JPH1032141A - 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 成形に際しての支持体として用いられていた
キャリアフィルムを用いることなく、セラミックグリー
ンシートの成形を可能にするとともに、積層セラミック
電子部品のためのセラミック積層体を能率的に製造でき
るようにする。 【解決手段】 複数のエンドレスベルト１２，１３，１
４，…を周回させながら、コートローラ２２，２３，２
４，…によるセラミックグリーンシートの成形および転
写装置２５，２６による内部電極の形成を行なうことに
よって、目的とするセラミック積層体４３を積層方向に
分けた複数の部分を、各々別のエンドレスベルト１２，
１３，１４，…上で作製する。作製された複数の部分
を、打ち抜き吸着ヘッド４０により所定の順序で取り出
しかつ積み重ねることによって、目的とするセラミック
積層体４３を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図２には、この発明にとって興味ある積
層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコ
ンデンサ１が断面図で示されている。

【０００３】積層セラミックコンデンサ１は、セラミッ
ク積層体２を備える。セラミック積層体２の積層方向に
おける中間部には、複数の内部電極３がそれぞれセラミ
ック層４を介して積層されている内部電極形成部５が形
成され、同じく積層方向における両外側部には、内部電
極３が形成されずセラミック層４のみが積層されている
外層部６および７が形成される。

【０００４】上述の内部電極３には、セラミック積層体
２の一方の端面８にまで引き出されるものと、他方の端
面９にまで引き出されるものとがあり、これらは交互に
配置されている。また、これら端面８および９をそれぞ
れ覆うように、外部電極１０および１１が形成され、そ
れによって、内部電極３は、端面８または９上におい
て、いずれかの外部電極１０または１１に接続される。

【０００５】このような積層セラミックコンデンサ１の
ためのセラミック積層体２を製造するため、まず、セラ
ミック層４となる複数のセラミックグリーンシートが用
意される。これらセラミックグリーンシートの特定のも
のには、たとえば導電性ペーストを印刷することによ
り、所定のパターンを有する内部電極３が形成される。
これらセラミックグリーンシートは、以下のように積み
重ねられる。

【０００６】すなわち、まず、前述の一方の外層部６を
得るため、内部電極３が形成されていない複数のセラミ
ックグリーンシートが積み重ねられ、次いで、内部電極
形成部５を得るため、上述の外層部６のための複数のセ
ラミックグリーンシートの積み重ねの上に、内部電極３
が形成されている複数のセラミックグリーンシートが積
み重ねられ、さらに、他方の外層部７を得るため、上述
の内部電極形成部５のための複数のセラミックグリーン
シートの積み重ねの上に、内部電極３が形成されていな
い複数のセラミックグリーンシートが積み重ねられる。

【０００７】このような工程を経て、生のセラミック積
層体２が得られ、これが次いで焼成される。この焼成さ
れたセラミック積層体２の端面８および９をそれぞれ覆
うように、外部電極１０および１１が形成されたとき、
所望の積層セラミックコンデンサ１が得られる。

【０００８】ところで、前述したセラミックグリーンシ
ートは、典型的には、次のようにして製造されている。

【０００９】まず、セラミックグリーンシートを成形す
るに際しての支持体となるキャリアフィルムが用意され
る。キャリアフィルムは、たとえば、ポリエチレン、ポ
リプロピレン等の樹脂フィルムから構成される。

【００１０】次いで、キャリアフィルム上で、セラミッ
クスラリーをたとえばドクターブレード法により処理す
ることにより、セラミックグリーンシートが成形され
る。

【００１１】このようにして製造されたセラミックグリ
ーンシートは、次いで、キャリアフィルムから剥がさ
れ、前述した要領で積み重ねられ、必要に応じてカット
された後、前述したように、焼成され、それによって、
セラミック積層体２が得られる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】たとえば積層セラミッ
クコンデンサについて言えば、小型でありながら大容量
を得ることを可能にするため、セラミック層の薄層化お
よび多層化、すなわち、１つのセラミック層を介して対
向する内部電極間の間隔を小さくするとともに、１つの
セラミック層とこれを介して対向する内部電極からなる
単位容量形成素子を多数化することが進んでいる。

【００１３】上述のように多層化が進んだ場合、セラミ
ックグリーンシートを成形するために、膨大な量のキャ
リアフィルムが必要となる。しかしながら、キャリアフ
ィルムは、その材料コストがそれほど安価ではなく、ま
た、それにもかかわらず、ほとんど再利用されていない
のが現状である。なぜなら、種々の要因による汚れがキ
ャリアフィルムに付いたりすることがあるからである。

【００１４】そこで、この発明の目的は、上述したよう
なキャリアフィルムに関するコストを節減できる、積層
セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方
法および装置を提供しようとすることである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この発明は、まず、積み
重ねられた複数のセラミックグリーンシートおよびこれ
らセラミックグリーンシートの所定の界面に沿って形成
された内部電極を備える、積層セラミック電子部品のた
めのセラミック積層体の製造方法に向けられるものであ
って、上述した技術的課題を解決するため、次のような
構成を備えることを特徴としている。

【００１６】すなわち、この発明を実施するにあたり、
複数のホイールの周面に巻掛けされて周回する複数のエ
ンドレスベルトを備える装置が用意される。

【００１７】そして、エンドレスベルトをそれぞれ周回
させながら、各エンドレスベルト上で、セラミックグリ
ーンシートの成形および必要に応じて内部電極の形成を
行ない、それによって、目的とするセラミック積層体を
積層方向に分けた複数の部分を各々別のエンドレスベル
ト上で得る工程と、エンドレスベルトをそれぞれ周回さ
せながら、セラミックグリーンシートを乾燥する工程
と、エンドレスベルトをそれぞれ周回させながら、各エ
ンドレスベルト上から目的とするセラミック積層体を積
層方向に分けた複数の部分の各々を所定の順序に従って
取り出し積み重ねる工程とが実施される。

【００１８】この発明は、また、積み重ねられた複数の
セラミックグリーンシートおよびこれらセラミックグリ
ーンシートの所定の界面に沿って形成された内部電極を
備える、積層セラミック電子部品のためのセラミック積
層体の製造装置にも向けられる。この製造装置は、上述
した技術的課題を解決するため、次のような構成を備え
ることを特徴としている。

【００１９】すなわち、この発明に係る製造装置は、複
数のホイールの周面に巻掛けされて周回する複数のエン
ドレスベルトと、エンドレスベルト上にそれぞれセラミ
ックスラリーを付与し、それによって、各エンドレスベ
ルト上で連続して延びるようにセラミックグリーンシー
トを成形するためのセラミックスラリー付与手段と、エ
ンドレスベルト上のセラミックグリーンシートの特定の
もの上に所定のパターンを有する内部電極を形成するた
めの内部電極形成手段と、セラミックグリーンシートを
乾燥するように、エンドレスベルトの周回経路の一部に
沿って設けられた乾燥ゾーンと、目的とするセラミック
積層体を積層方向に分けた複数の部分を各々別のエンド
レスベルト上から所定の順序に従って取り出すための取
り出し手段とを備えている。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下に、この発明を図２に示した
ような積層セラミックコンデンサ１のためのセラミック
積層体２の製造に適用した実施形態について説明する。

【００２１】図１は、この発明の一実施形態によるセラ
ミック積層体の製造装置を示している。

【００２２】図１を参照して、複数のエンドレスベルト
１２，１３，１４，…が互いに平行に延びるように配置
される。エンドレスベルト１２，１３，１４，…は、そ
れぞれ、複数の、たとえば２つのホイール１５および１
６，１７および１８，１９および２０，…の周面に巻掛
けされており、これらホイール１５〜２０の回転に従っ
て矢印２１方向に周回する。エンドレスベルト１２，１
３，１４，…は、典型的には、たとえばステンレス鋼の
ような金属からなる薄いシート材から構成されるが、他
の可撓性を有する材質からなるシート材で構成されても
よい。

【００２３】エンドレスベルト１２，１３，１４，…の
それぞれの周回経路の下側部分に関連して、セラミック
スラリー付与手段としてのコートローラ２２，２３，２
４，…が配置される。これらコートローラ２２，２３，
２４，…は、関連のエンドレスベルト１２，１３，１
４，…に対して近接・離隔可能に設けられ、その近接状
態において、エンドレスベルト１２，１３，１４，…上
にそれぞれセラミックスラリーを所定の膜厚で付与し、
それによって、エンドレスベルト１２，１３，１４，…
上で連続して延びるようにセラミックグリーンシートを
成形する。

【００２４】なお、上述のコートローラ２２，２３，２
４，…は、たとえば、ドクターブレード、スプレー等の
他の形式のセラミックスラリー付与手段に置き換えられ
てもよい。

【００２５】エンドレスベルト１２，１３，１４，…の
うちの特定のもの、たとえばエンドレスベルト１３およ
び１４のそれぞれの周回経路の上側部分に関連して、内
部電極形成手段としての内部電極転写装置２５および２
６が配置される。

【００２６】エンドレスベルト１３に関連して設けられ
る内部電極転写装置２５は、転写シート２７上に形成さ
れた内部電極のための導電膜を上述のようにエンドレス
ベルト１３上で成形されたセラミックグリーンシート上
に転写するためのものである。より詳細には、転写シー
ト２７は、供給リール２８から引き出され、ガイドロー
ラ２９および３０間でエンドレスベルト１３と平行に並
ぶように案内され、使用後において巻取りリール３１に
巻き取られる。ガイドローラ２９および３０間には、転
写ヘッド３２が配置される。転写ヘッド３２は、エンド
レスベルト１３に対して近接・離隔可能に設けられ、そ
の近接状態において、内部電極を形成すべく、転写シー
ト２７上の導電膜を所定のパターンに従ってセラミック
グリーンシート上に転写する。

【００２７】エンドレスベルト１４に関連して設けられ
る内部電極転写装置２６も、上述した内部電極転写装置
２５に備える要素に対応する、転写シート３３、供給リ
ール３４、ガイドローラ３５および３６、巻取りリール
３７、ならびに転写ヘッド３８を備えている。

【００２８】なお、内部電極転写装置２５および２６が
転写する導電膜は、導電性ペーストからなる膜であって
も、湿式または乾式めっきにより形成された金属薄膜で
あってもよい。また、内部電極転写装置２５および２６
に代えて、スクリーン印刷装置のような印刷装置等、他
の形式の内部電極形成手段が用いられてもよい。

【００２９】エンドレスベルト１２，１３，１４，…の
周回経路の一部に沿って乾燥ゾーンを形成するように、
乾燥機３９が設けられる。乾燥機３９は、エンドレスベ
ルト１２，１３，１４，…上のセラミックグリーンシー
トを乾燥するためのものである。内部電極の形成のため
に、セラミックグリーンシート上に導電性ペースト膜が
形成される場合には、この導電性ペースト膜を乾燥する
ためにも、乾燥機３９は用いられる。もちろん、導電性
ペースト膜の乾燥を、乾燥機３９以外の乾燥機によって
行なってもよい。

【００３０】この製造装置は、また、エンドレスベルト
１２，１３，１４，…上で作製されたセラミックグリー
ンシートを含む積層構造物の所定の部分を取り出すため
の取り出し手段としての打ち抜き吸着ヘッド４０を備え
る。打ち抜き吸着ヘッド４０は、エンドレスベルト１
２，１３，１４，…のそれぞれに対して近接・離隔可能
かつエンドレスベルト１２，１３，１４，…間および別
の作業位置すなわち取り出しテーブル４１まで移動可能
に設けられ、このような動作に従って、エンドレスベル
ト１２，１３，１４，…上で作製された積層構造物の所
定の部分を打ち抜き、続いてこの部分を真空吸引に基づ
き吸着して保持し、これを取り出しテーブル４１まで搬
送する。

【００３１】上述した打ち抜きを行なうため、より具体
的には、打ち抜き吸着ヘッド４０は、図示しないが、そ
の下面側に切断刃を備え、この切断刃が、エンドレスベ
ルト１２，１３，１４，…のいずれかに対して近接した
とき、この近接したエンドレスベルト１２，１３，１
４，…上に形成された積層構造物から所定の部分を打ち
抜く。

【００３２】上述のように積層構造物の所定の部分を取
り出した後においては、エンドレスベルト１２，１３，
１４，…上には、セラミックグリーンシートの一部等を
含む積層構造物の残留物がそのまま保持されている。こ
の残留物は、ベルトクリーニングヘッド４２によって除
去されたりする。ベルトクリーニングヘッド４２は、エ
ンドレスベルト１２，１３，１４，…上の残留物をたと
えば刃によって削り落とす物理的手段によるものであっ
ても、溶剤によって溶かしながら落とす化学的手段によ
るものであっても、さらには、これら両者を組み合わせ
たものであってもよい。ベルトクリーニングヘッド４２
は、必要なときに、エンドレスベルト１２，１３，１
４，…のそれぞれに近接し、上述した残留物の除去作業
を行なう。この製造装置による１回の操作が終了する毎
に、このようにエンドレスベルト１２，１３，１４，…
が清浄にされる。

【００３３】このような製造装置を用いて、たとえば図
２に示したセラミック積層体２が製造される。この製造
装置において、複数のエンドレスベルト１２，１３，１
４，…が設けられているが、必ずしもエンドレスベルト
１２，１３，１４，…のすべてを用いるとは限らず、得
ようとするセラミック積層体の構造、生産性等を考慮し
て、エンドレスベルト１２，１３，１４，…のいずれを
用いるかが選択される。図２に示したセラミック積層体
２を得るため、たとえば２つのエンドレスベルト１２お
よび１３が用いられる。

【００３４】この実施形態では、目的とするセラミック
積層体２を積層方向に分けた複数の部分、すなわち内部
電極形成部５と外層部６および７とを各々別のエンドレ
スベルト１２および１３上で得ようとしている。より具
体的には、内部電極形成部５を第２のエンドレスベルト
１３上で得、外層部６および７を第１のエンドレスベル
ト１２上で得ようとしている。

【００３５】まず、セラミック積層体２の外層部６およ
び７に対応する部分を得るため、第１のエンドレスベル
ト１２が連続して周回しながら、コートローラ２２がこ
の第１のエンドレスベルト１２に近接する。これによっ
て、セラミックスラリーがエンドレスベルト１２上に付
与され、エンドレスベルト１２上でセラミックグリーン
シートが成形される。また、同時に、乾燥機３９による
乾燥ゾーンを通過するとき、成形されたセラミックグリ
ーンシートは乾燥される。

【００３６】この操作は、所望の積層数のセラミックグ
リーンシートが得られるまで実施され、所望の数のセラ
ミックグリーンシートが積層されたとき、コートローラ
２２はエンドレスベルト１２から離隔される。たとえ
ば、外層部６および７として２０層のセラミック層４が
必要な場合には、エンドレスベルト１２は２０周された
後、コートローラ２２はエンドレスベルト１２から離隔
される。そして、最終のセラミックグリーンシートの乾
燥を終えるまで、エンドレスベルト１２は連続回転され
る。

【００３７】他方、第２のエンドレスベルト１３におい
ては、セラミック積層体２の内部電極形成部５に対応す
る部分を得るため、まず、この第２のエンドレスベルト
１３が連続して周回しながら、対応のコートローラ２３
がエンドレスベルト１３に近接し、セラミックグリーン
シートが成形される。また、乾燥ゾーンを通過すると
き、この成形されたセラミックグリーンシートは乾燥さ
れる。エンドレスベルト１３上で１周分のセラミックグ
リーンシートが成形されたとき、コートローラ２３はエ
ンドレスベルト１３から離隔される。そして、このセラ
ミックグリーンシートが乾燥されたとき、エンドレスベ
ルト１３は一時的に停止される。

【００３８】次に、内部電極転写装置２５の転写ヘッド
３２をエンドレスベルト１３に近接させ、それによって
上述のようにして成形されたセラミックグリーンシート
上に所定のパターンを有する内部電極を形成し、その
後、転写ヘッド２９をエンドレスベルト１３から離隔さ
せる。この操作は、エンドレスベルト１３を所定ピッチ
で間欠的に送りながら、エンドレスベルト１３の停止時
点において、それぞれ実施され、エンドレスベルト１３
の１周分について実施されるように、複数回繰り返され
る。なお、内部電極を導電性ペーストの塗布で形成した
場合には、乾燥機３９、あるいは別に設ける乾燥機（図
示せず。）によって乾燥される。

【００３９】そして、上述したセラミックグリーンシー
トの成形および内部電極の形成は、所望の回数だけ繰り
返され、たとえば、内部電極形成部５において２０層の
内部電極３を形成しようとする場合には、２０回繰り返
される。

【００４０】なお、以上の第１のエンドレスベルト１２
上での操作および第２のエンドレスベルト１３上での操
作は、好ましくは、同時に実施される。

【００４１】このようにして、第１のエンドレスベルト
１２上には、外層部６および７となる部分を含む連続的
な積層構造物が形成され、第２のエンドレスベルト１３
上には、内部電極形成部５となる部分を含む連続的な積
層構造物が形成されている。

【００４２】次に、打ち抜き吸着ヘッド４０が、まず、
第１のエンドレスベルト１２の上方の位置にまで移動
し、ここで下降することによって、第１のエンドレスベ
ルト１２上の積層構造物から一方の外層部７となる部分
を打ち抜き、この打ち抜かれた部分をそのまま保持す
る。この打ち抜き動作を終えたとき、エンドレスベルト
１２は、次の打ち抜きに備えて所定ピッチ分だけ周回す
る。

【００４３】次いで、打ち抜き吸着ヘッド４０は、外層
部７となる部分を保持したまま、第２のエンドレスベル
ト１３の上方の位置にまで移動し、ここで下降すること
によって、第２のエンドレスベルト１３上の積層構造物
から内部電極形成部５となる部分を打ち抜き、この打ち
抜かれた部分を外層部７となる部分に積み重ねられた状
態で保持する。この打ち抜きを終えたとき、エンドレス
ベルト１３は、次の打ち抜きに備えて所定ピッチだけ周
回する。

【００４４】次いで、打ち抜き吸着ヘッド４０は、再
び、第１のエンドレスベルト１２の上方の位置にまで移
動し、ここで下降することによって、第１のエンドレス
ベルト１２上の積層構造物から他方の外層部６となる部
分を打ち抜き、この打ち抜かれた部分を内部電極形成部
５となる部分に積み重ねられた状態で保持する。この打
ち抜き動作を終えたときにも、エンドレスベルト１２
は、次の打ち抜きに備えて所定ピッチ分だけ周回する。

【００４５】以上の段階において、打ち抜き吸着ヘッド
４０には、外層部７となる部分、内部電極形成部５とな
る部分、および外層部６となる部分がこの順序で積み重
ねられて保持されている。打ち抜き吸着ヘッド４０は、
次に、取り出しテーブル４１にまで移動し、この上に、
目的とするセラミック積層体４３を排出する。

【００４６】このセラミック積層体４３は、そのまま図
２に示したセラミック積層体２となる場合もあるが、通
常、カットすることにより複数のセラミック積層体２を
得ることができるマザーの状態となっている。したがっ
て、このマザーの状態のセラミック積層体４３は、次い
で、カットされた後、焼成されることによって、図２に
示すような個々の積層セラミックコンデンサ１のための
セラミック積層体２とされる。

【００４７】なお、前述のような打ち抜き吸着ヘッド４
０によるすべての打ち抜きを終えた段階において、エン
ドレスベルト１２および１３上にそのまま保持されてい
るセラミックグリーンシートの一部を含む積層構造物の
残留物は、ベルトクリーニングヘッド４２によって除去
され、エンドレスベルト１２および１３が清浄にされた
後、再び、上述した工程が繰り返される。

【００４８】以上、この発明を図示した実施形態に関連
して説明したが、この発明の範囲内において、その他い
くつかの変形例が可能である。

【００４９】たとえば、図示した実施形態では、コート
ローラ２２，２３，２４，…によるセラミックスラリー
付与手段がすべてのエンドレスベルト１２，１３，１
４，…に関連して設けられたが、１つのセラミックスラ
リー付与手段がエンドレスベルト１２，１３，１４，…
のうちの２つ以上のものに関連して設けられ、これら２
つ以上のエンドレスベルト間で移動可能とされ、１つの
セラミックスラリー付与手段が２つ以上のエンドレスベ
ルトに対してセラミックスラリー付与作業を順次行なう
ようにしてもよい。極端に言えば、当該製造装置におい
て、単に１つのセラミックスラリー付与手段のみが設け
られ、この１つのセラミックスラリー付与手段がすべて
のエンドレスベルト１２，１３，１４，…間で移動可能
とされてもよい。

【００５０】また、図示の実施形態では、内部電極転写
装置２５および２６による内部電極形成手段がエンドレ
スベルト１３および１４のそれぞれに関連して設けられ
たが、このように内部電極形成手段がそれを必要とする
エンドレスベルトのすべてに関連して１つずつ設けられ
るのではなく、内部電極形成手段を２つ以上のエンドレ
スベルト間で移動可能とし、１つの内部電極形成手段が
２つ以上のエンドレスベルトに対して内部電極形成作業
を順次行なうようにしてもよい。

【００５１】また、上述した実施形態では、第１のエン
ドレスベルト１２上で外層部６および７のための積層構
造物を作製し、かつ第２のエンドレスベルト１３上で内
部電極形成部５のための積層構造物を作製した上で、第
１のエンドレスベルト１２、第２のエンドレスベルト１
３、第１のエンドレスベルト１２の順で、各エンドレス
ベルト上の積層構造物を、打ち抜き吸着ヘッド４０によ
って取り出すことによって、図２に示したような内部電
極形成部５ならびに外層部６および７を有するセラミッ
ク積層体２を得るようにしている。言い換えると、この
ように取り出すことによって、目的とするセラミック積
層体２が得られるように、エンドレスベルト１２および
１３の各上で積層構造物を作製している。

【００５２】しかしながら、このような各エンドレスベ
ルト上での積層構造物の作製の態様および各エンドレス
ベルトからの積層構造物の取り出しの態様は、以下にそ
の一例を説明するように、種々に変更することができ
る。

【００５３】たとえば、第２のエンドレスベルト１３上
で作製する積層構造物が、内部電極形成部５を積層方向
に半分に分けたものに相当するようにし、打ち抜き吸着
ヘッド４０によって、第１のエンドレスベルト１２上の
積層構造物を取り出した後、第２のエンドレスベルト１
３上の積層構造物を２回続けて取り出し、次いで、第１
のエンドレスベルト１２上の積層構造物を取り出すよう
にしてもよい。

【００５４】この場合には、エンドレスベルト１２およ
び１３上の各積層構造物の取り出し回数をバランスさせ
ることができるので、エンドレスベルト１２および１３
の長さが互いに同じであるとき、エンドレスベルト１２
および１３上の各積層構造物を実質的に同時に消費する
ことができる。なお、前述した実施形態では、取り出し
回数は、エンドレスベルト１２上の積層構造物がエンド
レスベルト１３上の積層構造物の２倍であるので、たと
えば、エンドレスベルト１２の長さをエンドレスベルト
１３の長さの２倍にすれば、各積層構造物の消費時点を
実質的に同じにすることができる。

【００５５】また、前述した実施形態では用いられなか
った第３のエンドレスベルト１４上で、たとえば外層部
６のための積層構造物を作製するようにしてもよい。こ
の場合には、第１のエンドレスベルト１２上では、一方
の外層部７のための積層構造物のみが作製され、第１の
エンドレスベルト１２、第２のエンドレスベルト１３、
第３のエンドレスベルト１４の順で、各エンドレスベル
ト上の積層構造物を、打ち抜き吸着ヘッド４０によって
取り出すことによって、図２に示したような内部電極形
成部５ならびに外層部６および７を有するセラミック積
層体２を得ることができる。

【００５６】このように、各エンドレスベルト上での積
層構造物の作製の態様および各エンドレスベルトからの
積層構造物の取り出しの態様は、たとえば、目的とする
セラミック積層体の構造、各エンドレスベルト上で得よ
うとするセラミック積層体の各部分の構造等に応じて、
種々に変更することができる。また、これら積層構造物
の作製の態様および取り出しの態様は、生産性の向上の
ため、無駄時間をできるだけ短くするように各エンドレ
スベルトの能力バランスを考慮しながら決定されるのが
好ましい。

【００５７】また、前述した実施形態では、打ち抜き吸
着ヘッド４０によって、エンドレスベルト１２および１
３上の各積層構造物の取り出しだけでなく、各積層構造
物の積み重ねも行なったが、取り出しだけを行ない、取
り出しの都度、取り出しテーブル４１にまで搬送し、積
み重ねは、取り出しテーブル４１上で行なうようにして
もよい。

【００５８】また、図示の実施形態では、エンドレスベ
ルト１２，１３，１４，…を巻掛けするためのホイール
１５，…として、円柱状のものを用いたが、多角柱状の
ものを用いてもよい。多角柱状ホイールを用いた場合に
は、エンドレスベルトが周回する間、エンドレスベルト
における一定の領域が各多角柱状ホイールの周面上の各
平面部分に接触するように設定するとともに、各平面部
分に接触するエンドレスベルトの各領域の範囲内で、そ
の上の積層構造物を取り出すようにすることにより、次
のような利点が奏される。

【００５９】すなわち、エンドレスベルトの周回の間、
エンドレスベルトおよびその上のセラミックグリーンシ
ートには、いずれかの場所において繰り返し曲げおよび
延びが付与されるが、上述のように設定することによ
り、このように曲げおよび延びの生じる場所が、エンド
レスベルトの周回にかかわらず、変わらないようにする
ことができ、他方、積層構造物を取り出す部分について
は、平面状態のまま取り扱われ、ここには曲げおよび延
びが及ぼされないようにすることができる。したがっ
て、取り出された部分には、不所望なストレスが付与さ
れていないので、これらの部分をもって品質の優れたセ
ラミック積層体を得ることができる。特に多層化が進む
ほど、上述した曲げおよび延びによるストレスが増大す
るため、多層化を進める場合には、多角柱状ホイールを
用いることが好ましい。

【００６０】また、図示の実施形態では、複数のエンド
レスベルト１２，１３，１４，…が各々独立して周回す
るように構成されたが、このような独立した周回が必要
でない場合には、複数のエンドレスベルトを一体のエン
ドレスベルトによって構成してもよい。

【００６１】また、この発明は、図２に示したような積
層セラミックコンデンサ１のためのセラミック積層体２
の製造だけでなく、たとえば積層セラミックバリスタ、
積層セラミックインダクタ、セラミック多層回路基板等
の他の積層セラミック電子部品のためのセラミック積層
体の製造にも適用することができる。したがって、積層
セラミック電子部品のためのセラミック積層体に備える
内部電極は、コンデンサのための内部電極を構成するも
のに限らず、バリスタのための内部電極を構成するも
の、抵抗を構成するもの、インダクタを構成するもの等
であってもよい。

【００６２】

【発明の効果】このように、この発明によれば、従来の
キャリアフィルムを用いずに、繰り返し使用可能なエン
ドレスベルト上でセラミックグリーンシートの成形およ
び内部電極の形成を実施するので、多層化が進んでも、
膨大な量のキャリアフィルムが消費されることはなく、
セラミック積層体の製造コストを低減することができ
る。

【００６３】また、この発明によれば、エンドレスベル
トを周回させながら、セラミックグリーンシートの成形
および積み重ね、ならびに内部電極の形成の各工程が一
連の操作の下で実施されるので、これら工程が一連に実
施されない場合に必要な工程間における運搬やロード／
アンロード作業が不要となるとともに、セラミック積層
体を得るまでに要する時間の短縮を図ることができ、ま
た、得られたセラミック積層体への異物混入などの機会
も低減させることができる。

【００６４】また、この発明によれば、目的とするセラ
ミック積層体を積層方向に複数の部分に分けて、各部分
を与える積層構造物を別々のエンドレスベルト上で作製
するようにしているので、複数の操作を同時に進めるこ
とができる。したがって、セラミック積層体の生産性を
向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態による積層セラミック電
子部品のためのセラミック積層体の製造方法において用
いられる製造装置を示す斜視図である。

【図２】この発明にとって興味ある積層セラミック電子
部品の一例としての積層セラミックコンデンサ１を示す
断面図である。

【符号の説明】

１ 積層セラミックコンデンサ ２，４３ セラミック積層体 ３ 内部電極 ４ セラミック層 １２，１３，１４ エンドレスベルト １５〜２０ ホイール ２２，２３，２４ コートローラ ２５，２６ 内部電極転写装置 ３９ 乾燥機 ４０ 打ち抜き吸着ヘッド ４１ 取り出しテーブル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
   ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
   界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
   ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する方法
   において、 複数のホイールの周面に巻掛けされて周回する複数のエ
   ンドレスベルトを備える装置を用意する工程と、 前記エンドレスベルトをそれぞれ周回させながら、各前
   記エンドレスベルト上で、前記セラミックグリーンシー
   トの成形および必要に応じて前記内部電極の形成を行な
   い、それによって、目的とするセラミック積層体を積層
   方向に分けた複数の部分を各々別の前記エンドレスベル
   ト上で得る工程と、 前記エンドレスベルトをそれぞれ周回させながら、前記
   セラミックグリーンシートを乾燥する工程と、 前記エンドレスベルトをそれぞれ周回させながら、各前
   記エンドレスベルト上から前記目的とするセラミック積
   層体を積層方向に分けた複数の部分の各々を所定の順序
   に従って取り出し積み重ねる工程とを備えることを特徴
   とする、積層セラミック電子部品のためのセラミック積
   層体の製造方法。
2. 【請求項２】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
   ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
   界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
   ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する装置
   において、 複数のホイールの周面に巻掛けされて周回する複数のエ
   ンドレスベルトと、 前記エンドレスベルト上にそれぞれセラミックスラリー
   を付与し、それによって、各前記エンドレスベルト上で
   連続して延びるようにセラミックグリーンシートを成形
   するためのセラミックスラリー付与手段と、 前記エンドレスベルト上の前記セラミックグリーンシー
   トの特定のもの上に所定のパターンを有する内部電極を
   形成するための内部電極形成手段と、 前記セラミックグリーンシートを乾燥するように、前記
   エンドレスベルトの周回経路の一部に沿って設けられた
   乾燥ゾーンと、 目的とするセラミック積層体を積層方向に分けた複数の
   部分を各々別の前記エンドレスベルト上から所定の順序
   に従って取り出すための取り出し手段とを備えることを
   特徴とする、積層セラミック電子部品のためのセラミッ
   ク積層体の製造装置。