JPH10312259A - 半導体製造装置のプロセスデータ表示制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体製造装置により実行されたプロセス処
理のデータを表示手段の画面にグラフとして表示出力さ
せるに際して、グラフ中のプロセスデータを表す線の線
種等といった表示形態を制御する。 【解決手段】 例えば線色を変更する場合には、表示条
件記憶手段１３がグラフ中のプロセスデータを表す線の
線色を規定する赤や青といった２種類以上の表示条件を
記憶しておく。ここで、各プロセスデータのグラフ表示
は、これら２種類以上の表示条件の内のいずれかを表示
に用いる条件として各プロセスデータ毎に設定する表示
条件設定手段１５の設定内容に基づいて行われ、表示条
件変更手段１４が入力手段５によるオペレータからの指
示に応じて表示条件設定手段１５に設定するプロセスデ
ータの表示条件を変更させると、制御手段１６がグラフ
の表示を画面４に行うに際して、表示条件制御手段１７
が設定された表示条件に基づいて各プロセスデータを表
す線の線色を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
より実行されたプロセス処理のデータを表示手段の画面
にグラフとして表示出力させる半導体製造装置のプロセ
スデータ表示制御装置に関し、特に、グラフ中のプロセ
スデータを表す線の線種（実線や点線等）や線幅や線色
（線の色）等といった表示形態を制御する半導体製造装
置のプロセスデータ表示制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ガラス基板や半導体ウェーハ等の基
板に対して所定のプロセス処理を施す半導体製造装置
は、当該装置に付設された例えば半導体製造装置管理シ
ステムといったコントローラによってプロセス処理の実
行が制御されている。このため、このような管理システ
ムには、例えばプロセス処理における基板処理の順序
（レシピ）を編集するためのレシピ編集機能や、プロセ
ス処理における温度や圧力といった処理条件をパラメー
タとして設定しておくためのパラメータ設定機能が備え
られている。

【０００３】また、上記のような管理システムには、例
えばプロセス処理の実行状態を表示出力するトレースデ
ータ表示機能等といったデータを表示するためのデータ
表示機能が備えられており、オペレータはこうした表示
機能によって表示出力されたグラフィック画面を見るこ
とによってプロセス処理実行中の状況を把握することが
できる。すなわち、プロセス処理におけるガス流量や温
度等といったプロセスデータが例えば半導体製造装置に
備えられたセンサにより検出され、センサによって検出
された結果が管理システムに送られてディスプレイ画面
に例えばトレースデータとして表示出力される。図５に
は、このような表示出力の一例を示してあり、ディスプ
レイ画面には、プロセス処理中のガス流量の変化（図中
上段のグラフ）と温度の変化（図中下段のグラフ）とが
グラフ表示されている。

【０００４】同図に示したガス流量変化及び温度変化の
グラフでは、横軸が時間軸でとられており、プロセス処
理におけるガス流量や温度の時間的な変化がグラフ表示
されている。また、同図に示した例えばガス流量変化の
グラフでは、１つのグラフ中に２種類のガスに対する流
量変化が同時に表示されており、また、温度変化のグラ
フでは、１つのグラフ中に３種類の温度条件に対する温
度変化が同時に表示されている。なお、１つのグラフ中
に同時に表示される複数種類のデータ線は、例えば赤や
青といったように線の色が色分けされて表示されてお
り、これにより複数種類のプロセスデータ間で線の見分
けが付くようになっている。

【０００５】このように、管理システムでは、ディスプ
レイ画面の１つのグラフ中に例えば最大１３種類までの
データを同時に表示することができるといったように、
ガス流量や温度といったプロセスデータを表示するに際
して、複数種類のプロセスデータを１つのグラフ中にま
とめて表示することができる。このため、オペレータ
は、１つのディスプレイ画面を見るだけで、複数種類の
プロセスデータの結果を同時に検討することができ、ま
た、同一のグラフ中の異なるプロセスデータ間の相関等
を視覚的に検討することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た管理システムによるプロセスデータの表示出力におい
ては、前記のようにディスプレイ画面の１つのグラフ中
に複数種類のプロセスデータを同時に表示させることが
できるものの、オペレータがプロセスデータの結果を見
ながらグラフ中の各プロセスデータを表す線の線種や線
幅や線色等といった表示形態を変更することができない
といった不具合があった。すなわち、例えば１つのグラ
フ中に表示される複数種類のプロセスデータのすべてが
予め設定された１ミリの線幅から成る実線で表示され、
これら各プロセスデータの線種や線幅をオペレータの好
みにより変更することができないといった不具合があっ
た。また、線の色については、上記したように各プロセ
スデータに異なる色が割り当てられているが、これらの
線色をオペレータの好みに合わせて変更することができ
ないといった不具合があった。

【０００７】また、以上のようなことから、例えばオペ
レータが画面上のグラフを見ながらプロセスデータの結
果を検討するに際して、或る特定のプロセスデータの結
果を判定するために、このプロセスデータを表す線（ラ
イン）の線幅や線色等を変更してこのプロセスデータの
線を特に強調したい場合や、複数種類のプロセスデータ
間での相関を視覚的に比較するために、これら複数の線
の線種や線色等を顕著に異ならせるように変更したい場
合であっても、こうした要求が満たされずに、オペレー
タにとって、グラフを見ながらのプロセスデータの結果
の検討等が視覚的に行いづらいといった不具合があっ
た。

【０００８】本発明は、このような従来の課題を解決す
るためになされたもので、半導体製造装置により実行さ
れたプロセス処理のデータを表示手段の画面にグラフと
して表示出力させるに際して、グラフ中のプロセスデー
タを表す線の線種や線幅や線色等といった表示形態を制
御することができる半導体製造装置のプロセスデータ表
示制御装置を提供することを目的とする。更に具体的に
は、複数種類のプロセスデータの結果を画面の１つのグ
ラフ中に同時に表示させることができるという従来の良
い点を維持しながら、各プロセスデータを表す線の表示
形態をオペレータの好みに合わせて変更することができ
るようにすることにより、オペレータが画面を見ながら
行うプロセスデータの結果の検討等をオペレータにとっ
て視覚的に行いやすくすることができる半導体製造装置
のプロセスデータ表示制御装置を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体製造装置のプロセスデータ表示
制御装置では、半導体製造装置により実行されたプロセ
ス処理のデータを表示手段の画面にグラフとして表示出
力させるに際して、グラフ中のプロセスデータを表す線
の表示形態を次のようにして制御する。ここで、プロセ
スデータを表す線の表示形態としては、線種や線幅や線
色等があるが、本例ではプロセスデータを表す線の線色
を変更する場合について説明する。

【００１０】この場合、表示条件記憶手段がグラフ中の
プロセスデータを表す線の表示形態、すなわち本例では
赤や青や白といった線色を規定する表示条件を２種類以
上記憶しておく。また、例えば現在、表示条件記憶手段
に記憶されている表示条件の内のいずれかを表示に用い
る条件として設定する表示条件設定手段により、グラフ
中の或るプロセスデータを白い線で表示することが設定
されているとすると、このプロセスデータは現在、画面
のグラフ中で白い線によって表示されている。ここで、
オペレータがこの線の色を例えば赤色に変更したい場合
には、表示条件変更手段が例えばマウスによるオペレー
タからの指示に応じて表示条件設定手段に設定する前記
プロセスデータの表示条件を赤色に変更させ、表示条件
制御手段が前記表示手段に設定された表示条件に基づい
てグラフの表示を行わせる。すなわち、画面のグラフ中
には、前記プロセスデータが赤色の線で表示される。

【００１１】また、上記と同様にして、１つのグラフ中
に表示されている複数種類のプロセスデータの内のそれ
ぞれのデータについて、データを表す線の線種や線幅や
線色等といった表示形態をオペレータからの指示により
変更することができる。従って、例えば特定のプロセス
データの線に注目したい場合や、複数種類のプロセスデ
ータ間での相関を視覚的に把握したい場合に際して、オ
ペレータが自分の好みに合わせて各プロセスデータを表
す線の表示形態を変更することができるため、オペレー
タにとって見やすい表示条件を設定することにより、オ
ペレータが行うプロセスデータの結果の検討等を視覚的
に容易なものとすることができる。

【００１２】ここで、上記したように、本発明に言う半
導体製造装置には、半導体ウェーハを処理する装置ばか
りでなく、ＬＣＤ用の液晶ガラス基板等の基板を処理す
る装置をも含まれる。また、グラフ中のプロセスデータ
を表す線の表示形態としては、上記したように、例えば
線種や線幅や線色といったものがあり、前記表示条件記
憶手段は、変更を行う各表示形態毎について２種類以上
の異なった表示条件を記憶しておく。すなわち、例えば
線種と線幅と線色の変更を行う場合には、表示条件記憶
手段は、線種については例えば実線や点線や破線等とい
った２種類以上の異なった表示条件を記憶しておき、線
幅については例えば１ミリや２ミリといった２種類以上
の異なった表示条件を記憶しておき、線色については例
えば赤や青や白といった２種類以上の異なった表示条件
を記憶しておく。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明に係る一実施例を図面を参
照して説明する。図１には、本発明に係る半導体製造装
置のプロセスデータ表示制御装置１２を備えた半導体製
造装置管理システム１の一例を示してあり、この管理シ
ステム１には、半導体製造装置２に備えられたセンサ３
と、ディスプレイ画面から構成される表示手段４と、キ
ーボードやマウス等から構成される入力手段５とが接続
されている。ここで、半導体製造装置２は、管理システ
ム１により制御されて、液晶ガラス基板や半導体ウェー
ハ等の基板に対して所定のプロセス処理を実行する装置
である。また、センサ３は、半導体製造装置２により実
行されたプロセス処理におけるガス流量や温度等といっ
たプロセスデータを検出し、検出されたプロセスデータ
を例えば通信回線を介して管理システム１へ出力する手
段である。

【００１４】管理システム１には、センサ３からプロセ
スデータを入力する手段を有したデータ収集装置１１
と、入力されたプロセスデータを表示手段４の画面にグ
ラフとして表示出力させるプロセスデータ表示制御装置
１２とが備えられている。また、この表示制御装置１２
には、グラフ中のプロセスデータを表す線の表示形態を
規定する表示条件を記憶した表示条件記憶手段１３と、
後述する表示条件設定手段１５に設定する表示条件を変
更させる表示条件変更手段１４と、プロセスデータを表
示する際の表示条件を設定する表示条件設定手段１５
と、画面４にグラフの表示を行う制御手段１６とが備え
られている。また、この制御手段１６は、後述するよう
に、グラフの表示に際して表示条件を制御する表示条件
制御手段１７を有している。

【００１５】本例では、上記した管理システム１をＣＰ
ＵやＲＯＭ等から構成されたコンピュータによるコント
ローラとして構成した場合の例を示し、管理システム１
による各種の処理は、ＣＰＵがＲＯＭに格納された処理
プログラムをＲＡＭに展開して実行することにより行わ
れる。表示条件記憶手段１３は、グラフ中のプロセスデ
ータを表す線の表示形態を規定する表示条件を２種類以
上記憶したメモリから構成され、変更を行う各表示形態
毎に設定可能な２種類以上の異なった表示条件を記憶し
た手段である。

【００１６】すなわち、本例では、プロセスデータを表
す線の表示形態として線種と線幅と線色の変更を行うこ
ととし、このため、表示条件記憶手段１３には、線種に
ついては実線や点線や破線等といった２種類以上の異な
った表示条件が記憶されており、線幅については１ミリ
や２ミリといった２種類以上の異なった表示条件が記憶
されており、線色については赤や青や白といった２種類
以上の異なった表示条件が記憶されているとする。そし
て、表示条件の設定の変更は、この表示条件記憶手段１
３に記憶されている複数種類の表示条件の中から各表示
形態毎に１つの表示条件が選択されて行われる。すなわ
ち、例えば線種を実線にして、線幅を１ミリにして、線
色を白色にするといったように、線種と線幅と線色のそ
れぞれについて１つずつの表示条件が選択されることに
より、各プロセスデータを表す線についての表示形態が
特定される。

【００１７】表示条件変更手段１４は、入力手段５のマ
ウス等により入力されたオペレータからの指示に応じ
て、後述する表示条件設定手段１５に設定する各プロセ
スデータについての表示条件を変更させる手段であり、
ＣＰＵがＲＯＭに格納された処理プログラムをＲＡＭに
展開して当該処理を実行することにより構成される。な
お、本例では、この表示条件変更手段１４が、後述する
図４に示すような表示条件設定ポップアップ画面を画面
４に表示し、このポップアップ画面中に各プロセスデー
タに現在設定されている表示条件の状態と各プロセスデ
ータに設定可能な表示条件の種類とを表示することによ
り、表示条件の設定変更処理が行われる。

【００１８】表示条件設定手段１５は、画面４にグラフ
として表示される各プロセスデータについて、表示条件
記憶手段１３に記憶されている２種類以上の表示条件の
内のいずれかを表示に用いる条件として設定する手段で
ある。ここで、本例では、各プロセスデータについて現
在設定されている表示条件の状態を表示条件ファイルと
して記憶しておくこととし、このため本例では、上記し
た表示条件設定手段１５をこの表示条件ファイルを記憶
したメモリとして構成する。すなわち、この表示条件フ
ァイルには、画面４にグラフとして表示される各プロセ
スデータについて現在設定されている線種と線幅と線色
とが書き込まれており、表示条件ファイルに書き込まれ
たこれらの情報は、上記したように、表示条件変更手段
１４を介してオペレータにより変更させることができ
る。

【００１９】制御手段１６は、前記データ収集装置１１
により入力されたプロセスデータを例えば当該データの
時間的な変化であるトレースデータとして画面４にグラ
フとして表示出力させる手段であり、この制御手段１６
には更に、以下で示す表示条件制御手段１７が備えられ
ている。表示条件制御手段１７は、制御手段１６が上記
のようにして画面４にグラフを表示させるに際して、表
示条件設定手段１５により各プロセスデータについて設
定された表示条件に基づいてグラフの表示処理を制御す
る手段であり、ＣＰＵがＲＯＭに格納された処理プログ
ラムをＲＡＭに展開して当該処理を実行することにより
構成される。すなわち、表示条件制御手段１７は、前記
表示条件設定手段１５に記憶された表示条件ファイルを
参照し、このファイルに書き込まれている各プロセスデ
ータについての表示条件の内容に基づいて、各プロセス
データをファイルに設定されている表示条件により表示
させる。

【００２０】次に、以上の構成から成るプロセスデータ
表示制御装置１２により行われる処理の一例を図２を参
照して説明する。本例では、プロセスデータの時間的な
変化であるトレースデータを画面４にグラフとして表示
させる場合について説明し、また、グラフ中の各プロセ
スデータを表す線の表示形態として、線種と線幅と線色
とを変更する場合の例について説明する。まず、画面４
には、プロセス処理中のガス流量の変化（図中上段のグ
ラフ）と温度の変化（図中下段のグラフ）とが図３に示
すようにグラフ表示されているとする（ステップＳ
１）。

【００２１】ここで、図３に示した画面４には、上記従
来例の図５で示した画面中にも表示されている例えば”
ＺＯＯＭ ＩＮ”や”ＺＯＯＭ ＯＵＴ”といった各種
のボタンに加えて更に、”ＬＩＮＥ ＥＤＩＴ”という
ボタン２０が表示されている。この”ＬＩＮＥ ＥＤＩ
Ｔ”ボタン２０は、後述するように、オペレータがプロ
セスデータの表示条件を変更する際にクリックして用い
られるものである。また、図３中に示された２つのグラ
フにおける各プロセスデータは、表示条件ファイルによ
り各プロセスデータについて現在設定されている表示条
件に基づいてそれぞれ表示されている。すなわち、例え
ばガス流量の変化を示すグラフ中では、”Ｎ２”や”Ｏ
２”といったようにガスの種類毎に検出されたプロセス
データが１つのグラフ中に同時に表示されており、例え
ば”Ｎ２”の線は、線幅が１ミリである白色の破線で表
示されており、”Ｏ２”の線は、線幅が１ミリである白
色の実線で表示されている。

【００２２】また、ガス流量の場合と同様に、温度変化
についても、例えばプロセス処理を行うチャンバ中の温
度を複数の異なった位置で検出する場合には、これら複
数の検出位置で検出された複数種類のプロセスデータ
（温度変化）が１つのグラフ中に同時に表示される。例
えば図３に示した温度変化のグラフ中では、”ＨＴ．Ｃ
Ｕ”と”ＨＴ．ＣＬ”と”ＨＴ．Ｌ”といった３つの異
なる温度条件の下で検出された３種類のプロセスデータ
が１つのグラフ中に同時に表示されており、例えば”Ｈ
Ｔ．ＣＵ”の線は、線幅が１ミリである白色の実線で表
示されており、”ＨＴ．Ｌ”の線は、線幅が１ミリであ
る白色の点線で表示されている。なお、以上に示した各
プロセスデータについての表示条件は、前記したよう
に、表示条件ファイルの中に現在書き込まれている内容
に従ったものである。

【００２３】ここで、例えばオペレータが画面４上のグ
ラフを見ながらプロセスデータの結果を検討するに際し
て、或るプロセスデータの表示条件を変更したい場合に
は、次のようにして表示条件の変更処理を行う。すなわ
ち、まず、画面４に表示された”ＬＩＮＥ ＥＤＩＴ”
ボタン２０をオペレータが例えばマウス５を用いてクリ
ックすると（ステップＳ２）、表示条件設定手段１５に
記憶された表示条件ファイルが表示条件変更手段１４に
よって読み出され、現在設定されている表示条件の状態
が表示条件変更手段１４により把握される（ステップＳ
３）。

【００２４】次に、図４に示すように、表示条件設定ポ
ップアップ画面が画面４に表示される（ステップＳ
４）。ここで、同図に示したポップアップ画面の左側に
は、温度についての複数種類のプロセスデータの各々に
現在設定されている表示条件を示す”ＳＥＬＥＣＴ Ｔ
ＥＭＰ”の欄と、ガスについての複数種類のプロセスデ
ータの各々に現在設定されている表示条件を示す”ＳＥ
ＬＥＣＴ ＧＡＳ”の欄と、圧力についての複数種類の
プロセスデータの各々に現在設定されている表示条件を
示す”ＳＥＬＥＣＴ ＰＲＥＳＳ”の欄とが表示されて
いる。ここで、本例では、”ＳＥＬＥＣＴ ＧＡＳ”の
欄に示されている”ＭＦＣ００１”や”ＭＦＣ００２”
等が、上記した”Ｎ２”や”Ｏ２”と一意に対応付けら
れているとする。すなわち、ガスについては、このポッ
プアップ画面上で、”ＭＦＣ００１”や”ＭＦＣ００
２”についての表示条件の設定を変更することにより、
図３に示した”Ｎ２”や”Ｏ２”についての表示条件の
設定を一意に変更することができるものとする。

【００２５】また、図４に示したポップアップ画面の右
側には、上記した表示条件記憶手段１３に記憶されてい
る複数種類の表示条件が設定可能な表示条件として表示
されている。すなわち、画面中の”ＬＩＮＥ ＴＹＰ
Ｅ”の欄には、実線（番号”１”）、点線（番号”
２”）、破線（番号”３”）、・・・といった線種につ
いての設定可能な表示条件が複数種類表示されてお
り、”ＬＩＮＥ ＷＩＤＴＨ”の欄には、１ミリ（番
号”１”）、２ミリ（番号”２”）、３ミリ（番号”
３”）といった線幅についての設定可能な表示条件が複
数種類表示されており、”ＬＩＮＥ ＣＯＬＯＲ”の欄
には、赤（”ＲＥＤ”）、オレンジ（”ＯＲＡＮＧ
Ｅ”）、黄（”ＹＥＬＬＯＷ”）、・・・といった線色
についての設定可能な表示条件が複数種類表示されてい
る。

【００２６】上記したポップアップ画面が画面４に呼び
出されたときには、まず、各プロセスデータについて表
示条件ファイルに現在設定されている表示条件が上記し
たように画面の左側に示され、表示条件変更手段１４は
この状態で、入力手段５からオペレータの指示が入力さ
れるのを待機（イベント待ち）する（ステップＳ５）。
そして、オペレータは、このポップアップ画面上に表示
された各情報を例えばマウス５を用いてクリックするこ
とにより、各プロセスデータに設定された表示条件を変
更し、変更された表示条件を表示条件ファイルに上書き
する（ステップＳ６）。

【００２７】すなわち、例えば”ＨＴ．Ｌ”という温度
についての条件下で検出されたプロセスデータを表す線
の表示条件を変更する場合には、まず、オペレータがこ
の”ＨＴ．Ｌ”というボタンを画面４上でクリックして
選択する。この操作により選択された”ＨＴ．Ｌ”ボタ
ンは、例えば画面４上で白黒反転（白リバース）するこ
とによりオペレータによって選択されたことを示し、次
に、オペレータがこの”ＨＴ．Ｌ”の線の表示に用いた
い表示条件を画面右側に表示されている複数種類の線種
や線幅や線色の中からマウス等を用いて選択する。例え
ば”ＬＩＮＥＴＹＰＥ”の中から実線（番号”１”）を
クリックし、”ＬＩＮＥ ＷＩＤＴＨ”の中から１ミリ
（番号”１”）をクリックし、”ＬＩＮＥ ＣＯＬＯ
Ｒ”の中から青（”ＢＬＵＥ”）をクリックすることに
より、”ＨＴ．Ｌ”の線を線幅が１ミリの青色の実線で
表示するように変更することができる。

【００２８】そして、表示条件を変更したい各プロセス
データについて上記のような操作を行うことにより、オ
ペレータは、各プロセスデータを表す線の表示条件を画
面右側に表示されている選択可能な表示条件の範囲内で
任意に変更することができ、オペレータがこのようにし
て表示条件の設定を変更していく度にポップアップ画面
に表示される設定の内容が書き換えられていく。なお、
上記では、１つのプロセスデータについて線種と線幅と
線色とをすべて変更した場合の例を示したが、例えば線
種のみを変更したい場合には、線幅や線色についての表
示条件を変更することなく、線種についての表示条件の
選択のみを行えばよい。

【００２９】上記のようにして変更された各プロセスデ
ータについての表示条件は、ポップアップ画面中に表示
された”ＳＥＴ”ボタンをオペレータがクリックするこ
とにより、変更後の表示条件として表示条件ファイルに
上書きされる。そして、オペレータがポップアップ画面
中の”ＥＸＩＴ”ボタンをクリックすると、図４に示し
た表示条件設定ポップアップ画面がディスプレイ画面４
から消去される（ステップＳ７）。なお、図４に示した
ポップアップ画面には、上記した各ボタンの他に、選択
した手続きをキャンセルする”ＣＡＮＣＥＬ”ボタン
や、すべてのプロセスデータについての表示条件を一度
に変更するための”ＳＥＬＥＣＴ ＡＬＬ”ボタンや、
各プロセスデータについての表示条件を予め記憶されて
いるデフォルトに設定する”ＩＮＩＴＩＡＬ”ボタンが
表示されており、オペレータは、これらのボタンも適宜
用いることができる。

【００３０】上記したポップアップ画面の消去（ステッ
プＳ７）とともに、変更後の表示条件ファイルが前記表
示条件制御手段１７によって読み込まれ（ステップＳ
８）、読み込まれた表示条件ファイルに設定されている
各プロセスデータについての表示条件が、制御手段１６
に記憶されているグラフを描画するための構造体（グラ
フ描画用構造体）に設定（セット）される（ステップＳ
９）。そして、制御手段１６が、このグラフ描画用構造
体に基づいて画面４にプロセスデータのグラフ（グラフ
ィックデータ）表示を行い（ステップＳ１０）、これに
より、画面４には、上記図３と同様にガス流量のグラフ
と温度のグラフとが、変更後の各プロセスデータの表示
条件に従った表示形態により表示出力される（ステップ
Ｓ１１）。

【００３１】従って、半導体製造装置により実行された
プロセス処理のデータを表示手段の画面にグラフとして
表示出力させるに際して、複数種類のプロセスデータの
結果を画面の１つのグラフ中に同時に表示させるといっ
た従来の良い点を維持しながら、本例では、各プロセス
データを表す線の線種や線幅や線色等といった表示形態
をオペレータの指示によって変更することが可能であ
る。このため、例えば本例のように、オペレータが画面
に表示されたガス流量変化や温度変化を見ながらこれら
の結果の判定をリアルタイムで視覚的に検討するに際し
て、各プロセスデータを表す線の表示形態をオペレータ
の好みに合わせて変更することができるため、画面上の
グラフをオペレータにとって見やすくすることができ
る。

【００３２】すなわち、例えば、オペレータが上記図３
のガス流量変化のグラフ中の”Ｎ２”の線に注目したい
場合には、”Ｎ２”の線を線幅２ミリの赤色の実線で表
示させるように変更するとともに、”Ｏ２”の線を線幅
１ミリの白色の破線で表示させるように変更するするこ
とにより、注目したい”Ｎ２”の線の線幅や線色を強調
して視覚的に見やすくすることができ、このようにし
て、オペレータが画面を見ながら行うプロセスデータの
結果の検討等をオペレータにとって視覚的に行いやすく
することができる。

【００３３】また、例えば、オペレータが上記図３の温
度変化のグラフ中の”ＨＴ．ＣＵ”の線と”ＨＴ．Ｌ”
の線とを視覚的に比較したい場合には、”ＨＴ．ＣＵ”
の線を線幅１ミリの赤色の実線で表示させるように変更
するともに、”ＨＴ．Ｌ”の線を線幅１ミリの青色の実
線で表示させるように変更することにより、これら２つ
の線の色を赤色と青色とにして視覚的に比較しやすくす
ることができ、このようにして、オペレータが画面を見
ながら行う複数種類のプロセスデータ間での結果の比較
等を視覚的に行いやすくすることができる。以上のよう
に、本発明によると、オペレータにより各プロセスデー
タを表す線の表示形態を変更することができるため、画
面上に表示されるグラフの表示をオペレータにとって見
やすいものに変更することができ、これによりプロセス
データの結果の検討等を行うことができる。

【００３４】ここで、上記実施例では、プロセッサやメ
モリ等を備えたプロセスデータ表示制御装置が処理プロ
グラムを実行することにより、上記したプロセスデータ
の表示条件の変更処理を制御する構成としたが、本発明
では、当該処理を実行するための各機能手段を独立した
ハードウェア回路として構成してもよい。また、本発明
は上記の処理プログラムを格納したフロッピーディスク
やＣＤ−ＲＯＭ等の記憶媒体として把握することもで
き、当該処理プログラムを記憶媒体からコンピュータに
入力してプロセッサに実行させることにより、本発明に
係る処理を遂行させることができる。

【００３５】また、上記実施例では、線種と線幅と線色
といった線の表示形態を変更したが、本発明により変更
される表示形態としてはこれらのものに限られず、任意
の表示形態が用いられてもよく、例えば特定の線を画面
上で点滅させることによりグラフ中で目立たせるように
するといった表示形態の変更が行われてもよい。また、
上記実施例では、半導体製造装置管理システム１と、セ
ンサ３を備えた半導体製造装置２と、表示手段４と、入
力手段５とをそれぞれ別個の構成としたが、例えばこれ
らの各構成をまとめて１つの半導体製造管理システムと
して構成することにより、この１つの半導体製造管理シ
ステムによりプロセス処理の制御や実行、及びプロセス
処理で得られたガス流量や温度等のプロセスデータの表
示制御といったすべての処理を行うようにすることもで
きる。

【００３６】また、上記実施例では、半導体製造装置に
より実行されたプロセス処理のプロセスデータをトレー
スデータとして画面にグラフ表示させ、このトレースデ
ータを表す線の表示形態を変更したが、画面に表示され
るデータとしては例えばポイントデータや他のデータで
あってもよく、また、プロセスデータを解析等したデー
タであっても構わない。すなわち、本発明は、半導体製
造装置により実行されたプロセス処理のデータやこのプ
ロセス処理のデータを加工等して得られたデータを画面
にグラフ表示するに際して、このグラフ中に表示される
データを表す線の表示形態を変更するものである。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体製造装置のプロセスデータ表示制御装置によると、半
導体製造装置により実行されたプロセス処理のデータを
表示手段の画面にグラフとして表示出力させるに際し
て、グラフ中のプロセスデータを表す線の線種や線幅や
線色等といった表示形態をオペレータによって制御する
ことができるようにしたため、オペレータが画面を見な
がら行うプロセスデータの結果の検討等をオペレータに
とって視覚的に行いやすくすることができる。また、本
発明によると、複数種類のプロセスデータの結果を画面
の１つのグラフ中に表示させることができるという従来
の良い点を維持しながら、各プロセスデータを表す線の
表示形態をオペレータの好みに合わせて変更することが
できるようにしたため、例えば複数種類のプロセスデー
タを１画面で見ることができるといった従来の良い点を
維持しながら、オペレータがこれら複数種類のプロセス
データの結果を視覚的に検討等しやすくすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る半導体製造装置のプロ
セスデータ表示制御装置を備えた半導体製造装置管理シ
ステムの構成例である。

【図２】各プロセスデータに設定される表示条件を変更
する処理の一例である。

【図３】プロセスデータをグラフとして表示したディス
プレイ画面の一例である。

【図４】表示条件設定ポップアップ画面の一例である。

【図５】従来例に係るプロセスデータをグラフとして表
示したディスプレイ画面の一例である。

【符号の説明】

１・・半導体製造装置管理システム、 ２・・半導体製
造装置、３・・センサ、 ４・・表示手段、 ５・・入
力手段、１１・・データ収集装置、 １２・・プロセス
データ表示制御装置、１３・・表示条件記憶手段、 １
４・・表示条件変更手段、１５・・表示条件設定手段、
１６・・制御手段、１７・・表示条件制御手段、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造装置により実行されたプロセ
   ス処理のデータを表示手段の画面にグラフとして表示出
   力させる半導体製造装置のプロセスデータ表示制御装置
   において、 グラフ中のプロセスデータを表す線の表示形態を規定す
   る表示条件を２種類以上記憶した表示条件記憶手段と、 表示条件記憶手段に記憶されている表示条件の内のいず
   れかを表示に用いる条件として設定する表示条件設定手
   段と、 オペレータからの指示に応じて表示条件設定手段に設定
   する表示条件を変更させる表示条件変更手段と、 前記表示手段に設定された表示条件に基づいてグラフの
   表示を行わせる表示条件制御手段と、 を備えたことを特徴とする半導体製造装置のプロセスデ
   ータ表示制御装置。