JPH10319576A - マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法と治具 - Google Patents
マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法と治具Info
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- JPH10319576A JPH10319576A JP13084097A JP13084097A JPH10319576A JP H10319576 A JPH10319576 A JP H10319576A JP 13084097 A JP13084097 A JP 13084097A JP 13084097 A JP13084097 A JP 13084097A JP H10319576 A JPH10319576 A JP H10319576A
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Abstract
(57)【要約】
【課 題】基盤上に製膜した有機質の薄膜を一旦仮枠に
取ったのちペリクル枠の一側端面に接着し、ついで枠外
側のエッジよりはみ出る薄膜を有機溶媒により切断する
マスク保護装置の製造方法において、有機溶媒による切
断時に発生した切屑による発塵を効率よく防止する。 【解決手段】切断時にペリクル枠上端面と同一レベルの
上方に位置する箇所に放出口１２を設けた治具１１を用
い、放出口１２からコート材を有機溶媒に溶解させた溶
液１９を放出して薄膜を切断すると同時に切断端面をコ
ート材でコートする。
取ったのちペリクル枠の一側端面に接着し、ついで枠外
側のエッジよりはみ出る薄膜を有機溶媒により切断する
マスク保護装置の製造方法において、有機溶媒による切
断時に発生した切屑による発塵を効率よく防止する。 【解決手段】切断時にペリクル枠上端面と同一レベルの
上方に位置する箇所に放出口１２を設けた治具１１を用
い、放出口１２からコート材を有機溶媒に溶解させた溶
液１９を放出して薄膜を切断すると同時に切断端面をコ
ート材でコートする。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、集積回路の製造工
程におけるフォトリソグラフィ工程で用いられるマスク
やレチクル（以下「マスク」という）上に塵埃等が付着
するのを防止する目的で用いられ、マスクパターンを囲
う大きさのペリクル枠と、該枠の一側端面に張設される
透明な薄膜とよりなるマスク保護装置の製造方法におい
て、ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠のエッ
ジよりはみ出る薄膜を切断する方法と、該方法で用いら
れる治具に関する。
程におけるフォトリソグラフィ工程で用いられるマスク
やレチクル（以下「マスク」という）上に塵埃等が付着
するのを防止する目的で用いられ、マスクパターンを囲
う大きさのペリクル枠と、該枠の一側端面に張設される
透明な薄膜とよりなるマスク保護装置の製造方法におい
て、ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠のエッ
ジよりはみ出る薄膜を切断する方法と、該方法で用いら
れる治具に関する。
【０００２】
【従来技術】マスク保護装置は通常、スピンコート法、
溶液中に浸漬させて引き上げる引上げ法等によってガラ
ス基盤上に製膜したニトロセルロースやエチルセルロー
ス等の有機質の薄膜を図１に示すように、ペリクル枠１
よりサイズが大きな仮枠２に一旦取り、ついで接着剤を
塗布したペリクル枠１の一側端面に仮枠２を降下させる
ことによって押し当てゝ接着したのち、ペリクル枠１の
エッジよりはみ出る薄膜３を切断することによって得ら
れる。薄膜３の切断方法には、ナイフによって切断する
方法、レーザ光によって切断する方法、熱によって切断
する方法等があるが、多くは有機溶媒によって切断する
方法、すなわち図示するように、注射針状の治具５の先
端を薄膜３に突き刺し、枠外側のエッジに沿わせて移動
させながら治具先端より有機質の薄膜３を溶解する有機
溶媒を放出することにより行う方法が用いられている
（特開昭６３−１９１６１９号）。
溶液中に浸漬させて引き上げる引上げ法等によってガラ
ス基盤上に製膜したニトロセルロースやエチルセルロー
ス等の有機質の薄膜を図１に示すように、ペリクル枠１
よりサイズが大きな仮枠２に一旦取り、ついで接着剤を
塗布したペリクル枠１の一側端面に仮枠２を降下させる
ことによって押し当てゝ接着したのち、ペリクル枠１の
エッジよりはみ出る薄膜３を切断することによって得ら
れる。薄膜３の切断方法には、ナイフによって切断する
方法、レーザ光によって切断する方法、熱によって切断
する方法等があるが、多くは有機溶媒によって切断する
方法、すなわち図示するように、注射針状の治具５の先
端を薄膜３に突き刺し、枠外側のエッジに沿わせて移動
させながら治具先端より有機質の薄膜３を溶解する有機
溶媒を放出することにより行う方法が用いられている
（特開昭６３−１９１６１９号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述するいづれの方法
による場合でも切断端面に切屑が付着しがちで、マスク
への装着時にこの切屑が脱落して発塵の原因となること
がある。そこで従来は、切断端面を溶媒で拭き取って仕
上げたり、両面粘着テープを用いて切屑を除去していた
が、切断後に切断端面の仕上げ工程や切屑の除去工程が
必要で、切屑を完全に除去するのも困難であった。
による場合でも切断端面に切屑が付着しがちで、マスク
への装着時にこの切屑が脱落して発塵の原因となること
がある。そこで従来は、切断端面を溶媒で拭き取って仕
上げたり、両面粘着テープを用いて切屑を除去していた
が、切断後に切断端面の仕上げ工程や切屑の除去工程が
必要で、切屑を完全に除去するのも困難であった。
【０００４】また図２に示すように、薄膜３を突き刺し
た治具先端より放出される有機溶媒４は枠外側のエッジ
と治具先端との間を毛細管現象によって上昇し、薄膜３
に達して該膜を溶解し切断するが、有機溶媒が毛細管現
象によって薄膜に達するまでに時間がかゝり、有機溶媒
の放出量を多くすると、枠外側面に垂れがちで、枠外側
面に垂れると染みとなって残り、染み除去作業が必要と
なる。
た治具先端より放出される有機溶媒４は枠外側のエッジ
と治具先端との間を毛細管現象によって上昇し、薄膜３
に達して該膜を溶解し切断するが、有機溶媒が毛細管現
象によって薄膜に達するまでに時間がかゝり、有機溶媒
の放出量を多くすると、枠外側面に垂れがちで、枠外側
面に垂れると染みとなって残り、染み除去作業が必要と
なる。
【０００５】本発明の第１の目的は、発塵の原因となる
切屑を生ずることがない薄膜の切断方法を提供しようと
するものであり、第２の目的は少量の有機溶媒でも薄膜
の切断を迅速かつ確実に行って生産性を向上させること
ができる切断方法を提供しようとするものである。更に
第３の目的は、上記各方法で用いられる治具を提供しよ
うとするものである。
切屑を生ずることがない薄膜の切断方法を提供しようと
するものであり、第２の目的は少量の有機溶媒でも薄膜
の切断を迅速かつ確実に行って生産性を向上させること
ができる切断方法を提供しようとするものである。更に
第３の目的は、上記各方法で用いられる治具を提供しよ
うとするものである。
【０００６】
【課題の解決手段】第１の目的を達成するための発明
は、治具よりコート材を有機溶媒に溶解させた溶液（本
明細書では、これをコート材の溶液という）を放出して
切断しながら切断端面をコーティングするようにしたも
ので、基盤上に製膜した有機質の薄膜を一旦仮枠に取っ
たのち、ペリクル枠の一側端面に接着し、ついで枠外側
のエッジよりはみ出る薄膜をエッジに沿わせて移動する
治具より放出するコート材の溶液で切断しながらコート
することを特徴とする。
は、治具よりコート材を有機溶媒に溶解させた溶液（本
明細書では、これをコート材の溶液という）を放出して
切断しながら切断端面をコーティングするようにしたも
ので、基盤上に製膜した有機質の薄膜を一旦仮枠に取っ
たのち、ペリクル枠の一側端面に接着し、ついで枠外側
のエッジよりはみ出る薄膜をエッジに沿わせて移動する
治具より放出するコート材の溶液で切断しながらコート
することを特徴とする。
【０００７】本発明で用いられるコート材は、有機溶媒
に溶解することのできる樹脂であり、こうした樹脂とし
ては例えば、セルロース誘導体、シリコン系樹脂、エポ
キシ系樹脂、アクリル系樹脂、フッ素含有樹脂等を例示
することができ、セルロース誘導体としては、ニトロセ
ルロース、プロピオン酸セルロース等を例示することが
できる。フッソ含有樹脂としては具体的には、旭硝子株
式会社製のＣＹＴＯＰ（商品名）、テフロンＡＦ（商品
名）を例示することができる。いづれにしてもコート材
は薄膜の膜材と同じか、或いは類似のものを用いるのが
よい。
に溶解することのできる樹脂であり、こうした樹脂とし
ては例えば、セルロース誘導体、シリコン系樹脂、エポ
キシ系樹脂、アクリル系樹脂、フッ素含有樹脂等を例示
することができ、セルロース誘導体としては、ニトロセ
ルロース、プロピオン酸セルロース等を例示することが
できる。フッソ含有樹脂としては具体的には、旭硝子株
式会社製のＣＹＴＯＰ（商品名）、テフロンＡＦ（商品
名）を例示することができる。いづれにしてもコート材
は薄膜の膜材と同じか、或いは類似のものを用いるのが
よい。
【０００８】有機溶媒としては、例えばフルオロカーボ
ンである旭硝子株式会社製のＣＴ−１００（商品名）、
ＣＴ−１３０（商品名）、ＣＴ−１６０（商品名）、Ｃ
Ｔ−１８０（商品名）、トーケムプロダクツ社製のＥＦ
−Ｌ１０２（商品名）、ＥＦ−Ｌ１５５（商品名）、Ｅ
Ｆ−Ｌ１７４（商品名）、ＥＦ−Ｌ２１５（商品名）、
トクヤマ株式会社製のＩＬ−２６０（商品名）、ＩＬ−
２６３等（商品名）を例示することができる。
ンである旭硝子株式会社製のＣＴ−１００（商品名）、
ＣＴ−１３０（商品名）、ＣＴ−１６０（商品名）、Ｃ
Ｔ−１８０（商品名）、トーケムプロダクツ社製のＥＦ
−Ｌ１０２（商品名）、ＥＦ−Ｌ１５５（商品名）、Ｅ
Ｆ−Ｌ１７４（商品名）、ＥＦ−Ｌ２１５（商品名）、
トクヤマ株式会社製のＩＬ−２６０（商品名）、ＩＬ−
２６３等（商品名）を例示することができる。
【０００９】有機溶媒としてはまた、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、アセトン等のケトン系溶
媒、酢酸ブチル、酢酸イソブチル等の低級脂肪酸エステ
ルを例示することができ、またケトン又はエステルとイ
ソプロピルアルコールの混合溶媒を使用することもでき
る。有機溶媒に対するコート材の使用割合は、有機溶媒
１００重量部に対してコート材は通常１〜２０重量部、
好ましくは２〜９重量部である。
ン、メチルイソブチルケトン、アセトン等のケトン系溶
媒、酢酸ブチル、酢酸イソブチル等の低級脂肪酸エステ
ルを例示することができ、またケトン又はエステルとイ
ソプロピルアルコールの混合溶媒を使用することもでき
る。有機溶媒に対するコート材の使用割合は、有機溶媒
１００重量部に対してコート材は通常１〜２０重量部、
好ましくは２〜９重量部である。
【００１０】第２の目的を達成するための発明は、基盤
上に製膜した有機質の薄膜を一旦仮枠に取ったのち、ペ
リクル枠の一側端面に接着し、ついで枠外側のエッジよ
りはみ出る薄膜に治具の先端を一定量突き刺し、エッジ
に沿わせて移動させながら治具の薄膜に接する箇所、或
いはその直上より有機溶媒を放出して薄膜を切断するこ
とを特徴とする。
上に製膜した有機質の薄膜を一旦仮枠に取ったのち、ペ
リクル枠の一側端面に接着し、ついで枠外側のエッジよ
りはみ出る薄膜に治具の先端を一定量突き刺し、エッジ
に沿わせて移動させながら治具の薄膜に接する箇所、或
いはその直上より有機溶媒を放出して薄膜を切断するこ
とを特徴とする。
【００１１】本発明によると、治具より放出された有機
溶媒が直ちに、或いは短時間で薄膜に接し、薄膜を切断
するための切断が短時間で行える。本発明の方法と同
様、上述する第１の目的を達成するための発明における
コート材の溶液も薄膜に接する箇所、或いはその上方よ
り放出するのが望ましい。コート材の溶液は粘度が高
く、毛細管現象では薄膜に達しないか、達するにしても
長い時間がかゝるが、薄膜に接する箇所或いはその上方
より放出させると、粘度の高いコート材の溶液であって
も薄膜に直ちに或いは短時間で確実に接触し、薄膜の切
断と共にコートを行えるようになる。
溶媒が直ちに、或いは短時間で薄膜に接し、薄膜を切断
するための切断が短時間で行える。本発明の方法と同
様、上述する第１の目的を達成するための発明における
コート材の溶液も薄膜に接する箇所、或いはその上方よ
り放出するのが望ましい。コート材の溶液は粘度が高
く、毛細管現象では薄膜に達しないか、達するにしても
長い時間がかゝるが、薄膜に接する箇所或いはその上方
より放出させると、粘度の高いコート材の溶液であって
も薄膜に直ちに或いは短時間で確実に接触し、薄膜の切
断と共にコートを行えるようになる。
【００１２】第３の目的を達成するための発明は、上記
第１或いは第２の発明で用いる治具であって、薄膜を一
定量突き刺して切断するとき、エッジ上端と同一レベル
或いはその上方の箇所に有機溶媒、又はコート材の溶液
の放出口を設けたことを特徴とする。
第１或いは第２の発明で用いる治具であって、薄膜を一
定量突き刺して切断するとき、エッジ上端と同一レベル
或いはその上方の箇所に有機溶媒、又はコート材の溶液
の放出口を設けたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】図３に示す治具１１は、先端部の
角度を二段に絞り（複数段に絞ってもよいし、湾曲状に
形成してもよい）、薄膜３を突き刺して一定量降下し、
切断するときにおけるペリクル枠１上端面と同一レベル
の箇所の直上に放出口１２を設けたものであり、図４は
断面が矢印状をなす治具１４の図３に示す放出口１２と
同じレベルに放出口１５を設けたもので、各放出口１２
及び１５は好ましくは、薄膜３に極力近付けて設けら
れ、より好ましくは薄膜３に接する箇所に設けられる。
角度を二段に絞り（複数段に絞ってもよいし、湾曲状に
形成してもよい）、薄膜３を突き刺して一定量降下し、
切断するときにおけるペリクル枠１上端面と同一レベル
の箇所の直上に放出口１２を設けたものであり、図４は
断面が矢印状をなす治具１４の図３に示す放出口１２と
同じレベルに放出口１５を設けたもので、各放出口１２
及び１５は好ましくは、薄膜３に極力近付けて設けら
れ、より好ましくは薄膜３に接する箇所に設けられる。
【００１４】図５は、断面がホームベース形をなす治具
１７の図３に示す放出口１２と同じレベルに放出口１８
を設けた例を示すものであり、図６は放出口１８を治具
１７の上部に設けた例を示すものである。基盤上に製膜
した有機質の薄膜を仮枠に取り、ペリクル枠１の一側端
面に接着後、枠外側のエッジよりはみ出る薄膜３を上記
治具１１、１４或いは１７を用いて切断するときには、
図３〜図６に示すようにコート材の溶液１９を放出口１
２、１５或いは１８より放出しながら治具１１、１４或
いは１７をエッジに沿わせて移動させ、薄膜３の切断と
共に切断面のコートを行う。これにより切屑がコート材
で固められ、切屑の脱落による発塵を防止することがで
きると共に、薄膜の切断面が露出することがないため、
切屑や切断面からの発塵を生ずることがなく、また切断
とコートが同時に行われるため、作業能率がよくなり生
産性が向上する。
１７の図３に示す放出口１２と同じレベルに放出口１８
を設けた例を示すものであり、図６は放出口１８を治具
１７の上部に設けた例を示すものである。基盤上に製膜
した有機質の薄膜を仮枠に取り、ペリクル枠１の一側端
面に接着後、枠外側のエッジよりはみ出る薄膜３を上記
治具１１、１４或いは１７を用いて切断するときには、
図３〜図６に示すようにコート材の溶液１９を放出口１
２、１５或いは１８より放出しながら治具１１、１４或
いは１７をエッジに沿わせて移動させ、薄膜３の切断と
共に切断面のコートを行う。これにより切屑がコート材
で固められ、切屑の脱落による発塵を防止することがで
きると共に、薄膜の切断面が露出することがないため、
切屑や切断面からの発塵を生ずることがなく、また切断
とコートが同時に行われるため、作業能率がよくなり生
産性が向上する。
【００１５】
【発明の効果】請求項１記載の発明によると、薄膜の切
断と共に切断面のコートが行われ、切屑がコート材で固
められるため、切屑の脱落による発塵を防止することが
できるうえ、切断とコートが同時に行われるため、作業
能率がよくなり生産性が向上する。
断と共に切断面のコートが行われ、切屑がコート材で固
められるため、切屑の脱落による発塵を防止することが
できるうえ、切断とコートが同時に行われるため、作業
能率がよくなり生産性が向上する。
【００１６】請求項２記載の発明によると、有機溶媒の
放出量が少なくても、また溶媒で溶融しにくい薄膜であ
っても切れ味よく迅速かつ確実に切断が行える。請求項
３記載の発明によると、粘性の高いコート材の溶液であ
っても、切断及びコートを迅速かつ確実に行うことがで
きる。請求項４記載の発明に係わる治具を用いることに
より、上述する請求項２又は３記載の発明の効果を奏す
ることができる。
放出量が少なくても、また溶媒で溶融しにくい薄膜であ
っても切れ味よく迅速かつ確実に切断が行える。請求項
３記載の発明によると、粘性の高いコート材の溶液であ
っても、切断及びコートを迅速かつ確実に行うことがで
きる。請求項４記載の発明に係わる治具を用いることに
より、上述する請求項２又は３記載の発明の効果を奏す
ることができる。
【図１】仮枠に取った薄膜をペリクル枠に張設後、切断
するときの状態を示す概略断面図。
するときの状態を示す概略断面図。
【図２】従来例の要部拡大断面図。
【図３】本発明に係わる治具の拡大図。
【図４】本発明に係わる別の治具の拡大図。
【図５】本発明に係わる更に別の治具の拡大図。
【図６】本発明に係わる更に別の治具の拡大図。
１・・ペリクル枠 ２・・仮枠 ３・・薄膜 ４・・有機溶媒 ５、１１、１４、１７・・治具 １２、１５、１８・・抽出口 １９・・混合液
Claims (4)
- 【請求項１】基盤上に製膜した有機質の薄膜を一旦仮枠
に取ったのち、ペリクル枠の一側端面に接着し、ついで
枠外側のエッジよりはみ出る薄膜をエッジに沿わせて移
動する治具より放出するコート材の溶液で切断しながら
コートすることを特徴とするマスク保護装置の製造方法
における薄膜の切断方法。 - 【請求項２】コート材の溶液が切断時に治具の薄膜に接
する箇所或いはその上方より放出される請求項１記載の
マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法。 - 【請求項３】基盤上に製膜した有機質の薄膜を一旦仮枠
に取ったのち、ペリクル枠の一側端面に接着し、ついで
枠外側のエッジよりはみ出る薄膜に治具の先端を一定量
突き刺し、エッジに沿わせて移動させながら治具の薄膜
に接する箇所、或いはその直上より有機溶媒を放出して
薄膜を切断することを特徴とするマスク保護装置の製造
方法における薄膜の切断方法。 - 【請求項４】薄膜を一定量突き刺して切断するとき、エ
ッジ上端と同一レベル或いはその上方の箇所に有機溶
媒、又はコート材の溶液の放出口を設けたことを特徴と
する請求項２又は３記載の切断方法で用いる治具。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13084097A JPH10319576A (ja) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法と治具 |
| KR1019990704789A KR20000057324A (ko) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | 펠리클의 제조 방법 및 펠리클 제조용 지그 |
| TW086118957A TW366438B (en) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | Process for manufacturing pellicle and jig for manufacturing pellicle |
| PCT/JP1997/004640 WO1998027460A1 (fr) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | Procede de production de pellicule et gabarit correspondant |
| MYPI97006049A MY132704A (en) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | A method of manufacturing a pellicle and a jig for manufacturing a pellicle |
| EP97947962A EP0945761B1 (en) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | Method of manufacturing a pellicle and pellicle manufacturing trimming jig |
| DE69739840T DE69739840D1 (de) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | Verfahren zur herstellung einer membranabdeckung und eine in diesem verfahren eingesetzte vorrichtung zum beschneiden der membrane |
| US09/331,015 US6335126B1 (en) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | Method of manufacturing a pellicle |
| CA002274972A CA2274972A1 (en) | 1996-12-16 | 1997-12-16 | Method of manufacturing pellicle and pellicle manufacturing jig |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13084097A JPH10319576A (ja) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法と治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10319576A true JPH10319576A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15043937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13084097A Pending JPH10319576A (ja) | 1996-12-16 | 1997-05-21 | マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法と治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10319576A (ja) |
-
1997
- 1997-05-21 JP JP13084097A patent/JPH10319576A/ja active Pending
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