JPH10320075A - 複数種類のスキューを低減する回路及び半導体装置 - Google Patents

複数種類のスキューを低減する回路及び半導体装置

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JPH10320075A
JPH10320075A JP9129761A JP12976197A JPH10320075A JP H10320075 A JPH10320075 A JP H10320075A JP 9129761 A JP9129761 A JP 9129761A JP 12976197 A JP12976197 A JP 12976197A JP H10320075 A JPH10320075 A JP H10320075A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、立ち上がり/立ち下がりスキューを
低減することによって、各信号に共通なスキューの影響
を受けずに信号間スキューを低減することが可能な回路
を提供することを目的とする。 【解決手段】スキュー低減回路は、クロック信号を含む
複数の信号を受け取り複数の信号の各々に於て立ち上が
りエッジ及び立ち下がりエッジ間の相対的なタイミング
のずれを低減する第1のスキュー低減回路と、第1のス
キュー低減回路から出力される複数の信号間で信号間の
エッジのタイミングのずれを低減する第2のスキュー低
減回路を含む

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に半導体装置に
関し、詳しくは半導体装置の入出力インターフェースに
関する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置に於ては、高い周波数の信号
を用いてデータを入出力することで、高速な動作を実現
することが望まれる。しかしながら、より高速な動作を
目指してデータ入出力信号の周波数をより高くしようす
ると、信号周波数を律速する要因が顕在化してくるため
に、これらの要因を排除していく必要がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】データ入出力信号の周
波数を律速する大きな要因として、信号のスキュー即ち
信号のタイミングのずれが挙げられる。例えば同期用の
入力クロック信号にスキューが存在すると、クロック信
号のタイミングを用いて他の信号を取り込む際に、タイ
ミングのずれにより誤った信号の取り込みが行われる可
能性がある。また入力データ信号の各ビット間でスキュ
ーが存在すると、タイミングのずれにより誤ったデータ
として取り込まれる可能性がある。
【0004】これらの可能性は信号周波数が高くなるほ
ど大きくなるので、信号にスキューが存在する場合に
は、データ入出力信号の周波数を高くして動作速度を上
げることが困難になる。スキューには幾つかの種類があ
り、代表的なものとしては、信号配線の経路の違いによ
り生じる信号間のタイミングのずれが挙げられる。即ち
各信号線の長さが異なると、あるチップから別のチップ
に複数の信号を伝送した場合に、受信側のチップに到達
するタイミングは各信号間でずれることになる。また仮
に信号線の長さが同一であっても経路が異なれば、配線
容量や配線インダクタンス等の負荷条件が異なることに
なり、信号伝達の速度が異なってしまう。従って受信側
で受信した信号はスキューを含むことになる。
【0005】図19は、信号間のスキューを低減するた
めの従来の回路を示す。スキュー低減回路500は、デ
ィレイライン501と、遅延制御レジスタ502と、比
較器503を含む。ディレイライン501は、ディジタ
ル遅延素子の列を含み、遅延制御レジスタ502からの
制御信号に基づいて動作する遅延素子数を変えることに
よって、入力信号を適当な遅延量だけ遅延させる。比較
器503は、ディレイライン501からの遅延入力信号
とクロック信号CLKとを受け取り、両者の位相を比較
する。位相比較結果は、遅延制御レジスタ502に供給
される。遅延制御レジスタ502は、遅延入力信号とク
ロック信号CLKとの位相差がゼロになるように、ディ
レイライン501の遅延量を制御する。このように位相
差がゼロになるように遅延制御レジスタ502を調整し
ておけば、ディレイライン501から出力される遅延信
号は、クロック信号CLKと位相が合った信号となり、
クロック信号CLKと入力信号との間のスキューが殆ど
取り除かれたことになる。スキュー低減回路500を各
信号入力に対して設ければ、各信号とクロック信号CL
Kとの間及び各信号間でスキューを低減することが出来
る。
【0006】図19のようなスキュー低減回路を用いれ
ば信号間のスキューは低減することが出来るが、問題に
なるのは、信号間にスキューが存在するだけではなく、
個々の信号にもスキューが存在することである。個々の
信号が含むスキューとして、信号の立ち上がりと立ち下
がりのスキューが挙げられる。これは信号の立ち上がり
のタイミング及び立ち下がりのタイミングが、所望のタ
イミングからずれることを意味する。
【0007】図20(A)及び図20(B)は、クロッ
ク信号に於ける立ち上がり/立ち下がりスキューを説明
する図である。図20(A)は、立ち上がり/立ち下が
りスキューが存在しない場合を示し、図20(B)は、
立ち上がり/立ち下がりスキューが存在する場合を示
す。図20(A)及び図20(B)に於て、受信用入力
バッファが比較に用いる参照基準電圧Vrefを、クロ
ック信号と共に示す。またクロック信号と参照基準電圧
Vrefとの比較によって、クロック信号がHIGHレ
ベルとして認識される期間をThigh、LOWレベル
として認識される期間をTlowとして示す。
【0008】図20(B)は、クロック信号にスキュー
が存在し、立ち上がりの遷移時間が短時間(立ち上がり
が急峻)であり、立ち下がりの遷移時間が長時間(立ち
下がりが緩慢)な場合を示す。この場合、期間Thig
h及び期間Tlowの各々が、図20(A)に示す期間
とはずれてしまうことになる。これは各期間の長さが正
常な長さからずれると共に、立ち上がり/立ち下がりの
タイミングが正常なタイミングからずれることを意味す
る。
【0009】このような立ち上がり/立ち下がりスキュ
ーには、幾つかの原因がある。まず出力側の信号出力回
路に於て、回路特性の違いから立ち上がり/立ち下がり
の遷移時間が互いに異なるために、信号出力の時点で既
に立ち上がり/立ち下がりスキューが含まれる。また入
力側の入力バッファに於て、信号入力と比較する参照基
準電圧Vrefが何等かの要因で変動すると、期間Th
igh及び期間Tlowが変化することになる。更に
は、入力バッファに於て回路特性の違いにより立ち上が
り/立ち下がりの遷移時間が互いに異なることも、立ち
上がり/立ち下がりスキューの原因となる。
【0010】これらの立ち上がり/立ち下がりスキュー
の要因は、一般に、各信号に対して同一の影響をもたら
すと考えられる。これは各信号には、一般に同一設計の
出力バッファ及び入力バッファが用いられ、また参照基
準電圧Vrefは共通に使用されるからである。従って
立ち上がり/立ち下がりスキューは、各信号に共通のス
キューであると言える。
【0011】立ち上がり/立ち下がりスキューはそれ自
体が問題であるが、同時に、信号間のスキュー低減に影
響を与える点に於ても問題となる。即ち、同期用のクロ
ック信号を含め各信号が立ち上がり/立ち下がりスキュ
ーを含む場合に、例えば図19の回路を用いて信号間の
スキューを低減することを考える。このとき各信号のタ
イミングは、立ち上がり/立ち下がりスキューの不確定
さを含んでいるので、この不確定さ以上の精度で信号同
士のタイミングを合わせることは出来ない。即ち、各信
号の不確定さ以上の精度で、信号間のスキューを低減す
ることが出来ない。
【0012】従来は、使用される信号周波数がそれ程高
くなかったこともあり、立ち上がり/立ち下がりスキュ
ーに対する対策としては、立ち上がり/立ち下がりスキ
ューが小さくなるように回路を設計する程度であった。
しかし信号周波数を高くして更に高速な動作を実現しよ
うとすると、立ち上がり/立ち下がりスキューの影響が
大きくなり、信号間のスキュー低減の効果が損なわれる
ことになる。
【0013】従って本発明は、立ち上がり/立ち下がり
スキューを低減することによって、各信号に共通なスキ
ューの影響を受けずに信号間スキューを低減することが
可能な回路を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明の回路
は、クロック信号を含む複数の信号を受け取り該複数の
信号の各々に於て立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッ
ジ間の相対的なタイミングのずれを低減する第1のスキ
ュー低減回路と、該第1のスキュー低減回路から出力さ
れる複数の信号間で信号間のエッジのタイミングのずれ
を低減する第2のスキュー低減回路を含むことを特徴と
する。
【0015】請求項2の発明に於ては、請求項1記載の
回路に於て、前記第1のスキュー低減回路は、前記複数
の信号の各々に対応して設けられ、対応する信号の立ち
上がりエッジ及び立ち下がりエッジ間の相対的なタイミ
ングを調整して調整された信号を出力する複数のエッジ
調整回路と、前記クロック信号に対応する該エッジ調整
回路から出力される調整されたクロック信号のHIGH
である期間とLOWである期間とが同一の長さになるよ
うに該クロック信号に対応する該エッジ調整回路を制御
すると共に、他のエッジ調整回路に対しても同一の制御
を適用するスキュー測定回路を含むことを特徴とする。
【0016】請求項3の発明に於ては、請求項2記載の
回路に於て、前記スキュー測定回路は、前記調整された
クロック信号を受け取り、該調整されたクロック信号の
HIGHである期間とLOWである期間とを比較し、両
期間が同一の長さになるように前記クロック信号に対応
する前記エッジ調整回路を制御すると共に、他のエッジ
調整回路に対しても同一の制御を適用することを特徴と
する。
【0017】請求項4の発明に於ては、請求項2記載の
回路に於て、前記スキュー測定回路は、前記クロック信
号を受け取り、該クロック信号の立ち上がりエッジ及び
立ち下がりエッジ間の相対的なタイミングのずれを測定
し、該測定の結果に基づいて前記調整されたクロック信
号のHIGHである期間とLOWである期間とが同一の
長さになるように前記クロック信号に対応する前記エッ
ジ調整回路を制御すると共に、他のエッジ調整回路に対
しても同一の制御を適用することを特徴とする。
【0018】請求項5の発明に於ては、請求項2記載の
回路に於て、前記第2のスキュー低減回路は、前記クロ
ック信号以外の前記複数の信号の各々に対応して設けら
れ、前記調整された信号を遅延させ遅延信号を出力する
複数の第1の遅延回路と、該複数の第1の遅延回路の各
々に対応して設けられ、対応する第1の遅延回路からの
該遅延信号と前記調整されたクロック信号との位相差を
測定し、該位相差が略ゼロとなるように該対応する第1
の遅延回路の遅延量を調整する信号間スキュー測定回路
を含むことを特徴とする。
【0019】請求項6の発明に於ては、請求項5記載の
回路に於て、前記第2のスキュー低減回路は、前記調整
されたクロック信号を所定の遅延量だけ遅延させ、遅延
クロック信号を出力するクロックバッファ回路と、前記
複数の第1の遅延回路の各々に対応して設けられ、該遅
延クロック信号を同期信号として用いて、対応する第1
の遅延回路からの前記遅延信号をラッチするラッチ回路
を含むことを特徴とする。
【0020】請求項7の発明に於ては、請求項2記載の
回路に於て、前記第1のスキュー低減回路と前記第2の
スキュー低減回路との間に設けられ、前記調整されたク
ロック信号以外の前記調整された信号のタイミング分布
と該調整されたクロック信号のタイミングとを接近させ
る第3のスキュー低減回路を更に含むことを特徴とす
る。
【0021】請求項8の発明に於ては、請求項7記載の
回路に於て、前記第3のスキュー低減回路は、前記クロ
ック信号以外の前記複数の信号の各々に対応して設けら
れ、前記調整された信号を遅延させ遅延信号を出力する
複数の第2の遅延回路と、前記調整されたクロック信号
を遅延させ遅延クロック信号を出力する第3の遅延回路
と、該複数の第2の遅延回路の所定の一つから出力され
る遅延信号と該遅延クロック信号との位相差が略ゼロと
なるように、該所定の一つの遅延量と該第3の遅延回路
の遅延量を調整すると共に、他の第2の遅延回路に対し
ては該所定の一つの遅延量と同一の遅延量を設定するク
ロックスキュー測定回路を含むことを特徴とする。
【0022】請求項9の発明に於ては請求項3記載の回
路に於て、前記スキュー測定回路は、前記調整されたク
ロック信号の立ち上がりエッジから立ち下がりエッジま
での期間を測定する第1の回路と、該調整されたクロッ
ク信号の立ち下がりエッジから立ち上がりエッジまでの
期間を測定する第2の回路と、該第1の回路の測定結果
と該第2の回路の測定結果とを比較する比較回路を含む
ことを特徴とする。
【0023】請求項10の発明に於ては、請求項9記載
の回路に於て、前記第1の回路は第1の遅延素子列を含
み、前記立ち上がりエッジから立ち下がりエッジまでの
期間に該第1の遅延素子列内で信号が通過する遅延素子
の個数によって該立ち上がりエッジから立ち下がりエッ
ジまでの期間を測定し、前記第2の回路は第2の遅延素
子列を含み、前記立ち下がりエッジから立ち上がりエッ
ジまでの期間に該第2の遅延素子列内で信号が通過する
遅延素子の個数によって該立ち下がりエッジから立ち上
がりエッジまでの期間を測定することを特徴とする。
【0024】請求項11の発明に於ては、請求項2記載
の回路に於て、前記エッジ調整回路は、前記対応する信
号を第1の遅延量遅延させて第1の遅延信号を生成する
第3の遅延素子列と、該対応する信号を第2の遅延量遅
延させて第2の遅延信号を生成する第4の遅延素子列
と、該第1の遅延信号と該第2の遅延信号とを重ね合わ
せることで前記調整された信号を出力する回路を含むこ
とを特徴とする。
【0025】請求項12の発明に於ては、請求項1記載
の回路に於て、前記複数の信号間で前記信号間のエッジ
のタイミングのずれを低減する際に、前記クロック信号
の少なくとも幾つかのエッジとエッジタイミングが一致
するキャリブレーション用の信号パターンを前記複数の
信号として受け取ることを特徴とする。請求項13の発
明に於ては、請求項12記載の回路に於て、前記キャリ
ブレーション用の信号パターンは複数種類の信号パター
ンを含むことを特徴とする。
【0026】請求項14の発明に於ては、クロック信号
を含む複数の信号を入力として動作する半導体装置は、
該複数の信号の各々に於て立ち上がりエッジ及び立ち下
がりエッジ間の相対的なタイミングのずれを低減する第
1のスキュー低減回路と、該第1のスキュー低減回路か
ら出力される複数の信号間で信号間のエッジのタイミン
グのずれを低減する第2のスキュー低減回路を含む入力
インターフェース部を含み、該入力インターフェース部
に於て該複数の信号の立ち上がり/立ち下がりスキュー
及び信号間スキューが低減されることを特徴とする。
【0027】請求項15の発明に於ては、請求項14記
載の半導体装置に於て、前記第1のスキュー低減回路
は、前記複数の信号の各々に対応して設けられ、対応す
る信号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジ間の相
対的なタイミングを調整して調整された信号を出力する
複数のエッジ調整回路と、前記クロック信号に対応する
該エッジ調整回路から出力される調整されたクロック信
号のHIGHである期間とLOWである期間とが同一の
長さになるように該クロック信号に対応する該エッジ調
整回路を制御すると共に、他のエッジ調整回路に対して
も同一の制御を適用するスキュー測定回路を含むことを
特徴とする。
【0028】請求項16の発明に於ては、請求項15記
載の半導体装置に於て、前記第2のスキュー低減回路
は、前記クロック信号以外の前記複数の信号の各々に対
応して設けられ、前記調整された信号を遅延させ遅延信
号を出力する複数の遅延回路と、該複数の遅延回路の各
々に対応して設けられ、対応する遅延回路からの該遅延
信号と前記調整されたクロック信号との位相差を測定
し、該位相差が略ゼロとなるように該対応する遅延回路
の遅延量を調整する信号間スキュー測定回路を含むこと
を特徴とする。
【0029】請求項17の発明に於ては、請求項16記
載の半導体装置に於て、前記第2のスキュー低減回路
は、前記調整されたクロック信号を所定の遅延量だけ遅
延させ遅延クロック信号を出力するクロックバッファ回
路と、前記複数の遅延回路の各々に対応して設けられ、
該遅延クロック信号を同期信号として用いて対応する遅
延回路からの前記遅延信号をラッチするラッチ回路を含
むことを特徴とする。
【0030】請求項18の発明に於ては、請求項15記
載の半導体装置に於て、前記第1のスキュー低減回路と
前記第2のスキュー低減回路との間に設けられ、前記調
整されたクロック信号以外の前記調整された信号のタイ
ミング分布と該調整されたクロック信号のタイミングと
を接近させる第3のスキュー低減回路を更に含むことを
特徴とする。
【0031】上記請求項1乃至6及び請求項9乃至13
の発明に於ては、第1のスキュー低減回路によって各信
号の立ち上がり/立ち下がりスキューを低減し、第2の
スキュー低減回路によって信号間のスキューを低減す
る。従って、各信号に存在する共通のスキューである立
ち上がり/立ち下がりスキューに影響されることなく、
第2のスキュー低減回路によって信号間スキューを高い
精度で低減することが出来る。
【0032】請求項7及び8の発明に於ては、孤立した
タイミングを有する可能性が高いクロック信号を他の信
号のタイミングに近付けるための第3のスキュー低減回
路が、第1のスキュー低減回路と第2のスキュー低減回
路との間に設けられる。従って、第3のスキュー低減回
路に於てクロック信号を用いて信号間スキューを低減す
る際に、既にクロック信号と各信号とは近いタイミング
にアライメントされているため、タイミングを調整する
ための遅延量の調整範囲を比較的小さく設定することが
可能であり、比較的小さな回路構成で高精度に信号間ス
キューを低減することが出来る。
【0033】上記請求項14乃至17の発明に於ては、
半導体装置の入力インターフェースに於て、第1のスキ
ュー低減回路によって各信号の立ち上がり/立ち下がり
スキューを低減し、第2のスキュー低減回路によって信
号間のスキューを低減するので、各信号に存在する共通
のスキューである立ち上がり/立ち下がりスキューに影
響されることなく、信号間スキューを高い精度で低減す
ることが可能である。従って、半導体装置に於て各種ス
キューが高精度で低減された信号を用いることが可能に
なり、高周波数信号による半導体装置の高速動作を実現
できる。
【0034】請求項18の発明に於ては、半導体装置の
入力インターフェースに於て、孤立したタイミングを有
する可能性が高いクロック信号を他の信号のタイミング
に近付けるための第3のスキュー低減回路が、第1のス
キュー低減回路と第2のスキュー低減回路との間に設け
られる。従って、第3のスキュー低減回路に於てクロッ
ク信号を用いて信号間スキューを低減する際に、既にク
ロック信号と各信号とは近いタイミングにアライメント
されているため、タイミングを調整するための遅延量の
調整範囲を比較的小さく設定することが可能であり、比
較的小さな回路構成で高精度に信号間スキューを低減す
ることが出来る。
【0035】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を添付の図
面を用いて説明する。図1は、本発明によるスキュー低
減回路の第1の実施例を示す。図1のスキュー低減回路
10は、RF(rise/fall :立ち上がり/立ち下がり)
スキュー低減回路11、信号間スキュー低減回路12、
クロックバッファ回路13を含む。本発明によるスキュ
ー低減回路は、半導体装置の入力インターフェースとし
て主に用いられる。
【0036】RFスキュー低減回路11は、クロック信
号CLKに基づいてクロック信号CLK及び信号Aの立
ち上がり/立ち下がりスキューを低減し、信号Aの立ち
上がり/立ち下がりスキューを低減した信号A1と、ク
ロック信号CLKの立ち上がり/立ち下がりスキューを
低減したクロック信号CLK1を出力する。信号間スキ
ュー低減回路12は、クロックバッファ回路13でクロ
ック信号CLK1を遅延したクロック信号CLK3を受
け取り、クロック信号CLK3及び信号A1間のスキュ
ーを低減する。クロックバッファ回路13は、クロック
信号CLK1に適当な遅延を加えて、通常動作時にはク
ロック信号CLK2を出力し、キャリブレーション時に
はクロック信号CLK3を出力する。
【0037】図1に於て、クロック信号CLK以外の信
号Aは一つだけであるが、信号Aをクロック信号CLK
にアライメントするのと同様にして、複数の信号をクロ
ック信号CLKにアライメントすることが可能である。
即ち、複数の信号をクロック信号にアライメントするこ
とで、複数の信号間のスキューを低減することが可能で
ある。
【0038】RFスキュー低減回路11は、RFスキュ
ー測定回路21と、複数(図では2つ)のエッジ調整回
路22を含む。RFスキュー測定回路21は、エッジ調
整回路22でクロック信号CLKのエッジ位置調整が行
われたクロック信号CLK1を受け取り、クロック信号
CLK1の立ち上がり/立ち下がりスキューを測定す
る。RFスキュー測定回路21は、測定結果に基づい
て、クロック信号CLK1がHIGHである期間Thi
gh及びLOWである期間Tlowが同一になるよう
に、エッジ調整回路22を制御する。これによってクロ
ック信号CLK1の立ち上がり/立ち下がりスキューを
低減する。RFスキュー低減回路21は更に、信号Aを
受け取るエッジ調整回路22にも同一の制御を適用す
る。これによって信号Aの立ち上がり/立ち下がりスキ
ューが低減され、信号A1として出力される。
【0039】クロックバッファ回路13は、第1乃至第
3の遅延回路26乃至28と、第1のバッファ29と、
第2のバッファ30と、第1乃至第3のスイッチSW1
乃至SW3を含む。クロックバッファ回路13は、立ち
上がり/立ち下がりスキューが低減されたクロック信号
CLK1を受け取る。スキューを低減するキャリブレー
ション時には、第1のスイッチSW1が導通される。ま
た通常動作時には、第2のスイッチSW2或いは第3の
スイッチSW3が導通される。従ってキャリブレーショ
ン時には、第1の遅延回路26で遅延されたクロック信
号CLK3が、信号間スキュー低減回路12に供給され
る。また通常動作時には、第2の遅延回路27或いは第
3の遅延回路28で遅延されたクロック信号CLK2
が、信号間スキュー低減回路12に供給されると共に、
スキュー低減回路10を入力インターフェースとする装
置内の内部回路に供給される。
【0040】信号間スキュー低減回路12は、信号間ス
キュー測定回路23、遅延回路24、及びラッチ25を
含む。キャリブレーション時には、信号間スキュー測定
回路23が、遅延回路24で遅延された信号A1とクロ
ック信号CLK3との位相差を測定して、位相差がゼロ
になるように遅延回路24の遅延量を調整する。これに
よって、信号A1とクロック信号CLK3との間でスキ
ューが低減され、信号同士がアライメントされる。
【0041】通常動作時には、ラッチ25が、クロック
信号CLK2を同期信号として用いて、アライメントさ
れた信号A1をラッチする。ここでクロック信号CLK
2は、クロックバッファ回路13によってクロック信号
CLK3より適当な遅延量だけ遅延された信号であり、
この遅延量をラッチ25のセットアップ時間に相当する
遅延量とすることで、ラッチ25に於ける適切なデータ
ラッチが可能となる。ラッチ25がラッチした信号は、
信号A2として出力される。
【0042】このように図1のラッチ低減回路10に於
ては、RFスキュー低減回路11が、クロック信号CL
Kのスキュー情報を基にして、クロック信号CLK及び
信号Aの立ち上がり/立ち下がりスキューを低減する。
更に、信号間スキュー低減回路12が、クロック信号C
LKと信号Aとをアライメントすることで、信号間のス
キューを低減する。従って、信号間で共通なスキューで
ある立ち上がり/立ち下がりスキューを第1段で低減し
て、その後の第2段で信号間のスキューを低減すること
によって、各信号に共通なスキューの影響を受けずに信
号間スキューを低減することが可能になる。
【0043】図2は、図1のRFスキュー測定回路21
の構成を示すブロック図である。RFスキュー測定回路
21は、比較波形生成器41乃至44、時間差測定回路
45及び46、比較器47、及びインバータ48を含
む。図3は、図2のRFスキュー測定回路21の動作を
説明するためのタイミング図である。図2及び図3を参
照して、RFスキュー測定回路21の動作を以下に説明
する。
【0044】比較波形生成器41乃至44は、同一の構
成を有する回路であり、リセット入力ResetにHI
GHが与えられた後、信号入力Inに与えられる信号の
最初の立ち上がりエッジで、出力をHIGHに変化させ
る。比較波形生成器41及び44の信号入力Inには、
クロック信号CLK1が供給され、比較波形生成器42
及び43の信号入力Inには、インバータ48で反転さ
れたクロック信号CLK1の反転信号が供給される。
【0045】比較波形生成器41のリセット入力Res
etには、リセット信号RSTが与えられる。従って比
較波形生成器41の出力S1は、リセット信号RSTが
HIGHになった後、クロック信号CLK1の最初の立
ち上がりエッジでHIGHになる。比較波形生成器42
のリセット入力Resetには、比較波形生成器41の
出力である信号S1が供給される。従って比較波形生成
器42の出力E1は、信号S1がHIGHになった後、
反転クロック信号/CLK1の最初の立ち上がりエッジ
でHIGHになる。比較波形生成器43の出力S2も同
様である。
【0046】比較波形生成器44のリセット入力Res
etには、比較波形生成器43の出力である信号S2が
供給される。従って比較波形生成器44の出力E2は、
信号S2がHIGHになった後、クロック信号CLK1
の最初の立ち上がりエッジでHIGHになる。図3から
分かるように、信号S1及びE1の立ち上がりエッジ
は、クロック信号CLK1がHIGHである期間Thi
ghの開始と終了を示し、信号S2及びE2の立ち上が
りエッジは、クロック信号CLK1がLOWである期間
Tlowの開始と終了を示すことになる。
【0047】時間差測定回路45は、信号S1及びE1
の立ち上がりエッジ間の時間差を測定して、測定された
時間差即ち期間Thighの持続時間をディジタル表現
として出力する。同様に、時間差測定回路46は、信号
S2及びE2の立ち上がりエッジ間の時間差を測定し
て、測定された時間差即ち期間Tlowの持続時間をデ
ィジタル表現として出力する。
【0048】時間差測定回路45及び46からの出力
は、比較器47によって比較される。比較器47は、期
間Thighが期間Tlowよりも長い場合に、立ち下
がりエッジを進ませることを指示する信号FBFをHI
GHにする。逆に期間Tlowが期間Thighよりも
長い場合には、立ち上がりエッジを進ませることを指示
する信号RBFをHIGHにする。これらの信号FBF
及びRBFによって、図1のエッジ調整回路22を制御
する。
【0049】図4は、RFスキュー測定回路21の回路
構成を示す回路図である。比較波形生成器41乃至44
の各々は、NAND回路51乃至56とインバータ57
を含む。比較波形生成器41を例にとって説明すると、
信号RSTがLOWの間は、NAND回路55の出力が
HIGHであるので、インバータ57から出力される信
号S1は常にLOWである。信号RSTがHIGHにな
ると、NAND回路52及び53からなるラッチが、N
AND回路52及び53の出力が各々LOW及びHIG
Hになる状態をラッチする。クロック信号CLK1がL
OWである間は、NAND回路54の出力はHIGHで
あり、NAND回路55及び56からなるラッチが、N
AND回路55及び56の出力が各々HIGH及びLO
Wになる状態を保つ。。
【0050】この状態でNAND回路51の出力はHI
GHである。クロック信号CLK1がHIGHになる
と、NAND回路54の出力がLOWとなり、NAND
回路55及び56からなるラッチが、NAND回路55
及び56の出力が各々LOW及びHIGHである状態に
反転する。従ってインバータ57から出力される信号S
1はHIGHになる。クロック信号CLK1がHIGH
及びLOWの間で変化しても、NAND回路55及び5
6からなるラッチの状態が変化しないので、信号S1は
リセット信号RSTがHIGHである限りHIGHを保
つ。所定の時間後に信号RSTがLOWになると、NA
ND回路55の出力がHIGHになるので、インバータ
57から出力される信号S1はLOWにもどる。
【0051】このようにして比較波形生成器41は、信
号RSTがHIGHになった後、クロック信号CLK1
の最初の立ち上がりエッジを検出することが出来る。比
較波形生成器42乃至44の動作も同様であり、夫々図
3に示される信号を出力する。時間差測定回路45及び
46は各々、直列に接続された複数のインバ−タ61
と、対で複数のラッチを構成するNAND回路62及び
63と、このラッチ群からの出力を反転する複数のイン
バータ64を含む。
【0052】時間差測定回路45を例にとって説明する
と、複数のインバ−タ61は遅延素子列を構成し、入力
される信号S1は、遅延素子列内を遅延しながら伝播す
る。インバ−タ61の遅延素子列と平行して、信号線S
A上を信号E1が伝播する。即ち、遅延素子列内を遅延
しながら伝播する信号S1と、信号線SA上を遅延なし
で伝播する信号E1とが、互いに競争する形となる。
【0053】NAND回路62及び63が構成するラッ
チ群は、信号S1が先にHIGHになると出力としてL
OWをラッチし、信号E1が先にHIGHになると出力
としてHIGHをラッチする。図3に示されるように、
入力される時点では信号S1が先にHIGHになるの
で、入力に近い図4の左側のラッチ群はLOWをラッチ
する。図4の右に信号が伝播していくほど信号S1は遅
れていくので、入力から遠い図4の右側のラッチ群はH
IGHをラッチすることになる。LOWをラッチするラ
ッチ群とHIGHをラッチするラッチ群との境界の位置
が、信号S1と信号E1とのエッジ間の時間差を示すこ
とになる。時間差が小さいほど、境界は入力側により近
づくことになる。
【0054】このようにして時間差測定回路45は、信
号S1と信号E1の立ち上がりエッジ間の時間差、即ち
クロック信号CLK1の期間Thighの長さを測定す
る。時間差測定回路46も同様に動作し、信号S2と信
号E2の立ち上がりエッジ間の時間差、即ちクロック信
号CLK1の期間Tlowの長さを測定する。比較器4
7は、複数のNAND回路71、複数のNAND回路7
2、複数のNAND回路73、複数のNAND回路7
4、及びインバータ75及び76を含む。
【0055】時間差測定回路45及び46の出力である
複数のインバータ64からの出力は、図の左側ではHI
GHを出力し、図の右側ではLOWを出力する。例え
ば、比較器47の一番左側のNAND回路71及び72
並びにNAND回路73及び74が、一番左側の上下2
つのインバータ64からHIGHを受け取る場合、これ
らのNAND回路は他方の入力に対するインバータとし
て動作する。従ってNAND回路71及び72並びにN
AND回路73及び74は、図面右側から伝播してきた
信号を素通りさせることになる。
【0056】また比較器47の一番右側のNAND回路
71及び72が、一番右側の上下2つのインバータ64
からLOWを受け取る場合、これらのNAND回路は他
方の入力に関わらずHIGHを出力する。従って、上下
で対をなすインバータ64からの出力が共にHIGHで
ある部分では、比較器47は右から左に信号を素通りさ
せ、インバータ64からの出力が共にLOWである部分
では、比較器47のNAND回路71及び72はHIG
Hを出力する。
【0057】期間Thighの長さと期間Tlowの長
さとに差がある場合、上下で対をなすインバータ64間
で出力レベルの異なる部分が存在する。上下で一対のイ
ンバータ64に着目した場合に、上のインバータ64が
HIGHを出力して、下のインバータ64がLOWを出
力するとする。この場合、対応するNAND回路71及
び72は、LOW及びHIGHを出力する。このLOW
及びHIGHの出力が、比較器47の左側まで伝播され
ることで、期間Thighと期間Tlowとでどちらが
長いかを判定することが出来る。
【0058】具体的には、期間Thighの方が長いと
きには信号FBFがHIGHになり、期間Tlowの方
が長いときには信号RBFがHIGHになる。これらの
信号FBF及びRBFによって、図1のエッジ調整回路
22を制御する。図5は、図1のエッジ調整回路22の
回路構成を示す回路図である。エッジ調整回路22は、
シフトレジスタ駆動回路81、シフトレジスタ82、及
びエッジシフト回路83を含む。
【0059】シフトレジスタ駆動回路81は、信号RB
F及びFBFと、キャリブレーション時の同期信号であ
るキャリブレーションクロックCAL−CLKを受け取
る。キャリブレーションクロックCAL−CLKは、適
当なサイクルを有した普通のクロック信号であり、この
信号に同期してシフトレジスタ駆動回路81が出力を変
化させる。
【0060】シフトレジスタ駆動回路81は、NOR回
路91及び92と、NAND回路93乃至96と、バイ
ナリカウンタ97を含む。バイナリカウンタ97は、N
AND回路101乃至108と、インバータ109乃至
111を含む。その動作は従来技術の範囲内であるの
で、説明を省略する。バイナリカウンタ97の出力であ
る信号SA及びSBは、キャリブレーションクロックC
AL−CLKを1/2に分周した信号とその反転信号に
なる。
【0061】NOR回路91及び92は夫々、キャリブ
レーションクロックCAL−CLKがHIGHの場合の
み、信号RBF及び信号FBFを通過させるゲートであ
る。信号RBF(の反転)は、NOR回路91からNA
ND回路93及び94に供給され、信号FBF(の反
転)は、NOR回路92からNAND回路95及び96
に供給される。NAND回路93及び95のもう一方の
入力には、バイナリカウンタ97の出力である信号SA
が供給され、NAND回路94及び96のもう一方の入
力には、バイナリカウンタ97の出力である信号SBが
供給される。
【0062】従って信号RBFがHIGHになる場合に
は、NAND回路93及び94からHIGHパルスが交
互に出力されることになる。逆に信号FBFがHIGH
になる場合には、NAND回路95及び96からHIG
Hパルスが交互に出力される。これらのHIGHパルス
によって、シフトレジスタ82を駆動する。図6は、シ
フトレジスタ82の回路構成を示す回路図である。
【0063】シフトレジスタ82は、NAND回路12
1−1乃至121−7、インバータ122−1乃至12
2−8、NAND回路123−1乃至123−8、NM
OSトランジスタ124−1乃至124−8、NMOS
トランジスタ125−1乃至125−8、NMOSトラ
ンジスタ126−1乃至126−8、NMOSトランジ
スタ127−1乃至127−8、NAND回路128−
1乃至128−8、及びインバータ129を含む。リセ
ット信号RがLOWにされると、シフトレジスタ82は
リセットされる。即ち、リセット信号RがLOWになる
と、NAND回路123−1乃至123−8の出力がH
IGHになり、インバータ122−1乃至122−8の
出力がLOWになる。NAND回路123−1乃至12
3−8とインバータ122−1乃至122−8との各ペ
アは、互いの出力を互いの入力とすることでラッチを形
成する。従って、上記リセット信号Rで設定された初期
状態は、リセット信号RがHIGHに戻っても保持され
る。
【0064】この初期状態では、図6に示されるよう
に、NAND回路128−1乃至128−7の出力はL
OWであり、NAND回路128−8の出力はHIGH
である。クロック信号CLK1の立ち下がりエッジを進
ませる必要がある場合には、信号線C及びDに交互にH
IGHパルスを供給する。まず図6に示される初期状態
に於て、信号線CにHIGHパルスが供給されると、N
MOSトランジスタ125−8がオンになる。このとき
NMOSトランジスタ127−8がオンであるので、N
AND回路123−8の出力がグランドに接続されて、
強制的にHIGHからLOWに変化させられる。従って
インバータ122−8の出力はHIGHになり、この状
態がNAND回路123−8とインバータ122−8か
らなるラッチに保持される。またこの時インバータ12
9の出力はLOWからHIGHに変化し、NAND回路
121−7の出力はHIGHからLOWに変化する。従
ってこの状態では、NAND回路128−7及び128
−8の出力がHIGHで、他の出力はLOWである。
【0065】次に信号線DにHIGHパルスが供給され
ると、NMOSトランジスタ125−7がオンになる。
このときNMOSトランジスタ127−7がオンになっ
ているので、NAND回路123−7の出力がグランド
に接続されて、強制的にHIGHからLOWに変化させ
られる。従ってインバータ122−7の出力はHIGH
になり、この状態がNAND回路123−7とインバー
タ122−7からなるラッチに保持される。またこの時
NAND回路121−7の出力はLOWからHIGHに
変化し、NAND回路121−6の出力はHIGHから
LOWに変化する。従ってこの状態では、NAND回路
128−6及び128−7の出力がHIGHで、他の出
力はLOWである。
【0066】このように信号線C及びDに交互にHIG
Hパルスを供給することで、NAND回路128−1乃
至128−8の出力のうちでHIGHである2つの出力
の位置を順次左にずらしていくことが出来る。クロック
信号CLK1の立ち上がりエッジを進ませる必要がある
場合には、信号線A及びBに交互にHIGHパルスを供
給する。これによって、NAND回路128−1乃至1
28−8の出力のうちでHIGHである2つの出力の位
置を順次右にずらしていくことが出来る。この場合の動
作は上述の場合と同様であるので説明を省略する。
【0067】上述のように、シフトレジスタ82の複数
の出力は、隣り合う2つの出力がHIGHで、それ以外
の出力がLOWである。また立ち上がりエッジを進ませ
る必要があるのか、或いは立ち下がりエッジを進ませる
必要があるのかに応じて、HIGHである2つの出力の
位置を、右或いは左にシフトさせることが出来る。この
シフトレジスタ82からの複数の出力を用いて、図5の
エッジシフト回路83を制御する。
【0068】図5のエッジシフト回路83は、複数のN
AND回路131、複数のNAND回路132、複数の
インバータ133、複数のNAND回路134、複数の
NAND回路135、複数のインバータ136、NOR
回路137、インバータ138、PMOSトランジスタ
139、NMOSトランジスタ140、及びインバータ
139及び140を含む。複数のNAND回路132と
複数のインバータ133は、第1の遅延素子列を構成
し、複数のNAND回路135と複数のインバータ13
6は、第2の遅延素子列を構成する。
【0069】複数のNAND回路131は、一方の入力
にシフトレジスタ82からの出力を受け取り、もう一方
の入力にクロック信号CLKを受け取る。従って、シフ
トレジスタ82からの出力がHIGHである位置で、ク
ロック信号CLKが第1の遅延素子列に入力される。ク
ロック信号CLKは、第1の遅延素子列内を伝播して、
NOR回路137に入力される。
【0070】複数のNAND回路134は、一方の入力
にシフトレジスタ82からの出力を受け取り、もう一方
の入力にクロック信号CLKを受け取る。従って、シフ
トレジスタ82からの出力がHIGHである位置で、ク
ロック信号CLKが第2の遅延素子列に入力される。ク
ロック信号CLKは、第2の遅延素子列内を伝播して、
NOR回路137及びインバータ138に入力される。
【0071】シフトレジスタ82からの出力のうちで、
HIGHである2つの出力は隣り合わせに位置される。
従って、これらHIGHである2つの出力が右にシフト
される場合、第1の遅延素子列を伝播するクロック信号
CLKの遅延時間は小さくなり、逆に第2の遅延素子列
を伝播するクロック信号CLKの遅延時間は大きくな
る。またHIGHである2つの出力が左にシフトされる
場合、第1の遅延素子列を伝播するクロック信号CLK
の遅延時間は大きくなり、逆に第2の遅延素子列を伝播
するクロック信号CLKの遅延時間は小さくなる。
【0072】インバータ141及び142から構成され
るラッチは、第2の遅延素子列を伝播したクロック信号
CLKの立ち上がりエッジで、HIGHレベルをラッチ
する。また第1の遅延素子列を伝播したクロック信号C
LKと第2の遅延素子列を伝播したクロック信号CLK
とが共にLOWになるタイミングで、上記ラッチはLO
Wレベルをラッチする。
【0073】従って、シフトレジスタ82からの複数の
出力のうちでHIGHである2つの出力が存在する位置
に応じて、エッジシフト回路83の出力であるクロック
信号CLK1の期間Thigh及び期間Tlowが調整
されることになる。このようにしてエッジ調整回路22
は、クロック信号CLKを入力として受け取り、RFス
キュー測定回路21からの制御信号に応じて、出力クロ
ック信号CLK1の期間Thigh及び期間Tlowを
調整することが出来る。この調整の結果、クロック信号
CLK1の期間Thighと期間Tlowとが等しくな
り、クロック信号CLKの立ち上がり/立ち下がりスキ
ューを低減できる。
【0074】図1を参照して説明したように、エッジ調
整回路22は、クロック信号CLK以外の信号Aに対し
ても同一のエッジ調整を適用することで、信号Aの立ち
上がり/立ち下がりスキューを低減することが出来る。
図7は、図1の信号間スキュー測定回路23の構成を示
す構成図である。信号間スキュー測定回路23は、タイ
ミング信号生成器151、比較波形生成器152及び1
53、位相比較器154を含む。
【0075】タイミング信号生成器151は、信号Aを
遅延回路24で遅延した信号DATAとクロック信号C
LK3とを受け取り、これらの信号に基づいてタイミン
グ信号Tを生成する。タイミング信号Tは、比較波形生
成器152及び153に供給される。比較波形生成器1
52は、タイミング信号TがHIGHになった後、クロ
ック信号CLK3の最初の立ち上がりエッジで、出力信
号CEをHIGHにする。比較波形生成器153は、タ
イミング信号TがHIGHになった後、信号DATAの
最初の立ち上がりエッジで、出力信号DEをHIGHに
する。
【0076】図8は、図7の各信号を示すタイミング図
である。図8に示される信号CE及び信号DEの立ち上
がりエッジ同士のタイミングを比較することで、クロッ
ク信号CLK3と信号DATAとの相対的な位相関係を
判定することが出来る。図7を参照して、位相比較器1
54は、信号CE及び信号DEを受け取り、何れの信号
の立ち上がりエッジが速いかを判定する。クロック信号
CLK3と信号DATAとの位相を合わせるためには信
号DATAを進ませる必要がある場合、位相比較器15
4は出力信号SFをHIGHにする。逆に、位相合わせ
のためには信号DATAを遅らせる必要がある場合、位
相比較器154は出力信号SDをHIGHにする。
【0077】図9は、信号間スキュー測定回路23の回
路構成を示す回路図である。タイミング信号生成器15
1は、NAND回路161乃至168、インバータ16
9、NAND回路170、NAND回路171乃至17
8、及びインバータ179を含む。タイミング信号生成
器151は、NAND回路170で、クロック信号CL
K3と信号DATAとのNANDを求め、NAND回路
170の出力信号のタイミングに基づいて、タイミング
信号Tを生成する。
【0078】比較波形生成器152及び153は、図4
に示される比較波形生成回路41乃至44と同一の構成
であるので、説明を省略する。位相比較器154は、N
AND回路181乃至193と、インバータ194及び
195を含む。NAND回路181及び182が第1の
ラッチを構成し、NAND回路183及び184が第2
のラッチを構成する。第1のラッチは、信号CEと信号
DEとで、早いほうの立ち上がりエッジをラッチする。
第2のラッチは、インバータ194及び195で遅延さ
れた信号CEと遅延のない信号DEとで、早いほうの立
ち上がりエッジをラッチする。第1のラッチの状態に応
じて出力信号SFの信号レベルが決定され、第2のラッ
チの状態に応じて出力信号SDの信号レベルが決定され
る。
【0079】信号SFは、位相を合わせるためには信号
DATAを進ませることが必要な場合にHIGHとな
り、信号SDは、位相を合わせるためには信号DATA
を遅らせる必要がある場合にHIGHとなる。これらの
信号SF及びSDを用いて、図1の遅延回路24を制御
する。図10は、遅延回路24の回路構成を示す回路図
である。遅延回路24は、シフトレジスタ駆動回路8
1、シフトレジスタ201、及びディレイライン202
を含む。図10に於て、図5と同一の要素は同一の番号
で参照される。
【0080】シフトレジスタ駆動回路81は、信号SF
及びSDと、キャリブレーション時の同期信号であるキ
ャリブレーションクロックCAL−CLKを受け取る。
図10のシフトレジスタ駆動回路81は、図5のシフト
レジスタ駆動回路81と同一の構成であり、説明を省略
する。図11は、シフトレジスタ201の回路構成を示
す回路図である。図11に於て、図6と同一の要素は同
一の番号で参照される。
【0081】シフトレジスタ201は、NAND回路1
21−1乃至121−7、インバータ122−1乃至1
22−8、NAND回路123−1乃至123−8、N
MOSトランジスタ124−1乃至124−8、NMO
Sトランジスタ125−1乃至125−8、NMOSト
ランジスタ126−1乃至126−8、NMOSトラン
ジスタ127−1乃至127−8、インバータ129及
び211、及びインバータ212−0乃至212−8を
含む。リセット信号RがLOWにされると、シフトレジ
スタ201はリセットされる。即ち、リセット信号Rが
LOWになると、NAND回路123−1乃至123−
8の出力がHIGHになり、インバータ122−1乃至
122−8の出力がLOWになる。NAND回路123
−1乃至123−8とインバータ122−1乃至122
−8との各ペアは、互いの出力を互いの入力とすること
でラッチを形成する。従って、上記リセット信号Rで設
定された初期状態は、リセット信号RがHIGHに戻っ
ても保持される。
【0082】この初期状態では、図11に示されるよう
に、インバータ212−0乃至212−7の出力はLO
Wであり、インバータ212−8の出力だけがHIGH
である。遅延回路24の遅延量を増やす必要がある場合
には、信号線C及びDに交互にHIGHパルスを供給す
る。まず図11に示される初期状態に於て、信号線Cに
HIGHパルスが供給されると、NMOSトランジスタ
125−8がオンになる。このときNMOSトランジス
タ127−8がオンであるので、NAND回路123−
8の出力がグランドに接続されて、強制的にHIGHか
らLOWに変化させられる。従ってインバータ122−
8の出力はHIGHになり、この状態がNAND回路1
23−8とインバータ122−8からなるラッチに保持
される。またこの時インバータ129の出力はLOWか
らHIGHに変化し、NAND回路121−7の出力は
HIGHからLOWに変化する。従ってこの状態では、
インバータ212−7の出力のみがHIGHで、他の出
力はLOWである。
【0083】次に信号線DにHIGHパルスが供給され
ると、NMOSトランジスタ125−7がオンになる。
このときNMOSトランジスタ127−7がオンになっ
ているので、NAND回路123−7の出力がグランド
に接続されて、強制的にHIGHからLOWに変化させ
られる。従ってインバータ122−7の出力はHIGH
になり、この状態がNAND回路123−7とインバー
タ122−7からなるラッチに保持される。またこの時
NAND回路121−7の出力はLOWからHIGHに
変化し、NAND回路121−6の出力はHIGHから
LOWに変化する。従ってこの状態では、インバータ2
12−6の出力のみがHIGHで、他の出力はLOWで
ある。
【0084】このように信号線C及びDに交互にHIG
Hパルスを供給することで、インバータ212−0乃至
212−8の出力のうちで唯一HIGHである出力の位
置を、順次左にずらしていくことが出来る。遅延回路2
4の遅延量を減らす必要がある場合には、信号線A及び
Bに交互にHIGHパルスを供給する。これによって、
インバータ212−0乃至212−8の出力のうちで唯
一HIGHである出力の位置を、順次右にずらしていく
ことが出来る。この場合の動作は上述の場合と同様であ
るので説明を省略する。
【0085】このシフトレジスタ201からの複数の出
力を用いて、図10のディレイライン202を制御す
る。図10のディレイライン202は、複数のNAND
回路221、複数のNAND回路222、及び複数のイ
ンバータ223を含む。複数のNAND回路222と複
数のインバータ223は、遅延素子列を構成する。
【0086】複数のNAND回路221は、一方の入力
にシフトレジスタ201からの出力を受け取り、もう一
方の入力にRFスキュー低減回路11からの信号A1を
受け取る。従って、シフトレジスタ201からの出力が
唯一HIGHである位置で、信号A1が遅延素子列に入
力される。信号A1は、遅延素子列内を伝播した後、信
号DATAとして出力される。
【0087】シフトレジスタ201からの出力のうち
で、唯一HIGHである出力が右にシフトされる場合、
遅延素子列を伝播する信号A1の遅延時間は小さくな
る。また唯一HIGHである出力が左にシフトされる場
合、遅延素子列を伝播する信号A1の遅延時間は大きく
なる。従って、シフトレジスタ201からの複数の出力
のうちで唯一HIGHである出力が存在する位置に応じ
て、ディレイライン202の出力である信号DATAの
遅延量が調整されることになる。
【0088】このようにして遅延回路24は、信号A1
を入力として受け取り、信号間スキュー測定回路23か
らの制御信号に応じて、出力信号DATAの遅延量を調
整することが出来る。この調整の結果、信号DATAと
クロック信号CLK3との位相が合わされ、信号DAT
A及びクロック信号CLK3間の信号間スキューを低減
できる。
【0089】図1を参照して説明したように、遅延回路
24は、信号A以外の信号に対しても同一の信号間アラ
イメント(位相合わせ)を適用することで、各信号間の
スキューを低減することが出来る。図12は、図8に対
応する図であり、信号間スキュー低減のためのキャリブ
レーション時に於いて、図8の場合とは異なったキャリ
ブレーション信号DATAを与えた場合の各信号を示す
タイミング図である。図12に示すように、キャリブレ
ーション信号DATAとして、クロック信号CLK3の
2倍のサイクルを有する信号を用いてもよい。
【0090】図13は、信号間スキュー低減のためのキ
ャリブレーション時に於いて、異なったキャリブレーシ
ョン用クロック信号CLK3を与えた場合の各信号を示
すタイミング図である。図13に示すように、キャリブ
レーション信号DATAとして、通常のクロック信号C
LK3の2倍のサイクルを有する信号を用いると共に、
キャリブレーション時のクロック信号CLK3を通常の
クロック信号の2倍のサイクルを有する信号としてもよ
い。
【0091】図12及び図13に示されるように、種々
のキャリブレーション条件で信号間スキュー低減のため
のキャリブレーションを行うことで、種々の信号に対応
した柔軟性のある信号間スキュー低減が可能となる。図
14は、本発明によるスキュー低減回路の第2の実施例
を示す。図14に於て、図1と同一の要素は同一の番号
で参照され、その説明は省略される。
【0092】図14のスキュー低減回路10Aは、RF
スキュー低減回路11、信号間スキュー低減回路12、
クロックバッファ回路13、及びクロックスキュー低減
回路14を含む。例えばメモリシステムに於ては、メモ
リコントローラからメモリデバイスへの配線のうちで、
クロック信号に対する配線は、データ信号やアドレス信
号に対する配線とは異なった経路でレイアウトされる場
合が多い。これは、クロック信号を他のデバイスにも供
給する必要があるために、他の信号線とは異なった配線
経路がクロック信号配線に対して用いられるためであ
る。このような場合一般に、受信側で受け取るクロック
信号は、他の受信信号とは大きくタイミングがずれるこ
とになる。図1のスキュー低減回路10Aに於ては、ク
ロック信号と信号Aとのタイミングを合わせることが行
われる。クロック信号以外に複数の信号が存在する場合
にも、各信号とクロック信号とのタイミングを合わせる
ことが行われる。しかし上述のように、クロック信号と
各信号との間の信号間スキューは、クロック信号以外の
複数の信号間のスキューよりも大幅に大きなものであ
る。
【0093】従って、まずクロック信号と複数の信号と
の間の大きな信号間スキューを低減して、クロック信号
のタイミングを複数の信号のタイミング分布の辺りまで
合わせたうえで、クロック信号と各信号との間の小さな
信号間スキューを低減することが望ましい。このように
クロック信号の大きなスキューを低減する回路と、信号
間の小さなスキューを低減する回路とを別個に設けるこ
とで、回路規模を小さく保ちながらも精度の高い信号間
スキュー低減を実現することが出来る。
【0094】図14のクロックスキュー低減回路14
は、クロック信号と複数の信号との間の大きな信号間ス
キュー(以降クロックスキューと呼ぶ)を低減する回路
である。このクロックスキュー低減回路14によってク
ロックスキューを低減した後に、信号間スキュー低減回
路12により各信号とクロック信号とをアライメントす
ることで、信号間の小さなスキューを低減する。
【0095】クロックスキュー低減回路14は、クロッ
クスキュー測定回路23Aと、複数の遅延回路24Aを
含む。各遅延回路24Aは、RFスキュー低減回路11
で立ち上がり/立ち下がりスキューが低減された信号A
1、信号B1、及びクロック信号CLK1を受け取り、
これらの信号を遅延させる。クロックスキュー測定回路
23Aは、信号A1とクロック信号CLK1が遅延回路
24Aで遅延された信号を受け取り、これら2つの信号
間の位相のずれを測定する。クロックスキュー測定回路
23Aは、信号A1が遅延回路24Aで遅延された信号
とクロック信号CLK1が遅延回路24Aで遅延された
信号との位相が等しくなるように、遅延回路24Aの遅
延量を調整する。
【0096】クロックスキュー測定回路23Aは、図9
の信号間スキュー測定回路23と同一の構成でよい。ま
た遅延回路24Aは、図10の遅延回路24と同一の構
成でよい。但し、信号A1の遅延信号の方がクロック信
号CLK1の遅延信号より進んでいる場合には、信号A
1を受け取る遅延回路24Aの遅延量を大きくして、ク
ロック信号CLK1を受け取る遅延回路24Aの遅延量
を小さくするように、制御信号SF及びSDの入力を入
れ替える必要がある。逆に、信号A1の遅延信号の方が
クロック信号CLK1の遅延信号より遅れている場合に
は、信号A1を受け取る遅延回路24Aの遅延量を小さ
くして、クロック信号CLK1を受け取る遅延回路24
Aの遅延量を大きくするように制御する。更に、信号A
1に対する遅延量と同一の遅延量が設定されるように、
信号B1を受け取る遅延回路24Aを制御する。
【0097】図14の様な構成とすれば、クロック信号
CLK1と複数の信号A及びBとの間の大きな信号間ス
キューをクロックスキュー低減回路14により低減し
て、クロック信号CLK1のタイミングを複数の信号A
及びBのタイミング分布の辺りまで合わせたうえで、信
号間スキュー低減回路12を用いて、クロック信号CL
K1と信号Aとの間及びクロック信号CLK1と信号B
との間の小さな信号間スキューを低減することが出来
る。クロック信号の大きなスキューを低減するクロック
スキュー低減回路14には、広い範囲の遅延量を粗く設
定できるような遅延量調整機能を設け、信号間の小さな
スキューを低減する信号間スキュー低減回路12には、
狭い範囲の遅延量を細かく設定できるような遅延量調整
機能を設ければ、全体の回路規模を比較的小さく保ちな
がらも精度の高い信号間スキュー低減を実現することが
出来る。
【0098】図15は、本発明によるスキュー低減回路
の第3の実施例を示す。図15に於て、図1と同一の要
素は同一の番号で参照され、その説明は省略される。図
15のスキュー低減回路10Bは、RFスキュー低減回
路11A、信号間スキュー低減回路12、及びクロック
バッファ回路13を含む。図1のスキュー低減回路10
とは、RFスキュー低減回路11Aのみが異なり、RF
スキュー低減回路11Aは、RFスキュー測定回路21
A及び複数のエッジ調整回路22Aを含む。図1のスキ
ュー低減回路10に於ては、RFスキュー測定回路21
は、エッジ調整回路22から出力されるクロック信号C
LK1に基づいて立ち上がり/立ち下がりスキューを測
定し、フィードバック制御によってエッジ調整回路22
を制御していた。それに対し図15のスキュー低減回路
10Bに於ては、RFスキュー測定回路21Aは、入力
されるクロック信号CLKに基づいて立ち上がり/立ち
下がりスキューを測定し、その測定値に基づいてエッジ
調整回路22のエッジ調整量を設定する。
【0099】図16は、RFスキュー測定回路21Aの
回路構成を示す回路図である。図16に於て、図4と同
一の構成要素は同一の番号で参照され、その説明は省略
される。図16のRFスキュー測定回路21Aは、図4
の比較波形生成器41及び42と、時間差測定回路45
を含み、更に、NAND回路231、インバータ23
2、NMOSトランジスタ233、複数のインバータ2
34及び235、複数のNAND回路236、及び複数
のNAND回路237を含む。
【0100】図4を参照して説明したように、時間差測
定回路45の出力である複数のインバータ64からの出
力は、入力に近い図の左側ではHIGHを出力し、入力
から遠い図の右側ではLOWを出力する。このHIGH
とLOWとを分ける境界の位置が、クロック信号CLK
の立ち上がりエッジと立ち下がりエッジとの時間差を示
し、時間差が長いほど境界の位置はより図面の右側に存
在する。
【0101】NAND回路231とインバータ232
は、比較波形生成器41及び42の両出力がHIGHに
なると、NMOSトランジスタ233を導通させる。こ
れにより複数のインバータ64の出力が、インバータ2
34及び235から構成される複数のラッチにラッチさ
れる。隣り合う2つのラッチの出力が図16に示される
ように、複数のNAND回路236に入力される。従っ
て、複数のインバータ64からの出力に於て、HIGH
とLOWとを分ける境界の位置に於てのみ、複数のNA
ND回路236のうちの一つがLOWを出力する。
【0102】隣り合う2つのNAND回路236の出力
は、複数のNAND回路237に入力される。従って、
複数のインバータ64からの出力に於てHIGHとLO
Wとを分ける境界の位置に於てのみ、複数のNAND回
路237のうちの隣り合う2つがHIGHを出力する。
複数のNAND回路237のうちで隣り合う2つがHI
GHを出力する位置は、クロック信号CLKの立ち上が
りエッジから立ち下がりエッジまでの時間、即ち期間T
highの長さを示す指標となる。従って、図16のR
Fスキュー測定回路21Aの出力は、クロック信号CL
Kの期間Thighの長さを測定して表現したものとな
っている。
【0103】RFスキュー測定回路21Aの出力は、図
5のシフトレジスタ82の出力と同様の形式となってい
るので、RFスキュー測定回路21Aの出力を図5のエ
ッジシフト回路83と同様の回路に入力すればよい。即
ち、図15のエッジ調整回路22Aは、図5のエッジシ
フト回路83と同様の構成とすればよい。これによっ
て、測定したクロック信号CLKの期間Thighの長
さに応じて、クロック信号CLKの立ち上がりエッジ及
び立ち下がりエッジの位置を、適切にシフトすることが
出来る。
【0104】以上のようにして、図15に示されるスキ
ュー低減回路の第3の実施例に於ては、RFスキュー測
定回路21Aによってクロック信号CLKの立ち上がり
/立ち下がりスキューを測定し、この測定値に応じて、
エッジ調整回路22Aのエッジ調整量を設定する。これ
によってRFスキュー低減回路11Aは、クロック信号
CLK及び信号Aの立ち上がり/立ち下がりスキューを
低減することが出来る。
【0105】図17は、本発明によるスキュー低減回路
の第4の実施例を示す。図17に於て、図14及び図1
5と同一の要素は同一の番号で参照され、その説明は省
略される。図17のスキュー低減回路10Cは、RFス
キュー低減回路11A、信号間スキュー低減回路12、
クロックバッファ回路13、及びクロックスキュー低減
回路14Aを含む。図17のスキュー低減回路10Cに
於ては、図14のスキュー低減回路10AのRFスキュ
ー低減回路11の代わりに図15のRFスキュー低減回
路11Aが用いられ、更に、図14のクロックスキュー
低減回路14の代わりにクロックスキュー低減回路14
Aが用いられる。
【0106】クロックスキュー低減回路14Aは、クロ
ック信号CLK1と信号A1とを受け取り両信号の位相
差を測定するクロックスキュー測定回路23Bと、クロ
ックスキュー測定回路23Bの測定値に基づいてクロッ
ク信号CLK1、信号A1、及び信号B1を遅延させる
遅延回路24Bを含む。クロックスキュー低減回路14
Aは、クロックスキュー低減回路14とは異なり、フィ
ードバック制御を用いずに、クロック信号CLK1と信
号A1との位相差の測定値に基づいて遅延量設定を行
う。
【0107】図18は、クロックスキュー測定回路23
Bの回路構成を示す回路図である。図18に於て、図1
6と同一の構成要素は同一の番号で参照され、その説明
は省略される。図18のクロックスキュー測定回路23
Bは、図16のRFスキュー測定回路21Aの複数のN
AND回路237の代わりに、複数のインバータ238
を含む。図16の説明を参照すれば明らかなように、複
数のインバータ64からの出力に於てHIGHとLOW
とを分ける境界の位置に於てのみ、複数のインバータ2
38のうちの1つのインバータがHIGHを出力し、残
りのインバータはLOWを出力する。
【0108】唯一HIGHを出力するインバータの位置
は、信号A1とクロック信号CLK1との位相差を示す
指標となる。クロックスキュー測定回路23Bの出力
は、図10のシフトレジスタ201の出力と同様の形式
となっているので、クロックスキュー測定回路23Bの
出力を図10のディレイライン202と同様の回路に入
力すればよい。即ち、図17の遅延回路24Bは、図1
0のディレイライン202と同様の構成とすればよい。
これによって、信号A1及びクロック信号CLK1の間
の位相差に応じて、クロック信号CLK1、信号A1、
及び信号B1に適切な遅延を与えることが出来る。
【0109】以上のようにして、図17に示されるスキ
ュー低減回路の第4の実施例に於ては、クロックスキュ
ー測定回路23Bによって信号A1とクロック信号CL
K1の位相差を測定し、この測定値に応じて、遅延回路
24Bの遅延量を設定する。これによってクロックスキ
ュー低減回路14Aは、クロック信号CLK1のタイミ
ングを、信号A1及び信号B1のタイミング分布付近ま
でシフトさせることが出来る。
【0110】以上、本発明は実施例に基づいて説明され
たが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
特許請求の範囲に記載の範囲内で、変更・変形が可能な
ものである。
【0111】
【発明の効果】上記請求項1乃至6及び請求項9乃至1
3の発明に於ては、第1のスキュー低減回路によって各
信号の立ち上がり/立ち下がりスキューを低減し、第2
のスキュー低減回路によって信号間のスキューを低減す
る。従って、各信号に存在する共通のスキューである立
ち上がり/立ち下がりスキューに影響されることなく、
第2のスキュー低減回路によって信号間スキューを高い
精度で低減することが出来る。
【0112】請求項7及び8の発明に於ては、孤立した
タイミングを有する可能性が高いクロック信号を他の信
号のタイミングに近付けるための第3のスキュー低減回
路が、第1のスキュー低減回路と第2のスキュー低減回
路との間に設けられる。従って、第3のスキュー低減回
路に於てクロック信号を用いて信号間スキューを低減す
る際に、既にクロック信号と各信号とは近いタイミング
にアライメントされているため、タイミングを調整する
ための遅延量の調整範囲を比較的小さく設定することが
可能であり、比較的小さな回路構成で高精度に信号間ス
キューを低減することが出来る。
【0113】上記請求項14乃至17の発明に於ては、
半導体装置の入力インターフェースに於て、第1のスキ
ュー低減回路によって各信号の立ち上がり/立ち下がり
スキューを低減し、第2のスキュー低減回路によって信
号間のスキューを低減するので、各信号に存在する共通
のスキューである立ち上がり/立ち下がりスキューに影
響されることなく、信号間スキューを高い精度で低減す
ることが可能である。従って、半導体装置に於て各種ス
キューが高精度で低減された信号を用いることが可能に
なり、高周波数信号による半導体装置の高速動作を実現
できる。
【0114】請求項18の発明に於ては、半導体装置の
入力インターフェースに於て、孤立したタイミングを有
する可能性が高いクロック信号を他の信号のタイミング
に近付けるための第3のスキュー低減回路が、第1のス
キュー低減回路と第2のスキュー低減回路との間に設け
られる。従って、第3のスキュー低減回路に於てクロッ
ク信号を用いて信号間スキューを低減する際に、既にク
ロック信号と各信号とは近いタイミングにアライメント
されているため、タイミングを調整するための遅延量の
調整範囲を比較的小さく設定することが可能であり、比
較的小さな回路構成で高精度に信号間スキューを低減す
ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるスキュー低減回路の第1の実施例
を示す。
【図2】図1のRFスキュー測定回路の構成を示すブロ
ック図である。
【図3】図2のRFスキュー測定回路の動作を説明する
ためのタイミング図である。
【図4】RFスキュー測定回路の回路構成を示す回路図
である。
【図5】図1のエッジ調整回路の回路構成を示す回路図
である。
【図6】シフトレジスタの回路構成を示す回路図であ
る。
【図7】図1の信号間スキュー測定回路の構成を示す構
成図である。
【図8】図7の各信号を示すタイミング図である。
【図9】信号間スキュー測定回路の回路構成を示す回路
図である。
【図10】遅延回路の回路構成を示す回路図である。
【図11】シフトレジスタの回路構成を示す回路図であ
る。
【図12】信号間スキュー低減のためのキャリブレーシ
ョン時に於いて、図8の場合とは異なったキャリブレー
ション信号を与えた場合の各信号を示すタイミング図で
ある。
【図13】信号間スキュー低減のためのキャリブレーシ
ョン時に於いて、異なったキャリブレーション用クロッ
ク信号を与えた場合の各信号を示すタイミング図であ
る。
【図14】本発明によるスキュー低減回路の第2の実施
例を示す構成図である。
【図15】本発明によるスキュー低減回路の第3の実施
例を示す構成図である。
【図16】図15のRFスキュー測定回路の回路構成を
示す回路図である。
【図17】本発明によるスキュー低減回路の第4の実施
例を示す構成図である。
【図18】クロックスキュー測定回路の回路構成を示す
回路図である。
【図19】信号間のスキューを低減するための従来の回
路を示す回路図である。
【図20】(A)及び(B)は、クロック信号に於ける
立ち上がり/立ち下がりスキューを説明する図である。
【符号の説明】
10 スキュー低減回路 11、11A RFスキュー低減回路 12 信号間スキュー低減回路 13 クロックバッファ回路 14、14A クロックスキュー低減回路 21、21A RFスキュー測定回路 22、22A エッジ調整回路 23、23A、23B 信号間スキュー測定回路 24、24A、24B 遅延回路 25 ラッチ 26、27、28 遅延回路 29、30 バッファ 41、42、43、44 比較波形生成器 45、46 時間差測定回路 47 比較器 48 インバータ 81 シフトレジスタ駆動回路 82 シフトレジスタ 83 エッジシフト回路 151 タイミング信号生成器 152、153 比較波形生成器 154 位相比較器 201 シフトレジスタ 202 ディレイライン

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】クロック信号を含む複数の信号を受け取り
    該複数の信号の各々に於て立ち上がりエッジ及び立ち下
    がりエッジ間の相対的なタイミングのずれを低減する第
    1のスキュー低減回路と、 該第1のスキュー低減回路から出力される複数の信号間
    で信号間のエッジのタイミングのずれを低減する第2の
    スキュー低減回路を含むことを特徴とする回路。
  2. 【請求項2】前記第1のスキュー低減回路は、 前記複数の信号の各々に対応して設けられ、対応する信
    号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジ間の相対的
    なタイミングを調整して調整された信号を出力する複数
    のエッジ調整回路と、 前記クロック信号に対応する該エッジ調整回路から出力
    される調整されたクロック信号のHIGHである期間と
    LOWである期間とが同一の長さになるように該クロッ
    ク信号に対応する該エッジ調整回路を制御すると共に、
    他のエッジ調整回路に対しても同一の制御を適用するス
    キュー測定回路を含むことを特徴とする請求項1記載の
    回路。
  3. 【請求項3】前記スキュー測定回路は、前記調整された
    クロック信号を受け取り、該調整されたクロック信号の
    HIGHである期間とLOWである期間とを比較し、両
    期間が同一の長さになるように前記クロック信号に対応
    する前記エッジ調整回路を制御すると共に、他のエッジ
    調整回路に対しても同一の制御を適用することを特徴と
    する請求項2記載の回路。
  4. 【請求項4】前記スキュー測定回路は、前記クロック信
    号を受け取り、該クロック信号の立ち上がりエッジ及び
    立ち下がりエッジ間の相対的なタイミングのずれを測定
    し、該測定の結果に基づいて前記調整されたクロック信
    号のHIGHである期間とLOWである期間とが同一の
    長さになるように前記クロック信号に対応する前記エッ
    ジ調整回路を制御すると共に、他のエッジ調整回路に対
    しても同一の制御を適用することを特徴とする請求項2
    記載の回路。
  5. 【請求項5】前記第2のスキュー低減回路は、 前記クロック信号以外の前記複数の信号の各々に対応し
    て設けられ、前記調整された信号を遅延させ遅延信号を
    出力する複数の第1の遅延回路と、 該複数の第1の遅延回路の各々に対応して設けられ、対
    応する第1の遅延回路からの該遅延信号と前記調整され
    たクロック信号との位相差を測定し、該位相差が略ゼロ
    となるように該対応する第1の遅延回路の遅延量を調整
    する信号間スキュー測定回路を含むことを特徴とする請
    求項2記載の回路。
  6. 【請求項6】前記第2のスキュー低減回路は、 前記調整されたクロック信号を所定の遅延量だけ遅延さ
    せ遅延クロック信号を出力するクロックバッファ回路
    と、 前記複数の第1の遅延回路の各々に対応して設けられ、
    該遅延クロック信号を同期信号として用いて対応する第
    1の遅延回路からの前記遅延信号をラッチするラッチ回
    路を含むことを特徴とする請求項5記載の回路。
  7. 【請求項7】前記第1のスキュー低減回路と前記第2の
    スキュー低減回路との間に設けられ、前記調整されたク
    ロック信号以外の前記調整された信号のタイミング分布
    と該調整されたクロック信号のタイミングとを接近させ
    る第3のスキュー低減回路を更に含むことを特徴とする
    請求項2記載の回路。
  8. 【請求項8】前記第3のスキュー低減回路は、 前記クロック信号以外の前記複数の信号の各々に対応し
    て設けられ、前記調整された信号を遅延させ遅延信号を
    出力する複数の第2の遅延回路と、 前記調整されたクロック信号を遅延させ遅延クロック信
    号を出力する第3の遅延回路と、 該複数の第2の遅延回路の所定の一つから出力される遅
    延信号と該遅延クロック信号との位相差が略ゼロとなる
    ように、該所定の一つの遅延量と該第3の遅延回路の遅
    延量を調整すると共に、他の第2の遅延回路に対しては
    該所定の一つの遅延量と同一の遅延量を設定するクロッ
    クスキュー測定回路を含むことを特徴とする請求項7記
    載の回路。
  9. 【請求項9】前記スキュー測定回路は、 前記調整されたクロック信号の立ち上がりエッジから立
    ち下がりエッジまでの期間を測定する第1の回路と、 該調整されたクロック信号の立ち下がりエッジから立ち
    上がりエッジまでの期間を測定する第2の回路と、 該第1の回路の測定結果と該第2の回路の測定結果とを
    比較する比較回路を含むことを特徴とする請求項3記載
    の回路。
  10. 【請求項10】前記第1の回路は第1の遅延素子列を含
    み、前記立ち上がりエッジから立ち下がりエッジまでの
    期間に該第1の遅延素子列内で信号が通過する遅延素子
    の個数によって該立ち上がりエッジから立ち下がりエッ
    ジまでの期間を測定し、前記第2の回路は第2の遅延素
    子列を含み、前記立ち下がりエッジから立ち上がりエッ
    ジまでの期間に該第2の遅延素子列内で信号が通過する
    遅延素子の個数によって該立ち下がりエッジから立ち上
    がりエッジまでの期間を測定することを特徴とする請求
    項9記載の回路。
  11. 【請求項11】前記エッジ調整回路は、 前記対応する信号を第1の遅延量遅延させて第1の遅延
    信号を生成する第3の遅延素子列と、 該対応する信号を第2の遅延量遅延させて第2の遅延信
    号を生成する第4の遅延素子列と、 該第1の遅延信号と該第2の遅延信号とを重ね合わせる
    ことで前記調整された信号を出力する回路を含むことを
    特徴とする請求項2記載の回路。
  12. 【請求項12】前記複数の信号間で前記信号間のエッジ
    のタイミングのずれを低減する際に、前記クロック信号
    の少なくとも幾つかのエッジとエッジタイミングが一致
    するキャリブレーション用の信号パターンを前記複数の
    信号として受け取ることを特徴とする請求項1記載の回
    路。
  13. 【請求項13】前記キャリブレーション用の信号パター
    ンは、複数種類の信号パターンを含むことを特徴とする
    請求項12記載の回路。
  14. 【請求項14】クロック信号を含む複数の信号を入力と
    して動作する半導体装置であって、 該複数の信号の各々に於て立ち上がりエッジ及び立ち下
    がりエッジ間の相対的なタイミングのずれを低減する第
    1のスキュー低減回路と、 該第1のスキュー低減回路から出力される複数の信号間
    で信号間のエッジのタイミングのずれを低減する第2の
    スキュー低減回路を含む入力インターフェース部を含
    み、該入力インターフェース部に於て該複数の信号の立
    ち上がり/立ち下がりスキュー及び信号間スキューが低
    減されることを特徴とする半導体装置。
  15. 【請求項15】前記第1のスキュー低減回路は、 前記複数の信号の各々に対応して設けられ、対応する信
    号の立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジ間の相対的
    なタイミングを調整して調整された信号を出力する複数
    のエッジ調整回路と、 前記クロック信号に対応する該エッジ調整回路から出力
    される調整されたクロック信号のHIGHである期間と
    LOWである期間とが同一の長さになるように該クロッ
    ク信号に対応する該エッジ調整回路を制御すると共に、
    他のエッジ調整回路に対しても同一の制御を適用するス
    キュー測定回路を含むことを特徴とする請求項14記載
    の半導体装置。
  16. 【請求項16】前記第2のスキュー低減回路は、 前記クロック信号以外の前記複数の信号の各々に対応し
    て設けられ、前記調整された信号を遅延させ遅延信号を
    出力する複数の遅延回路と、 該複数の遅延回路の各々に対応して設けられ、対応する
    遅延回路からの該遅延信号と前記調整されたクロック信
    号との位相差を測定し、該位相差が略ゼロとなるように
    該対応する遅延回路の遅延量を調整する信号間スキュー
    測定回路を含むことを特徴とする請求項15記載の半導
    体装置。
  17. 【請求項17】前記第2のスキュー低減回路は、 前記調整されたクロック信号を所定の遅延量だけ遅延さ
    せ遅延クロック信号を出力するクロックバッファ回路
    と、 前記複数の遅延回路の各々に対応して設けられ、該遅延
    クロック信号を同期信号として用いて対応する遅延回路
    からの前記遅延信号をラッチするラッチ回路を含むこと
    を特徴とする請求項16記載の半導体装置。
  18. 【請求項18】前記第1のスキュー低減回路と前記第2
    のスキュー低減回路との間に設けられ、前記調整された
    クロック信号以外の前記調整された信号のタイミング分
    布と該調整されたクロック信号のタイミングとを接近さ
    せる第3のスキュー低減回路を更に含むことを特徴とす
    る請求項15記載の半導体装置。
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