析装置９においては検査装置８から送ら
れてきた座標データの順に全て異物を分析する。その結
果を分析装置９はワークステーション１０に送る。ワー
クステーションがウェハ毎にデータが送られてきた順に
それぞれ通し番号を付けることによって異物ＩＤ２３、
異物ＩＤ２８は、一致する。
れてきた座標データの順に全て異物を分析する。その結
果を分析装置９はワークステーション１０に送る。ワー
クステーションがウェハ毎にデータが送られてきた順に
それぞれ通し番号を付けることによって異物ＩＤ２３、
異物ＩＤ２８は、一致する。
【００３６】ワークステーション１０は座標データテー
ブル２１と分析データテーブル２６から異物ＩＤを介し
て、実施例４に示したデータテーブル１５を作成する。
結果を表示手段２００に表示する。
ブル２１と分析データテーブル２６から異物ＩＤを介し
て、実施例４に示したデータテーブル１５を作成する。
結果を表示手段２００に表示する。
【００３７】実施例６ 本実施例においてデータテーブル１５の内容の表示方法
の実施例を示す。まず、分析結果をいくつかのカテゴリ
に分ける。例を図７に示す。カテゴリ１としてＮａおよ
びＣｌを含むもの、カテゴリ２としてＦｅを含むもの、
カテゴリ３としてＳｉを含むもの、カテゴリ４としてＣ
を含むもの、カテゴリ５としてその他と分類する。も
し、複数のカテゴリに属するものがあればカテゴリ番号
の小さいものに優先的に属させる。
の実施例を示す。まず、分析結果をいくつかのカテゴリ
に分ける。例を図７に示す。カテゴリ１としてＮａおよ
びＣｌを含むもの、カテゴリ２としてＦｅを含むもの、
カテゴリ３としてＳｉを含むもの、カテゴリ４としてＣ
を含むもの、カテゴリ５としてその他と分類する。も
し、複数のカテゴリに属するものがあればカテゴリ番号
の小さいものに優先的に属させる。
【００３８】ワークステーションはＣＲＴに表示したウ
ェハ上に異物座標データに基づいて異物の検出箇所にプ
ロットを行う（図８、３０）。プロットする際の記号と
して、各異物が属する前述のカテゴリ番号を用いる。例
を図８に示す。ここではＮａＣｌ（塩分）とＣ（炭素化
合物）が右下すみに楕円上に付着しているのが判る。こ
れから作業者が誤って指を触れてしまったものであるこ
とが判る。
ェハ上に異物座標データに基づいて異物の検出箇所にプ
ロットを行う（図８、３０）。プロットする際の記号と
して、各異物が属する前述のカテゴリ番号を用いる。例
を図８に示す。ここではＮａＣｌ（塩分）とＣ（炭素化
合物）が右下すみに楕円上に付着しているのが判る。こ
れから作業者が誤って指を触れてしまったものであるこ
とが判る。
【００３９】実施例７ 本実施例においては分析装置３または異物解析装置１０
０または分析装置９の分析能力に対して記載する。本発
明で用いる前記装置は、有機分析を行うものでも、無機
分析を行うものであってもよい。有機分析を行うものの
場合、実施例６に掲げた分類カテゴリを有機物質または
有機物質を構成する基にすればよい。
０または分析装置９の分析能力に対して記載する。本発
明で用いる前記装置は、有機分析を行うものでも、無機
分析を行うものであってもよい。有機分析を行うものの
場合、実施例６に掲げた分類カテゴリを有機物質または
有機物質を構成する基にすればよい。
【００４０】
【発明の効果】本発明の実施により、ウェハ上の異物の
分布状況と各異物の成分が一目で判る。異物の分布状況
から治具、装置等の形状が推定できる。また異物成分か
ら発塵源となっている治具、装置、プロセス等に用いて
いる材料、材質が容易に解析できるようになった。この
ため、従来に比して格段に異物発生源を解析する作業が
容易になり、製造ラインの異物水準を引下げ、製品の歩
留りを向上させることができる。
分布状況と各異物の成分が一目で判る。異物の分布状況
から治具、装置等の形状が推定できる。また異物成分か
ら発塵源となっている治具、装置、プロセス等に用いて
いる材料、材質が容易に解析できるようになった。この
ため、従来に比して格段に異物発生源を解析する作業が
容易になり、製造ラインの異物水準を引下げ、製品の歩
留りを向上させることができる。
【図１】本発明の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の代案を示す図である。
【図３】図１の代案を示す図である。
【図４】データテーブル１５のフォーマットを示す図で
ある。
ある。
【図５】座標データテーブル２１のフォーマットを示す
図である。
図である。
【図６】分析データテーブルのフォーマットを示す図で
ある。
ある。
【図７】出力例を示す図である。
【図８】ウェハ上の異物検出箇所を示す図である。
１…検査装置 ２…分析装置 ３…ワークステーション ４…データ転送手段 ５…データ転送手段 ６…ワークステーション ７…データ転送手段 ８…検査装置 ９…分析装置 １０…ワークステーション １１…データ転送手段 １２…データ転送手段 １４…データ転送手段 １５…データテーブル １６…異物座標データ １７…異物分析データ １８…異物ＩＤ １９…付帯情報 ２０…ウェハ識別子 ２１…座標データテーブル ２２…ウェハ識別子 ２３…異物ＩＤ ２４…異物座標データ ２５…付帯情報 ２６…分析データテーブル ２７…ウェハ識別子 ２７…異物ＩＤ ２９…異物分析データ ３０…異物を示すプロット １００…異物解析装置 ２００…表示手段
Claims (22)
- 【請求項１】ウエハを検査する検査装置と、該検査装置
が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用いて
該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装置が分
析して得た分析結果をその分析結果に含まれる成分を表
わす記号で出力するとともに、該検査装置が検査したウ
エハ内の位置に対応させて該記号を出力するように構成
したことを特徴とする検査システム。 - 【請求項２】ウエハに付着した異物を検出しその検出し
た異物の座標データを出力する検査装置と、該座標デー
タに基づいてウエハ内の異物の成分を分析する分析装置
とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果をその分
析結果に含まれる成分を表わす記号で出力するととも
に、該検査装置が異物を検出したウエハ内の位置に対応
させて該記号を出力するように構成したことを特徴とす
る検査システム。 - 【請求項３】検査装置から得られた座標データに基づい
たウエハ内の位置において分析する分析手段と、該分析
手段が分析して得た分析結果をその分析結果に含まれる
成分を表わす記号で出力するとともに、該検査装置が検
査したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力する出
力手段とを備えたことを特徴とする分析装置。 - 【請求項４】検査装置が出力した座標データを用いて分
析するウエハ内の位置を制御する制御手段と、その制御
手段により制御された位置に付着した異物の成分を分析
する分析手段と、該分析手段が分析して得た分析結果を
その分析結果に含まれる成分を表わす記号で出力すると
ともに、該検査装置が検査したウエハ内の位置に対応さ
せて該記号を出力する出力手段とを備えたことを特徴と
する分析装置。 - 【請求項５】検査装置から得られた座標データとその座
標データを用いて分析して得た分析結果とを関連付けて
記憶しておき、該分析結果をその分析結果に含まれる成
分を表わす記号で出力するとともに、該検査装置が検査
したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力すること
を特徴とする分析データ表示方法。 - 【請求項６】検査装置から得られたウエハに付着した異
物の座標データとその座標データを用いて異物の成分を
分析して得た分析結果とを関連付けて記憶しておき、該
分析結果をその分析結果に含まれる成分を表わす記号で
出力するとともに、該検査装置が検査したウエハ内の異
物の位置に対応させて該記号を出力することを特徴とす
る分析データ表示方法。 - 【請求項７】ウエハを検査する検査装置と、該検査装置
が検査して得た検査結果に含まれる座標データを用いて
該ウエハを分析する分析装置とを備え、該分析装置が分
析して得た分析結果を複数個のカテゴリーに分類する手
段と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応した記
号で出力するとともに該検査装置が検査したウエハ内の
位置に対応させて該記号を出力する手段とを備えたこと
を特徴とする検査システム。 - 【請求項８】ウエハに付着した異物を検出しその検出し
た異物の座標データを出力する検査装置と、該座標デー
タに基づいてウエハ内の異物の成分を分析する分析装置
とを備え、該分析装置が分析して得た分析結果を複数個
のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリーに分類する
手段と、該分析結果を該分類したカテゴリーに対応した
記号で出力するとともに該検査装置が異物を検出したウ
エハ内の位置に対応させて該記号を出力する手段とを備
えたことを特徴とする検査システム。 - 【請求項９】前記分析結果に含まれる成分に基づいて前
記カテゴリーに分類することを特徴とする請求項７また
は８記載の検査システム。 - 【請求項１０】前記分析結果が少なくとも２種類以上の
成分を含むことで分類されるカテゴリーを有することを
特徴とする請求項７から９のいずれかに記載の検査シス
テム。 - 【請求項１１】検査装置から得られた座標データに基づ
いたウエハ内の位置において分析する分析手段と、該分
析手段が分析して得た分析結果を複数個のカテゴリーの
うちのいずれかのカテゴリーに分類する分類手段と、該
分析結果を該分類したカテゴリーに対応した記号で出力
するとともに該検査装置が検査したウエハ内の位置に対
応させて該記号を出力する出力手段とを備えたことを特
徴とする分析装置。 - 【請求項１２】検査装置が出力した座標データを用いて
分析するウエハ内の位置を制御する制御手段と、その制
御手段により制御された位置に付着した異物の成分を分
析する分析手段と、該分析手段が分析して得た分析結果
を複数個のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリーに
分類する分類手段と、該分析結果を該分類したカテゴリ
ーに対応した記号で出力するとともに該検査装置が検査
したウエハ内の位置に対応させて該記号を出力する出力
手段とを備えたことを特徴とする分析装置。 - 【請求項１３】前記分析結果に含まれる成分に基づいて
前記カテゴリーに分類することを特徴とする請求項１１
または１２記載の分析装置。 - 【請求項１４】前記分析結果が少なくとも２種類以上の
成分を含むことで分類されるカテゴリーを有することを
特徴とする請求項１１から１３のいずれかに記載の分析
装置。 - 【請求項１５】検査装置から得られた座標データとその
座標データを用いて分析して得た分析結果とを関連付け
て記憶しておき、該分析結果を複数個のカテゴリーのう
ちのいずれかのカテゴリーに分類するとともに該検査装
置が検査したウエハ内の位置に対応させて該分類したカ
テゴリーを表わす記号を出力することを特徴とする分析
データ表示方法。 - 【請求項１６】検査装置から得られたウエハに付着した
異物の座標データとその座標データを用いて異物の成分
を分析して得た分析結果とを関連付けて記憶しておき、
該分析結果を複数個のカテゴリーのうちのいずれかのカ
テゴリーに分類するとともに該検査装置が検査したウエ
ハ内の異物の位置に対応させて該分類したカテゴリーを
表わす記号を出力することを特徴とする分析データ表示
方法。 - 【請求項１７】前記分析結果に含まれる成分に基づいて
前記カテゴリーに分類することを特徴とする請求項１５
または１６記載の分析データ表示方法。 - 【請求項１８】前記分析結果が少なくとも２種類以上の
成分を含むことで分類されるカテゴリーを有することを
特徴とする請求項１５から１７のいずれかに記載の分析
データ表示方法。 - 【請求項１９】ウエハを分析して得た分析結果をその分
析結果に含まれる成分を表わす記号で出力するととも
に、該分析したウエハ内の位置に対応させて該記号を出
力することを特徴とする分析データ表示方法。 - 【請求項２０】ウエハを分析して得た分析結果を複数個
のカテゴリーのうちのいずれかのカテゴリーに分類し、
該分析結果を該分類したカテゴリーに対応した記号で出
力するとともに該分析したウエハ内の位置に対応させて
該記号を出力することを特徴とする分析データ表示方
法。 - 【請求項２１】前記分析結果に含まれる成分に基づいて
前記カテゴリーに分類することを特徴とする請求項２０
記載の分析データ表示方法。 - 【請求項２２】前記分析結果が少なくとも２種類以上の
成分を含むことで分類されるカテゴリーを有することを
特徴とする請求項２１または２２記載の分析データ表示
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10166598A JP3067738B2 (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 検査システムおよび検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10166598A JP3067738B2 (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 検査システムおよび検査方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02322813A Division JP3112027B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 分析データ表示方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28768099A Division JP3630038B2 (ja) | 1999-10-08 | 1999-10-08 | 半導体デバイスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10326812A true JPH10326812A (ja) | 1998-12-08 |
| JP3067738B2 JP3067738B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=15834269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10166598A Expired - Fee Related JP3067738B2 (ja) | 1998-06-15 | 1998-06-15 | 検査システムおよび検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3067738B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001068518A (ja) * | 1999-07-16 | 2001-03-16 | Applied Materials Inc | 欠陥参照システムによる自動パターン分類方法 |
| KR20140051933A (ko) | 2011-08-09 | 2014-05-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 파티클 모니터 방법, 파티클 모니터 장치 |
| US8768644B2 (en) | 2010-07-02 | 2014-07-01 | Tokyo Electron Limited | Particle distribution analysis method for computer readable storage medium for storing program for executing the method |
-
1998
- 1998-06-15 JP JP10166598A patent/JP3067738B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001068518A (ja) * | 1999-07-16 | 2001-03-16 | Applied Materials Inc | 欠陥参照システムによる自動パターン分類方法 |
| US8768644B2 (en) | 2010-07-02 | 2014-07-01 | Tokyo Electron Limited | Particle distribution analysis method for computer readable storage medium for storing program for executing the method |
| KR20140051933A (ko) | 2011-08-09 | 2014-05-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 파티클 모니터 방법, 파티클 모니터 장치 |
| US9612178B2 (en) | 2011-08-09 | 2017-04-04 | Tokyo Electron Limited | Particle monitoring method and particle monitoring system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3067738B2 (ja) | 2000-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5841893A (en) | Inspection data analyzing system | |
| CN105960638A (zh) | 样本查找方法、装置及系统 | |
| JPH10326812A (ja) | 検査システムおよび分析装置並びに分析データ表示方法 | |
| JP3112027B2 (ja) | 分析データ表示方法 | |
| KR20030085616A (ko) | 회로기판 검사장치용 자동티칭방법 | |
| JP2020504391A (ja) | 通信データモデリング方法 | |
| JP3284988B2 (ja) | 検査データ解析システム | |
| JP2000106388A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
| JP3783671B2 (ja) | ウェハの検査システム | |
| JP2000097871A (ja) | レビュー装置 | |
| US20210129324A1 (en) | Diagnosis method and apparatus | |
| JP2001156141A (ja) | 欠陥解析装置，検査システム、及び、検査方法 | |
| JP3156702B2 (ja) | 検査データ解析システムおよび検査データ解析方法 | |
| KR20090005684A (ko) | 도형상표 검색제공시스템 및 방법, 도형상표 데이터베이스,도형상표 데이터베이스 생성방법 및 생성시스템,클라이언트 측의 도형상표 검색 시스템 및 방법,클라이언트 도형상표 검색 프로그램이 내장된 저장매체 | |
| JP3112016B2 (ja) | 検査データ解析システムおよび検査データ解析方法 | |
| JPH01183341A (ja) | ワーク別製造情報管理方式 | |
| JP3151877B2 (ja) | 部品実装方法及び装置 | |
| KR970067737A (ko) | 웨이퍼의 결함분석 시스템 | |
| JPH1147695A (ja) | 配送物区分方法及びその実施システム並びにその実施プログラムを記録した媒体 | |
| JP3689507B2 (ja) | 情報管理装置 | |
| Brogden et al. | ISTFA 2023 FOCUSED ION BEAM (FIB) USER GROUP. | |
| JPH09239326A (ja) | 郵便物区分方法および装置 | |
| JPH05205006A (ja) | バックアノテーション装置 | |
| JPH08313594A (ja) | 半導体装置の試験データ処理装置及びその試験データ処理方法 | |
| JPH0567015A (ja) | シミユレーシヨンデータ生成方式 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080519 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080519 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |