JPH10306376A - 成膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】配管、特にＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給配管の詰ま
りの防止、流量の安定、パーティクルの低減に大きく寄
与することができる成膜装置を提供する。 【解決手段】タンタルソース供給ライン４０のタンタル
ソースタンク１０上部であって、継ぎ手４２の下流のタ
ンタルソース供給配管４１にＣ₂Ｈ₅ＯＨ供給ライン４５
を接続する。タンタルソースタンク１０の交換時には、
バルブ３３、４３を閉じた状態で、バルブ４４を開い
て、Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ラインからＣ₂Ｈ₅ＯＨをバルブ４３
より下流側に流して洗浄し、Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ をタン
タルソース供給ライン４０から取り除く。その後、継ぎ
手３２および継ぎ手４２を外して、タンタルソースタン
ク１０の交換を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は成膜装置に関し、特
にＴａ₂Ｏ₅膜成膜装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図２は、従来のＴａ₂Ｏ₅膜成膜装置に使
用されるＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給部を説明するための図
である。

【０００３】この従来のＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給部２０
０は、タンタルソース押し出しガスライン３０と、タン
タルソースタンク１０と、タンタルソース供給ライン１
４０とを備えている。タンタルソースタンク１０内には
Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ ２０が入れられており、その上部に
は空間１１が存在する。タンタルソース押し出しガスラ
イン３０の先端配管部３９はその空間１１に連通し、タ
ンタルソース供給ライン１４０の先端配管部４９はＴａ
（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ ２０内に浸されている。タンタルソース
押し出しガスライン３０のタンタルソースタンク１０上
部にはバルブ３３が設けられ、その上流側には継ぎ手３
２を介して押し出しガス供給配管３１が設けられてい
る。タンタルソース供給ライン１４０のタンタルソース
タンク１０上部にはバルブ４３が設けられ、その下流側
には継ぎ手４２を介してタンタルソース供給配管１４１
が設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】タンタルソースタンク
１０の交換は、バルブ３３、４３を閉めた状態で、継ぎ
手３２および継ぎ手４２を外すことによって行うが、こ
のＴａソース［Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ ］は空気中の水分と
すぐに反応し固体になる。

【０００５】そのため、バルブ４３より下流側のタンタ
ルソース供給ライン１４０に、この反応生成物が生じて
しまい。その結果、配管の詰まりや、流量の不安定や、
パーティクルの発生等の問題が生じていた。

【０００６】従って、本発明の目的は、上記従来技術の
問題を解決し、配管詰まりの防止、流量の安定、パーテ
ィクルの低減に大きく寄与することができる成膜装置を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、タンタ
ルソース供給ラインに配管洗浄用Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ライン
を設けたことを特徴とする成膜装置が提供される。

【０００８】このように、タンタルソース供給ラインに
配管洗浄用Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ラインを設けているので、タ
ンタルソース供給ラインの配管を洗浄することができ、
その結果、タンタルソース供給ラインの配管詰まりの防
止、流量の安定、パーティクルの低減に大きく寄与する
ことができる。

【０００９】本発明は、タンタルソース供給ラインとし
て、Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給ラインを用いたときに特に
優れた効果がある。Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ は通常は液体で
あり、そのためにそれを供給するためには、それを収容
したタンクを備えるタンタルソース供給部が用いられる
ことが多い。このタンタルソース供給部は、通常は、液
体のＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ を収容するタンクと、Ｔａ（Ｏ
Ｃ₂Ｈ₅）₅ を押し出すための押し出しガス用配管と、Ｔ
ａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ を取り出して外部に供給するためのタ
ンタルソース供給配管と、押し出しガス用配管とタンタ
ルソース供給配管の途中にそれぞれ設けられたバルブ
と、押し出しガス用配管におけるバルブ上流側の継ぎ手
と、タンタルソース供給配管におけるバルブの下流側の
継ぎ手とを備えている。そして、タンクの交換は、上記
２つのバルブを閉めた状態で上記２つの継ぎ手を外して
行うが、本発明のように、タンタルソース供給ラインに
配管洗浄用Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ラインを設ければ、継ぎ手を
外す前に、タンタルソース供給ラインの配管をＣ₂Ｈ₅Ｏ
Ｈによって洗浄して、Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ をタンタルソ
ース供給ラインから予め取り除くことができる。その結
果、その後継ぎ手を外しても、Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ に起
因する反応生成物が生じることはなく、その結果、配管
の詰まりや、流量の不安定や、パーティクルの発生等の
問題がなくなる。

【００１０】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００１１】図１は、本発明の一実施の形態のＴａ₂Ｏ₅
膜成膜装置に使用されるＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給部を説
明するための図である。

【００１２】本実施の形態のＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給部
１００は、タンタルソース押し出しガスライン３０と、
タンタルソースタンク１０と、タンタルソース供給ライ
ン４０とを備えている。タンタルソースタンク１０内に
はＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ ２０が入れられており、その上部
には空間１１が存在する。タンタルソース押し出しガス
ライン３０の先端配管部３９はその空間１１に連通し、
タンタルソース供給ライン４０の先端配管部４９はＴａ
（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ ２０内に浸されている。タンタルソース
押し出しガスライン３０のタンタルソースタンク１０上
部にはバルブ３３が設けられ、その上流側には継ぎ手３
２を介して押し出しガス供給配管３１が設けられてい
る。タンタルソース供給ライン４０のタンタルソースタ
ンク１０上部にはバルブ４３が設けられ、その下流側に
は継ぎ手４２を介してタンタルソース供給配管４１が設
けられている。継ぎ手４２の下流のタンタルソース供給
配管４１には、Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ライン４５がバルブ４４
を介して接続されている。さらにその下流側のタンタル
ソース供給配管４１には、Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ排出ライン４７が
バルブ４８を介して接続されている。

【００１３】タンタルソースとしてのＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）
₅ を供給するには、バルブ４４、４８を閉じておき、バ
ルブ３３、４３を開いた状態で、タンタルソース押し出
しガスライン３０から押し出しガスを流して、タンク１
０からタンタルソースＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ をタンタルソ
ース供給ライン４０に押し出す。そして、押し出された
タンタルソースＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ は図中省略の加熱手
段により、３５０℃程度に加熱されて気化し、その後、
成膜室等に供給され、Ｔａ₂Ｏ₅膜を成膜する。

【００１４】タンタルソースタンク１０を交換する際に
は、バルブ３３、４３を閉じた状態で、バルブ４４を開
いて、Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ラインからＣ₂Ｈ₅ＯＨをバルブ４
３より下流側に流して洗浄し、Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ をタ
ンタルソース供給ライン４０から取り除く。なお、洗浄
用のＣ₂Ｈ₅ＯＨは、洗浄すべき部分よりも下流側に設け
られたＣ₂Ｈ₅ＯＨ排出ライン４７からバルブ４８を介し
て排出する。その後、継ぎ手３２および継ぎ手４２を外
して、タンタルソースタンク１０の交換を行う。本実施
の形態においては、予めＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ がタンタル
ソース供給ライン４０から取り除かれているから、継ぎ
手３２、４２を外しても、Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ に起因す
る反応生成物が生じることはなく、その結果、タンタル
ソース供給ライン４０において、配管の詰まりや、流量
の不安定や、パーティクルの発生等の問題がなくなる。

【００１５】

【発明の効果】このように、Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ラインを設
けることにより、タンタルソース供給ラインの配管詰ま
りの防止、流量の安定、パーティクルの低減に大きく寄
与することができ、メンテナンス時間の低減、再現性の
確保に大きな効果が見られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のＴａ₂Ｏ₅膜成膜装置に
使用されるＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅供給部を説明するための
図である。

【図２】従来のＴａ₂Ｏ₅膜成膜装置に使用されるＴａ
（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給部を説明するための図である。

【符号の説明】

１０…タンタルソースタンク １１…空間 ２０…Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ ３０…タンタルソース押し出しガスライン ３１…押し出しガス供給配管 ３２、４２…継ぎ手 ３３、４３、４４、４８…バルブ ４０…タンタルソース供給ライン ４１…タンタルソース供給配管 ４５…Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ供給ライン ４７…Ｃ₂Ｈ₅ＯＨ排出ライン １００…Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅ 供給部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】タンタルソース供給ラインに配管洗浄用Ｃ
   ₂Ｈ₅ＯＨ供給ラインを設けたことを特徴とする成膜装
   置。