JPH10321491A - 半導体製造装置用の制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 次プロセスのためのウェーハの準備時期やウ
ェーハが準備されたかどうかの確認が一目でできるよう
にする。 【解決手段】 表示部に表示されるレシピ残り時間と、
あらかじめ設定されレシピ処理が終了するまでに次のウ
ェーハを準備できる期間であるレシピアレート設定時間
とを比較する（ステップ１０３）。レシピ残り時間がレ
シピアレート設定時間以下になったとき、表示部の赤色
リバースでレシピ残り時間を表示させることにより、プ
ロセス終了前に、次のウェーハの準備時期を知らせる
（ステップ１１２）。赤色リバース表示でウェーハ準備
時期が来たことを知ったオペレータは、ウェーハ準備を
完了させた後、レシピ残り時間表示部をクリックする。
クリック後は、青色リバースでレシピ残り時間表示させ
ることにより、ウェーハ準備が完了したことを他のオペ
レータに知らせる（ステップ１０４、１１５）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レシピに基づいて
基板を処理する半導体製造装置を制御する半導体製造装
置用の制御装置に係り、特に次の基板を準備するために
レシピ残り時間表示を有効に活用するようにした半導体
制御装置用の制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レシピと呼ばれる処理プログラムによっ
てウェーハプロセス処理の制御が行なわれる半導体制御
装置は、通常、ブロックコントローラによって複数台集
中制御されるようになっている。そのブロックコントロ
ーラの表示部には、各半導体製造装置の制御に必要な項
目が表示されるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来はレシピ終了時刻
や、レシピ残り時間のみを表示部に表示していたので、
オペレータは各半導体製造装置の時間を常に頭にいれて
次のプロセスのウェーハを準備しなければならなかった
ため、作業が非常に煩雑であった。

【０００４】また、前回のレシピが終了してから、次の
ウェーハを準備し、その後に次のレシピ処理に入るため
に、装置のスループットが上がらなかった。

【０００５】また、次のウェーハの準備が完了しても、
それを他のオペレータに知らせる手段を持たなかったた
め、二重にウェーハを準備したりして無駄な作業が発生
していた。

【０００６】本発明の目的は、レシピ残り時間表示を有
効に活用することによって、上述した従来技術の問題点
を解消して、基板の準備時期や基板が準備されたかどう
かの確認が容易にできる半導体製造装置用の制御装置を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造装置
用の制御装置は、レシピに基づいて基板を処理する半導
体製造装置を制御する半導体製造装置用の制御装置にお
いて、レシピ残り時間を表示する表示部と、レシピ処理
が終了するまでに次の基板を準備できる先行準備期間と
してのレシピアレート時間をあらかじめ設定する設定手
段と、上記レシピアレート設定時間とレシピ残り時間と
を比較する比較手段と、比較によりレシピ残り時間が上
記レシピアレート設定時間以下になった時、オペレータ
に対し次のプロセス処理を行うための基板の準備時期が
来たことを知らせる基板準備報知手段とを備えたもので
ある。ここで基板準備報知手段は視覚や聴覚、触覚等に
訴えるものであればよい。

【０００８】基板準備報知手段により、レシピ処理が終
了する前に、次プロセスの基板の準備時期を知ることが
できる。また、レシピ処理が終了するまでの間に次の基
板を準備できるので、レシピ処理が終了してから次の基
板を準備するものに比べて、基板処理時間の短縮が図
れ、装置のスループットが向上する。

【０００９】本発明において、さらに、次のプロセス処
理を行なうための基板の準備が完了した後に、上記レシ
ピ残り時間を表示する表示部をクリックすることによ
り、オペレータに対し上記基板の準備が完了したことを
知らせる準備完了報知手段を備えるとよい。ここで準備
完了報知手段も視覚や聴覚、触覚等に訴えるものであれ
ばよい。

【００１０】次の基板の準備完了後、オペレータがレシ
ピ残り時間の表示部をクリックすると、準備完了報知手
段が次の基板の準備が完了したことを他のオペレータに
知らせるので、基板の準備が完了したことを知らない
で、二重に基板を準備する等の無駄な作業が生じない。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。

【００１２】図３は半導体製造装置用の制御装置である
ブロックコントローラ１１の制御方式の概要を示したも
ので、複数の半導体製造装置１２、１３はブロックコン
トローラ１１によって統括制御される。ブロックコント
ローラ１１は半導体製造装置１２、１３を数十台接続で
き、各半導体製造装置１２、１３のデータ収集及び制御
を行う。本発明は、このブロックコントローラ１１にレ
シピアレート機能を持たせたことにある。ここにレシピ
アレート機能とは、レシピアレート時間を導入すること
によりレシピ残り時間を活用して、次のウェーハの準備
及び準備完了をオペレータに知らせることをいう。レシ
ピアレート時間とは、レシピ処理が終了するまでに次の
レシピ処理のためのウェーハの準備（ウェーハの洗浄や
乾燥などの時間）を行うために必要な先行準備期間であ
る。

【００１３】本実施の形態のブロックコントローラ１１
に持たされたレシピアレート機能実現手段は、図４のよ
うに半導体製造装置６からレシピ残り時間、装置モード
（プロセス処理中、準備中、保守等）のデータを格納す
る装置情報格納テーブル１と、半導体製造装置６からの
データを周期的に装置情報格納テーブル１から呼出すた
めのトリガである表示部再描画用タイマ２と、装置情報
格納テーブル１から半導体製造装置６のデータを取り出
し演算表示部５に送信する表示制御部３と、レシピアレ
ート時間設定画面７から設定されるレシピアレート設定
時間を格納するレシピアレート設定格納テーブル４と、
半導体製造装置６のデータとレシピアレート設定時間と
を比較し、その比較結果から表示色を判定して表示を行
う演算表示部５とから構成されている。

【００１４】ここで、本発明のレシピ残り時間を表示す
る表示部、レシピアレート設定時間とレシピ残り時間と
を比較する比較手段、基板の準備時期が来たことを知ら
せる基板準備報知手段、及び基板の準備が完了したこと
を知らせる準備完了報知手段は演算表示部５に対応し、
レシピアレート時間を設定する設定手段はレシピアレー
ト時間設定画面７に対応する。

【００１５】次に、上記ブロックコントローラ１１の動
作を説明する前に、用語について説明する。

【００１６】レシピアレート時間外：レシピ残り時間＞
レシピアレート設定時間の状態 レシピアレート時間内：レシピ残り時間≦レシピアレー
ト設定時間の状態 レシピアレート設定時間：オペレータにより設定され、
レシピ処理が終了するまでに次のウェーハを準備できる
時間 リバース表示なし ：レシピ残り時間の背景色が黒い
状態で、レシピアレート時間もしくは次のプロセス処理
のウェーハが準備されている状態を示す。

【００１７】赤色リバース表示 ：レシピ残り時間の
背景色が赤い状態で、次のプロセス処理のウェーハの準
備を指示している状態。

【００１８】青色リバース表示 ：レシピ残り時間の
背景色が青い状態で、現プロセス処理中であるが次のプ
ロセス処理のウェーハの準備が終了している状態を示
す。

【００１９】レシピアレート時間発生：レシピ残り時間
≦レシピアレート設定時間になったタイミングである。

【００２０】時間表示部クリック ：レシピ残り時間の
表示部を、クリックした状態である。

【００２１】プロセス終了時 ：プロセス処理が終
了したタイミングである。

【００２２】プロセススタート時 ：レシピが開始され
たタイミングである。

【００２３】上記レシピアレート時間の設定は、レシピ
アレート時間設定画面７を示す図５のRecipe Alert Tim
e （レシピアレート時間）表示部２４で行なう。００：
００′００″〜９９：５９′５９″の間で任意の時間設
定が可能である。ただし、００：００′００″と設定し
た場合には、レシピアレート機能は動作せず、レシピ残
り時間のみを表示し色判定は行なわない。なお、上記設
定画面７において２１は反応管番号、２２は反応管モー
ド、２３はレシピ名をそれぞれ示す。

【００２４】レシピ残り時間の表示は、演算表示部５に
表示されるレシピ残り時間表示画面３１を示す図６のRe
cipe Time （レシピ残り時間）表示部３７に表示され
る。レシピアレート機能が動作していて、レシピ残り時
間≦レシピアレート設定時間になった時、レシピ残り時
間の表示部３７が赤くリバースする。なお、同画面３１
において、３２は反応管番号、３３は反応管の型、３４
はライン状態、３５は反応管モード、３６はレシピ名を
それぞれ示す。

【００２５】図２は、レシピアレート機能による表示色
変更処理の状態遷移図である。図において、現在の状態
がプロセス処理中で、レシピアレート時間外で、かつレ
シピ残り時間の表示部がリバース表示なしの状態をと
し、レシピアレート時間内で、かつレシピ残り時間の表
示部が赤色リバース表示の状態を、青色リバース表示
の状態をと定義する。また、プロセス処理中以外のと
きは、レシピ残り時間の表示部がリバース表示なしの状
態を、赤色リバース表示の状態をと定義する。この
遷移図の見方として次に３例を挙げる。

【００２６】現在の状態がプロセス処理中でレシピアレ
ート時間外で、かつレシピ残り時間の表示部がリバース
表示なし状態であるの場合に、トリガとしてレシピア
レート時間が発生したとき、次の状態はプロセス処理中
でレシピアレート時間内でかつレシピ残り時間の表示部
が赤色リバース表示状態であるに遷移する（４１
欄）。の状態は次の基板の準備時期が来たことをオペ
レータに知らせる機能をもつ。

【００２７】また、現在の状態がプロセス処理中でレシ
ピアレート時間内で、かつレシピ残り時間の表示部が赤
色リバース表示状態であるの場合に、トリガとして時
間表示部がクリックされたとき、次の状態は同じくプロ
セス処理中でレシピアレート時間内でかつレシピ残り時
間の表示部が青色リバース表示状態であるに遷移する
（４２欄）。の状態は次の基板の準備完了を他のオペ
レータに知らせる機能をもつ。

【００２８】さらに、現在の状態がプロセス処理中でレ
シピアレート時間内で、かつレシピ残り時間の表示部が
青色リバース表示状態であるの場合に、トリガとして
プロセスが終了したとき、次の状態はプロセス処理以外
でレシピ残り時間の表示部がリバース表示なしの状態で
あるに遷移する（４３欄）。は初期状態を意味す
る。

【００２９】このようにレシピ残り時間表示画面３１に
表示されるレシピ残り時間の背景色により、一目で各半
導体製造装置に対してウェーハの準備時期や準備状況が
わかる。

【００３０】次に図１のフローチャートを用いて図２の
状態遷移を実際に行うブロックコントローラの動作を説
明する。この動作は各半導体製造装置毎に行なわれる。
なお、図２の状態遷移図に対応する遷移番号をフローチ
ャート上に付した。

【００３１】あらかじめレシピアレート時間設定画面７
のレシピアレート設定時間表示部２４にレシピアレート
時間を入力設定する。

【００３２】ステップ１０１ではレシピのスタートを監
視し、レシピがスタートしたらステップ１０２に進み、
リバース表示なしでレシピ残り時間を演算表示部５の時
間表示部３７に表示する。

【００３３】ステップ１０３では、レシピ残り時間とレ
シピアレート設定時間とを比較し、その比較結果を出力
する。比較結果がレシピ残り時間≦レシピアレート設定
時間（符号＝のときがレシピアレート時間発生、符号＜
のときがレシピアレート時間内）になったとき、現表示
がリバース表示か否かを判断するステップ１１１を経て
ステップ１１２に進み、レシピ残り時間の表示部３７を
赤くリバースさせる。この表示部３７の背景色の赤色変
更によりオペレータはウェーハの準備時期が来たことを
知る。なお、ステップ１１１で現表示がリバース表示あ
りのときには、既に変更されたリバース表示色を保持し
てそのままステップ１０４に進む。

【００３４】ステップ１０４では、レシピ残り時間の表
示部３７がクリックされたか否かを判定する。レシピ残
り時間表示部３７の赤色変更を見て、オペレータが次の
プロセスのためのウェーハの準備をし、その準備完了
後、レシピ残り時間の表示部３７をクリックしたとき
は、判定はＹＥＳとなるから、現表示のリバース表示を
判定するステップ１１３、現表示の赤色リバースを判定
するステップ１１４を経てステップ１１５に進み、レシ
ピ残り時間の表示部３７を青くリバースさせる。この表
示部３７の背景色の青色変更により、ウェーハ準備をし
なかった他のオペレータであっても、当該半導体製造装
置に対して次のプロセスのためのウェーハ準備が完了し
ていることを知る。

【００３５】なお、ステップ１１３で現表示がリバース
表示なしのときは、表示部クリックを無効にするため
に、ステップ１０５に進む。また、ステップ１１４で現
表示がリバース表示であるけれども赤色リバースでない
ときは、リバース表示は赤色と青色しかないので、リバ
ース表示は青色であると判断して、ステップ１１６に進
め、赤色リバースでレシピ残り時間を表示してからステ
ップ１０５に進む。

【００３６】ステップ１０５ではプロセス終了を判定す
る。プロセスが終了していない場合は、ステップ１０３
に戻って上記したステップをプロセスが終了するまで繰
り返す。

【００３７】プロセスが終了したら、ステップ１０６に
進み、現表示が青色リバースか否かの判定を行う。青色
リバースであれば、ステップ１０７に進み、次のウェー
ハの準備が既に完了したと判断してリバース表示を元に
戻しリバース表示なしでレシピ残り時間を表示した後、
ステップ１０８に進む。ステップ１０６で現表示が青色
リバースでないと判断されたときは、プロセス終了前に
表示部を赤色リバースにしてウェーハ準備時期が来たこ
とを知らせたにもかかわらず、これに気付かずに次のウ
ェーハの準備をしなかったと判断してステップ１０８に
直接進む。

【００３８】ステップ１０８ではレシピ残り時間表示部
３７がクリックされたか否かを判断する。リバース表示
なしでクリックされなかったときは、次のプロセスに移
行するために最初のステップ１０１に戻り次のレシピス
タートを待つ。赤色リバースでクリックがなかったとき
も、次のウェーハの準備がされたいないことを知らせる
ため、赤色リバースの状態で、最初のステップ１０１に
戻る。しかし、赤色リバースでプロセス終了後にクリッ
クされたときは、誤ってリバース表示なしにもかかわら
ずクリックされたときと同様にリバース表示のチェック
を行うため、ステップ１０９に進む。ステップ１０９で
は現表示が赤色リバースか否かの判断を行う。赤色リバ
ースのときはステップ１１０でリバース表示なしのレシ
ピ残り時間表示に切替え、最初のステップ１０１に戻
る。また、リバース表示でないときもクリックは無効で
あるから最初のステップ１０１に戻る。

【００３９】本実施の形態によれば、プロセス終了が近
くなったときは、赤色リバースでレシピ残り時間を表示
させるので、プロセス終了前に次のウェーハ準備に取り
掛かれる（図７(b) ）。従って、レシピ処理後に次のウ
ェーハを準備する図７(a) の従来の処理手順に比べて、
ウェーハの準備の時間が省かれ、半導体製造装置のスル
ープットを大幅に向上できる。また、プロセス終了前に
ウェーハ準備が完了したときは、青色リバースでレシピ
残り時間を表示させるので、オペレータはウェーハを二
重に準備するようなことを未然に防止できる。

【００４０】なお、上述した実施の形態では、レシピ残
り時間表示部の背景色を変更することによって、ウェー
ハ準備時期やウェーハ準備完了を知らせるようにした
が、表示部を点滅させたり、残り時間を表示している文
字自体の色を変えたり、さらには音声ないし警報を出す
ようにしてもよい。

【００４１】

【発明の効果】本発明によれば、半導体製造装置に対す
る基板の準備時期や準備状況を報知するようにしたの
で、基板の準備時期や準備状況を容易に知ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態における残り時間表示のフローチャ
ート図である。

【図２】実施の形態における色変更処理の状態遷移図で
ある。

【図３】半導体製造装置用の制御装置としてのブロック
コントローラと複数の半導体製造装置との接続関係を示
すブロック図である。

【図４】実施の形態におけるブロックコントローラのブ
ロック図である。

【図５】実施の形態におけるレシピアレート時間設定画
面を示す説明図である。

【図６】実施の形態におけるレシピ残り時間表示を示す
説明図である。

【図７】従来例と実施形態の処理手順を比較したタイミ
ングチャートである。

【符号の説明】

１ 装置情報格納テーブル ２ 表示部再描画用タイマ ３ 表示制御部 ４ レシピアレート設定時間格納テーブル ５ 表示演算部 ６ 半導体製造装置 ７ レシピアレート時間設定画面

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レシピに基づいて基板を処理する半導体製
   造装置を制御する半導体製造装置用の制御装置におい
   て、 レシピ残り時間を表示する表示部と、 レシピ処理が終了するまでに次の基板を準備できる先行
   準備期間としてのレシピアレート時間をあらかじめ設定
   する設定手段と、 上記レシピアレート設定時間とレシピ残り時間とを比較
   する比較手段と、 比較によりレシピ残り時間が上記レシピアレート設定時
   間以下になった時、オペレータに対し次のプロセス処理
   を行うための基板の準備時期が来たことを知らせる基板
   準備報知手段とを備えたことを特徴とする半導体製造装
   置用の制御装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載の半導体製造装置用の制御
   装置において、さらに、上記次のプロセス処理を行なう
   ための基板の準備が完了した後に、上記レシピ残り時間
   を表示する表示部をクリックすることにより、オペレー
   タに対し上記基板の準備が完了したことを知らせる準備
   完了報知手段を備えた半導体製造装置用の制御装置。