KR970067737A - 웨이퍼의 결함분석 시스템 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼의 발생되는 결함을 검출하고 분석하는 웨이퍼의 결함분석 시스템에 대해 기재되어 있다, 이는 웨이퍼상의 결함이 발생된 칩의 좌표와 크기등을 검출하는 인스펙션 스테이션부, 상기 인스펙션 스테이션부의 결함분석의 결과데이타를 분석하는 데이타 분석 스테션부, 보다 정밀한 결함분석 기능을 수행하는 리뷰 스테이션부, 및 상기 데이타 분석 스테이션부의 결함분석 데이타를 취합하여 분석 리포트를 작성하는 호스트 컴퓨터부를 구비하여 이루어진 웨이퍼의 결함분석 시스템에 있어서, 상기 데이타 분석 스테이션부와 상기 호스트 컴퓨터부를 온라인 접속하는 온라인 서버부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의한 웨이퍼의 결함분석 시스템에 의하면, 데이타의 수동입력에 따른 소요시간을 대폭적으로 줄일 수 있고, 오입력의 염려를 해소할 수 있음은 물론 각 제조장비에 대한 실시간 모니터링이 가능하게 된다, 또한 최종의 분석 리포트에 의한 공정관리의 효율성과 유용성 및 재현성을 높일 수 있게 된다.

Description

웨이퍼의 결함분석 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함분석 시스템을 설명하기 위한 블록구성도이다.

Claims (3)

  1. 웨이퍼상의 결함이 발생된 칩의 좌표와 크기등을 검출하는 인스펙션 스테이션부, 상기 인스펙션 스테이션부의 결함분석의 결과 데이타를 분석하는 데이타 분석 스테이션부, 보다 정밀한 결함분석 기능을 수행하는 리뷰 스테이션부, 및 상기 데이타 분석 스테이션부의 결함분석 데이타를 취합하여 분석 리포트를 작성하는 호스트 컴퓨터부를 구비하여 이루어진 웨이퍼의 결함분석 시스템에 있어서,
    상기 데이타 분석 스테이션부와 상기 호스트 컴퓨터부를 온라인 접속하는온라인 서버부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함분석 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 온라인 서버부는 자신의 기준테이블을 근거로 상기 리뷰 스테이션부에 의한 정밀한 결함분석의 수행여부를 자동으로 결정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함분석 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 온라인 서버부는 결함분석 데이타를 상기 호스트 컴퓨터부로 업 로딩한 후, 상기 데아타 분석 스테이션부에 저장된 결함분석 데아타가 삭제되도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 결함분석 시스템.
KR1019960005948A 1996-03-07 1996-03-07 웨이퍼의 결함분석 시스템 KR100207468B1 (ko)

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