KR20090047682A - 캐니스터 - Google Patents

Abstract

캐니스터는 케미컬이 채워지는 용기; 그리고 상기 용기 내에 삽입설치되며, 상기 케미컬의 온도를 조절하는 온도조절부재를 포함한다. 상기 온도조절부재는 상기 용기의 내측면과 나란하게 배치되는 내측튜브; 상기 용기의 바닥면과 나란하게 배치되는 밑판; 그리고 상기 내측튜브의 외측면에 설치되며, 상기 내측튜브를 히팅하는 히팅코일을 더 포함할 수 있다. 상기 캐니스터는 일단이 상기 용기에 채워진 상기 케미컬 내에 잠기며, 상기 케미컬에 버블링 가스를 공급하는 공급관; 그리고 일단이 상기 용기 내에 연결되며, 버블링된 상기 케미컬을 상기 용기 외부로 배출하는 배출관을 더 포함할 수 있다.

캐니스터, 온도조절부재, 히팅코일

Description

캐니스터{canister}

본 발명은 캐니스터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 온도조절부재를 구비하는 캐니스터에 관한 것이다.

반도체 제조공정은 금속박막이나 세라믹박막 등을 증착하는 증착공정을 포함하며, 증착공정 중 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition:CVD)은 유기금속화합물 또는 무기금속화합물 등의 전구체(precursor)라고 불리우는 케미컬을 이용한다. 케미컬은 스테인레스 스틸 또는 석영 재질의 캐니스터(canister)에 채워지며, 외부로부터 공급된 버블링 가스에 의해 버블링된 상태에서 배출되어 공정에 사용된다.

본 발명의 목적은 캐니스터 내에 채워진 케미컬의 온도를 조절할 수 있는 캐니스터를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부한 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.

본 발명에 의하면, 캐니스터는 케미컬이 채워지는 용기; 그리고 상기 용기 내에 삽입설치되며, 상기 케미컬의 온도를 조절하는 온도조절부재를 포함한다.

또한, 상기 히팅부재는 상기 용기의 내측면과 나란하게 배치되는 내측튜브; 그리고 상기 내측튜브의 외측면에 설치되며, 상기 내측튜브를 히팅하는 히팅코일을 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 히팅부재는 상기 용기의 내측면과 나란하게 배치되는 내측튜브; 상기 용기의 바닥면과 나란하게 배치되는 밑판; 그리고 상기 내측튜브의 외측면에 설치되며, 상기 내측튜브를 히팅하는 히팅코일을 더 포함할 수 있다.

상기 캐니스터는 일단이 상기 용기에 채워진 상기 케미컬 내에 잠기며, 상기 케미컬에 버블링 가스를 공급하는 공급관; 그리고 일단이 상기 용기 내에 연결되며, 버블링된 상기 케미컬을 상기 용기 외부로 배출하는 배출관을 더 포함할 수 있다.

상기 캐니스터는 상기 용기의 개방된 상부를 개폐하는 덮개를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면 캐니스터 내에 채워진 케미컬의 온도를 조절할 수 있다. 특히, 후속 공정에 적합하도록 케미컬의 온도를 조절하여 공정도를 높일 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 및 도 2를 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

한편, 이하에서는 화학기상증착장치에 사용되는 버블링 캐니스터를 예로 들어 설명하나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않으며, 본 발명은 버블링된 케미컬을 사용하는 다양한 장치에 응용될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버블링 캐니스터(100)를 나타내는 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시한 버블링 캐니스터의 작동상태를 나타내는 정면도이다.

버블링 캐니스터(100)는 케미컬(C)이 채워지는 용기(110)와, 용기(110)의 개방된 상부를 개폐하는 커버(120)와, 커버(120)에 체결되며 용기(110) 내부로 버블 링 가스를 공급하는 공급관(130)과, 커버(120)에 체결되며 주입된 버블링 가스와 버블링된 케미컬을 배출시키는 배출관(140)을 구비한다.

용기(110)는 원통 형상이며, 용기(110)의 상부는 개방된다. 커버(120)는 원판 형상이며, 용기(110)의 개방된 상부를 개폐하여 용기(110)의 내부를 밀폐할 수 있다. 공급관(130)은 용기(110) 내부로 버블링 가스(예를 들어, 질소 가스 또는 불활성 가스)를 공급하며, 공급관(130)의 일단은 용기(110)에 채워진 케미컬(C) 내에 잠긴다. 배출관(140)은 용기(110)에 채워진 케미컬(C)의 수면으로부터 이격되어 배치되며, 버블링된 케미컬을 외부의 장치(예를 들어, 화학기상증착챔버)로 배출시킨다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 용기(110) 내에는 온도조절부재(150)가 삽입설치되며, 온도조절부재(150)는 케미컬(C)의 온도를 조절한다. 이하에서는 케미컬(C)을 가열하는 경우를 들어 설명하고 있으나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다. 본 발명은 케미컬(C)을 일정 온도로 냉각하는 경우도 포함하며, 이에 대한 상세한 설명은 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로 생략하기로 한다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 온도조절부재(150)는 내측튜브(152) 및 바닥판(154), 그리고 히팅코일(156)을 구비한다. 내측튜브(152)는 용기(110)에 대응되는 원통 형상이며, 용기(110)에 비해 작은 직경을 가져 용기(110) 내에 삽입설치된다. 내측튜브(152)는 용기(110)의 내측면과 나란하게 배치되며, 내측튜브(152) 의 외측면에는 히팅코일(156)이 설치된다. 히팅코일(156)은 내측튜브(152)의 상하를 따라 지그재그로 배열되며, 외부로부터 인가된 전원을 이용하여 내측튜브(152)를 가열한다. 바닥판(154)은 내측튜브(152)의 하단에 연결되어, 내측튜브(152)의 개방된 하부를 폐쇄한다. 따라서, 케미컬(C)은 바닥판(154)에 의해 하부가 폐쇄된 내측튜브(152)의 내부에 채워진다.

한편, 앞서 설명한 바와 같이, 케미컬(C)을 가열할 필요가 있는 경우, 히팅코일(156)에 전원을 인가하여 내측튜브(152)를 가열하며, 가열된 내측튜브(152)는 케미컬(C)을 직접 가열한다. 따라서, 케미컬(C)은 일정한 온도로 가열된다. 상술한 바에 의하면, 내측튜브(152)가 케미컬(C)과 접촉하여 케미컬(C)을 직접 가열하므로, 케미컬(C)을 빠른 시간 안에 가열할 수 있다. 또한, 내측튜브(152)의 온도를 측정함으로써 케미컬(C)의 온도를 측정할 수 있으며, 내측튜브(152)의 온도를 제어함으로써 케미컬(C)의 온도를 정밀하게 제어할 수 있다. 이를 위하여, 내측튜브(152)는 열전달계수가 높은 재료를 사용하는 것이 바람직하다.

또한, 온도조절부재(150)가 오작동하거나 파손된 경우, 온도조절부재(150)를 용기(110)로부터 분리하여 새로운 온도조절부재(150)로 쉽게 교체할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 케미컬(C)을 가열하는 경우를 들어 설명하고 있으나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않으며, 케미컬(C)을 냉각하는 경우 히팅코일(156)은 냉각코일(도시안됨)로 대체될 수 있다. 또한, 히팅코일(156)과 냉각코일이 동시에 설치될 수도 있다.

위와 같은 버블링 캐니스터(100)는 아래와 같이 작동한다. 반도체 제조공정에서 산화금속막 또는 질화금속막 등을 증착시키는데 필요한 유기금속화합물이나 무기금속화합물 또는 기타 화학약품과 같은 케미컬(C)을 용기(110)(또는 내측튜브(152) 내에 채운다. 이후, 덮개(120)를 이용하여 용기(110)의 개방된 상부를 폐쇄하면, 공급관(130)은 케미컬(C) 내에 잠긴다. 공급관(130)을 이용하여 질소 가스나 아르곤 가스와 같은 버블링 가스를 공급하여 케미컬(C)을 버블링시킨다. 버블링된 케미컬(C)은 배출관(140)을 통해 배출되어 화학기상증착공정에 사용된다.

본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버블링 캐니스터를 나타내는 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시한 버블링 캐니스터의 작동상태를 나타내는 정면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 버블링 캐니스터 110 : 용기

120 : 덮개 130 : 공급관

140 : 배출관 150 : 온도조절부재

152 : 내측튜브 154 : 밑판

156 : 히팅코일

Claims (5)

1. 케미컬이 채워지는 용기; 및

   상기 용기 내에 삽입설치되며, 상기 케미컬의 온도를 조절하는 온도조절부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터.
2. 제1항에 있어서,

   상기 온도조절부재는,

   상기 용기의 내측면과 나란하게 배치되는 내측튜브; 및

   상기 내측튜브의 외측면에 설치되며, 상기 내측튜브를 히팅하는 히팅코일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터.
3. 제1항에 있어서,

   상기 온도조절부재는,

   상기 용기의 내측면과 나란하게 배치되는 내측튜브;

   상기 용기의 바닥면과 나란하게 배치되는 밑판; 및

   상기 내측튜브의 외측면에 설치되며, 상기 내측튜브를 히팅하는 히팅코일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터.
4. 제1항에 있어서,

   상기 캐니스터는,

   일단이 상기 용기에 채워진 상기 케미컬 내에 잠기며, 상기 케미컬에 버블링 가스를 공급하는 공급관; 및

   일단이 상기 용기 내에 연결되며, 버블링된 상기 케미컬을 상기 용기 외부로 배출하는 배출관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터.
5. 제1항에 있어서,

   상기 캐니스터는 상기 용기의 개방된 상부를 개폐하는 덮개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터.

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