JPH05303194A - ペリクルおよびその製造方法 - Google Patents
ペリクルおよびその製造方法Info
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- JPH05303194A JPH05303194A JP13141492A JP13141492A JPH05303194A JP H05303194 A JPH05303194 A JP H05303194A JP 13141492 A JP13141492 A JP 13141492A JP 13141492 A JP13141492 A JP 13141492A JP H05303194 A JPH05303194 A JP H05303194A
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- JP
- Japan
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- pellicle
- pellicle film
- solvent
- dropped
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来のペリクル膜の切断法で発生していた異
物の発生や溶剤によるペリクル膜の溶解、シミ、クモリ
などの発生のない高品質なペリクルとそのペリクルの製
造方法を提供する。 【構成】 ペリクル膜とペリクル枠との接着部外側端部
より外側に余分にはみ出したペリクル膜が存在せず、か
つ、接着部外側端部付近のペリクル膜にシミやくもりの
ないペリクル及びそのペリクルの製造方法。
物の発生や溶剤によるペリクル膜の溶解、シミ、クモリ
などの発生のない高品質なペリクルとそのペリクルの製
造方法を提供する。 【構成】 ペリクル膜とペリクル枠との接着部外側端部
より外側に余分にはみ出したペリクル膜が存在せず、か
つ、接着部外側端部付近のペリクル膜にシミやくもりの
ないペリクル及びそのペリクルの製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフォトレジストやレチク
ル（以下単にマスクという）の保護、防塵の目的で使用
されるペリクルおよびそのペリクルの製造方法に関する
ものである。
ル（以下単にマスクという）の保護、防塵の目的で使用
されるペリクルおよびそのペリクルの製造方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の半導体集積回路の高密度化に伴
い、マスクの保護や微少異物の付着防止が生産される回
路の生産歩留りを決定する重要な因子となっており、マ
スクへのペリクルの装着が盛んになりつつある。
い、マスクの保護や微少異物の付着防止が生産される回
路の生産歩留りを決定する重要な因子となっており、マ
スクへのペリクルの装着が盛んになりつつある。
【０００３】ペリクルは、通常、基板上にスピンコート
法等によって製膜したペリクル膜を剥離してペリクル枠
の一端面に固着し、その後ペリクル枠の外側の余分な膜
をペリクル枠の外側端部に沿って切断することによって
得られる。
法等によって製膜したペリクル膜を剥離してペリクル枠
の一端面に固着し、その後ペリクル枠の外側の余分な膜
をペリクル枠の外側端部に沿って切断することによって
得られる。
【０００４】このペリクル膜の切断方法としては、従
来、カッタ−ナイフやレーザーなどによる切断が用いら
れている。
来、カッタ−ナイフやレーザーなどによる切断が用いら
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、いずれ
の方法においても、その切断の際に切り屑や焦げ屑が発
生して製造されたペリクルがこれらの異物で汚染される
問題が発生したり、接着面外周縁部より外側に余分なペ
リクル膜が残存してこれがペリクルのハンドリング中に
欠け落ちるなどして異物の発生源となったり、これら物
理的に破壊切断された切断面からペリクルのハンドリン
グ中などに異物が発生したりする問題があった。
の方法においても、その切断の際に切り屑や焦げ屑が発
生して製造されたペリクルがこれらの異物で汚染される
問題が発生したり、接着面外周縁部より外側に余分なペ
リクル膜が残存してこれがペリクルのハンドリング中に
欠け落ちるなどして異物の発生源となったり、これら物
理的に破壊切断された切断面からペリクルのハンドリン
グ中などに異物が発生したりする問題があった。
【０００６】そのため、これらの問題を解決する方法と
して有機溶媒を注出している針をペリクル枠外側に沿っ
て移動させることによりペリクル膜を接着面外側端部で
溶解切断する方法（特開昭６３−１９１６１９号）が提
案されている。
して有機溶媒を注出している針をペリクル枠外側に沿っ
て移動させることによりペリクル膜を接着面外側端部で
溶解切断する方法（特開昭６３−１９１６１９号）が提
案されている。
【０００７】この方法によれば、ペリクル膜を溶剤で溶
解しながら切断するため、上記した余分なペリクル膜の
残存や異物発生の問題については解決することができ
る。
解しながら切断するため、上記した余分なペリクル膜の
残存や異物発生の問題については解決することができ
る。
【０００８】しかしながら、この方法では溶剤を比較的
多く使用することとなる結果、必要以上の部分のペリク
ル膜が溶解したり、ペリクル膜やペリクル枠上への溶剤
蒸気の接触や溶剤の飛びはね、染みだし、流れ落ちなど
によるシミやくもりが発生し易い欠点を有していた。
多く使用することとなる結果、必要以上の部分のペリク
ル膜が溶解したり、ペリクル膜やペリクル枠上への溶剤
蒸気の接触や溶剤の飛びはね、染みだし、流れ落ちなど
によるシミやくもりが発生し易い欠点を有していた。
【０００９】本発明は以上のような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的は、従来のペリクル膜の切断
法で発生していた異物の発生や溶剤によるペリクル膜の
溶解、シミ、クモリなどの発生のない高品質なペリクル
とそのペリクルの製造方法を提供することにある。
れたものであり、その目的は、従来のペリクル膜の切断
法で発生していた異物の発生や溶剤によるペリクル膜の
溶解、シミ、クモリなどの発生のない高品質なペリクル
とそのペリクルの製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の課題
を解決するために種々検討を重ねた結果、ペリクル膜を
溶解することのできる有機溶剤をスポット状に切断前の
ペリクル枠の接着面外側端部の数か所ないし数十か所に
滴下することにより、滴下した溶剤を毛細管現象を利用
してペリクル枠の接着面外周縁部全体ににじませること
でペリクル膜を溶解させ、接着面外側端部でペリクル膜
を切断することができ、かつこの方法によれば使用する
有機溶剤を必要最小限に抑えることができるため、溶剤
によるペリクル膜の必要以上の溶解、シミ、クモリなど
の発生を低減できて製造できることを見出し本発明を完
成するに至ったものである。
を解決するために種々検討を重ねた結果、ペリクル膜を
溶解することのできる有機溶剤をスポット状に切断前の
ペリクル枠の接着面外側端部の数か所ないし数十か所に
滴下することにより、滴下した溶剤を毛細管現象を利用
してペリクル枠の接着面外周縁部全体ににじませること
でペリクル膜を溶解させ、接着面外側端部でペリクル膜
を切断することができ、かつこの方法によれば使用する
有機溶剤を必要最小限に抑えることができるため、溶剤
によるペリクル膜の必要以上の溶解、シミ、クモリなど
の発生を低減できて製造できることを見出し本発明を完
成するに至ったものである。
【００１１】以下、本発明について詳細に説明する。
【００１２】本発明のペリクルの製造方法におけるペリ
クル枠の外側にはみ出した余分なペリクル膜を切断する
方法は、ペリクル膜を溶解することのできる有機溶剤を
スポット状に切断前のペリクル枠の接着面外側端部に滴
下し、滴下した溶剤を毛細管現象を利用してペリクル枠
の接着面外周縁部全体ににじませることでペリクル膜を
接着面外側端部で溶解切断させる方法である。
クル枠の外側にはみ出した余分なペリクル膜を切断する
方法は、ペリクル膜を溶解することのできる有機溶剤を
スポット状に切断前のペリクル枠の接着面外側端部に滴
下し、滴下した溶剤を毛細管現象を利用してペリクル枠
の接着面外周縁部全体ににじませることでペリクル膜を
接着面外側端部で溶解切断させる方法である。
【００１３】本発明において用いられるペリクル膜を切
断するための有機溶剤としては特に限定するものではな
く、例えば、ペリクル膜がニトロセルロースよりなるも
のである場合は、アセトン、メチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、乳酸エチルがあげられ、また、ペ
リクル膜がポリビニルアセタール樹脂よるなるものであ
る場合には、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセ
テート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジオ
キサン、キシレン、ベンゼンがあげられる。なお、有機
溶媒としては、ペリクル膜を室温で容易に溶解できるも
のであり、粘度が２ｃｐｓ以下、２５℃の蒸気圧が５ｍ
ｍＨｇ以下、沸点が１６０℃以下のものであることが好
ましい。粘度が２ｃｐｓを超える場合や２５℃の蒸気圧
が５ｍｍＨｇを超える場合には、有機溶剤が毛細管現象
を利用してうまく接着面外周縁部に浸透しなかったり、
浸透する間に揮発してしまい、いずれも少量の有機溶剤
のスポット状滴下で有効にペリクル膜を切断できない問
題を有するものであり、一方、沸点が１６０℃を超える
場合には使用した有機溶剤がペリクル膜の接着面周縁部
に残存してシミや白濁を発生するおそれがありそれぞれ
好ましくない。
断するための有機溶剤としては特に限定するものではな
く、例えば、ペリクル膜がニトロセルロースよりなるも
のである場合は、アセトン、メチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、乳酸エチルがあげられ、また、ペ
リクル膜がポリビニルアセタール樹脂よるなるものであ
る場合には、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセ
テート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジオ
キサン、キシレン、ベンゼンがあげられる。なお、有機
溶媒としては、ペリクル膜を室温で容易に溶解できるも
のであり、粘度が２ｃｐｓ以下、２５℃の蒸気圧が５ｍ
ｍＨｇ以下、沸点が１６０℃以下のものであることが好
ましい。粘度が２ｃｐｓを超える場合や２５℃の蒸気圧
が５ｍｍＨｇを超える場合には、有機溶剤が毛細管現象
を利用してうまく接着面外周縁部に浸透しなかったり、
浸透する間に揮発してしまい、いずれも少量の有機溶剤
のスポット状滴下で有効にペリクル膜を切断できない問
題を有するものであり、一方、沸点が１６０℃を超える
場合には使用した有機溶剤がペリクル膜の接着面周縁部
に残存してシミや白濁を発生するおそれがありそれぞれ
好ましくない。
【００１４】本発明におけるペリクル膜を切断するため
の有機溶剤の滴下量は特に限定するものではないが、滴
下する部位一箇所につき５〜１００μｌが好ましい。一
箇所に滴下する滴下量が５μｌ未満の場合には、その周
辺の接着面外側端部のペリクル膜をほとんど切断するこ
とができず、１００μｌを超える場合は切断に要する必
要量以上の有機溶剤が滴下した箇所に残存し、ペリクル
膜のシミや白濁の原因になるおそれがあるため好ましく
ない。
の有機溶剤の滴下量は特に限定するものではないが、滴
下する部位一箇所につき５〜１００μｌが好ましい。一
箇所に滴下する滴下量が５μｌ未満の場合には、その周
辺の接着面外側端部のペリクル膜をほとんど切断するこ
とができず、１００μｌを超える場合は切断に要する必
要量以上の有機溶剤が滴下した箇所に残存し、ペリクル
膜のシミや白濁の原因になるおそれがあるため好ましく
ない。
【００１５】また、有機溶媒を滴下する箇所については
特に限定するものではないが、接着面外周縁上にそれぞ
れの滴下箇所の間隔が全て均等になるように４〜２０箇
所滴下することが好ましい。これにより、滴下した溶剤
が毛細管現象を利用してペリクル枠の接着面外周縁部全
体ににじませることでペリクル膜を溶解させ、ペリクル
の全周縁部を溶解切断することができる。
特に限定するものではないが、接着面外周縁上にそれぞ
れの滴下箇所の間隔が全て均等になるように４〜２０箇
所滴下することが好ましい。これにより、滴下した溶剤
が毛細管現象を利用してペリクル枠の接着面外周縁部全
体ににじませることでペリクル膜を溶解させ、ペリクル
の全周縁部を溶解切断することができる。
【００１６】本発明における有機溶剤の滴下方法として
は、有機溶剤を所定の箇所に所定の量だけスポット状に
滴下する方法であり、これは、マイクロピペット、マイ
クロシリンジ、ディスペンサーなどを使用して滴下すれ
ばよい。
は、有機溶剤を所定の箇所に所定の量だけスポット状に
滴下する方法であり、これは、マイクロピペット、マイ
クロシリンジ、ディスペンサーなどを使用して滴下すれ
ばよい。
【００１７】以下、本発明を図面を用いてさらに詳細に
説明する。
説明する。
【００１８】図１において、１はペリクル膜、２はペリ
クル枠、３は接着剤、４はマイクロシリンジ、５は溶剤
吐出部を示す。この図１は、有機溶剤を滴下する方法の
うち、ペリクル枠２に固着したペリクル膜１の上方から
接着部外側端部のペリクル膜１上のＡに滴下する方法に
ついて示した図である。このようにペリクル膜１の上方
からマイクロシリンジ４を近付けて溶剤吐出部５から有
機溶剤を滴下し、滴下する箇所を、例えば、図２に示す
位置Ｃの計８箇所とするときにも、滴下した溶剤は滴下
部のペリクル膜Ａを一旦溶解してペリクル膜の裏側にあ
たるコーナー部Ｂへ回り込み、この部分での毛細管現象
によって滴下部から周囲のコーナー部へと溶剤の浸み込
む現象が発生し、滴下した箇所の周辺の接着部外側端部
でペリクル膜を切断することができる。
クル枠、３は接着剤、４はマイクロシリンジ、５は溶剤
吐出部を示す。この図１は、有機溶剤を滴下する方法の
うち、ペリクル枠２に固着したペリクル膜１の上方から
接着部外側端部のペリクル膜１上のＡに滴下する方法に
ついて示した図である。このようにペリクル膜１の上方
からマイクロシリンジ４を近付けて溶剤吐出部５から有
機溶剤を滴下し、滴下する箇所を、例えば、図２に示す
位置Ｃの計８箇所とするときにも、滴下した溶剤は滴下
部のペリクル膜Ａを一旦溶解してペリクル膜の裏側にあ
たるコーナー部Ｂへ回り込み、この部分での毛細管現象
によって滴下部から周囲のコーナー部へと溶剤の浸み込
む現象が発生し、滴下した箇所の周辺の接着部外側端部
でペリクル膜を切断することができる。
【００１９】図３は有機溶剤を滴下する方法のうち、ペ
リクル枠２に固着したペリクル膜１の斜め下方から接着
面外側端部のコーナー部Ｂに直接有機溶剤を滴下する方
法について示した図である。このようにペリクル膜１の
斜め下方から滴下した場合にも、同様に毛細管現象によ
りペリクル膜を切断することができ、しかも、この場合
には枠の内側のペリクル膜に溶剤が飛び跳ねたり、にじ
んだりすることがなく、接着部付近のペリクル膜にシ
ミ、白濁の発生がさらに生じにくいものである。
リクル枠２に固着したペリクル膜１の斜め下方から接着
面外側端部のコーナー部Ｂに直接有機溶剤を滴下する方
法について示した図である。このようにペリクル膜１の
斜め下方から滴下した場合にも、同様に毛細管現象によ
りペリクル膜を切断することができ、しかも、この場合
には枠の内側のペリクル膜に溶剤が飛び跳ねたり、にじ
んだりすることがなく、接着部付近のペリクル膜にシ
ミ、白濁の発生がさらに生じにくいものである。
【００２０】
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
【００２１】実施例１ 正方形のペリクル枠（一片１０５ｍｍ）の接着面部分に
紫外線硬化型樹脂を塗布し、別に用意しておいたニトロ
セルロースからなるペリクル膜を緊張状態に保持した状
態でこのペリクル枠上に載せた。この状態で紫外線を接
着面に照射して紫外線硬化型樹脂を硬化させペリクル膜
をペリクル枠に固着した。
紫外線硬化型樹脂を塗布し、別に用意しておいたニトロ
セルロースからなるペリクル膜を緊張状態に保持した状
態でこのペリクル枠上に載せた。この状態で紫外線を接
着面に照射して紫外線硬化型樹脂を硬化させペリクル膜
をペリクル枠に固着した。
【００２２】このペリクル枠の接着部外側端部の余分な
ペリクル膜について、図１に示す方法により、ペリクル
膜１の上方からマイクロシリンジ４を近付け、溶剤吐出
部５から有機溶剤としてメチルイソブチルケトンを一箇
所につき１０μｌ使用し、滴下する箇所は図２に示す位
置Ｃに計８箇所滴下したところ、このペリクル膜を全周
切断することができた。また、このようにして得られた
ペリクルにおいては、その接着部外側端部付近の顕微鏡
観察の結果、接着部外側端部よりはみだした余分なペリ
クル膜が存在しなく、また接着部外側端部付近のペリク
ル膜にシミや白濁が一切認められなかった。
ペリクル膜について、図１に示す方法により、ペリクル
膜１の上方からマイクロシリンジ４を近付け、溶剤吐出
部５から有機溶剤としてメチルイソブチルケトンを一箇
所につき１０μｌ使用し、滴下する箇所は図２に示す位
置Ｃに計８箇所滴下したところ、このペリクル膜を全周
切断することができた。また、このようにして得られた
ペリクルにおいては、その接着部外側端部付近の顕微鏡
観察の結果、接着部外側端部よりはみだした余分なペリ
クル膜が存在しなく、また接着部外側端部付近のペリク
ル膜にシミや白濁が一切認められなかった。
【００２３】実施例２ 実施例１と同様にしてペリクル膜をペリクル枠に固着
し、このペリクル枠の接着部外側端部の余分なペリクル
膜について、図３に示す方法により、ペリクル膜１の斜
め下方からマイクロシリンジ４を近付け、溶剤吐出部５
から有機溶剤としてメチルイソブチルケトンを一箇所に
つき８μｌ使用し、滴下する箇所は図４に示す位置Ｄに
計１６箇所滴下したところ、このペリクル膜を全周切断
することができた。また、このようにして得られたペリ
クルにおいては、その接着部外側端部付近の顕微鏡観察
の結果、接着部外側端部よりはみだした余分なペリクル
膜が存在しなく、また接着部外側端部付近のペリクル膜
にシミや白濁が一切認められなかった。
し、このペリクル枠の接着部外側端部の余分なペリクル
膜について、図３に示す方法により、ペリクル膜１の斜
め下方からマイクロシリンジ４を近付け、溶剤吐出部５
から有機溶剤としてメチルイソブチルケトンを一箇所に
つき８μｌ使用し、滴下する箇所は図４に示す位置Ｄに
計１６箇所滴下したところ、このペリクル膜を全周切断
することができた。また、このようにして得られたペリ
クルにおいては、その接着部外側端部付近の顕微鏡観察
の結果、接着部外側端部よりはみだした余分なペリクル
膜が存在しなく、また接着部外側端部付近のペリクル膜
にシミや白濁が一切認められなかった。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、従来のペリクル膜切断方法で発生していた異物の
発生や有機溶剤の飛びはね、蒸発などによるペリクル膜
の溶解、シミ、クモリなどの発生がなく、高品質なペリ
クルを提供することができる効果を有するものである。
れば、従来のペリクル膜切断方法で発生していた異物の
発生や有機溶剤の飛びはね、蒸発などによるペリクル膜
の溶解、シミ、クモリなどの発生がなく、高品質なペリ
クルを提供することができる効果を有するものである。
【図１】ペリクル膜の上面から溶剤を滴下してペリクル
膜を切断する方法を説明する断面図である。
膜を切断する方法を説明する断面図である。
【図２】ペリクル膜の切断方法における溶剤の滴下位置
を示す平面図であり、Ｃで示された位置がその滴下位置
である。
を示す平面図であり、Ｃで示された位置がその滴下位置
である。
【図３】ペリクル膜の斜め下方から溶剤を滴下してペリ
クル膜を切断する方法を説明する断面図である。
クル膜を切断する方法を説明する断面図である。
【図４】ペリクル膜の切断方法における溶剤の滴下位置
を示す平面図であり、Ｄで示された位置がその滴下位置
である。
を示す平面図であり、Ｄで示された位置がその滴下位置
である。
１ ペリクル膜 ２ ペリクル枠 ３ 接着剤 ４ マイクロシリンジ ５ 溶剤吐出部
Claims (2)
- 【請求項１】 ペリクル膜とペリクル枠との接着部外側
端部より外側に余分にはみ出したペリクル膜が存在せ
ず、かつ、接着部外側端部付近のペリクル膜にシミやく
もりのないことを特徴とするペリクル。 - 【請求項２】 ペリクル枠にペリクル膜を固着した後、
ペリクル枠の外側にはみ出した余分なペリクル膜を切断
する工程において、ペリクル膜を溶解することのできる
有機溶剤をスポット状に切断前のペリクル枠の接着面外
周縁部に滴下し、滴下した溶剤を毛細管現象を利用して
ペリクル枠の接着面外周縁部全体ににじませてペリクル
膜を溶解させ、接着部外側端部でペリクル膜を切断する
ことを特徴とする請求項１記載のペリクルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13141492A JPH05303194A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | ペリクルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13141492A JPH05303194A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | ペリクルおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05303194A true JPH05303194A (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=15057417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13141492A Pending JPH05303194A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | ペリクルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05303194A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0945761A1 (en) * | 1996-12-16 | 1999-09-29 | Mitsui Chemicals, Inc. | Method of manufacturing pellicle and pellicle manufacturing jig |
-
1992
- 1992-04-27 JP JP13141492A patent/JPH05303194A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0945761A1 (en) * | 1996-12-16 | 1999-09-29 | Mitsui Chemicals, Inc. | Method of manufacturing pellicle and pellicle manufacturing jig |
| EP0945761A4 (en) * | 1996-12-16 | 2000-04-05 | Mitsui Chemicals Inc | METHOD FOR PRODUCING A MEMBRANE COVER AND A MEMBRANE SUPPORT USED IN THIS METHOD |
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