JPH10303678A - 圧電部品及びその製造方法 - Google Patents
圧電部品及びその製造方法Info
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- JPH10303678A JPH10303678A JP11280597A JP11280597A JPH10303678A JP H10303678 A JPH10303678 A JP H10303678A JP 11280597 A JP11280597 A JP 11280597A JP 11280597 A JP11280597 A JP 11280597A JP H10303678 A JPH10303678 A JP H10303678A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電共振子の振動電極を引出し電極へばらつ
きなく接着でき、圧電基板の支持基板への装着の作業効
率の高い圧電部品及びその製造方法を得る。 【解決手段】 圧電共振子２１の振動電極２３，２４
を、支持基板２５の引出し電極２６，２７の電気接合材
料２８が付加された高抵抗部分２６ａ，２７ａに位置さ
せて支持基板２５上に配置する。この状態で、電源２９
より引出し電極２６，２７に通電してその高抵抗部分２
６ａ，２７ａを発熱させ、前記電気接合材料２８を溶融
させることにより、圧電共振子２１の振動電極２３，２
４を引出し電極２６，２７に接合する。
きなく接着でき、圧電基板の支持基板への装着の作業効
率の高い圧電部品及びその製造方法を得る。 【解決手段】 圧電共振子２１の振動電極２３，２４
を、支持基板２５の引出し電極２６，２７の電気接合材
料２８が付加された高抵抗部分２６ａ，２７ａに位置さ
せて支持基板２５上に配置する。この状態で、電源２９
より引出し電極２６，２７に通電してその高抵抗部分２
６ａ，２７ａを発熱させ、前記電気接合材料２８を溶融
させることにより、圧電共振子２１の振動電極２３，２
４を引出し電極２６，２７に接合する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電部品及びその
製造方法、特に、フィルタや発振子等として使用される
圧電部品及びその製造方法に関する。
製造方法、特に、フィルタや発振子等として使用される
圧電部品及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧電部品の一例を、図９及び図１
０に示す。この圧電部品１は、一定幅を有する短冊状の
圧電基板２を間にして、該圧電基板２の中央部分で二つ
の振動電極３，４を対向させてエネルギー閉じ込め振動
を行う振動部分１０を形成した圧電共振子５を、支持基
板６上に支持してなるものである。振動電極３は、圧電
基板２の裏面の一端近傍から一方の端面を経て表面の中
央部分にかけて形成されている。また、振動電極４は、
圧電基板２の表面の他端近傍から他方の端面を経て裏面
の中央部分にかけて形成されている。支持基板６はアル
ミナ等の絶縁性を有する材料からなり、前記圧電共振子
５の長さとほぼ同じ間隔をおいて、二つの引出し電極
７，８が形成されている。
０に示す。この圧電部品１は、一定幅を有する短冊状の
圧電基板２を間にして、該圧電基板２の中央部分で二つ
の振動電極３，４を対向させてエネルギー閉じ込め振動
を行う振動部分１０を形成した圧電共振子５を、支持基
板６上に支持してなるものである。振動電極３は、圧電
基板２の裏面の一端近傍から一方の端面を経て表面の中
央部分にかけて形成されている。また、振動電極４は、
圧電基板２の表面の他端近傍から他方の端面を経て裏面
の中央部分にかけて形成されている。支持基板６はアル
ミナ等の絶縁性を有する材料からなり、前記圧電共振子
５の長さとほぼ同じ間隔をおいて、二つの引出し電極
７，８が形成されている。
【０００３】前記圧電共振子５は、その振動電極３，４
が圧電基板２の両端部でそれぞれ引出し電極７，８に当
接するように支持基板６上に載置され、これら引出し電
極７，８及び振動電極３，４に導電ペースト９が塗布さ
れる。これにより、振動電極３は引出し電極７に、ま
た、振動電極４は引出し電極８にそれぞれ導電的に接着
されるとともに、前記圧電共振子５が支持基板６上に固
定される。圧電共振子５は、その振動部分１０が引出し
電極７，８の厚みにより支持基板６との間にギャップｇ
を有して支持され、このギャップｇにより振動部分１０
が支持基板６上にて振動可能となっている。そして、支
持基板６の上には、圧電共振子５を覆うカバー１１が固
定されている。
が圧電基板２の両端部でそれぞれ引出し電極７，８に当
接するように支持基板６上に載置され、これら引出し電
極７，８及び振動電極３，４に導電ペースト９が塗布さ
れる。これにより、振動電極３は引出し電極７に、ま
た、振動電極４は引出し電極８にそれぞれ導電的に接着
されるとともに、前記圧電共振子５が支持基板６上に固
定される。圧電共振子５は、その振動部分１０が引出し
電極７，８の厚みにより支持基板６との間にギャップｇ
を有して支持され、このギャップｇにより振動部分１０
が支持基板６上にて振動可能となっている。そして、支
持基板６の上には、圧電共振子５を覆うカバー１１が固
定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記構造を
有する圧電部品１では、振動電極３，４及び引出し電極
７，８に導電ペースト９を塗布して、振動電極３，４を
引出し電極７，８にそれぞれ電気的に接続するとともに
接着しているが、導電ペースト９は固化の前は流動性を
有しているので精度の高い塗布が困難で、接着のばらつ
きが生じやすく、しかも乾燥に時間がかかるので、圧電
共振子５の支持基板６への装着の作業性も悪いという問
題があった。
有する圧電部品１では、振動電極３，４及び引出し電極
７，８に導電ペースト９を塗布して、振動電極３，４を
引出し電極７，８にそれぞれ電気的に接続するとともに
接着しているが、導電ペースト９は固化の前は流動性を
有しているので精度の高い塗布が困難で、接着のばらつ
きが生じやすく、しかも乾燥に時間がかかるので、圧電
共振子５の支持基板６への装着の作業性も悪いという問
題があった。
【０００５】そこで、本発明の目的は、圧電共振子の振
動電極を引出し電極へばらつきなく接着でき、圧電基板
の支持基板への装着の作業効率の高い圧電共振子及びそ
の製造方法を提供することにある。
動電極を引出し電極へばらつきなく接着でき、圧電基板
の支持基板への装着の作業効率の高い圧電共振子及びそ
の製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、支持基板上に圧電共振子が配設されてな
り、該圧電共振子の振動電極が支持基板に形成された引
出し電極に導電的に接合されてなる圧電部品において、
引出し電極が通電により発熱する高抵抗部分を有し、該
高抵抗部分に付与された加熱により溶融する電気接合材
料が引出し電極と振動電極とを電気的に接合しているこ
とを特徴とする。
め、本発明は、支持基板上に圧電共振子が配設されてな
り、該圧電共振子の振動電極が支持基板に形成された引
出し電極に導電的に接合されてなる圧電部品において、
引出し電極が通電により発熱する高抵抗部分を有し、該
高抵抗部分に付与された加熱により溶融する電気接合材
料が引出し電極と振動電極とを電気的に接合しているこ
とを特徴とする。
【０００７】本発明において、前記支持基板上に弾性体
が配設され、該弾性体上に前記高抵抗部分が位置してい
ることが好ましい。あるいは、前記高抵抗部分が弾性を
有していてもよい。
が配設され、該弾性体上に前記高抵抗部分が位置してい
ることが好ましい。あるいは、前記高抵抗部分が弾性を
有していてもよい。
【０００８】さらに、本発明は、加熱により溶融する電
気接合材料を付与してなる引出し電極を有する支持基板
と圧電共振子とを用意し、前記引出し電極の接合材料が
付与された部分に圧電共振子の振動電極を位置させて支
持基板上に圧電共振子を配設した後、引出し電極に通電
して引出し電極を発熱させ、電気接合材料を溶融させて
振動電極を引出し電極に接合することを特徴とする。
気接合材料を付与してなる引出し電極を有する支持基板
と圧電共振子とを用意し、前記引出し電極の接合材料が
付与された部分に圧電共振子の振動電極を位置させて支
持基板上に圧電共振子を配設した後、引出し電極に通電
して引出し電極を発熱させ、電気接合材料を溶融させて
振動電極を引出し電極に接合することを特徴とする。
【０００９】
【作用】以上の構成により、引出し電極に通電される
と、その高抵抗部分が発熱して、その上に付与されてい
る電気接合材料が溶融し、引出し電極と圧電共振子の振
動電極とが電気接合材料で接合され、圧電共振子が支持
基板の引出し電極に固着される。
と、その高抵抗部分が発熱して、その上に付与されてい
る電気接合材料が溶融し、引出し電極と圧電共振子の振
動電極とが電気接合材料で接合され、圧電共振子が支持
基板の引出し電極に固着される。
【００１０】また、前記弾性体は圧電共振子とその支持
基板との間に位置して、圧電共振子からの振動漏れを吸
収するとともに、支持基板から圧電共振子に加わる振動
やストレスを吸収する。
基板との間に位置して、圧電共振子からの振動漏れを吸
収するとともに、支持基板から圧電共振子に加わる振動
やストレスを吸収する。
【００１１】さらに、圧電共振子の振動漏れや、外部か
ら圧電共振子に加わる振動やストレスは、前記高抵抗部
分が有している弾性により吸収される。
ら圧電共振子に加わる振動やストレスは、前記高抵抗部
分が有している弾性により吸収される。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る圧電部品及び
その製造方法の実施形態について添付図面を参照して説
明する。
その製造方法の実施形態について添付図面を参照して説
明する。
【００１３】［第１実施形態、図１及び図２］図１及び
図２において、圧電部品２０は圧電共振子２１とその支
持基板２５とからなる。圧電共振子２１は、一定幅を有
する短冊状の圧電基板２２を間にして、該圧電基板２２
の中央部分で二つの振動電極２３，２４を対向させてエ
ネルギー閉じ込め型厚みすべり振動を行う振動部分３０
を形成するようにしたもので、図９に示した従来のもの
と同様の構成を有する。
図２において、圧電部品２０は圧電共振子２１とその支
持基板２５とからなる。圧電共振子２１は、一定幅を有
する短冊状の圧電基板２２を間にして、該圧電基板２２
の中央部分で二つの振動電極２３，２４を対向させてエ
ネルギー閉じ込め型厚みすべり振動を行う振動部分３０
を形成するようにしたもので、図９に示した従来のもの
と同様の構成を有する。
【００１４】また、支持基板２５もアルミナからなり、
前記圧電共振子２１の長さとほぼ等しい間隔をおいて、
二つの引出し電極２６，２７がそれぞれ形成されてい
る。これら引出し電極２６，２７には、支持基板２５の
表面上に位置する部分に、一定の長さにわたって、例え
ば、他の部分の２０パーセント程度の幅として電気抵抗
を大きくした高抵抗部分２６ａ，２７ａがそれぞれ形成
されている。そして、高抵抗部分２６ａ，２７ａには、
加熱により溶融する電気接合材料２８が付与されてい
る。この電気接合材料２８としては、半田（融点２００
〜３７５℃）、ろう材（融点３７０℃）、銀ろう（融点
６２０℃）などを使用することができる。
前記圧電共振子２１の長さとほぼ等しい間隔をおいて、
二つの引出し電極２６，２７がそれぞれ形成されてい
る。これら引出し電極２６，２７には、支持基板２５の
表面上に位置する部分に、一定の長さにわたって、例え
ば、他の部分の２０パーセント程度の幅として電気抵抗
を大きくした高抵抗部分２６ａ，２７ａがそれぞれ形成
されている。そして、高抵抗部分２６ａ，２７ａには、
加熱により溶融する電気接合材料２８が付与されてい
る。この電気接合材料２８としては、半田（融点２００
〜３７５℃）、ろう材（融点３７０℃）、銀ろう（融点
６２０℃）などを使用することができる。
【００１５】前記圧電共振子２１は、その振動電極２
３，２４をそれぞれ支持基板２５の引出し電極２６，２
７の電気接合材料２８が付与された高抵抗部分２６ａ，
２７ａに位置させて前記支持基板２５上に配設する。こ
の状態で、図１に示すように電源２９を接続し、該電源
２９より引出し電極２６，２７に通電してその高抵抗部
分２６ａ，２７ａを発熱させ、電気接合材料２８を溶融
させることにより、図２に示すように、振動電極２３，
２４を高抵抗部分２６ａ，２７ａに接合する。このと
き、圧電共振子２１は、その振動部分３０が引出し電極
２６，２７の高抵抗部分２６ａ，２７ａの厚みにより支
持基板２５との間にギャップｇを有して支持され、この
ギャップｇにより振動部分３０は支持基板２５上にて振
動可能となっている。そして、支持基板２５の上には、
圧電共振子２１を覆うカバー３１が固定される。
３，２４をそれぞれ支持基板２５の引出し電極２６，２
７の電気接合材料２８が付与された高抵抗部分２６ａ，
２７ａに位置させて前記支持基板２５上に配設する。こ
の状態で、図１に示すように電源２９を接続し、該電源
２９より引出し電極２６，２７に通電してその高抵抗部
分２６ａ，２７ａを発熱させ、電気接合材料２８を溶融
させることにより、図２に示すように、振動電極２３，
２４を高抵抗部分２６ａ，２７ａに接合する。このと
き、圧電共振子２１は、その振動部分３０が引出し電極
２６，２７の高抵抗部分２６ａ，２７ａの厚みにより支
持基板２５との間にギャップｇを有して支持され、この
ギャップｇにより振動部分３０は支持基板２５上にて振
動可能となっている。そして、支持基板２５の上には、
圧電共振子２１を覆うカバー３１が固定される。
【００１６】このようにすれば、圧電共振子２１を支持
基板２５上に載置して、引出し電極２６，２７に電源２
９から通電するだけで、短時間に圧電共振子２１の振動
電極２３，２４を引出し電極２６，２７に電気的に接合
することができる。
基板２５上に載置して、引出し電極２６，２７に電源２
９から通電するだけで、短時間に圧電共振子２１の振動
電極２３，２４を引出し電極２６，２７に電気的に接合
することができる。
【００１７】なお、前記第１実施形態において、電気接
合材料２８は、引出し電極２６，２７のそれぞれに予め
付与しておいてもよい。また、別に形成された箔状のも
のや金属板の上に付与しておき、それを高抵抗部分２６
ａ，２７ａと振動電極２３，２４との間に配置したり貼
り合わせた後、引出し電極２６，２７に通電させて溶融
させるようにしてもよい。
合材料２８は、引出し電極２６，２７のそれぞれに予め
付与しておいてもよい。また、別に形成された箔状のも
のや金属板の上に付与しておき、それを高抵抗部分２６
ａ，２７ａと振動電極２３，２４との間に配置したり貼
り合わせた後、引出し電極２６，２７に通電させて溶融
させるようにしてもよい。
【００１８】また、前記支持基板２５に代えて、図３、
図４に示すように、内部に図１で説明した圧電共振子２
１を収容する収容凹部３３，３７を備えた箱形状の支持
基板３２，３６を使用することもできる。図３に示すも
のでは、支持基板３２の収容凹部３３に、圧電共振子２
１の両端部分にそれぞれ当接する段部３４，３５を設
け、これら段部３４，３５に高抵抗部分２６ａ，２７ａ
が位置するように引出し電極２６，２７をそれぞれ形成
している。また、図４に示すものでは、支持基板３６に
形成された収容凹部３７内に、圧電基板全体が例えば面
積振動する圧電共振子（図示せず）が収容される。この
支持基板３６の収容凹部３７の底部中央部には、引出し
電極３８の高抵抗部分３８ａが形成されており、この高
抵抗部分３８ａが通電により発熱し、その上に付与され
た電気接合材料２８が溶融して、収容凹部３７に収容さ
れた圧電共振子の振動電極と引出し電極３８の前記高抵
抗部分３８ａとが電気的に接合される。
図４に示すように、内部に図１で説明した圧電共振子２
１を収容する収容凹部３３，３７を備えた箱形状の支持
基板３２，３６を使用することもできる。図３に示すも
のでは、支持基板３２の収容凹部３３に、圧電共振子２
１の両端部分にそれぞれ当接する段部３４，３５を設
け、これら段部３４，３５に高抵抗部分２６ａ，２７ａ
が位置するように引出し電極２６，２７をそれぞれ形成
している。また、図４に示すものでは、支持基板３６に
形成された収容凹部３７内に、圧電基板全体が例えば面
積振動する圧電共振子（図示せず）が収容される。この
支持基板３６の収容凹部３７の底部中央部には、引出し
電極３８の高抵抗部分３８ａが形成されており、この高
抵抗部分３８ａが通電により発熱し、その上に付与され
た電気接合材料２８が溶融して、収容凹部３７に収容さ
れた圧電共振子の振動電極と引出し電極３８の前記高抵
抗部分３８ａとが電気的に接合される。
【００１９】［第２実施形態、図５］図５に示す圧電部
品４０は、図１及び図２において説明した第１実施形態
の圧電部品２０を使用するとともに、その支持基板２５
において、引出し電極２６，２７の高抵抗部分２６ａ，
２７ａと支持基板２５との間にゴム材からなる弾性体４
１を介在させたものである。このようにすれば、圧電共
振子２１の振動部分３０から漏れた振動が弾性体４１に
吸収され、外部に漏れるのが防止される。また、支持基
板２５から圧電共振子２１に伝わる振動やストレスも弾
性体４１に吸収され、支持基板２５に加わる振動による
雑音の発生も抑えられる。
品４０は、図１及び図２において説明した第１実施形態
の圧電部品２０を使用するとともに、その支持基板２５
において、引出し電極２６，２７の高抵抗部分２６ａ，
２７ａと支持基板２５との間にゴム材からなる弾性体４
１を介在させたものである。このようにすれば、圧電共
振子２１の振動部分３０から漏れた振動が弾性体４１に
吸収され、外部に漏れるのが防止される。また、支持基
板２５から圧電共振子２１に伝わる振動やストレスも弾
性体４１に吸収され、支持基板２５に加わる振動による
雑音の発生も抑えられる。
【００２０】［第３実施形態、図６〜図８］前記第２実
施形態では、ゴム材を弾性体４１として使用したが、ゴ
ム材に代えて、図６に示すように、引出し電極２６，２
７の高抵抗部分として、弾性を有する金属材料からなる
ワイヤ４２を湾曲させてその両端部を引出し電極２６，
２７に半田４３で半田付けし、各ワイヤ４２に電気接合
材料２８を付与するようにしてもよい。前記各ワイヤ４
２は弾性を有しているので、各ワイヤ４２は図５に示し
た圧電部品４０におけるゴム材と同様に機能する。よっ
て、図６のような構成を有する支持基板２５を用いた圧
電部品も、図５の圧電部品４０と同様の効果を奏するこ
とができる。
施形態では、ゴム材を弾性体４１として使用したが、ゴ
ム材に代えて、図６に示すように、引出し電極２６，２
７の高抵抗部分として、弾性を有する金属材料からなる
ワイヤ４２を湾曲させてその両端部を引出し電極２６，
２７に半田４３で半田付けし、各ワイヤ４２に電気接合
材料２８を付与するようにしてもよい。前記各ワイヤ４
２は弾性を有しているので、各ワイヤ４２は図５に示し
た圧電部品４０におけるゴム材と同様に機能する。よっ
て、図６のような構成を有する支持基板２５を用いた圧
電部品も、図５の圧電部品４０と同様の効果を奏するこ
とができる。
【００２１】また、圧電基板全体が例えば面積振動を行
う圧電共振子（図示せず）を支持する場合には、前記ワ
イヤ４２に代えて、図７もしくは図８に示すような板ば
ね５１，５２を弾性体として使用することもできる。図
７の板ばね５１は、Ｕ字形状を有する二つのばね部材５
１ａ，５１ｂをその中央部分で突き合わせて支持基板５
３の上方に湾曲させ、これらばね部材５１ａ，５１ｂの
各中央部分の幅を細くして、高抵抗部分５４ａ，５４ｂ
を形成し、その上に電気接合材料２８を付与したもので
ある。ばね部材５１ａの両端部は、支持基板５３に形成
した引出し電極５５ａ，５５ｂにそれぞれ接続され、ま
た、ばね部材５１ｂの両端は、支持基板５３に形成した
引出し電極５６ａ，５６ｂにそれぞれ半田５７により接
続される。
う圧電共振子（図示せず）を支持する場合には、前記ワ
イヤ４２に代えて、図７もしくは図８に示すような板ば
ね５１，５２を弾性体として使用することもできる。図
７の板ばね５１は、Ｕ字形状を有する二つのばね部材５
１ａ，５１ｂをその中央部分で突き合わせて支持基板５
３の上方に湾曲させ、これらばね部材５１ａ，５１ｂの
各中央部分の幅を細くして、高抵抗部分５４ａ，５４ｂ
を形成し、その上に電気接合材料２８を付与したもので
ある。ばね部材５１ａの両端部は、支持基板５３に形成
した引出し電極５５ａ，５５ｂにそれぞれ接続され、ま
た、ばね部材５１ｂの両端は、支持基板５３に形成した
引出し電極５６ａ，５６ｂにそれぞれ半田５７により接
続される。
【００２２】また、図８に示す板ばね５２は、中心部５
８から９０度間隔で放射状に外側に向かって伸びる四本
のリード状のばね片５９を有し、これらばね片５９の各
一端部の幅を細くして高抵抗部分５９ａを形成し、その
上に電気接合材料２８を付与したものである。各ばね片
５９の他端部は、支持基板６１に形成した引出し電極６
２に半田６３により接続される。
８から９０度間隔で放射状に外側に向かって伸びる四本
のリード状のばね片５９を有し、これらばね片５９の各
一端部の幅を細くして高抵抗部分５９ａを形成し、その
上に電気接合材料２８を付与したものである。各ばね片
５９の他端部は、支持基板６１に形成した引出し電極６
２に半田６３により接続される。
【００２３】［他の実施の形態］なお、本発明に係る圧
電部品及びその製造方法は前記実施形態に限定するもの
ではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することがで
きる。
電部品及びその製造方法は前記実施形態に限定するもの
ではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することがで
きる。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、圧電共振子の支持基板に設けられた引出し電
極に通電すると、その高抵抗部分が発熱してその上に付
与されている電気接合材料が溶融し、引出し電極と圧電
共振子の振動電極とが電気接合材料で接合されるととも
に通電の停止により電気接合材料が凝固して圧電共振子
が支持基板の引出し電極に固着されるので、引出し電極
の高抵抗部分のみが選択的に加熱され、引出し電極と振
動電極との接着精度が高く信頼性の高い圧電部品を得る
ことができる。
によれば、圧電共振子の支持基板に設けられた引出し電
極に通電すると、その高抵抗部分が発熱してその上に付
与されている電気接合材料が溶融し、引出し電極と圧電
共振子の振動電極とが電気接合材料で接合されるととも
に通電の停止により電気接合材料が凝固して圧電共振子
が支持基板の引出し電極に固着されるので、引出し電極
の高抵抗部分のみが選択的に加熱され、引出し電極と振
動電極との接着精度が高く信頼性の高い圧電部品を得る
ことができる。
【００２５】また、高抵抗部分のみを発熱させることが
できるので、その部分に高融点の電気接合材料を付与し
て溶融させることができ、高融点の電気接合材料により
圧電共振子を支持基板の引出し電極に接合することがで
き、プリント基板に実装する際の熱ストレスに強い圧電
部品を得ることができる。
できるので、その部分に高融点の電気接合材料を付与し
て溶融させることができ、高融点の電気接合材料により
圧電共振子を支持基板の引出し電極に接合することがで
き、プリント基板に実装する際の熱ストレスに強い圧電
部品を得ることができる。
【００２６】さらに、圧電共振子とその支持基板との間
に弾性体を位置させるようにすれば、弾性体が圧電共振
子からの振動漏れを吸収するとともに、支持基板から圧
電共振子に加わる振動やストレスを吸収するので、ノイ
ズの発生等が少なく、信頼性の高い圧電共振子を得るこ
とができる。
に弾性体を位置させるようにすれば、弾性体が圧電共振
子からの振動漏れを吸収するとともに、支持基板から圧
電共振子に加わる振動やストレスを吸収するので、ノイ
ズの発生等が少なく、信頼性の高い圧電共振子を得るこ
とができる。
【００２７】さらに、高抵抗部分に弾性を持たせるよう
にしても、圧電共振子の振動漏れや、外部から圧電共振
子に加わる振動やストレスは、高抵抗部分の弾性により
吸収されるので、ノイズの発生等が少ない特性の良好な
圧電部品を得ることができる。
にしても、圧電共振子の振動漏れや、外部から圧電共振
子に加わる振動やストレスは、高抵抗部分の弾性により
吸収されるので、ノイズの発生等が少ない特性の良好な
圧電部品を得ることができる。
【００２８】さらに、本発明によれば、引出し電極への
通電の停止と同時に引出し電極の高抵抗部分の発熱が停
止し、それとほぼ同時に電気接合材料が凝固するので、
短時間で圧電共振子の支持基板への接続と固定を行え、
圧電部品の製造効率を大幅に向上させることができる。
通電の停止と同時に引出し電極の高抵抗部分の発熱が停
止し、それとほぼ同時に電気接合材料が凝固するので、
短時間で圧電共振子の支持基板への接続と固定を行え、
圧電部品の製造効率を大幅に向上させることができる。
【図１】本発明に係る圧電部品の第１実施形態の構成を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図２】図１の圧電部品を示す断面図。
【図３】図１の圧電部品の支持基板として使用される他
の支持基板の斜視図。
の支持基板の斜視図。
【図４】面積振動を行う圧電共振子を支持する支持基板
の一例を示す斜視図。
の一例を示す斜視図。
【図５】本発明に係る圧電部品の第２実施形態の構成を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図６】本発明に係る圧電部品の第３実施形態におい
て、圧電共振子を支持する支持基板の斜視図。
て、圧電共振子を支持する支持基板の斜視図。
【図７】面積振動を行う圧電共振子を弾性的に支持する
他の支持基板の斜視図。
他の支持基板の斜視図。
【図８】面積振動を行う圧電共振子を弾性的に支持する
さらに他の支持基板の斜視図。
さらに他の支持基板の斜視図。
【図９】従来の圧電部品の構成を示す斜視図。
【図１０】図９の圧電部品を示す断面図。
２０，４０…圧電部品 ２１…圧電共振子 ２２…圧電基板 ２３，２４…振動電極 ２５，３２，３６，５３，６１…支持基板 ２６，２７，３８，５５ａ，５５ｂ，５６ａ，５６ｂ…
引出し電極 ２６ａ，２７ａ，３８ａ，５４ａ，５４ｂ，５９ａ…高
抵抗部分 ２８…電気接合材料 ２９…電源 ３０…振動部分 ４１…ゴム材 ４２…ワイヤ ５１，５２…板ばね ５９…ばね片
引出し電極 ２６ａ，２７ａ，３８ａ，５４ａ，５４ｂ，５９ａ…高
抵抗部分 ２８…電気接合材料 ２９…電源 ３０…振動部分 ４１…ゴム材 ４２…ワイヤ ５１，５２…板ばね ５９…ばね片
Claims (6)
- 【請求項１】 支持基板上に圧電共振子が配設されてな
り、該圧電共振子の振動電極が前記支持基板に形成され
た引出し電極に導電的に接合されてなる圧電部品におい
て、 前記引出し電極が通電により発熱する高抵抗部分を有
し、該高抵抗部分に付与された加熱により溶融する電気
接合材料が前記引出し電極と前記振動電極とを電気的に
接合していること、 を特徴とする圧電部品。 - 【請求項２】 前記支持基板上に弾性体が配設され、該
弾性体上に前記高抵抗部分が位置していることを特徴と
する請求項１記載の圧電部品。 - 【請求項３】 前記高抵抗部分が弾性を有していること
を特徴とする請求項１記載の圧電部品。 - 【請求項４】 加熱により溶融する電気接合材料を付与
してなる引出し電極を有する支持基板と圧電共振子とを
用意し、前記引出し電極の電気接合材料が付与された部
分に圧電共振子の振動電極を位置させて前記支持基板上
に圧電共振子を配設した後、前記引出し電極に通電して
引出し電極を発熱させ、前記電気接合材料を溶融させて
振動電極を引出し電極に接合することを特徴とする圧電
部品の製造方法。 - 【請求項５】 前記支持基板上に弾性体を配設し、該弾
性体上に前記高抵抗部分を位置させることを特徴とする
請求項４記載の圧電部品の製造方法。 - 【請求項６】 前記高抵抗部分が弾性を有していること
を特徴とする請求項４記載の圧電部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11280597A JPH10303678A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 圧電部品及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11280597A JPH10303678A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 圧電部品及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10303678A true JPH10303678A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14595980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11280597A Pending JPH10303678A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 圧電部品及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10303678A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294450A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 振動子の支持装置および振動子の支持構造 |
| EP1684047A1 (en) * | 2003-11-12 | 2006-07-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Support member of vibrator |
| JP2009103715A (ja) * | 2002-01-30 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 振動子の支持装置および支持構造 |
-
1997
- 1997-04-30 JP JP11280597A patent/JPH10303678A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294450A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 振動子の支持装置および振動子の支持構造 |
| JP2009103715A (ja) * | 2002-01-30 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 振動子の支持装置および支持構造 |
| EP1684047A1 (en) * | 2003-11-12 | 2006-07-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Support member of vibrator |
| EP2447672A3 (en) * | 2003-11-12 | 2014-01-22 | Seiko Epson Corporation | Support member of vibrator |
| EP1684047A4 (en) * | 2003-11-12 | 2014-01-22 | Seiko Epson Corp | SUPPORTING MEMBER OF A VIBRATOR |
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