JP2000013178A - 表面実装型圧電振動デバイス - Google Patents

表面実装型圧電振動デバイス

Info

Publication number
JP2000013178A
JP2000013178A JP10193733A JP19373398A JP2000013178A JP 2000013178 A JP2000013178 A JP 2000013178A JP 10193733 A JP10193733 A JP 10193733A JP 19373398 A JP19373398 A JP 19373398A JP 2000013178 A JP2000013178 A JP 2000013178A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
piezoelectric oscillation
plate
side direction
package
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10193733A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3303292B2 (ja
Inventor
Hiroyoshi Matsuura
宏嘉 松浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daishinku Corp
Original Assignee
Daishinku Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daishinku Corp filed Critical Daishinku Corp
Priority to JP19373398A priority Critical patent/JP3303292B2/ja
Publication of JP2000013178A publication Critical patent/JP2000013178A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3303292B2 publication Critical patent/JP3303292B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電振動デバイスの小型化、圧電振動板の搭
載が容易に行えるパッケージ内の電極パッドに直接搭載
する構成において、圧電振動板の搭載位置、導電性接合
材の塗布状態ついて、より精度よく行え、表面実装型圧
電振動デバイスの信頼性を向上させる。 【解決手段】 圧電振動板を収容する底面20と内側壁
面21、ならびに圧電振動板が支持される段差部22と
を有し、上部が開口したパッケージ2と、前記段差部に
形成された電極パッド221,222と導電性接合材を
介して電気的に接続され、表裏面に励振電極11,12
が形成された圧電振動板1とからなる表面実装型圧電振
動デバイスにおいて、前記段差部の内側壁面は、少なく
とも前記圧電振動板の短辺方向の中央部で、当該圧電振
動板と接する凸部211と、前記圧電振動板の短辺幅寸
法に対応した幅狭部212,213とが形成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は水晶振動子、水晶フィル
タをはじめとする表面実装型圧電振動デバイス子のパッ
ケージ構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】水晶振動子等の圧電振動デバイスは、回
路基板への自動搭載が可能な表面実装化、搭載される電
子機器の小型化に伴う、急速な小型化が求められてお
り、また機能面でも周波数変動が小さく、電気的特性の
安定した、高性能で高信頼性のものが要求されている。
【0003】水晶振動子は表面実装型のものに限定して
も、その用途等によって多種多様の支持形態が採用され
ている。例えば、水晶振動板をパッケージ内の電極パッ
ドに直接搭載し、導電性接合材で固定するもの、あるい
は緩衝機能のない固体支持体により支持するもの、ある
いは緩衝機能がある支持体により支持するもの等があ
る。パッケージ内に余裕があれば緩衝機能のある支持体
を用いることが、耐衝撃性の面から一般的に好ましい
が、水晶振動子の小型化、水晶振動板の搭載の容易さと
いった観点からは、パッケージ内の電極パッドに直接搭
載する構成の方がむしろ望ましい。
【0004】しかし、パッケージ内の電極パッドに直接
搭載する構成は、緩衝機能を有していないゆえに、水晶
振動板の搭載位置、水晶振動板と電極パッドを電気的機
械的に接続する導電性接合材の塗布状態ついて、より精
度良く行う必要性がある。特に、前記水晶振動板が、長
辺方向の一端部のみに電極が導出された、片持ち保持構
造のものは、その処方により、問題点が顕著に現れやす
い。例えば、水晶振動板の搭載位置が、水晶振動板の傾
き等により、パッケージに接触した状態でずれたまま搭
載されると、製品化後の水晶振動子に外部衝撃が加わっ
た場合、パッケージに受けた衝撃が、直接、水晶振動板
にもつたわり、水晶振動板の割れや、欠け等の電気的特
性の劣化をまねくという問題点を有していた。また、水
晶振動板と電極パッドを電気的機械的に接続する導電性
接合材の塗布量が多すぎたり、当該導電性接合材の塗布
量がバラツクことにより、短絡事故や、CI値が劣化す
る等の電気的特性の劣化をまねくという問題点も有して
いた。また、水晶振動板と電極パッドを電気的機械的に
接続する導電性接合材の塗布量が少なすぎると、CI値
が劣化するだけでなく、導電性接合材にクラックが生
じ、水晶振動板がはずれるなどの問題点があった。さら
に、導電性接合材としてはんだを用いた場合、いも付け
(いもはんだ)、はんだ流れすぎ、はんだ不足といった
はんだ付け不良を招くことがあった。いも付けとは、は
んだの中に気泡が入ったり、はんだが完全に溶けきらな
い状態のまま塗布されたものである。この状態ではんだ
が塗布されると、はんだの機械的強度が弱く、衝撃や振
動により離脱しやすくなり、導通不良の原因となる。は
んだ流れすぎになると、短絡などの不具合が生じやす
い。はんだ不足になると、いもはんだと同じように、衝
撃や振動により離脱しやすくなり、導通不良の原因とな
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決するためになされたもので、圧電振動デバイスの小
型化、圧電振動板の搭載が容易に行えるパッケージ内の
電極パッドに直接搭載する構成において、圧電振動板の
搭載位置、導電性接合材の塗布状態ついて、より精度よ
く行え、表面実装型圧電振動デバイスの信頼性を向上さ
せることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、圧電振動板を収容するための底面と内側
壁面、ならびに当該圧電振動板の少なくとも長辺方向の
一端が支持される段差部とを有し、上部が開口したパッ
ケージと、前記段差部に形成された電極パッドと導電性
接合材を介して電気的に接続され、表裏面に励振電極が
形成された圧電振動板とからなる表面実装型圧電振動デ
バイスにおいて、前記段差部の内側壁面は、少なくとも
前記圧電振動板の短辺方向の中央部で、当該圧電振動板
と接する凸部と、前記圧電振動板の短辺幅寸法に対応し
た幅狭部とが形成されていることを特徴とする。
【0007】前記段差部の内側壁面に、圧電振動板の短
辺方向の中央部で、当該圧電振動板と接する凸部を形成
したことにより、圧電振動板の短辺方向の両端部分に
は、ある一定容量を有する空隙が形成され、当該圧電振
動板は、短辺方向の両端の空隙が形成された状態でパッ
ケージの段差部に位置決めされる。また、前記段差部の
内側壁面に、前記圧電振動板の短辺幅寸法に対応した幅
狭部を形成したことにより、前記圧電振動板の短辺方向
のずれ、傾きが生じにくくなる。前記内側壁面の幅狭部
は、前記圧電振動板の短辺方向の中央部を、前記内側壁
面の凸部に位置されるように位置決めし、前記圧電振動
板の短辺方向の両端部分を、前記空隙にバランスよく位
置決めする。そして、前記空隙には、前記段差部に形成
された電極パッドと前記圧電振動板とを電気的機械的に
接合する導電性接合材が流れ込み、当該導電性接合材の
塗布状態を確認できるようになる。
【0008】また請求項2に示すように、前記圧電振動
板が、長辺方向の一端部のみに電極が導出された片側電
気的接続構造であることを特徴とする。
【0009】上記構成により、上記作用効果に加え、前
記内側壁面の凸部は、導電性接合材が両端の空隙間で流
れ出すのを規制し、長辺方向の一端部のみに導出された
電極間の短絡を防止する。
【0010】また請求項3に示すように、導電性接合材
としてはんだを用いた場合、はんだ塗布状態、あるいは
はんだ溶融状態を認識することにより、いも付け、はん
だ流れすぎ、はんだ不足などのはんだ付け不良を防止で
きる。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第1の実施の形態
を、表面実装型の水晶振動子を例にとり、図面を参照し
て説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示す分解
斜視図、図2は図1の水晶振動板を搭載した状態の平面
図である。なお、気密封止に用いるフタについては図示
していない。
【0012】水晶振動板1は、ATカット水晶振動板か
らなり、矩形状に加工されている。その表裏面には励振
電極11,12が形成され、これらの励振電極を水晶振
動板の長辺方向の一端部に導出する引出電極11a,1
2aが真空蒸着法等の手段にて形成されている。
【0013】パッケージ2は全体として上部が開口した
直方体形状であり、セラミックスからなる底面としての
パッケージ基体20と壁面としてのパッケージ周壁2
1、前記水晶振動板を搭載する段差部22とから構成さ
れている。そして、前記段差部が形成された内側壁面
は、その長辺方向の端部中央に凸部211が形成され、
その短辺方向の両端部に前記圧電振動板の短辺幅寸法に
対応して一部分を突出させた幅狭部212,213が形
成されている。前記幅狭部間の幅寸法は、前記水晶振動
板の短辺方向の幅寸法より若干大きく形成されており、
前記水晶振動板の1.05倍から1.15倍の幅寸法が
好ましい。これは、前記比率より小さくなると、水晶振
動板のパッケージへの挿入、位置決めがきつくなり、作
業性も低下する。一方、前記比率より大きくなると、水
晶振動板の短辺方向のずれ、傾きの悪影響を受けやすく
なるためである。また、前記段差部の上面には、電極パ
ッド221,222が形成されており、前記周壁21の
上部には、気密接合に用いるコバール等からなる金属リ
ング23が形成されている。前記パッケージ2は、セラ
ミックの積層技術を用いて、一体的に焼成成形されてい
る。尚、金属リング23にはニッケル等の金属がメッキ
されている。
【0014】その後、水晶振動板1を段差部22に搭載
し、ハンダ、導電性樹脂接着剤等の導電性接合材Dによ
り、前記引出電極11aと前記電極パッド221、なら
びに前記引出電極12aと前記電極パッド222を、各
々電気的機械的接合している。そして、図示していない
が金属フタとパッケージの金属リング23とをシーム溶
接等の接合手段により気密的に封止を行う。なお、当該
気密封止手段は、電子ビーム等の溶接法を用いてもよ
い。また、水晶振動板は、矩形状のものに限らず第2の
実施形態に示すような音叉型のものを採用してもよい。
そして、圧電振動板は水晶振動板のみならず、他の圧電
単結晶板、圧電セラミックス板を用いてもよい。
【0015】次に、本発明の第2の実施の形態につい
て、同じく水晶振動子を例にとり、図面を参照して説明
する。図3は第2の実施の形態を示す分解斜視図、図4
は図3の水晶振動板を搭載した状態の平面図である。第
1の実施の形態と同じ構成部分については同番号を用い
て説明した。
【0016】水晶振動板3は、屈曲振動する音叉型の水
晶振動片からなり、脚部31,32と基部33とを具備
する構成となっている。前記脚部の周囲には励振電極
(図示せず)が形成され、これらの励振電極を水晶振動
板の長辺方向の一端部に導出する引出電極(図示せず)
が真空蒸着法等の手段にて形成されている。
【0017】パッケージ2は全体として上部が開口した
直方体形状であり、セラミックスからなる底面としての
パッケージ基体20と壁面としてのパッケージ周壁2
1、前記水晶振動板を搭載する段差部24,25とから
構成されている。そして、前記各段差部が形成された内
側壁面は、その長辺方向の端部中央に凸部214が形成
され、その短辺方向の両端部に前記圧電振動板の短辺幅
寸法に対応した幅狭部215,216が形成されてい
る。前記幅狭部間の幅寸法は、前記水晶振動板の短辺方
向の幅寸法より若干大きく形成されており、前記水晶振
動板の1.05倍から1.15倍の幅寸法が好ましい。
これは、前記比率より小さくなると、水晶振動板のパッ
ケージへの挿入、位置決めがきつくなり、作業性も低下
する。一方、前記比率より大きくなると、水晶振動板の
短辺方向のずれ、傾きの悪影響を受けやすくなるためで
ある。また、前記各段差部の上面には、電極パッド24
1,251が形成されており、前記周壁21の上部に
は、気密接合に用いるコバール等からなる金属リング2
3が形成されている。前記パッケージ2は、セラミック
の積層技術を用いて、一体的に焼成成形されている。
尚、金属リング23にはニッケル等の金属がメッキされ
ている。
【0018】その後、水晶振動板3の基部33を段差部
24,25に搭載し、ハンダ、導電性樹脂接着剤等の導
電性接合材Dにより、前記各引出電極(図示しない)と
前記電極パッド241,251とを、各々電気的機械的
接合している。そして、図示していないが金属フタとパ
ッケージの金属リング23とをシーム溶接等の接合手段
により気密的に封止を行う。なお、当該気密封止手段
は、電子ビーム等の溶接法を用いてもよい。また、水晶
振動板は、音叉型のものに限らず第1の実施形態に示す
ような矩形状のものを採用してもよい。そして、圧電振
動板は水晶振動板のみならず、他の圧電単結晶板、圧電
セラミックス板を用いてもよい。
【0019】また、本発明の第2の実施形態では、水晶
振動板3を搭載する段差部を2つに分け、各段差部2
4,25の間の溝26を構成したことにより、前記導電
性接合材Dの毛細管現象を抑制し、各引出端子間の短絡
を防止している。
【0020】次に、本発明の第3の実施の形態につい
て、表面実装型の水晶振動フィルタを例にとり、図面を
参照して説明する。図5は第3の実施の形態を示す分解
斜視図、図6は図5の水晶振動板を搭載した状態の平面
図である。第1,第2の実施の形態と同じ構成部分につ
いては同番号を用いて説明した。
【0021】水晶振動板1は、ATカット水晶振動板か
らなり、矩形状に加工されている。その裏面には入出力
電極(励振電極)13,14が形成され、これらの入出
力電極を水晶振動板の長辺方向の両端部に導出する引出
電極13a,14aが真空蒸着法等の手段にて形成され
ている。また、その表面にはアース電極(励振電極)1
5が形成され、このアース電極を水晶振動板の長辺方向
の両端部に導出する引出電極15a,15bが真空蒸着
法等の手段にて形成されている。
【0022】パッケージ2は全体として上部が開口した
直方体形状であり、セラミックスからなる底面としての
パッケージ基体20と壁面としてのパッケージ周壁2
1、前記水晶振動板を搭載する段差部22,26とから
構成されている。そして、前記段差部が形成された内側
壁面は、その長辺方向の両端部中央に凸部211,21
7が形成され、その短辺方向の両端部に前記圧電振動板
の短辺幅寸法に対応して一部分を突出させた幅狭部21
2,213,218,219が形成されている。前記幅
狭部間の幅寸法は、前記水晶振動板の短辺方向の幅寸法
より若干大きく形成されており、前記水晶振動板の1.
05倍から1.15倍の幅寸法が好ましい。これは、前
記比率より小さくなると、水晶振動板のパッケージへの
挿入、位置決めがきつくなり、作業性も低下する。一
方、前記比率より大きくなると、水晶振動板の短辺方向
のずれ、傾きの悪影響を受けやすくなるためである。ま
た、前記段差部の上面には、電極パッド221,22
2,261,262が形成されており、前記周壁21の
上部には、気密接合に用いるコバール等からなる金属リ
ング23が形成されている。前記パッケージ2は、セラ
ミックの積層技術を用いて、一体的に焼成成形されてい
る。尚、金属リング23にはニッケル等の金属がメッキ
されている。
【0023】その後、水晶振動板1を段差部22,26
に搭載し、ハンダ、導電性樹脂接着剤等の導電性接合材
Dにより、前記引出電極13aと前記電極パッド22
2、前記引出電極14aと前記電極パッド261、なら
びに前記引出電極15a,15bと前記電極パッド22
1,262を、各々電気的機械的接合している。そし
て、図示していないが金属フタとパッケージの金属リン
グ23とをシーム溶接等の接合手段により気密的に封止
を行う。なお、当該気密封止手段は、電子ビーム等の溶
接法を用いてもよい。また、水晶振動板は水晶フィルタ
用の構成(表裏面のうち、一方の主面に入出力電極、他
方の主面にアース電極)に限らず、第1の実施形態に示
すような水晶振動子用の構成(表裏面のうち、各主面に
励振電極)を採用し、当該水晶振動板の長辺方向両端部
に引出電極を導出した構成であってもよい。そして、圧
電振動板は水晶振動板のみならず、他の圧電単結晶板、
圧電セラミックス板を用いてもよい。さらに、前記幅狭
部の平面形状は、図示したような方形状に限らずに、半
円形状、半楕円形状、三角形状であってもよい。
【0024】なお、本発明の第1の実施形態、ならびに
本発明の第3の実施形態でも、前記第2の実施形態に示
すように、水晶振動板1を搭載する各段差部を2つに分
け、各段差部の電極パッド間に溝を構成してもよい。こ
のような構成にすれば、各電極パッド間の表面的な距離
が増して、前記導電性接合材D(ハンダ、導電性樹脂接
着剤)の毛細管現象を抑制し、各電極パッド、あるいは
引出端子間の短絡をより一層防止することができる。ま
た、本発明の第1の形態、ならびに本発明の第2の実施
形態に示されるように、前記水晶振動板が、片持ち保持
構造のものは、振動に影響しない範囲にて、前記幅狭部
の長辺方向の長さ寸法を大きく形成し、前記水晶振動板
との接触領域を確保することで、傾きが生じにくくなる
ため、水晶振動板の搭載精度が向上する。
【0025】
【発明の効果】請求項1によれば、圧電振動板の短辺方
向のずれ、傾きが生じにくくなるため、パッケージに受
けた衝撃が、直接、圧電振動板につたわることがない。
従って、圧電振動板の割れや、欠け等の電気的特性の劣
化を防止することができる。
【0026】さらに、圧電振動板は、当該圧電振動板の
短辺方向の両端部分を、前記空隙にバランスよく位置決
めされとともに、前記空隙には、前記段差部に形成され
た電極パッドと前記圧電振動板とを電気的機械的に接合
ずる導電性接合材が流れ込み、当該導電性接合材の塗布
状態を認識できるようになる。従って、圧電振動板と電
極パッドを電気的機械的に接続する導電性接合材の塗布
量が多すぎたり、当該導電性接合材の塗布量がバラツク
ことにより起因していた、短絡事故や、CI値の劣化等
の電気的特性の劣化を防止することができる。また、圧
電振動板と電極パッドを電気的機械的に接続する導電性
接合材の塗布量が少なすぎることにより起因していた、
CI値が劣化等の電気的特性の劣化、ならびに導電性接
合材にクラックが生じ、圧電振動板がはずれるなど機械
的特性の劣化を防止することができる。
【0027】以上、圧電振動デバイスの小型化、圧電振
動板の搭載が容易に行えるパッケージ内の電極パッドに
直接搭載する構成において、圧電振動板の搭載位置決
め、導電性接合材の塗布状態の確認ついて、より精度よ
く行え、表面実装型圧電振動デバイスの信頼性を向上さ
せることができる。
【0028】請求項2によれば、上記作用効果に加え、
前記内側壁面の凸部は、導電性接合材が両端の空隙間で
流れ出すのを規制し、長辺方向の一端部のみに導出され
た電極間の短絡を防止することができる。
【0029】請求項3によれば、導電性接合材としては
んだを用いた場合、はんだ塗布状態、あるいははんだ溶
融状態を認識することにより、いも付け、はんだ流れす
ぎ、はんだ不足といったはんだ付け不良を防止すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による第1の実施の形態を示す分解斜視
図。
【図2】図1の構成において、水晶振動板を搭載した状
態の平面図。
【図3】本発明による第2の実施の形態を示す分解斜視
図。
【図4】図3の構成において、水晶振動板を搭載した状
態の平面図。
【図5】本発明による第3の実施の形態を示す平面図。
【図6】図5の構成において、水晶振動板を搭載した状
態の平面図。
【符号の説明】
1,3・・・水晶振動板(圧電振動板) 2・・・パッケージ 22,24,25,26・・・段差部 211,214,217・・・凸部 212,213,215,216,218,219・・
・幅狭部 D・・・導電性接合材(はんだ、導電性樹脂接着剤)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電振動板を収容するための底面と内側
    壁面、ならびに当該圧電振動板の少なくとも長辺方向の
    一端が支持される段差部とを有し、上部が開口したパッ
    ケージと、 前記段差部に形成された電極パッドと導電性接合材を介
    して電気的に接続され、表裏面に励振電極が形成された
    圧電振動板とからなる表面実装型圧電振動デバイスにお
    いて、 前記段差部の内側壁面は、少なくとも前記圧電振動板の
    短辺方向の中央部で、当該圧電振動板と接する凸部と、
    前記圧電振動板の短辺幅寸法に対応した幅狭部とが形成
    されていることを特徴とする表面実装型圧電振動デバイ
    ス。
  2. 【請求項2】 前記圧電振動板が、長辺方向の一端部の
    みに電極が導出された片側電気的接続構造であることを
    特徴とする特許請求項1記載の表面実装型圧電振動デバ
    イス。
  3. 【請求項3】 前記導電性接合材が、はんだである事を
    特徴とする特許請求項1,2記載の表面実装型圧電振動
    デバイス。
JP19373398A 1998-06-23 1998-06-23 表面実装型圧電振動デバイス Expired - Fee Related JP3303292B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19373398A JP3303292B2 (ja) 1998-06-23 1998-06-23 表面実装型圧電振動デバイス

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19373398A JP3303292B2 (ja) 1998-06-23 1998-06-23 表面実装型圧電振動デバイス

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000013178A true JP2000013178A (ja) 2000-01-14
JP3303292B2 JP3303292B2 (ja) 2002-07-15

Family

ID=16312913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19373398A Expired - Fee Related JP3303292B2 (ja) 1998-06-23 1998-06-23 表面実装型圧電振動デバイス

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3303292B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005198237A (ja) * 2003-12-11 2005-07-21 Daishinku Corp 圧電振動デバイス
JP2006094165A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Citizen Miyota Co Ltd 圧電振動子
WO2014178308A1 (ja) * 2013-05-01 2014-11-06 株式会社村田製作所 水晶振動装置及びその製造方法
US8922286B2 (en) 2012-09-13 2014-12-30 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and mobile object

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005198237A (ja) * 2003-12-11 2005-07-21 Daishinku Corp 圧電振動デバイス
JP4548012B2 (ja) * 2003-12-11 2010-09-22 株式会社大真空 圧電振動デバイス
JP2006094165A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Citizen Miyota Co Ltd 圧電振動子
US8922286B2 (en) 2012-09-13 2014-12-30 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and mobile object
WO2014178308A1 (ja) * 2013-05-01 2014-11-06 株式会社村田製作所 水晶振動装置及びその製造方法
US10097157B2 (en) 2013-05-01 2018-10-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Crystal vibrating device and method for producing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3303292B2 (ja) 2002-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6700313B2 (en) Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
WO2007017992A1 (ja) 圧電振動デバイスおよびその製造方法
EP2566051A1 (en) Piezoelectric vibration device and oscillator
JP2009188483A (ja) 圧電デバイス及び表面実装型圧電発振器
JP2007274339A (ja) 表面実装型圧電振動デバイス
JP2006332727A (ja) 圧電デバイス
JP2003258589A (ja) 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した電波時計、及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器
JP4038819B2 (ja) 表面実装型圧電デバイスとその容器ならびに表面実装型圧電デバイスを利用した携帯電話装置および表面実装型圧電デバイスを利用した電子機器
CN107104652B (zh) 压电振动片及压电振动器
JP2004289238A (ja) 圧電デバイス用パッケージと圧電デバイスおよびこれらの製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP3303292B2 (ja) 表面実装型圧電振動デバイス
JP2004214799A (ja) 圧電発振器および圧電発振器の測定方法
JP2002353766A (ja) 圧電デバイス
JP2004320297A (ja) 圧電振動デバイス
JP2006054602A (ja) 電子部品用パッケージ及び当該電子部品用パッケージを用いた圧電振動デバイス
JP4890914B2 (ja) 水晶振動片の支持部構造
JP2013106054A (ja) 圧電デバイス
JP3896585B2 (ja) 音叉型圧電振動子
CN107104651B (zh) 压电振动片及压电振动器
JP2004248113A (ja) 圧電デバイスのパッケージ構造及び圧電デバイスの製造方法
JP2004096275A (ja) 表面実装型圧電振動デバイス
JP2004104766A (ja) 電子部品用パッケージおよび当該パッケージを用いた圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法
JP4599145B2 (ja) 圧電振動板
JP2005333037A (ja) 電子部品用パッケージ及び当該電子部品用パッケージを用いた圧電振動デバイス
JP2003273690A (ja) 圧電振動デバイス

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090510

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090510

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100510

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100510

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110510

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees