JPH03207439A - 塗布液の送液方法 - Google Patents
塗布液の送液方法Info
- Publication number
- JPH03207439A JPH03207439A JP2000602A JP60290A JPH03207439A JP H03207439 A JPH03207439 A JP H03207439A JP 2000602 A JP2000602 A JP 2000602A JP 60290 A JP60290 A JP 60290A JP H03207439 A JPH03207439 A JP H03207439A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soln
- coating
- liquid
- cleaning
- bubbles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 62
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 32
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 79
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 10
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 3
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 abstract 1
- 239000013530 defoamer Substances 0.000 abstract 1
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 4
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 3
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/74—Applying photosensitive compositions to the base; Drying processes therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/74—Applying photosensitive compositions to the base; Drying processes therefor
- G03C2001/7429—Cleaning means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/74—Applying photosensitive compositions to the base; Drying processes therefor
- G03C2001/7437—Degassing means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/74—Applying photosensitive compositions to the base; Drying processes therefor
- G03C2001/744—Delivering means for slide hopper
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は塗布液を塗布液タンクより送液ポンプによって
濾過器，脱泡装直を経て塗布装置に送液する方法に関す
る． 〔従来の技術〕 従来は、特公昭６２−４３７２２において言及されてい
るごとく、あらかじめ脱気した水を洗浄液として用い、
該洗浄液を連続的に相当な時間塗布液流路に供給する事
によって流路内の気体を除去し、塗布液に切り替えた後
に発生する気泡トラブルの防止を行っていた． 〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら脱気された水を洗浄液として、濾材を含め
た塗布液流路に通液した場合、一般に用いられている塗
布液中の異物除去の為のポリブロビレンやセルロース等
の有機高分子繊維系の濾材に付着する気泡を溶出した洗
浄液中の気泡は、濾材以後の送液流路内に散逸し、配管
のつなぎ部分等に設けられたパッキング材のような非親
水性素材や配管内壁部の傷等に容易に捕捉される．また
、脱気された水は塗布液程濡れ性がよくなく、濾材に対
する濡れ性が劣るために、濾材内に含有された気泡の除
去は充分でない．この為、上記操作により送液流路内を
通液した後塗布液に切り替えると、残存する濾材中の気
泡や、配管路途中に捕捉されていた気泡が、再び塗布液
中に混入してしまい基材上に塗布された際塗布されたも
のの気泡による製品故障を発生することになる． したがってこの方法では洗浄時間を相当長い時間行わな
ければならなかった． 本発明の目的は上記の問題点を解消し、塗布送液系中の
気泡を単時間で完全に追い出すことの出来る塗布液の送
液方法を提供することにある．〔課題を解決するための
手段及び作用〕本発明の上記目的は、 （１）塗布液を塗布液タンクより送液ポンプによって濾
過器，脱泡装置を経て塗布装置に送液する方法において
、あらかじめ脱気された温水と低表面張力水溶液とを脱
泡の為の洗浄液として用い、該洗浄液を前記送液ボンプ
により前記濾過器を通し、濾材に含まれている気泡を該
洗浄液中に溶出して流路外に排出した後に、新しい洗浄
液によつて前記送液流路内を充填し、その後該洗浄液を
塗布液に順次切り替えることを特徴とする塗布液の送液
方法． （２）前記塗布液が写真感光材料用塗布液であることを
特徴とする請求項（１）記載の塗布液の送液方法． によって達威される。
濾過器，脱泡装直を経て塗布装置に送液する方法に関す
る． 〔従来の技術〕 従来は、特公昭６２−４３７２２において言及されてい
るごとく、あらかじめ脱気した水を洗浄液として用い、
該洗浄液を連続的に相当な時間塗布液流路に供給する事
によって流路内の気体を除去し、塗布液に切り替えた後
に発生する気泡トラブルの防止を行っていた． 〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら脱気された水を洗浄液として、濾材を含め
た塗布液流路に通液した場合、一般に用いられている塗
布液中の異物除去の為のポリブロビレンやセルロース等
の有機高分子繊維系の濾材に付着する気泡を溶出した洗
浄液中の気泡は、濾材以後の送液流路内に散逸し、配管
のつなぎ部分等に設けられたパッキング材のような非親
水性素材や配管内壁部の傷等に容易に捕捉される．また
、脱気された水は塗布液程濡れ性がよくなく、濾材に対
する濡れ性が劣るために、濾材内に含有された気泡の除
去は充分でない．この為、上記操作により送液流路内を
通液した後塗布液に切り替えると、残存する濾材中の気
泡や、配管路途中に捕捉されていた気泡が、再び塗布液
中に混入してしまい基材上に塗布された際塗布されたも
のの気泡による製品故障を発生することになる． したがってこの方法では洗浄時間を相当長い時間行わな
ければならなかった． 本発明の目的は上記の問題点を解消し、塗布送液系中の
気泡を単時間で完全に追い出すことの出来る塗布液の送
液方法を提供することにある．〔課題を解決するための
手段及び作用〕本発明の上記目的は、 （１）塗布液を塗布液タンクより送液ポンプによって濾
過器，脱泡装置を経て塗布装置に送液する方法において
、あらかじめ脱気された温水と低表面張力水溶液とを脱
泡の為の洗浄液として用い、該洗浄液を前記送液ボンプ
により前記濾過器を通し、濾材に含まれている気泡を該
洗浄液中に溶出して流路外に排出した後に、新しい洗浄
液によつて前記送液流路内を充填し、その後該洗浄液を
塗布液に順次切り替えることを特徴とする塗布液の送液
方法． （２）前記塗布液が写真感光材料用塗布液であることを
特徴とする請求項（１）記載の塗布液の送液方法． によって達威される。
本発明においてあらかじめ脱気された温水とは、従来知
られている脱気方法，例えば特公昭６２一４３７２２号
，特開昭６１−１２０６６８号各公報に開示されている
脱気されている脱気方法によって脱気せしめられ、さら
に送液経路に該脱気温水が通液される前に塗布液と同程
度の液温にその脱気温水温度を調整したものをいう． 本発明において低表面張力水溶液は、塗布液中に含まれ
る界面活性剤と同種のものを用いることが好ましい。例
えば感光材料の写真的特性に影響を及ぼすことの少ない
アニオンスルホン酸系界面活性剤が用いられ、その濃度
は０．０１〜０．５％が望ましい。
られている脱気方法，例えば特公昭６２一４３７２２号
，特開昭６１−１２０６６８号各公報に開示されている
脱気されている脱気方法によって脱気せしめられ、さら
に送液経路に該脱気温水が通液される前に塗布液と同程
度の液温にその脱気温水温度を調整したものをいう． 本発明において低表面張力水溶液は、塗布液中に含まれ
る界面活性剤と同種のものを用いることが好ましい。例
えば感光材料の写真的特性に影響を及ぼすことの少ない
アニオンスルホン酸系界面活性剤が用いられ、その濃度
は０．０１〜０．５％が望ましい。
本発明における特＠ば先ず（１）脱気された温水と低表
面張力水溶液とを脱泡のための洗浄液として用いるとい
うこと、これによって脱気された温水にまり脱泡がされ
ると共に低表面張力液によって塗布液と濾材に対する濡
れ性が同じになり、残った気泡が該液中に吸収される。
面張力水溶液とを脱泡のための洗浄液として用いるとい
うこと、これによって脱気された温水にまり脱泡がされ
ると共に低表面張力液によって塗布液と濾材に対する濡
れ性が同じになり、残った気泡が該液中に吸収される。
したがって濾材内及びその後の流路内に含有する気泡の
除去は充分に出来る．尚、脱気された温水と低表面張力
水溶液とは別々に順次配管系を通してもよく、又両者を
混合した液を用いてもよい。
除去は充分に出来る．尚、脱気された温水と低表面張力
水溶液とは別々に順次配管系を通してもよく、又両者を
混合した液を用いてもよい。
次ぎに（２）濾材に含まれている気泡を該洗浄液中に溶
出して流路外に排出してしまうことにより、従来のよう
な次につくく流路系のパッキング材のような非親水性素
材や配管内壁部の傷等に気泡が捕捉されることがなくな
る。この実施方法としては濾過器の次に経路切換弁を設
けて濾過器洗浄後の洗浄液を系外に出す方法がとられる
。
出して流路外に排出してしまうことにより、従来のよう
な次につくく流路系のパッキング材のような非親水性素
材や配管内壁部の傷等に気泡が捕捉されることがなくな
る。この実施方法としては濾過器の次に経路切換弁を設
けて濾過器洗浄後の洗浄液を系外に出す方法がとられる
。
更に（３） その後、該洗浄液により前記送液系内を
充填して最終的に低表面張力水溶液を通すことにより、
更に流路内に付着している気泡を洗浄液中に溶出するこ
とにより完全に気泡を抜き去ることが出来る．その後塗
布液を送液するのである．本発明は特に泡故障に厳密な
写真感光材料の塗布液の送液方法として有効である． 〔実 施 例〕 本発明の塗布液の送液方法の一実施例を第１図を用いて
説明する． 第１表に示されるような組或の写真感光材料用塗布液を
塗布液タンク１より送液する際、第 １ 表 予め脱気された４０’Ｃの温度水を満たした脱気タンク
、その次に低表面張力水溶液として写真感光材料用塗布
液中に含まれたアニオンスルホン酸系表面活性剤０．１
％の水溶液を満たしたタンク３の底弁を開けてこれらの
洗浄液を送液ポンプ４で順次濾過器５に送り濾材中に含
まれている気泡をこれらの洗浄液に溶出し、経路切替弁
６によって該洗浄液を流路外に排出する．その後経路切
り替え弁６を切り替え低表面張力水溶液を脱泡装置７を
通し塗布装置８迄の送液流路にも該液を充填し、送液流
路内の気泡を該液によって吸収した後、塗布液タンク１
の底バルブを開けて経路内の液を塗布液に置換する。
充填して最終的に低表面張力水溶液を通すことにより、
更に流路内に付着している気泡を洗浄液中に溶出するこ
とにより完全に気泡を抜き去ることが出来る．その後塗
布液を送液するのである．本発明は特に泡故障に厳密な
写真感光材料の塗布液の送液方法として有効である． 〔実 施 例〕 本発明の塗布液の送液方法の一実施例を第１図を用いて
説明する． 第１表に示されるような組或の写真感光材料用塗布液を
塗布液タンク１より送液する際、第 １ 表 予め脱気された４０’Ｃの温度水を満たした脱気タンク
、その次に低表面張力水溶液として写真感光材料用塗布
液中に含まれたアニオンスルホン酸系表面活性剤０．１
％の水溶液を満たしたタンク３の底弁を開けてこれらの
洗浄液を送液ポンプ４で順次濾過器５に送り濾材中に含
まれている気泡をこれらの洗浄液に溶出し、経路切替弁
６によって該洗浄液を流路外に排出する．その後経路切
り替え弁６を切り替え低表面張力水溶液を脱泡装置７を
通し塗布装置８迄の送液流路にも該液を充填し、送液流
路内の気泡を該液によって吸収した後、塗布液タンク１
の底バルブを開けて経路内の液を塗布液に置換する。
洗浄液を塗布液に置換した際、濾材に含まれている気泡
及び送液流路内の気泡は、事前に洗浄液中に溶出されて
いる為、送液配管経路内には気泡は存在せず塗布液で充
填、置換されれば直ちに気泡の問題はなくなり塗布を開
始することが出来る。
及び送液流路内の気泡は、事前に洗浄液中に溶出されて
いる為、送液配管経路内には気泡は存在せず塗布液で充
填、置換されれば直ちに気泡の問題はなくなり塗布を開
始することが出来る。
経路切替弁６の排出口、および塗布装置８の直前に気泡
検出器を布設して洗浄液体中の気泡個数を計数した結果
、第２表に示すとおりである．第 ２ 表 〔発明の効果〕 本発明の塗布液の送液方法により、脱泡効果が上り、送
液流路中の気泡を完全に追い出すことが出来るようにな
って、洗浄時間も短縮し、洗浄液量も減じ又塗布品質も
向上した．さらに、送液流路内が塗布液に置換せしめら
れれば、直ちに塗布を行うことが出来、塗布液中の気泡
がなくなるまで高価な塗布液を廃却することがなくなっ
た．又、濾材からの非定常な気泡の流出がないため塗布
装置前の脱泡装置の容量を小さくしても充分脱泡が行え
るようになり、製品品質及びコスト上の貢献が大である
．
検出器を布設して洗浄液体中の気泡個数を計数した結果
、第２表に示すとおりである．第 ２ 表 〔発明の効果〕 本発明の塗布液の送液方法により、脱泡効果が上り、送
液流路中の気泡を完全に追い出すことが出来るようにな
って、洗浄時間も短縮し、洗浄液量も減じ又塗布品質も
向上した．さらに、送液流路内が塗布液に置換せしめら
れれば、直ちに塗布を行うことが出来、塗布液中の気泡
がなくなるまで高価な塗布液を廃却することがなくなっ
た．又、濾材からの非定常な気泡の流出がないため塗布
装置前の脱泡装置の容量を小さくしても充分脱泡が行え
るようになり、製品品質及びコスト上の貢献が大である
．
第１図は本発明の塗布液の送液方法の一実施例のフロー
シ一ト図である． １・・塗布液タンク ２・・脱気水タンク ３・・低表面張力水溶液タンク ４・・送液ポンプ ５・・濾過器 ６・・経路切替弁 ７・・脱泡装這 ８・・塗布装置 （ほか ３名〉 第 １ 図
シ一ト図である． １・・塗布液タンク ２・・脱気水タンク ３・・低表面張力水溶液タンク ４・・送液ポンプ ５・・濾過器 ６・・経路切替弁 ７・・脱泡装這 ８・・塗布装置 （ほか ３名〉 第 １ 図
Claims (2)
- （１）塗布液を塗布液タンクより送液ポンプによって濾
過器、脱泡装置を経て塗布装置に送液する方法において
、あらかじめ脱気された温水と低表面張力水溶液とを脱
泡の為の洗浄液として用い、該洗浄液を前記送液ポンプ
により前記濾過器を通し、濾材に含まれている気泡を該
洗浄液中に溶出して流路外に排出した後に、新しい該洗
浄液によって前記送液流路内を充填し、その後該洗浄液
を塗布液に順次切り替えることを特徴とする塗布液の送
液方法。 - （２）前記塗布液が写真感光材料用塗布液であることを
特徴とする請求項（１）記載の塗布液の送液方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000602A JP2630481B2 (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 | 塗布液の送液方法 |
| US07/636,460 US5096602A (en) | 1990-01-08 | 1990-12-31 | Method of removing air bubbles in a coating path before feeding a coating liquid |
| EP91100107A EP0437215B1 (en) | 1990-01-08 | 1991-01-02 | Method of feeding a coating liquid |
| DE69120834T DE69120834T2 (de) | 1990-01-08 | 1991-01-02 | Verfahren zur Zufuhr einer Beschichtungsflüssigkeit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000602A JP2630481B2 (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 | 塗布液の送液方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03207439A true JPH03207439A (ja) | 1991-09-10 |
| JP2630481B2 JP2630481B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=11478283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000602A Expired - Fee Related JP2630481B2 (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 | 塗布液の送液方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5096602A (ja) |
| EP (1) | EP0437215B1 (ja) |
| JP (1) | JP2630481B2 (ja) |
| DE (1) | DE69120834T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05212221A (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | フィルター装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5792237A (en) * | 1996-12-13 | 1998-08-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd | Method and apparatus for eliminating trapped air from a liquid flow |
| US6171367B1 (en) * | 1997-06-05 | 2001-01-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Method and apparatus for delivering and recycling a bubble-free liquid chemical |
| JP3461725B2 (ja) * | 1998-06-26 | 2003-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給装置及び処理液供給方法 |
| US6402821B1 (en) * | 1998-08-18 | 2002-06-11 | Tokyo Electron Limited | Filter unit and solution treatment unit |
| EP1069474A1 (en) * | 1999-07-12 | 2001-01-17 | Chugai Photo Chemical Co. Ltd. | Solution feeding apparatus and method |
| JP3890229B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-03-07 | 株式会社コガネイ | 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法 |
| JP3947398B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2007-07-18 | 株式会社コガネイ | 薬液供給装置および薬液供給方法 |
| JP2008238736A (ja) | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Fujifilm Corp | 感熱転写受像シート |
| US10121685B2 (en) * | 2015-03-31 | 2018-11-06 | Tokyo Electron Limited | Treatment solution supply method, non-transitory computer-readable storage medium, and treatment solution supply apparatus |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3425951A (en) * | 1966-03-21 | 1969-02-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | Defoaming apparatus |
| GB1441575A (en) * | 1972-08-31 | 1976-07-07 | Agfa Gevaert | Method for degassing a circuit for the transport of liquids |
| JPS5729691B2 (ja) * | 1975-03-15 | 1982-06-24 | ||
| JPH0249149B2 (ja) * | 1984-11-15 | 1990-10-29 | Konishiroku Photo Ind | Tofuekiryuronosenjohoho |
| JPS62157556A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-13 | Nippon Oil & Fats Co Ltd | 浸透探傷剤用の泡沫洗浄液に用いる発泡吹付けガン |
| DE3744422C1 (de) * | 1987-12-29 | 1989-07-06 | Du Pont Deutschland | Verfahren und Vorrichtung zur Entgasung und Filtration von Fluessigkeiten |
-
1990
- 1990-01-08 JP JP2000602A patent/JP2630481B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-31 US US07/636,460 patent/US5096602A/en not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-01-02 EP EP91100107A patent/EP0437215B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-02 DE DE69120834T patent/DE69120834T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05212221A (ja) * | 1992-02-05 | 1993-08-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | フィルター装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0437215A3 (en) | 1992-10-07 |
| DE69120834T2 (de) | 1996-11-28 |
| EP0437215B1 (en) | 1996-07-17 |
| JP2630481B2 (ja) | 1997-07-16 |
| EP0437215A2 (en) | 1991-07-17 |
| DE69120834D1 (de) | 1996-08-22 |
| US5096602A (en) | 1992-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4205966A (en) | System for ultrasonic wave type bubble removal | |
| US5866307A (en) | Resist processing method and resist processing system | |
| JPH03207439A (ja) | 塗布液の送液方法 | |
| KR100493254B1 (ko) | 라인 구멍으로부터의 액체 적하 방지 장치 | |
| TW200307646A (en) | Apparatus and method for minimizing the generation of particles in ultrapure liquids | |
| US4324481A (en) | Developing machine for radiation-sensitive material | |
| JPH08299880A (ja) | 流動性物質排出装置 | |
| JP2010017183A (ja) | プリコートフィルタ | |
| KR101658810B1 (ko) | 연속식 혼합장치를 이용한 재생약액 공급 장치 | |
| JPS6243722B2 (ja) | ||
| KR950025911A (ko) | 포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템 | |
| GB2056292A (en) | Method and apparatus for dissolving entrained bubbles in a liquid | |
| GB2333476A (en) | Coating method and apparatus | |
| JP3290385B2 (ja) | レジスト処理方法及びレジスト処理装置 | |
| US5541698A (en) | Apparatus for processing photographic material and a method of regenerating a process liquid therein | |
| JPH06165968A (ja) | 塗布液の塗布方法 | |
| JP3283190B2 (ja) | レジスト処理装置及びレジスト処理方法 | |
| US6488421B2 (en) | Processing photographic material | |
| TWI652116B (zh) | 塗覆液供給裝置 | |
| EP0655650B1 (en) | Apparatus for processing photographic material and a method of regenerating a process liquid therein | |
| KR100664779B1 (ko) | 포토 레지스트 공급장치 | |
| JPH06132270A (ja) | ウェット洗浄装置及びその薬液交換方法 | |
| JP3745665B2 (ja) | ノズル装置 | |
| JPH0444989A (ja) | 液体充填装置 | |
| JPS63151311A (ja) | 急速ろ過装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |