KR100358406B1 - 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기 - Google Patents

압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기금속화학기상증착법(MOCVD; Metal Organic Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 기판에 증착막을 증착할 때에 이용되는 액체소스의 보관용기에 있어서, 액체소스의 상태를 안정적으로 유지하며 잔존하는 액체소스를 효율적으로 배출할 수 있는 액체소스 보관용기를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따르면, 기판에 증착막을 증착하기 위해 사용되는 액체소스(4)를 보관하는 폐쇄용기(100)와, 폐쇄용기(100)의 내부로 가스를 공급하는 가스공급관(105)과, 폐쇄용기(100) 내부의 가스압력에 의해 액체소스(4)가 외부로 배출되도록 폐쇄용기(100)의 내부로 연결된 액체배출관(106)을 구비한 액체소스 보관용기에 있어서, 폐쇄용기(100)의 내부에 공급된 가스의 압력을 제어하도록 가스공급관(105)에 설치되는 가스압력제어부(130)와, 액체배출관(106)의 측부에 연결되는 드레인관(143) 및, 액체배출관(106)과 드레인관(143)을 연결하는 방향전환밸브(140)를 포함하며, 폐쇄용기(100)로부터 배출된 액체소스(4)는 방향전환밸브(140)에 의해 액체배출관(106)을 따라 유동하며, 액체소스(4)의 유동방향의 역방향으로 유입된 세척제는 방향전환밸브(140)에 의해 드레인관(143)을 따라 유동하여 배출되는 액체소스 보관용기가 제공된다.

Description

압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기{Liquid source canister with pressure controller}
본 발명은 유기금속화학기상증착법을 이용하여 기판에 증착막을 증착함에 있어 공급되는 액체소스의 보관용기에 관한 것이며, 특히, 보관용기 내부에 압력을 제어하여 액체소스에 가해지는 적정압력을 유지함으로써, 안정적으로 액체소스를 유지할 수 있는 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기에 관한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 액체소스 보관용기의 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 액체소스 보관용기는 상호 체결되어 내부에 폐쇄공간(3)을 형성하는 몸체(1) 및 덮개(2)와, 상기 폐쇄공간(3)의 내부에 보관되는 액체소스(4)와, 상기 덮개(2)를 관통하여 불활성 가스를 폐쇄공간(3)의 내부로 공급하는 가스공급관(5)과, 폐쇄공간(3) 내부에 보관된 액체소스(4)를 배출하는 액체소스 배출관(6)을 포함한다.
상기 몸체(1)에는 상부로 개방된 공간이 형성되며, 몸체(1)의 개방부를 덮개(2)가 덮음으로써, 몸체(1)의 공간은 폐쇄공간(3)이 되며, 몸체(1)와 덮개(2)는 고정볼트(9)에 의해 체결 고정된다. 또한, 몸체(1)와 덮개(2)가 접하는 부위를 따라 폐쇄실링부(10)가 설치되어 몸체(1)와 덮개(2)의 접촉면을 통해 외부가스가 폐쇄공간(3)으로 침투하는 것을 방지하며 폐쇄공간(3) 내부의 가스가 외부로 배출되는 것을 차단한다.
한편, 가스공급관(5)은 덮개(2)를 관통하여 폐쇄공간(3)에 연결되고, 가스공급관(5)의 중간부위에는 공급밸브(7)가 설치되어 가스공급관(5)을 개폐한다. 그리고, 액체소스 배출관(6)은 덮개(2)를 관통하여 단부가 폐쇄공간(3)의 밑면 즉, 몸체(1)의 안쪽 밑면까지 연장되고, 액체소스 배출관(6)에는 배출밸브(8)가 설치되어 액체소스 배출관(6)을 개폐한다.
그리고, 덮개(2)의 저면에는 온도감지센서(11)가 설치되어 액체소스(4)의 온도를 측정한다.
이런 액체소스 보관용기(15)의 폐쇄공간(3)에 채워진 액체소스(4)를 액체소스 배출관(6)을 통해 배출시키기 위해서는 공급밸브(7)를 개방시키고 가스공급관(5)을 통해 고압의 불활성가스를 공급한다. 불활성가스로는 아르곤 또는 헬륨 등을 사용한다.
가스공급관(5)을 통해 폐쇄공간(3)의 내부로 유입된 불활성가스의 압력은 점차 증가하게 되며, 불활성가스의 압력에 의해 액체소스(4)는 액체소스 배출관(6)을 따라 유동하게 된다. 그러면 액체소스 배출관(6)을 통해 유동하는 액체소스(4)는 개방시켜 둔 배출밸브(8)를 통과하여 액체소스 보관용기(15)로부터 배출되어 액체소스 수송장치(도시안됨)로 유동한다.
한편, 폐쇄공간(3)의 내부에 위치한 액체소스(4)의 온도는 온도감지센서(11)에 의해 측정된다.
이와 같은 액체소스 보관용기(15)의 작동관계에 있어서, 액체소스(4)의 유동량을 증가시키기 위해서는 폐쇄공간(3)의 내부에 위치한 가스의 압력을 증가시켜야 하며 가스의 압력이 증가하게 되면 가스의 온도는 상승하게 되며, 열전달에 의해 액체소스(4)의 온도 또한 상승하게 된다.
이와 같이, 액체소스(4)의 온도가 증가하게 되면 액체소스(4)는 기화하게 되거나, 또는 온도의 증가에 의해 쉽게 변질되는 단점이 있다.
또한, 보관용기(15)에는 공급된 불활성 가스의 압력을 측정하거나 제어하는 수단이 없어 보관용기(15) 내부의 가스압력이 불균일하게 된다. 이에 따라 액체소스 배출관(6)을 통해 배출되는 액체소스(4)의 유동량 또한 수시로 변화하게 되는 단점이 있다.
또한, 보관용기(15)를 교체하거나, 액체소스 배출관(6)을 해체할 때에 액체소스 배출관(6)의 내부로 외부공기가 유입되고, 유입된 외부공기는 액체소스 배출관(6)의 내부에 잔존하는 용액소스를 오염시킨다. 그 후에 정상조업이 이루어져 액체소스 배출관(6)을 따라 액체소스가 유동하면서 오염된 용액소스도 함께 액체소스 수송장치로 공급되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 앞서 설명한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제공된 것으로서, 액체가스 보관용기의 내부에 공급되는 가스의 압력을 제어하여 일정한 액체소스의 양을 공급할 수 있는 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기를 제공하는 데 그 목적이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 액체소스 보관용기의 단면도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기의 단면도이며,
도 3은 도 2에 도시된 압력조절수단을 나타낸 상세도이다.
♠ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ♠
1, 100 : 몸체 2, 120, 125 : 덮개
3 : 내부공간 4 : 액체소스
5, 105 : 가스공급관 6, 106 : 액체소스 배출관
7, 8 : 밸브 11 : 온도감지센서
130 : 가스압력제어부 131 : 상부 케이스
132 : 하부 케이스 134 : 밸브디스크
135 : 압축스프링 136 : 제 1 플레이트
137 : 제 2 플레이트 140 : 3웨이밸브
앞서 설명한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 기판에 증착막을 증착하기 위해 사용되는 액체소스를 보관하는 폐쇄용기와, 상기 폐쇄용기의 내부로 가스를 공급하는 가스공급관과, 상기 폐쇄용기 내부의 가스압력에 의해 상기 액체소스가 외부로 배출되도록 상기 폐쇄용기의 내부로 연결된 액체배출관을 구비한 액체소스 보관용기에 있어서, 상기 폐쇄용기의 내부에 공급된 가스의 압력을 제어하도록 상기 가스공급관에 설치되는 가스압력제어부와, 상기 액체배출관의 측부에 연결되는 드레인관 및, 상기 액체배출관과 상기 드레인관을 연결하는 방향전환밸브를 포함하며, 상기 폐쇄용기로부터 배출된 상기 액체소스는 상기 방향전환밸브에 의해 상기 액체배출관을 따라 유동하며, 상기 액체소스의 유동방향의 역방향으로 유입된 세척제는 상기 방향전환밸브에 의해 상기 드레인관을 따라 유동하여 배출되는 액체소스 보관용기가 제공된다.
또한, 본 발명의 상기 가스압력제어부는 상기 가스공급관의 중간부에 설치되는 케이스와, 상기 케이스의 내부에서 가스의 이동통로를 개폐하는 밸브디스크와, 상기 밸브디스크가 상기 이동통로를 개폐하는 방향으로 힘을 제공하는 스프링을 포함하며, 상기 가스의 이동통로를 통해 공급되는 상기 가스의 압력이 상기 스프링의 탄성복원력 및 상기 폐쇄용기 내부의 가스압력 보다 클 때에 상기 밸브디스크가 개방된다.
또한, 본 발명의 상기 방향전환밸브는 3웨이밸브로서, 상기 3웨이밸브의 한 쪽에는 상기 폐쇄용기에 연결된 하부 액체배출관이 연결되고, 다른 쪽에는 상기 액체소스를 공급받는 장치에 연결된 상부 액체배출관이 연결되며, 또 다른 쪽에는 드레인관이 연결되며, 상기 하부 액체배출관을 통해 유동한 액체소스는 상기 상부 액체배출관으로 유동하도록 방향을 전환하고, 상기 상부 액체배출관으로부터 유입된 세척제는 상기 드레인관으로 유동하도록 방향을 전환한다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 폐쇄용기의 내부 밑면은 상기 하부 액체배출관의 단부가 위치한 곳으로 상기 액체소스가 모이도록 경사져 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 폐쇄용기의 내부에 위치한 상기 액체배출관의 단부에는 중공이 형성된 원형 플레이트가 고정되며, 상기 원형플레이트는 상기 폐쇄용기의 밑면에 형성된 홈에 삽입되어 상기 원형 플레이트의 저면과 상기 홈의 안쪽 밑면과 일정 간격의 틈을 유지하면서 평행을 이룬다.
아래에서, 본 발명에 따른 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기의 양호한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명하겠다.
도면에서, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기의 단면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 압력조절수단을 나타낸 상세도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기는 액체소스(4)가 채워지도록 상부로 개방된 내부공간이 형성된 몸체(100)와, 몸체(100)의 상면을 덮어 폐쇄공간(3)을 형성하는 제 1 덮개(120)와, 제 1 덮개(120)의 상면을 덮는 제 2 덮개(125)와, 제 1 덮개(120)와 제 2 덮개(125)를 관통하여 폐쇄공간(3)에 연결되며 폐쇄공간(3)의 내부로 가스를 공급하는 가스공급관(105)과, 폐쇄공간(3)에 채워진 액체소스(4)를 외부로 배출하는 액체소스 배출관(106)을 포함하며, 가스공급관(105)에는 가스압력제어부(130)가 설치되어 폐쇄공간(3) 내부의 가스의 압력을 제어하며, 액체소스 배출관(106)에는 3웨이밸브(140)가 설치되어 액체소스 배출관(106)을 따라 유동하는 내용물의 흐름방향을 제어한다.
상부로 개방된 공간이 형성된 몸체(100)의 상면에는 제 1 덮개(120)가 안착되어 몸체(100)의 내부공간을 폐쇄하고, 이런 제 1 덮개(120)의 상면에는 제 2 덮개(125)가 안착된다. 그리고, 고정볼트(109)가 제 2 덮개(125)와 제 1 덮개(120) 및 몸체(100)에 체결된다. 그리고, 몸체(100)와 제 1 덮개(120)의 접촉면을 따라 폐쇄실링부(10a)가 위치하며 제 1 덮개(120)와 제 2 덮개(125)의 사이에도 폐쇄실링부(10b)가 위치하여 외부공기가 보관용기(150)의 내부로 침투하는 것을 방지한다.
한편, 제 1, 제 2 덮개(120, 125)를 관통하여 폐쇄공간(3)에 연결되는 가스공급관(105)의 중간부에는 공급밸브(7)와 가스압력제어부(130)가 설치되고, 가스압력제어부(130)는 제 1 덮개(120)와 제 2 덮개(125)의 사이에 위치한다. 따라서, 가스는 가스공급관(105)을 따라 이동하며 공급밸브(7)와 가스압력제어부(130)를 지나 폐쇄공간(3)으로 유입된다.
그리고, 제 1, 제 2 덮개(120, 125)를 관통하여 폐쇄공간(3)에 연결되는 액체소스 배출관(106)은 폐쇄공간(3)의 밑면 근처까지 연장되고, 이런 액체소스 배출관(106)의 중간부에는 배출밸브(8)와 3웨이밸브(140)가 설치되며, 3웨이밸브(140)의 측부로는 드레인관(143)이 연결된다. 즉, 3웨이밸브(140)의 한 쪽에는 액체소스 수송장치(도시안됨)로 연결된 상부 액체소스 배출관(106H)이 연결되고, 3웨이밸브(140)의 다른 쪽에는 폐쇄공간(3)으로 연결된 하부 액체소스 배출관(106L)이 연결되며, 3웨이밸브(140)의 또 다른 쪽에는 드레인관(143)이 연결된다.
따라서, 3웨이밸브(140)의 작동에 의해 보관용기(150)로부터 하부 액체소스배출관(106L)을 따라 배출되는 액체소스(4)는 상부 액체소스 배출관(106H)을 따라 액체소스 수송장치(도시안됨)로 공급되며, 그 역방향으로서, 액체소스 수송장치로부터 상부 액체소스 배출관(106H)을 따라 유입된 액체 즉, 세척제는 폐쇄공간(3)으로 유입되지 않고 드레인관(143)을 통해 배출된다. 그리고, 배출밸브(8)를 개폐하여 액체소스 수송장치(도시안됨)로의 공급을 제어한다.
그리고, 폐쇄공간(3)에 위치한 하부 액체소스 배출관(106L)의 하단에는 액체소스 배출관(106)의 내경에 대응하는 중공이 형성된 원형 플레이트(160)가 고정된다. 한편, 보관용기(150)의 몸체 안쪽 밑면은 액체소스 배출관(106)의 단부가 위치하는 방향으로 경사져 있으며, 액체소스 배출관(106)의 하단에 고정된 원형 플레이트(160)가 위치하는 부위에는 원형 플레이트(160)의 직경보다 큰 직경의 삽입홈(101)이 형성되어 있다. 따라서, 삽입홈(101)으로 모여진 용액소스(4)는 원형 플레이트(160)의 저면과 삽입홈(101)의 안쪽 밑면 사이를 지나면서 표면장력이 커지게 되고, 이런 표면장력에 의해 최소량의 액체소스(4)까지 액체소스 배출관(106)을 통해 배출된다.
그리고, 제 1 덮개(120)의 중간부에는 온도감지센서(11)가 설치되어 액체소스(4)의 온도를 측정한다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 가스압력제어부(130)는 제 1 덮개(120)와 제 2 덮개(125)의 사이에 위치하며, 가스압력제어부(130)는 상부에 가스공급관(105H)이 연결되는 상부 케이스(131)와 하부에 폐쇄공간(3)으로 연장되는 가스공급관(105L)이 연결되는 하부 케이스(132)가 상호 체결되어 케이스를 형성하며, 이런 상, 하부 케이스(131, 132)의 체결에 의해 형성된 내부공간에는 상부 케이스(131)에 형성된 가스이동통로(133H)를 개폐하는 고깔모양의 밸브디스크(134)가 가스이동통로(133H)와 대응하도록 위치하며, 밸브디스크(134)의 저면에는 압축스프링(135)이 설치된다. 그리고, 압축스프링(135)의 하단부에는 둘레를 따라 홀(137)이 형성된 제 1 플레이트(136)가 위치하며, 이런 제 1 플레이트(136)의 저면에는 중공(139)이 형성된 제 2 플레이트(138)가 위치한다.
이 때, 제 1 플레이트(136)의 다수 개의 홀(137)과 제 2 플레이트(138)의 중공(139)은 연결되어 밸브디스크(134)가 개방되었을 때, 가스가 제 1 플레이트(136)의 홀(137)과 제 2 플레이트(138)의 중공(139)을 통과하여 보관용기(150)의 폐쇄공간(3)으로 유입된다.
그리고, 가스이동통로(133H)를 통해 밸브디스크(134)로 이동한 가스의 압력이 압축스프링(135)의 탄성력보다 크게 되면 밸브디스크(134)는 아래방향으로 이동하여 개방되며, 반대로, 압축스프링(135)의 탄성력보다 가스의 압력이 작거나 또는 보관용기(150)의 내부에 위치한 가스의 압력이 가스이동통로(133H)를 통해 유입되는 가스의 압력보다 상대적으로 크게 되면 밸브디스크(134)는 전진하여 가스이동통로(133H)를 차단한다.
이상과 같이 구성된 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기의 작동에 대하여 상세히 설명하겠다.
먼저, 가스공급관(105)의 공급밸브(7)와 액체소스 배출관(106)의 배출밸브(8)를 개방시키고, 3웨이밸브(140)를 조절하여 드레인관(143)을 폐쇄시킨다. 이런 상태에서 가스공급관(105)을 통해 불활성 가스를 주입하면 보관용기(150)의 내부 가스압력은 증가하게 되며, 가스압력은 액체소스(4)의 수면에 작용하며 가스압력에 의해 액체소스(4)는 액체소스 배출관(106)을 따라 유동하게 된다.
이 때, 가스압력제어부(130)의 밸브디스크(134)는 공급되는 가스의 압력에 의해 하부방향으로 이동하여 개방된 상태가 되며, 가스는 밸브디스크(134)와 제 1 플레이트(136)의 홀(137) 및 제 2 플레이트(138)의 중공(139)을 지나 하부 케이스(132)의 가스이동통로(133L)를 따라 이동하면서 보관용기(150)의 내부로 유입된다. 이런 상태에서 보관용기(150)의 내부 가스압력이 일정범위 이상으로 증가하게 되면 밸브디스크(134)는 보관용기(150) 내부의 가스압력 및 압축스프링(135)의 탄성복원력에 의해 전방으로 전진하며 상부 케이스(131)의 가스이동통로(133H)를 폐쇄하여 가스공급을 차단한다. 이 과정에서 액체소스(4)가 액체소스 배출관(106)을 따라 이동하면서 가스가 존재하는 공간이 커지면서 압력이 낮아지게 된다. 그러면 다시 밸브디스크(134)는 개방되고 가스는 공급된다. 따라서, 보관용기(150) 내부의 가스압력은 일정범위 내로 제어된다.
한편, 보관용기(15)를 교체하거나, 액체소스 배출관(6)을 해체할 때에 액체소스 배출관(106)의 내부에 잔존하는 액체소스(4)는 외부공기와 접하게 되어 오염될 수 있으므로 액체소스 배출관(106)을 청소하여야 한다.
이 때, 3웨이밸브(140)를 조작하여 3웨이밸브(140)의 하부로 연장된 액체소스 배출관(106)을 폐쇄하고 드레인관(143)을 개방시킨다. 그리고, 액체소스 배출관(106) 상단부로부터 솔벤트 등의 세척제를 투입하게 되면 세척제는 액체소스배출관(106)을 따라 3웨이밸브(140)까지 이동하게 되고, 다시 드레인관(143)을 통해 배출된다. 이런 세척제가 액체소스 배출관(106)을 통해 이동하면서 액체소스 배출관(106) 내부에 존재하는 액체소스를 청소하게 된다.
앞서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기는 그 내부에 존재하는 가스의 압력을 가스압력제어부의 작동에 의해 일정범위 내로 제어하고, 압축된 가스의 온도 상승을 제어하여 액체소스의 온도 상승으로 인한 변질을 방지하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 액체소스 보관용기는 그 내부의 가스의 압력을 일정하게 제어할 수 있으므로, 보관용기로부터 배출되는 액체소스의 양 또한 일정하게 제어할 수 있다.
또한, 본 발명의 액체소스 보관용기는 보관용기를 교체하거나, 액체소스 배출관을 해체할 때, 세척제가 액체소스 배출관과 배출밸브와 3웨이밸브 및 드레인관을 지나서 배출되는 흐름방향을 따라 유동하면서 액체소스 배출관의 내부에 잔존하는 액체소스를 세척하여 관 내부의 오염을 막을 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명의 압력조절수단을 구비한 액체소스 보관용기에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.

Claims (5)

  1. 기판에 증착막을 증착하기 위해 사용되는 액체소스를 보관하는 폐쇄용기와, 상기 폐쇄용기의 내부로 가스를 공급하는 가스공급관과, 상기 폐쇄용기 내부의 가스압력에 의해 상기 액체소스가 외부로 배출되도록 상기 폐쇄용기의 내부로 연결된 액체배출관을 구비한 액체소스 보관용기에 있어서,
    상기 폐쇄용기의 내부에 공급된 가스의 압력을 제어하도록 상기 가스공급관에 설치되는 가스압력제어부와, 상기 액체배출관의 측부에 연결되는 드레인관 및, 상기 액체배출관과 상기 드레인관을 연결하는 방향전환밸브를 포함하며,
    상기 폐쇄용기로부터 배출된 상기 액체소스는 상기 방향전환밸브에 의해 상기 액체배출관을 따라 유동하며, 상기 액체소스의 유동방향의 역방향으로 유입된 세척제는 상기 방향전환밸브에 의해 상기 드레인관을 따라 유동하여 배출되는 것을 특징으로 하는 액체소스 보관용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가스압력제어부는 상기 가스공급관의 중간부에 설치되는 케이스와, 상기 케이스의 내부에서 가스의 이동통로를 개폐하는 밸브디스크와, 상기 밸브디스크가 상기 이동통로를 개폐하는 방향으로 힘을 제공하는 스프링을 포함하며, 상기 가스의 이동통로를 통해 공급되는 상기 가스의 압력이 상기 스프링의 탄성복원력 및 상기 폐쇄용기 내부의 가스압력 보다 클 때에 상기 밸브디스크가 개방되는 것을 특징으로 하는 액체소스 보관용기.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 방향전환밸브는 3웨이밸브로서, 상기 3웨이밸브의 한 쪽에는 상기 폐쇄용기에 연결된 하부 액체배출관이 연결되고, 다른 쪽에는 상기 액체소스를 공급받는 장치에 연결된 상부 액체배출관이 연결되며, 또 다른 쪽에는 드레인관이 연결되며, 상기 하부 액체배출관을 통해 유동한 액체소스는 상기 상부 액체배출관으로 유동하도록 방향을 전환하고, 상기 상부 액체배출관으로부터 유입된 세척제는 상기 드레인관으로 유동하도록 방향을 전환하는 것을 특징으로 하는 액체소스 보관용기.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 폐쇄용기의 내부 밑면은 상기 하부 액체배출관의 단부가 위치한 곳으로 상기 액체소스가 모이도록 경사져 있는 것을 특징으로 하는 액체소스 보관용기.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 폐쇄용기의 내부에 위치한 상기 액체배출관의 단부에는 중공이 형성된 원형 플레이트가 고정되며, 상기 원형플레이트는 상기 폐쇄용기의 밑면에 형성된 홈에 삽입되어 상기 원형 플레이트의 저면과 상기 홈의 안쪽 밑면과 일정 간격의 틈을 유지하면서 평행을 이루는 것을 특징으로 하는 액체소스 보관용기.
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