JPH10319512A - リーダープリンタ - Google Patents

リーダープリンタ

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JPH10319512A
JPH10319512A JP15007597A JP15007597A JPH10319512A JP H10319512 A JPH10319512 A JP H10319512A JP 15007597 A JP15007597 A JP 15007597A JP 15007597 A JP15007597 A JP 15007597A JP H10319512 A JPH10319512 A JP H10319512A
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liquid
gel
lens
optical member
reader printer
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JP15007597A
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Shinji Murata
慎二 村田
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 結像光学系のレンズを移動させることなくス
ムースな焦点調整、或いは変倍調整を行うことのできる
リーダープリンタを提供すること。 【解決手段】 結像光学系Iに光軸方向に厚みを可変出
来るように構成した液状又はゲル状の光学部材300を
設け、結像状態を可変させる構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロフィルム
用のリーダープリンタに関する。より詳しくは、光軸方
向に厚みを可変できる液状又はゲル状の光学部材を用い
て、結像光学系の結像レンズから出射するマイクロフィ
ルムの被投影像の焦点調整、或いは変倍調整を行うリー
ダープリンタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、マイクロフィルム用のリーダープ
リンタにおいて、結像光学系の結像レンズから出射する
マイクロフィルムの被投影像の例えばピント調整(焦点
調整)は結像レンズの位置を移動させることにより行っ
ている。この結像レンズの移動には特殊なネジ機構が使
用され、結像レンズを保持しているレンズホルダーを回
転させることにより微少距離調整を行っている。
【0003】図11にその構成を示す。図11におい
て、Fはマイクロフィルム、1はマイクロフィルムFを
照明する照明ランプ、2は前記照明ランプ1の光量を有
効に使用するための反射板、3はマイクロフィルムFを
有効に照明するための焦光用コンデンサーレンズ、4は
マイクロフィルムFを保持するための下ガラス板、5は
マイクロフィルムFを押さえる上ガラス板、6はプリン
タ本体Rにヘリコイドネジ6bを介して回転自在に保持
されたレンズホルダーであり、ヘリコイドネジ6bによ
る回転動作に伴い内部に在るレンズ6cを光軸方向に上
下動させる事が可能となるように構成されている。6a
はレンズホルダー6の上端部に構成された歯車部であ
る。8はステッピングモーターであって7の歯車を回転
させる。7の歯車はレンズホルダー6の歯車部6aと噛
み合っており、ステッピングモーター8を回転させるこ
とにより6cのレンズを所定の焦点位置に制御すること
ができる。
【0004】一方、レンズホルダー6のレンズ6cを通
ったマイクロフィルムFの被投影像の光束は9の第一反
射板、12の第二反射板及び13の第三反射板を介して
14の投影形スクリーンに導かれ、マイクロフィルムF
の被投影像が投影形スクリーン14に可視像として投影
される。
【0005】他方、9の第一反射板が一点鎖線で示すよ
うに回転することによってマイクロフィルムFの被投影
像の光束の一部スリット像は10の第四反射板を通し、
11のライン光電変換素子に導かれる。そして、11の
ライン光電変換素子で得られる上記一部スリット像の画
像データが最適になるように8のステッピングモーター
を回転させ自動焦点操作が行われる。
【0006】他の従来例として、図12にフローティン
グタイプの位置調整機構の一例を示す。本従来例の位置
調整機構は、21aの支軸を回転中心としてプリンタ本
体Rに回転自在に保持された支持アーム21を、6dの
レンズホルダー下部に構成された回転軸21bを介して
押圧スプリング22により上ガラス板5側に付勢するこ
とによって、レンズホルダー下部6dの下面を上ガラス
板5に当接させている。また、レンズホルダー下部6d
には、レンズホルダー6がネジ嵌合されており、レンズ
ホルダー6の上部には歯車部6aが設けられてステッピ
ッグモーター8の下部の歯車7と噛み合っている。ま
た、レンズ6cは6のレンズホルダーに落とし込まれて
交換可能となっている。
【0007】かゝる構成の位置調整機構では、ステッピ
ングモーター8を回転させることにより6cのレンズを
所定の焦点位置に制御することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図11
に示す従来例においては、レンズホルダー6のスムース
な駆動を行うために、ステッピングモーター8のステッ
プ数を増やすと高速駆動が出来ない。また、レンズホル
ダー6及びレンズ6cの重さによってスムースな駆動が
出来なくなったり、騒音を発する場合もあった。また、
駆動の為のステッピングモーター8によりレンズホルダ
ー6の外側に配した回転用歯車6aを介してレンズホル
ダー6を駆動する度にレンズ6cが傾き、レンズホルダ
ー6の駆動精度を損なうばかりかレンズ6cの光学中心
がずれる場合もあった。
【0009】図12に示す従来例の問題点としては、ア
ーム21の上下において図中のA寸法(支持アーム21
の支軸21aと回転軸21bとの間の軸間距離)が変化
する事によりステッピングモーター8の歯車7とレンズ
ホルダー6の歯車6aの軸間が変化する。また、上ガラ
ス板5が組立精度等で若干傾いた場合(図中α)におい
ても前記軸間距離が変化する。また、レンズ6cの位置
精度ガタを取るために、レンズホルダー6とレンズホル
ダー下部6d間のネジ部ガタを小さくすると回転負荷が
大きくなり、ステッピッングモーター8で回転しようと
することによりレンズホルダー6の歯車部6aがステッ
ピングモーター8の歯車7から離反し、この為、レンズ
6cが傾くという現象が起きる。このような一連の現象
により、レンズ6cを応答性能良くまた再現性良く上下
動させることが出来なかった。従って1ラインの焦点調
整に時間がかかるために、一画面上でごく一部、即ち、
代表位置での焦点調整が行われていた。従って、一画面
の平均焦点調整を行うことが困難であった。
【0010】また、最近はレンズホルダー6、歯車部6
a、ヘリコイドネジ6b、レンズ6c及びレンズホルダ
ー下部6dが一体で着脱可能としている構成のものもあ
るが、歯車部6aが大きくなり操作性が悪い上、所望の
位置精度を得ることができないという問題点が生じてい
る。
【0011】本発明は、上記リーダープリンタの問題に
鑑みて為されたものであり、結像光学系のレンズを移動
させることなくスムースな焦点調整、或いは変倍調整を
行うことのできるリーダープリンタを提供することを目
的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、下記の構成を
特徴とするリーダープリンタである。 〔1〕:結像光学系に光軸方向に厚みを可変出来るよう
に構成した液状又はゲル状の光学部材を設け、結像状態
を可変させる様に構成したことを特徴とするリーダープ
ーリンタ。 〔2〕:結像光学系に被結像物と結像レンズとの間もし
くは結像透過部と結像レンズの間で光軸方向に厚みを可
変出来るように構成した液状又はゲル状の光学部材を設
け、結合状態を可変する様に構成したことを特徴とする
リーダープリンタ。 〔3〕:上記〔2〕のリーダープリンタにおいて、前記
光軸方向に厚みを可変出来るように構成した液状又はゲ
ル状の光学部材を結像レンズの近傍に設けていることを
特徴とするリーダープリンタ。 〔4〕:上記〔2〕又は〔3〕のリーダープリンタにお
いて、前記光軸方向に厚みを可変出来るように構成した
液状又はゲル状の光学部材を、結像レンズと切り離し可
能に構成したことを特徴とするリーダープリンタ。 〔5〕:上記〔1〕乃至〔4〕の何れかのリーダープリ
ンタにおいて、前記液状又はゲル状の光学部材は、透過
性のある1対の平面板の間に均一で適当な屈折率をもつ
液状又はゲル状の光学要素を充填し、この充填量を可変
させることにより光学的厚みを変化させる様に構成した
ことを特徴とするリーダープリンタ。 〔6〕:前記液状又はゲル状の光学部材は、空気の屈折
率より十分高屈折率であることを特徴とする上記〔1〕
乃至〔5〕の何れかのリーダープリンタ。 〔7〕:前記液状又はゲル状の光学部材は、流入流出口
と溜まり部を持ち溜まり部の体積を変化させることより
光学的厚みを変化させることを特徴とする上記〔1〕乃
至〔6〕の何れかのリーダープリンタ。 〔8〕:前記液状又はゲル状の光学部材を鏡筒内にもつ
結像レンズを使用していることを特徴とする上記〔1〕
乃至〔7〕の何れかのリーダープリンタ。
〔9〕:前記液状又はゲル状の光学部材の溜まり部をシ
リンダとピストンの構成とし体積変化制御をピストンの
位置制御により行うことを特徴とする上記〔7〕のリー
ダープリンタ。 〔10〕:前記液状又はゲル状の光学部材の溜まり部を
密閉弾性部材とし前記密閉弾性部材を制御レバーで押圧
する事により体積変化を制御することを特徴とする上記
〔7〕のリーダープリンタ。 〔11〕:前記ピストンの一部が磁性体で構成され、シ
リンダー外壁に導線を設けこの導線に通電することによ
り磁界を発生させることでピストン制御を行うことを特
徴とする上記
〔9〕のリーダープリンタ。 〔12〕:前記磁性体は永久磁石であることを特徴とす
る上記〔11〕のリーダープリンタ。 〔13〕:上記〔1〕乃至〔12〕の何れかのリーダー
プリンタにおいて、被結像物を保持する保持手段と鏡筒
との間に、液状又はゲル状の光学部材が配置されている
ことを特徴とするリーダープリンタ。 〔14〕:上記〔13〕において、前記鏡筒が着脱可能
に構成されていることを特徴とするリーダープリンタ。
【0013】〔作用〕このように構成されたリーダープ
リンタにあっては、液状又はゲル状の光学部材を光軸方
向に厚みを変化させることにより、結像光学系の見かけ
の光路長が変化する。即ち、液状又はゲル状の光学部材
の厚みを変化させることで、レンズを移動させた場合と
同じような焦点調整、或いは変倍調整が可能となる。こ
れにより、レンズ移動に伴う前述した問題の発生要因を
払拭でき、よって、結像光学系の焦点調整、或いは変倍
調整をスムースに行うことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るリーダープリ
ンタを添付図面に示す実施形態に基づいて、更に詳しく
説明する。なお、本実施形態では、リーダープリンタの
構成部材において図11に示すリーダープリンタと共通
する部材には同一の符号を付している。
【0015】〔実施形態例1〕先ず、図1乃至図3を参
照して、実施形態例1のリーダープリンタを説明する。
図1は本実施形態例のリーダープリンタ、即ち、レンズ
固定式焦点調整機能付きのリーダープリンタの特徴を最
も良く表わす概要断面図、図2は液状又はゲル状の光学
部材の構成を表した概要断面図、図3は液状又はゲル状
の光学部材による像拡大態様の焦点調整の原理図であ
る。
【0016】本実施形態例のリーダープリンタでは、下
記の如く構成の結像光学系Iを有する。即ち、結像光学
系Iは、被結像物としてのマイクロフィルムFを照明す
る照明ランプ1と、前記照明ランプ1の光量を有効に使
用するための反射板2と、マイクロフィルムFを有効に
照明するための焦光用コンデンサーレンズ3と、マイク
ロフィルムFを保持する保持手段の一構成要素である下
ガラス板4と、保持手段の他の構成要素であるマイクロ
フィルムFを押さえる上ガラス板5と、液状又はゲル状
の光学部材300及び結像レンズとしてのマイクロフィ
ルム用拡大レンズ6c(図2参照)を具備するレンズホ
ルダー31と、レンズホルダー31からのマイクロフィ
ルムFの像(被投影像)を反射する第一反射板9と、第
一反射板9からのマイクロフィルムFの像を反射する第
二反射板12と、第二反射板12からのマイクロフィル
ムFの像を反射する第三反射板13と、第三反射板13
からのマイクロフィルムFの像を可視像として投影する
透過形スクリーン14と、第一反射板9からのマイクロ
フィルムFの一部スリット像を反射する第四反射板10
と、第四反射板10からのマイクロフィルムFの一部ス
リット像を電気的な画像データに変換するライン光電変
換素子11とから構成されている。
【0017】また、本実施形態例のリーダープリンタ
は、ライン光電変換素子11で得られる上記一部スリッ
ト像の画像データが最適になるように不図示の制御部で
所望の駆動機構により後述する溜まり部40のピストン
38を位置制御して、液状又はゲル状の光学部材300
の厚みを変化させることにより、マイクロフィルムFの
像の自動焦点操作を行うように構成されている。なお、
符号Pはライン光電変換素子11の画像データに基づい
てマイクロフィルムFの像をペーパーなどの印刷媒体に
印刷するプリント部である。
【0018】結像光学系Iの下ガラス板4と上ガラス板
5は、夫々プリンタ本体Rに不図示の位置で固定してあ
る。第一反射板9は回動可能に構成されており、二点鎖
線で示すように回転して第一反射板9からのマイクロフ
ィルムFの一部スリット像を第四反射板10に反射する
(図1参照)。
【0019】レンズホルダー31は、図1に示すよう
に、プリンタ本体RにマイクロフィルムFと垂直に固定
保持されており、マイクロフィルム拡大用レンズ6cを
鏡筒Lを介してガタなく定位置に保持している。本実施
形態例では、マイクロフィルム拡大用レンズ6cはレン
ズホルダー31から抜き差し可としているが、固定式で
も良い。即ち、鏡筒Lをレンズホルダー31に着脱自在
に装着するか、或いは鏡筒Lをレンズホルダー31に固
定するようにしている。
【0020】図2において、32は透過性のある1対の
平面板の一方を構成する上シールガラスであり、マイク
ロフィルム拡大用レンズ6cが出射するマイクロフィル
ムFの像の光軸方向に垂直にレンズホルダー31に固定
されている。上シールガラス32は300の液状又はゲ
ル状光学部材が上部レンズ(マイクロフィルム拡大用レ
ンズ)6cの方に漏れないように構成されている。下シ
ールガラス33は上記透過性のある1対の平面板の他方
を構成しており、下ガラスホルダー34に固定されてい
る。下シールガラス33は35のシールにより液状又は
ゲル状の光学部材300が下部レンズ、即ち上ガラス板
5の方に漏れないように構成されており、上下方向(上
記光軸方向)にガタなく上シールガラス32と平行を保
ちながら移動可能に構成されている。
【0021】即ち、液状又はゲル状の光学部材300
は、被結像物であるマイクロフィルムFと結像レンズで
あるマイクロフィルム拡大用レンズ6cとの間において
マイクロフィルム拡大用レンズ6cの近傍に配置されて
いる。液状又はゲル状の光学部材300は、均一で適当
な屈折率をもつ液状又はゲル状の光学要素、即ち、空気
の屈折率より十分高屈折率の液状又はゲル状の光学要素
(例えば、ジメチルシリコーンなどのシリコンオイル、
フッソ系オイルなど)300aを具備するものである。
そして、マイクロフィルム拡大用レンズ6cを着脱可能
に装着するレンズホルダー31に設けられることで、マ
イクロフィルム拡大用レンズ6cと切り離し可能に構成
されている。
【0022】36は液状又はゲル状の光学部材300の
光学要素300aを移動させるためのパイプ(流入流出
口)であり、体積が変化しなければ屈曲可能なパイプで
構成しても良い。40は液状又はゲル状の光学部材30
0の光学要素300aを移動制御するためにシリンダ3
8と39のピストンとで構成した溜まり部である。溜ま
り部40を構成するピストン39には37のシールを設
けて光学要素300aをシリンダ38内に密閉してい
る。
【0023】かゝる構成の液状又はゲル状の光学部材3
00は、図2に示すように、溜まり部40のピストン3
9をX方向に移動させると、レンズホルダー31内の液
状又はゲル状の光学要素300aがパイプ36を通じて
シリンダ38内に移動する。これにより、下シールガラ
ス33はY方向に移動し、液状又はゲル状の光学部材3
00は光学的厚みが減少する(即ち、溜まり部40の体
積を変化させることより光学的厚みが変化する。)。
【0024】このとき図中D1(レンズホルダー31下
部の直径)及びD2(ピストン39の直径)の関係によ
り、X方向とY方向の移動量は、Y=X×D1/D2と
なる。よって、D1とD2の値を用いてX方向とY方向
の移動量の相関値を上述した制御部で求め、その相関値
に基づいてピストン39を位置制御(溜まり部40の体
積変化制御)することで、マイクロフィルムFの像を拡
大縮小する事が可能となる。
【0025】溜まり部40の体積変化制御を可能とする
駆動機構としての光学液状体制御機構としては、不図示
の制御部によりピストン38の位置制御を行い得る機構
であればどのようなものであってもよいが、その一例と
して、制御部からの駆動制御信号によりステッピングモ
ータ(図示せず)を用いて偏芯カム(図示せず)を回転
させ、この偏芯カムの回転を利用してピストン38の位
置を制御するカム機構が考えられる。
【0026】図3に液状又はゲル状の光学部材300に
よる像拡大態様の焦点調整の原理図を示す。図3におい
て51はマイクロフィルムFの投影像、52,53はマ
イクロフィルム、300は液状又はゲル状の光学部材で
あり、301は液状又はゲル状の光学部材300の光学
的厚みが減少した状態を表している。6cはマイクロフ
ィルム拡大用レンズである。
【0027】上記構成において、300の液状又はゲル
状の光学部材の厚みBが301の様に厚みAの値に薄く
変化したときのベスト焦点のマイクロフィルム52が位
置X1からマイクロフィルム53の位置X2に変化す
る。従って、従来、マイクロフィルム52がX2の位置
からマイクロフィルム53のX1の位置に変化した場
合、レンズ(結像レンズ)を右に移動し、ベスト焦点位
置をX1の位置に調整しなければならなかったが、液状
又はゲル状の光学部材300の光学的厚みをB寸法から
A寸法に変化させるだけで、レンズを移動させることな
く焦点調整が出来る。
【0028】即ち、液状又はゲル状の光学部材300を
光軸方向に厚みを変化させることにより、結像光学系I
の見かけの光路長が変化する。つまり、液状又はゲル状
の光学部材300の厚みを変化させることで、従来のよ
うにレンズを移動させた場合と同じような焦点調整が可
能となり、結像光学系Iの焦点調整をスムースに行うこ
とができる。
【0029】このように本実施形態例のリーダープリン
タは、レンズを移動させることなく結像光学系Iの焦点
調整をスムースに行うことができる。これにより、レン
ズを移動させたときに発生するレンズの傾き、或いはレ
ンズホルダーの駆動精度に起因して発生するレンズの光
学中心のずれと言った不具合を払拭することができる。
【0030】なお、液状又はゲル状の光学部材300の
光学的厚みを変化させて結像光学系Iの変倍調整を行う
例については後述する実施形態例7及び実施形態例8に
て説明する。
【0031】〔実施形態例2〕本実施形態例のリーダー
プリンタは、図4に示すように、上記実施形態例1の溜
まり部40の体積変化制御を可能とする駆動機構として
の光学液状体制御機構としてネジ機構を採用した他は、
前述の実施形態例1のリーダープリンタと同様な構成と
なっている。
【0032】即ち、本実施形態例では、溜まり部40を
構成するピストン39の後部側のピストン部の外径には
雄ねじ39aを、この雄ねじ39aと対向するシリンダ
38のシリンダ部の内径には雌ねじ38aを夫々施し、
モータ(ステッピッグモーター或いはACモータ若しく
はDCモータなど)41で39aのピストン右端の歯車
を回転させることにより、ピストン39を左右にコント
ロール(位置制御)するように構成したものである。因
みに、モータ41は不図示の制御部からの駆動制御信号
によりピストン38の位置制御に応じた回転制御が為さ
れる。
【0033】本実施形態例のように溜まり部40の体積
変化制御をネジ機構を利用して行うように構成しても、
液状又はゲル状の光学部材300の光学的厚みを変化さ
せることができ、よって、前述した実施形態例1のリー
ダープリンタと同様な効果が得られる。
【0034】〔実施形態例3〕本実施形態例のリーダー
プリンタは、図5に示すように、フローティングタイプ
のレンズホルダー31に液状又はゲル状の光学部材30
0を設けた他は、前述の実施形態例1のリーダープリン
タと同様な構成となっている。
【0035】即ち、本実施形態例では、レンズホルダー
31は、不図示のアーム又はバネ等で上ガラス板5に密
着されており、前述の実施形態例1と同じ様にマイクロ
フィルムFを光軸(不図示)に対し垂直に保つように構
成されている。また、パイプ36に続く不図示の溜まり
部の体積変化制御を可能とする駆動機構としての光学液
状体制御機構として、前述のネジ機構、又は後述する電
磁誘導式の位置制御機構もしくは押圧式の位置制御機構
を採用することができる。
【0036】本実施形態例のようにフローティングタイ
プのレンズホルダー31に液状又はゲル状の光学部材3
00を適用しても、液状又はゲル状の光学部材300の
光学的厚みを変化させることができ、よって、前述した
実施形態例1のリーダープリンタと同様な効果が得られ
る。特に、従来のようにレンズ移動を発生要因とするレ
ンズの傾き現象を払拭できることから、画像データの1
ラインの焦点調整を短時間で行える。
【0037】〔実施形態例4〕本実施形態例のリーダー
プリンタは、図6に示すように、マイクロフィルムをロ
ール式としたロールフィルムF用のフィルム保持機能を
有するフローティングタイプのレンズホルダー71に液
状又はゲル状の光学部材300を設けた他は、前述の実
施形態例1のリーダープリンタと同様な構成となってい
る。
【0038】即ち、本実施形態は、ロールフィルムF用
のフィルム保持装置を具備するレンズホルダー71に液
状又はゲル状の光学部材300を適用した例である。
【0039】図6において、71はレンズホルダーであ
り、レンズホルダー71の下部には液状又はゲル状の光
学部材300の光学要素300aを納めるための部屋が
透過性のある1対の平面板としての下シールガラス75
と上シールガラス72とで構成されている。
【0040】下シールガラス75は、レンズホルダー7
1の下面に液漏れなく装着されており、上シールガラス
72は、上シールガラスホルダー73に液漏れなく固定
されている。
【0041】上シールガラスホルダー73は、上部レン
ズ方向(マイクロフィルム拡大用レンズ方向)に液が漏
れないように2個のシール74で密閉されている。又、
上下方向(光軸方向)にガタなく下シールガラス75と
平行を保ちながら移動可能に構成されている。下シール
ガラス75は、前述した図1、図2、図4及び図5にお
いて示した上ガラス板5と同じ機能を兼ねている。
【0042】下ガラス板80は、フィルム保持装置の一
構成要素であるアーム77に固着されており、スペーサ
79は上記下ガラス板80に接着されている。軸76を
中心にアーム77はフィルム保持装置の一構成要素であ
るソレノイド78で回動し、下ガラス板80はスペーサ
79を介して下シールガラス75に突き当てられてロー
ルフィルムF用のトンネル(空間部)を形成する。
【0043】ロールフィルムFは、図7の前後方向(紙
面の表裏方向)に不図示の搬送機構により搬送走査され
検索閲覧可能となる。
【0044】また、ロールフィルムFに傷つけることな
く高速に移動させるときは、ソレノイド78をOFFす
ることにより、下ガラス板80を適度に下げて高速移動
を可能とする構成となっている。
【0045】また、パイプ36に続く不図示の溜まり部
の体積変化制御を可能とする駆動機構としての光学液状
体制御機構として、前述のネジ機構、又は後述する電磁
誘導式の位置制御機構もしくは押圧式の位置制御機構を
採用することができる。
【0046】本実施形態例のようにロールフィルムF用
のフィルム保持装置を具備するフローティングタイプの
レンズホルダー71に液状又はゲル状の光学部材300
を適用しても、液状又はゲル状の光学部材300の光学
的厚みを変化させることができ、よって、前述した実施
形態例3のリーダープリンタと同様な効果を得ることが
できる。
【0047】〔実施形態例5〕本実施形態例のリーダー
プリンタは、図7に示すように、上記実施形態例1、実
施形態例3又は実施形態例4のリーダープリンタの溜ま
り部40の体積変化制御を可能とする駆動機構としての
光学液状体制御機構として、電磁誘導式の位置制御機構
を採用した他は、前述の実施形態例1のリーダープリン
タと同様な構成となっている。
【0048】即ち、本実施形態例では、溜まり部40を
構成するシリンダ91の外形には導線としての電磁コイ
ル94を設けている。92は溜まり部40を構成するピ
ストンであり、液状又はゲル状の光学部材300の光学
要素300aをシリンダ91内に密閉するためのシール
材93が装着されている。ピストン92は磁性体として
の永久磁石で構成されている。
【0049】かゝる構成の電磁誘導式の位置制御機構
は、不図示の制御部からの駆動制御信号により電磁コイ
ル94に通電される事でフレミングの法則に従って磁界
が発生し、その際の電磁力による電磁誘導作用によりピ
ストン92が左右に駆動される。即ち、ピストン92の
位置制御は電磁コイル94への通電を制御部で制御する
ことによって為される。
【0050】本実施形態例のように溜まり部40の体積
変化制御を電磁誘導式の位置制御機構を利用して行うよ
うに構成しても、液状又はゲル状の光学部材300の光
学的厚みを変化させることができ、よって、前述した実
施形態例1のリーダープリンタと同様な効果が得られ
る。
【0051】〔実施形態例6〕本実施形態例のリーダー
プリンタは、図8に示すように、上記実施形態例1、実
施形態例3又は実施形態例4のリーダープリンタの溜ま
り部40の体積変化制御を可能とする駆動機構としての
光学液状体制御機構として、押圧式の位置制御機構を採
用した他は、前述の実施形態例1のリーダープリンタと
同様な構成となっている。
【0052】本実施形態例では、溜まり部40を柔軟性
のある、例えばゴム製の風船状の密閉弾性部材としての
液溜まり部本体101と、この液溜まり部本体101を
押圧する制御レバーとしての押圧レバー102とにより
構成している。押圧レバー102は回転軸103を中心
に回動自在に構成され、その外周の一部に歯車102a
を有しており、この歯車102aはモータ105(ステ
ッピッグモーター或いはACモータ若しくはDCモータ
など)の回転軸に設けられた歯車104に噛み合ってい
る。
【0053】かゝる構成の押圧式の位置制御機構は、不
図示の制御部からの駆動制御信号によりモータ105を
例えば左回転させると、押圧レバー102はX方向に回
転して液溜まり部本体101を押圧し、液溜まり部本体
101の体積変化により液状又はゲル状の光学部材30
0の光学的厚みを制御するようにしている。
【0054】本実施形態例のように溜まり部40の体積
変化制御を押圧式の位置制御機構を利用して行うように
構成しても、液状又はゲル状の光学部材300の光学的
厚みを変化させることができ、よって、前述した実施形
態例1のリーダープリンタと同様な効果が得られる。
【0055】〔実施形態例7〕本実施形態例では、液状
又はゲル状の光学部材300の光学的厚みを変化させて
結像光学系Iの変倍調整を行う一形態例を説明する。
【0056】本実施形態例のリーダープリンタは、図1
0に示すように、液状又はゲル状の光学部材300を鏡
筒としてのレンズホルダー121に設けると共に、この
レンズホルダー121にマイクロフィルム拡大用レンズ
6cを配した他は、実施形態例1のリーダープリンタと
同様な構成となっている。
【0057】即ち、本実施形態例では、液状又はゲル状
の光学部材300をマイクロフィルム拡大用レンズ6c
を構成する前群レンズ111と後群レンズ112との間
に配置し、図9の(a)及び(b)に示す前群レンズ1
11と後群レンズ112との距離を液状又はゲル状の光
学部材300の光学的厚みを変化させることで調整可能
としている。
【0058】なお、図9の(a)及び(b)は夫々ズー
ムレンズの一般的例を表し、111は前群レンズ、11
2は後群レンズであり、それぞれ拡大率を変化させたと
きの位置関係を表している。具体的には、図9の(a)
が高倍率、(b)が低倍率をそれぞれ表している。
【0059】また、本実施形態例では、パイプ36に続
く不図示の溜まり部の体積変化制御を可能とする駆動機
構としての光学液状体制御機構として、前述のネジ機
構、電磁誘導式の位置制御機構、或いは押圧式の位置制
御機構を採用することができる。
【0060】本実施形態例のように液状又はゲル状の光
学部材300をマイクロフィルム拡大用レンズ6cと共
に鏡筒121内に配置し、液状又はゲル状の光学部材3
00の光学的厚みを変化させることで、結像光学系Iの
変倍調整を行うことができる。なお、結像光学系Iの焦
点調整は図1に示す液状又はゲル状の光学部材300の
光学的厚みを変化させることにより行われる。
【0061】〔実施形態例8〕本実施形態例では、液状
又はゲル状の光学部材300の光学的厚みを変化させて
結像光学系Iの焦点調整と変倍調整とを行う一形態例を
説明する。
【0062】本実施形態例のリーダープリンタは、図1
1に示すように、焦点調整用の液状又はゲル状の光学部
材300と変倍調整用の液状又はゲル状の光学部材30
0をそれぞれ鏡筒としてのレンズホルダー131に設け
ると共に、このレンズホルダー131にマイクロフィル
ム拡大用レンズ6cを配した他は、実施形態例1のリー
ダープリンタと同様な構成となっている。
【0063】即ち、本実施形態例では、マイクロフィル
ム拡大用レンズ6cを構成する前群レンズ111と後群
レンズ112との間に変倍調整用の液状又はゲル状の光
学部材300を配置する一方、後群レンズ112の下方
側(マイクロフィルムF側(図示せず))に実施形態例
1に示す焦点調整用の液状又はゲル状の光学部材300
を配置したものである。
【0064】本実施形態例では、変倍調整用の液状又は
ゲル状の光学部材300の光学的厚みを変化させること
で前述の実施形態例7の如き変倍調整を行うことがで
き、また、焦点調整用の液状又はゲル状の光学部材30
0の光学的厚みを変化させることで前述の実施形態例1
の如き焦点調整を行うことができる。
【0065】また、本実施形態例では、鏡筒131がパ
イプ36及び溜まり部40を備える構成としているが、
溜まり部40の体積変化制御を可能とする駆動機構とし
ての光学液状体制御機構として、前述のネジ機構、電磁
誘導式の位置制御機構、或いは押圧式の位置制御機構を
採用できることは言うまでもない。
【0066】以上、説明したように、本実施形態のリー
ダープリンタにあっては、液体又はゲル状の光学部材3
00を利用してその光学的厚みを可変させることによ
り、結像光学系の焦点調整又は結像光学系の焦点調整及
び変倍調整を可能するものである。
【0067】従って、従来のレンズ駆動方式によるリー
ダープリンタに比し下記の如き利点がある。
【0068】第1に、レンズ駆動方式、所謂、ヘリコイ
ド方式と言われるレンズ回転ネジ部を歯車を使って駆動
する方法を採用していることから生ずる問題、即ち、歯
車の駆動点とネジ部の支点部が離れていることによるガ
タの発生、レンズ倍率よるレンズ保持位置の差による移
動のバラツキなどを回避できる。
【0069】第2に、レンズの回転が不要であるので、
スリット露光精度の向上が図れる上、レンズを光学上性
能の良い方向に調整(設定)できるようになる。第3
に、レンズの回転を不要としたので、レンズの重さの相
違により駆動トルクを変えるといった駆動系の設計を省
略することができる。
【0070】第4に、コンパクトレンズ設計の容易化。
即ち、回転用歯車駆動系の制約がなくなるので、鏡筒の
径の自由度が拡がる。
【0071】その結果、本実施形態のリーダープリンタ
においては、 1)従来の焦点調整のためのネジ駆動を使用せず、高速
かつ高精度にフィードバック応答性のよい焦点調整、或
いは変倍調整が可能な結像系を提供できること、 2)電気的制御が容易・応答性のよい結像系が提供でき
ること、 3)焦点調整時に外観的に移動、可動部分が無く操作性
のよい結像系が提供できること、 4)結像レンズの交換が容易に出来る(結像レンズ可動
部分を分離可能)結像系が提供できること、 5)可変焦点レンズにおいて鏡筒長さの変化のないコン
パクトな結像レンズを提供できること などの効果を奏する。
【0072】また、図2、図4、図5及び図6に示すよ
うに、マイクロフィルムFの保持手段を構成する下ガラ
ス板4,80及び上ガラス板5と、結像レンズとしての
マイクロフィルム拡大用レンズ6cを内蔵する鏡筒Lと
の間に、液状又はゲル状の光学部材300を配置したこ
とにより、結像レンズを有効に活かすことができる上、
結像レンズの光学的劣化及び性能に適切に対処できると
いう利点がある。
【0073】また、鏡筒Lを着脱可能に構成することに
より、その鏡筒Lを他の鏡筒に置き換えるレンズ交換が
簡単に、かつ容易に行える上、レンズ交換が可能となる
ことによって使用範囲が大幅に広がるという利点があ
る。
【0074】本実施形態例にあっては、液状又はゲル状
の光学部材300を被結像物としてのマイクロフィルム
Fと結像レンズとしてのマイクロフィルム拡大用レンズ
6cとの間、或いはマイクロフィルム拡大用レンズ6c
を保持する鏡筒L内に配置した例を説明したが、液状又
はゲル状の光学部材300をマイクロフィルムFの像が
結像されて透過される結像透過部としての透過形スクリ
ーン14とマイクロフィルム拡大用レンズ6cとの間に
設け、その液状又はゲル状の光学部材300の光軸的厚
みを変化させることにより、焦点調整或いは変倍調整を
行うように構成してもよい。
【0075】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、結像光学系に光軸方向に厚みを可変出来るように構
成した液状又はゲル状の光学部材を設け、結像状態を可
変させる様に構成したので、結像光学系のレンズを移動
させることなくスムースな焦点調整、或いは変倍調整を
行うことのできるリーダープリンタを実現できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例1のリーダープリンタを表し、特に
レンズ固定式焦点調整機能付きのリーダープリンタの概
要断面図である。
【図2】図1に示すリーダープリンタの液状又はゲル状
の光学部材の構成を表した概要断面図である。
【図3】図1に示すリーダープリンタの液状又はゲル状
の光学部材による像拡大態様の焦点調整の原理図であ
る。
【図4】実施形態例2のリーダープリンタの要部を表
し、液状又はゲル状の光学部材の溜まり部の体積変化制
御を可能とする光学液状体制御機構の一例を示すネジ機
構の概要断面図である。
【図5】実施形態例3のリーダープリンタの要部を表
し、液状又はゲル状の光学部材を具備するフローティン
グタイプのレンズホルダーの概要断面図である。
【図6】実施形態例4のリーダープリンタの要部を表
し、液状又はゲル状の光学部材及びフィルム保持装置を
具備するフローティングタイプのレンズホルダーの概要
断面図である。
【図7】実施形態例5のリーダープリンタの要部を表
し、液状又はゲル状の光学部材の溜まり部の体積変化制
御を可能とする光学液状体制御機構の一例を示す電磁誘
導式の位置制御機構の概要断面図である。
【図8】実施形態例6のリーダープリンタの要部を表
し、液状又はゲル状の光学部材の溜まり部の体積変化制
御を可能とする光学液状体制御機構の一例を示す押圧式
の位置制御機構の概要断面図である。
【図9】二群構成のズームレンズにおいて、拡大率を変
化させたときの前群レンズと後群レンズの位置関係を表
す説明図である。
【図10】実施形態例7のリーダープリンタを表し、特
にレンズ固定式焦点・変倍調整機能付きのリーダープリ
ンタの要部断面図である。
【図11】実施形態例8のリーダープリンタを表し、特
にレンズ固定式焦点・変倍調整機能付きのリーダープリ
ンタの要部断面図である。
【図12】従来のレンズ移動式焦点調整機能付きのリー
ダープリンタの概要断面図である。
【図13】図12に示すリーダープリンタの要部を表
し、フローティングタイプのレンズホルダーの概要断面
図である。
【符号の説明】
I 結像光学系 F マイクロフィルム(被結像物) L 鏡筒 4 下ガラス板(保持手段) 5 上ガラス板(保持手段) 14 透過形スクリーン(結像透過部) 36 パイプ(流入流出口) 38 シリンダ 39 ピストン 40 溜まり部 92 永久磁石(磁性体) 94 導線(電磁コイル) 101 液溜まり部本体(密閉弾性部材) 102 押圧レバー(制御レバー) 300 液状又はゲル状の光学部材 300a 液状又はゲル状の光学部材の光学要素

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 結像光学系に光軸方向に厚みを可変出来
    るように構成した液状又はゲル状の光学部材を設け、結
    像状態を可変させる様に構成したことを特徴とするリー
    ダープリンタ。
  2. 【請求項2】 結像光学系に被結像物と結像レンズとの
    間もしくは結像透過部と結像レンズの間で光軸方向に厚
    みを可変出来るように構成した液状又はゲル状の光学部
    材を設け、結合状態を可変する様に構成したことを特徴
    とするリーダープリンタ。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載のリーダープリンタにお
    いて、前記光軸方向に厚みを可変出来るように構成した
    液状又はゲル状の光学部材を結像レンズの近傍に設けて
    いることを特徴とするリーダープリンタ。
  4. 【請求項4】 請求項2又は3に記載のリーダープリン
    タにおいて、前記光軸方向に厚みを可変出来るように構
    成した液状又はゲル状の光学部材を、結像レンズと切り
    離し可能に構成したことを特徴とするリーダープリン
    タ。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至4の何れか一項に記載のリ
    ーダープリンタにおいて、前記液状又はゲル状の光学部
    材は、透過性のある1対の平面板の間に均一で適当な屈
    折率をもつ液状又はゲル状の光学要素を充填し、この充
    填量を可変させることにより光学的厚みを変化させる様
    に構成したことを特徴とするリーダープリンタ。
  6. 【請求項6】 前記液状又はゲル状の光学部材は、空気
    の屈折率より十分高屈折率であることを特徴とする請求
    項1乃至5の何れか一項に記載のリーダープリンタ。
  7. 【請求項7】 前記液状又はゲル状の光学部材は、流入
    流出口と溜まり部を持ち溜まり部の体積を変化させるこ
    とより光学的厚みを変化させることを特徴とする請求項
    1乃至6の何れか一項に記載のリーダープリンタ。
  8. 【請求項8】 前記液状又はゲル状の光学部材を鏡筒内
    にもつ結像レンズを使用していることを特徴とする請求
    項1乃至7の何れか一項に記載のリーダープリンタ。
  9. 【請求項9】 前記液状又はゲル状の光学部材の溜まり
    部をシリンダとピストンの構成とし体積変化制御をピス
    トンの位置制御により行うことを特徴とする請求項7に
    記載のリーダープリンタ。
  10. 【請求項10】 前記液状又はゲル状の光学部材の溜ま
    り部を密閉弾性部材とし前記密閉弾性部材を制御レバー
    で押圧する事により体積変化を制御することを特徴とす
    る請求項7に記載のリーダープリンタ。
  11. 【請求項11】 前記ピストンの一部が磁性体で構成さ
    れ、シリンダー外壁に導線を設けこの導線に通電するこ
    とにより磁界を発生させることでピストン制御を行うこ
    とを特徴とする請求項9に記載のリーダープリンタ。
  12. 【請求項12】 前記磁性体は永久磁石であることを特
    徴とする請求項11に記載のリーダープリンタ。
  13. 【請求項13】 請求項1乃至12の何れか一項に記載
    のリーダープリンタにおいて、被結像物を保持する保持
    手段と鏡筒との間に、液状又はゲル状の光学部材が配置
    されていることを特徴とするリーダープリンタ。
  14. 【請求項14】 請求項13において、前記鏡筒が着脱
    可能に構成されていることを特徴とするリーダープリン
    タ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1396761A2 (en) * 2002-08-29 2004-03-10 ASML Netherlands B.V. An alignment tool, a lithographic apparatus, an alignment method and a device manufacturing method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1396761A2 (en) * 2002-08-29 2004-03-10 ASML Netherlands B.V. An alignment tool, a lithographic apparatus, an alignment method and a device manufacturing method
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