JPH10288640A - ベアボード回路パターン測定方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベアボードの回路パターンのショート・オー
プン測定を短時間で、安定して正確に行うことができる
簡便なベアボード回路パターン測定方法及びその装置を
提供する。 【解決手段】 測定対象の回路パターン２ａに測定電極
６を接触させ、高周波発振回路７のスイッチ７ｂを開成
して発振させ（発振周波数ｆ１）、この周波数信号を、
フェーズロックドループ回路８の、サンプル状態にある
Ｓ／Ｈ回路１３のコンデンサ１３ｄに、電圧として保持
する。次に、スイッチ７ｂを閉成して発振させ（発振周
波数ｆ２）、Ｓ／Ｈ回路１３をスイッチ７ｂの閉成に同
期させてホールド状態にして、ＶＣＯ１４が上記保持電
圧に基づく周波数ｆ１の高周波信号を発振して、ミキサ
ー回路９に、周波数ｆ１、ｆ２の信号が供給され、ここ
で生成された周波数ｆ１−ｆ２の信号が、ＬＰＦ回路１
０で取り出され、周波数電圧変換回路１１で直流電圧に
変換されて、これが所定電圧と比較判定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ベアボードの回路
パターンのショート（短絡）・オープン（断線）測定を
短時間で安定して正確に行うことができる回路パターン
測定方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子製品、及びこれに搭載される電子部
品（ＩＣ等）の小型化に伴い、電子部品が実装されるベ
アボードの回路パターンは、極めて高密度化・微細化し
てきたことは周知のとおりである。このようなベアボー
ドの回路パターンは、絶縁基板に周知の写真エッチング
やスクリーン印刷方式等でプリント配線され、プリント
配線されるパターン間のギャップは０．１ｍｍ〜０．２
ｍｍ程でしかないのに、そのパターン数は、およそ２０
００以上になる場合がある。したがって、回路パターン
測定を独立のパターンごとに行う場合に、その測定回数
は膨大であり、とりわけ、ショート測定の場合には、測
定対象のパターンとそれと隣接する全てのパターンとの
ショート状態を検査する必要があるために、更なる時間
を要し、かかる測定に対する時間短縮は強く望まれてい
ると同時に、安定して正確に測定でき得るものでなけれ
ばならない。しかも、最近では、絶縁基板に形成される
回路パターン同士の交差などを避けるために、回路パタ
ーンが形成された絶縁基板を積層した構造、言うなれば
回路パターンを薄い絶縁層で隔離して多層化した構造の
もの、所謂多層基板をなすベアボードが多用されてお
り、上記測定に対する時間の短縮、及び安定して正確な
測定はますます強く望まれている。

【０００３】ところで、図３は、このような多層基板の
うちの４層基板をなすものを模式的に示した概略図であ
り、この４層基板は、電子回路パターン１００ａ及び１
００ｂが形成された上絶縁基板１０１及び下絶縁基板１
０２、並びにこれら基板１０１と１０２間に配された中
間絶縁基板１０３で構成され、この基板１０３の上下
面、即ち基板１０１と重なる面及び基板１０２と重なる
面には、電源パターン及び所謂べたアースがそれぞれ形
成されており、これら電源パターン及びアースパターン
は、一般に内層電源パターンと呼ばれている。尚、同図
では、パターン１００ａ及び１００ｂが基板１０１に描
かれているところを示している。

【０００４】図４は、上記パターン１００ａや１００ｂ
のショート・オープン状況を測定する際に従来から行わ
れている測定回路の等価回路であり、図５は、この等価
回路内に生じる電流・電圧波形である。例えばパターン
１００ａを測定する場合に、このパターン１００ａが形
成された基板１０１におけるパターン１００ａと基板１
０３に形成された電源パターンと間は絶縁層（基板１０
１自身の）を介してコンデンサが形成された形態をなし
ており、これを等価コンデンサ１０４で表すと、かかる
測定回路の等価回路は、図４に示すように、等価コンデ
ンサ１０４に、所定の交流電流源１０５及び抵抗１０
６、並びに測定回路のシールド線を含む回路系の容量１
０７を考慮した閉回路として表すことができる。この場
合、コンデンサ１０４の容量はＣ＝εＳ／ｄで与えら
れ、Ｓの大きさによってＣの大きさが変わるので、Ｃを
測定することによりＳの大きさがわかる。即ち、測定対
象のパターンがショート状態にあったり、或いはオープ
ン状態にあったりすると、正常な状態のときのＳに対し
その大きさが変わるので、これを容量Ｃとして測定すれ
ば、より短時間で上記測定を行うことができる。ここ
で、εは絶縁層の誘電率で一定値であり、ｄは絶縁層の
厚さで一定値である。また、Ｓはパターン１００ａの大
きさ（面積）であり、パターン１００ａが例えばパター
ン１００ｂとショートしている場合にはショートしてい
ないときに比べ大きい値になる。また、パターン１００
ａがオープンの場合にはＳは小さい値になる。この等価
回路で、交流電流源１０５にパルス電流源を付与する
と、等価コンデンサ１０４の端子間電圧は、コンデンサ
１０４や抵抗１０６、容量１０７の時定数に応じて、即
ち、抵抗１０６や容量１０７が一定とすると、コンデン
サ１０４のＣの大きさに応じた立ち上がり／立ち下がり
形態をなし（図５）、これにより、この立ち上がり或い
は立ち下がりの過渡状態にあるときの電圧変化と予め記
憶されているその電圧変化とを比較判定するなどして、
パターンのショート／オープン状況を測定しているので
ある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな測定方法で、例えばショート状態にあるパターン１
００ａを測定する場合、コンデンサ１０４の容量、即ち
パターン１００ａの面積に基づく容量も、ショートによ
って増加する面積に基づく容量も微少であるのに対し、
測定回路のシールド線を含む回路系の容量１０７は極め
て大きいので、立ち上がり或いは立ち下がりの過渡状態
にあるときの電圧変化（図５の点線）は、ショートして
いないときのそれ（同図の実線）と区別することが困難
な場合があり、安定して正確にショート状況等を測定で
きないという問題があった。また、上記電圧変化は、例
えば、上記容量１０７が僅かに変動しても現れ、コンデ
ンサ１０４がショートしていないにも拘わらずショート
しているなどと誤認するという問題もあった。実際、横
２．５ｍｍで縦０．３ｍｍの回路パターンの容量は０．
０１ｐＦ以下であるのに対し、測定回路のシールド線を
含む回路系の容量は５００ｐＦ以上もあり、ショートに
よる上記回路パターンと等価なコンデンサ１０４の容量
増加があっても、上記電圧変化として明瞭に現れにく
い。

【０００６】本発明の目的は、ベアボードの回路パター
ンのショート・オープン測定を短時間で、安定して正確
に行うことができるベアボード回路パターン測定方法を
提供することにある。また、本発明の目的は、ベアボー
ドの回路パターンのショート・オープン測定を短時間
で、安定して正確に行うことができるベアボード回路パ
ターン測定装置を提供することにある。また、本発明の
目的は、上記目的に加え、簡便なベアボード回路パター
ン測定装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のベアボード回路パターン測定方法は、電子
回路パターンが形成された複数の絶縁基板を積層してな
る多層基板をなすものについて、絶縁基板の一つに形成
された電子回路パターンを測定する場合に、測定すべき
電子回路パターンが形成された絶縁基板におけるその電
子回路パターンと、この絶縁基板以外の他の絶縁基板と
間でコンデンサが形成されることに着眼し、このコンデ
ンサを構成要素としてある種の高周波発信回路を形成
し、この高周波発信回路から僅かに異なる２つの高周波
信号をそれぞれ発生させ、発生させた高周波信号の差信
号を中間周波数信号として取り出し、取り出された中間
周波数信号を電圧変換して電圧値として読み取って、こ
の電圧値と、予め記憶されている測定対象の所定電圧値
とを、例えばＡ／Ｄ変換してマイクロコンピュータ等で
比較判定し、回路パターンのショート・オープン測定を
行うものである。このような方法では、例えばショート
・オープン状況を測定する場合に、ショートによって増
加するコンデンサの容量の増加分、オープンによって減
少するその減少分のみを高周波信号の差信号として、或
いはこれを電圧変換して電圧値として検出でき、この電
圧値が極めて微少な場合であっても容易に増幅できるの
で、短時間で、しかも安定して正確に上記測定を行うこ
とができる。また、上記増加分や減少分を高周波信号の
差信号として検出しているので、測定環境、例えば温度
による熱雑音等の影響をキャンセルでき、安定して正確
に上記測定を行うことができる。ところで、多層基板の
うち４層基板が最も多用されており、かかる４層基板に
ついて本方法による測定が行われることが多いと予想さ
れるが、４層基板以外の多層基板、場合により単層基板
についても本方法で測定できることは言うまでもない。

【０００８】また、本発明のベアボード回路パターン測
定装置は、電子回路パターンが形成された複数の絶縁基
板を積層してなる多層基板をなすものについて、絶縁基
板の一つに形成された電子回路パターンのショート・オ
ープン測定する測定装置であり、測定すべき電子回路パ
ターンが形成された絶縁基板におけるその電子回路パタ
ーンとこの絶縁基板以外の他の絶縁基板と間で形成され
るコンデンサをその構成要素の一つとする高周波発信回
路と、高周波発信回路から入力される高周波信号の周波
数に一致させるような出力発信周波数をその入力側にフ
ィードバックする一方、高周波発信回路における周波数
の切り換えに同期して動作し、高周波発信回路から供給
される上記切り換え直前の高周波信号を保持してなるフ
ェーズロックドループ回路と、高周波発信回路から供給
される高周波信号と、フェーズロックドループ回路で保
持されている高周波信号との供給を受けて、これら高周
波信号の合成波形を生成する波形合成回路と、波形合成
回路から生成された合成波形のうち上記高周波信号の差
信号を中間周波数信号として取り出す低域フィルタ回路
と、低域フィルタ回路から出力される中間周波数信号を
電圧に変換するための周波数電圧変換回路とを備えてな
るものであり、したがって、例えば、ショート・オープ
ン測定において、コンデンサの容量の増減分のみを電圧
値として検出できるので、短時間で、しかも安定して正
確に上記測定を行うことができる。

【０００９】上記高周波発信回路は、具体的には、測定
すべき電子回路パターンが形成された絶縁基板における
その電子回路パターンとこの絶縁基板以外の他の絶縁基
板と間で形成されるコンデンサ、及びこのコンデンサに
接触させるための測定電極を備えるとともに、このコン
デンサに対する測定電極の接触を、フェーズロックドル
ープ回路に入力される高周波信号の上記切り換えに同期
して断続させる、例えば適宜なスイッチを備え、これら
に所要のコンデンサやコイルを付加してなるコルビッツ
形ＬＣ発信回路、或いはハートレー形ＬＣ発信回路等で
あり、極めて簡便なものである。ところで、測定すべき
電子回路パターンが形成された絶縁基板以外の他の絶縁
基板は、測定すべき電子回路パターンが形成された絶縁
基板に隣接する絶縁基板に限らないことはもちろんであ
る。

【００１０】また、フェーズロックドループ回路は、通
常のフェーズロックドループ（ＰＬＬ）回路とは構成が
異なっており、具体的には、位相差検出回路と電圧制御
発信器（ＶＣＯ）との間にサンプルホールド（Ｓ／Ｈ）
回路を配設した回路構成をなすものである。このＳ／Ｈ
回路は、高周波発信回路における周波数の切り換えに同
期して動作し、高周波発信回路から供給される上記切り
換え直前の高周波信号を電圧変換して保持する機能を有
する。フェーズロックドループ回路は、高周波発信回路
における周波数の切り換え前では、Ｓ／Ｈ回路がサンプ
ル状態にあり、通常のＰＬＬ回路として動作して、高周
波発信回路から入力される高周波信号の周波数に一致さ
せるような出力発信周波数をその入力側にフィードバッ
クするが、上記周波数の切り換え直後では、Ｓ／Ｈ回路
が、この切り換えに同期して切り換え直前の高周波信号
を電圧に変換して保持し（ホールド状態）、ＶＣＯが、
この保持電圧に基づく高周波信号を発振する。この高周
波信号は、位相差検出回路に供給されるとともに、波形
合成（ミキサー）回路に供給される。このフェーズロッ
クドループ回路は、従来のＰＬＬ回路を応用したもので
あるが、極めて簡便なものである。

【００１１】また、ミキサー回路は、所謂スーパ・ヘテ
ロダイン検波回路と類似の機能を有するもので、高周波
発信回路から供給される高周波信号と、フェーズロック
ドループ回路で発振された高周波信号との供給を受け
て、これら高周波信号の合成波形、即ち、周波数ｆ1、
ｆ2、ｆ1＋ｆ2、及びｆ1−ｆ2等の信号を生成し、場合
によりこれを増幅するものである。但し、ｆ1は高周波
発信回路から供給される高周波信号の周波数、ｆ2はフ
ェーズロックドループ回路で発振された高周波信号の周
波数である。また、低域フィルタ（ＬＰＦ）回路は、波
形合成回路から生成された合成波形のうち高周波信号の
差信号、即ち、周波数（ｆ1−ｆ2）の信号のみ通過さ
せ、これを中間周波数信号として取り出すもので、周知
の１次や２次のＲＣ回路等で構成されるものである。ま
た、周波数電圧変換回路は、所謂ＦＶ変換器であり、Ｌ
ＰＦ回路から出力される中間周波数信号を電圧に変換す
るもので、入力周波数に比例した直流電圧に変換する。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の一例を図１
及び２を参照して説明する。この４層基板は、電子回路
パターン２ａ及び２ｂが形成された上絶縁基板３及び下
絶縁基板４、並びにこれら基板３と４間に配された中間
絶縁基板５で構成され、この基板５の上下面、即ち基板
３と重なる面及び基板４と重なる面には、内層電源パタ
ーンと呼ばる電源パターン及びべたアースがそれぞれ形
成されている。尚、図１では、パターン２ａ及び２ｂが
基板３に描かれているところを示している。そして、測
定すべきパターン２ａに、後述する高周波発信回路７の
構成要素をなす測定電極６が接触しており、また、この
パターン２ａが形成された基板３のパターン２ａと、例
えば、この基板３と隣接する基板５に形成された電源パ
ターンと間は絶縁層（基板３自身の）を介してコンデン
サが形成されており、これを等価コンデンサ７ａで表す
ものとする。尚、測定電極６はシールド線を介して高周
波発信回路７の他の構成要素に接続している。

【００１３】一方、本実施の形態に係るベアボード回路
パターン測定装置１は、高周波発信回路７、高周波発信
回路７からの出力信号が供給されるフェーズロックドル
ープ回路８、高周波発信回路７及びフェーズロックドル
ープ回路８からの出力信号がそれぞれ供給されるミキサ
ー回路９、ミキサー回路９からの出力信号が供給される
ＬＰＦ回路１０、及びＬＰＦ回路１０からの出力信号が
供給される周波数電圧変換回路１１を備えており、更
に、この装置１は、Ａ／Ｄ変換器（図示せず）を介して
マイクロコンピュータ（図示せず）等に接続されてお
り、かかるマイコンおいて装置１による測定結果が比較
判定され、回路パターン２ａがショート（短絡）或いは
オープン（断線）状態にあるか否かが判明される。

【００１４】上記高周波発信回路７は、測定すべき回路
パターン２ａのところで形成される上記コンデンサ７ａ
を構成要素の一つとし、また、このコンデンサ７ａに接
触させるための測定電極６を備えるとともに、このコン
デンサ７ａに対する測定電極６の接触を、フェーズロッ
クドループ回路８に入力される高周波信号の切り換えに
同期して断続させるスイッチ７ｂを備え、これらに加え
て所要のリアクタンスを有するコンデンサ７ｃ、コイル
７ｄにより、コルビッツ形ＬＣ発信回路をなすようにト
ランジスタ７ｅを接続してなるもので、図２には、その
等価回路が示されている。ところで、このとき発振され
る発振周波数は次式で与えられる。 （発振周波数）²＝１／Ｌ×Ｃ×（２π）² 但しＣ＝Ｃ
1・Ｃ2／（Ｃ1+Ｃ2） ここで、Ｃ１は、例えばスイッチ７ｂが閉成されている
ときのコンデンサ７ａのキャパシタンス、Ｃ２はコンデ
ンサ７ｃのキャパシタンス、Ｌはコイル７ｄのインダク
タンスであり、キャパシタンスＣ２及びインダクタンス
Ｌは、一定である。したがって、回路パターン２ａが回
路パターン２ｂなどとショートして、コンデンサ７ａの
キャパシタンスＣ１が増加すると、発振周波数は上式に
従って減少することがわかる。また、回路パターン２ａ
がオープンしていると、キャパシタンスＣ１が減少して
発振周波数は増加することがわかる。

【００１５】上記フェーズロックドループ回路８は、位
相差検出回路１２とＶＣＯ１４との間にＳ／Ｈ回路１３
を配設した回路構成をなすもので、このＳ／Ｈ回路１３
は、高周波発信回路７における周波数の切り換えに同期
してサンプル／ホールド動作を行うものである。高周波
発信回路７における周波数の切り換え前ではＳ／Ｈ回路
１３がサンプル動作状態にあって、フェーズロックドル
ープ回路８は、通常のＰＬＬ回路として動作し、高周波
発信回路７から入力される高周波信号の周波数に一致さ
せるような出力発信周波数をその入力側にフィードバッ
クするが、上記周波数の切り換え直後では、Ｓ／Ｈ回路
１３が、この切り換えに同期して位相差検出回路１２と
ＶＣＯ１４間を断絶する一方、切り換え直前の高周波信
号を電圧に変換して保持し（ホールド動作状態）、ＶＣ
Ｏ１４が、この保持電圧に基づく高周波信号を発振す
る。この高周波信号は、位相差検出回路１２に供給され
るとともに、ミキサー回路９に供給される。図２には、
バッファアンプ１３ａ、１３ｂ及びこれらアンプ１３
ａ、１３ｂを断続するためのスイッチ１３ｃ、並びにア
ンプ１３ｂの非反転入力端子に接続するコンデンサ１３
ｄにより構成されるＳ／Ｈ回路１３の一実施形態が示さ
れている。

【００１６】上記ミキサー回路９は、スーパ・ヘテロダ
イン検波回路と類似の機能を有するものであり、Ｓ／Ｈ
回路１３がホールド動作状態にあるときには、高周波発
信回路７からの高周波信号と、ＶＣＯ１４で発振された
高周波信号との供給を受けて、これら高周波信号の合成
波形を生成するものである。また、ＬＰＦ回路１０は、
１次や２次のＲＣ回路で構成され、ミキサー回路９から
生成された合成波形のうち高周波信号の差信号、即ち低
域周波数のみ通過させ、これを中間周波数信号として取
り出すものである。また、周波数電圧変換回路１１は、
周知のＦＶ変換器であり、ＬＰＦ回路１０から出力され
る中間周波数信号を電圧に変換するもので、入力周波数
に比例した直流電圧として取り出すものである。

【００１７】次に、本装置１を用いてショート・オープ
ン測定を行う場合の態様を説明する。測定対象を回路パ
ターン２ａとする場合に、この回路パターン２ａの任意
のところに測定電極６を接触させ、高周波発信回路７の
スイッチ７ｂを開成した状態で高周波信号を発振させ
る。このときの高周波信号の周波数をｆ１とする。発振
された高周波信号はフェーズロックドループ回路８に供
給され、フェーズロックドループ回路８では、Ｓ／Ｈ回
路１３のスイッチ１３ｃが閉成された状態にあるので、
通常のＰＬＬ回路として動作する。このとき、そのコン
デンサ１３ｄには、高周波信号の周波数ｆ1に比例した
電圧が保持される。

【００１８】次に、測定電極６を接触させたまま高周波
発信回路７のスイッチ７ｂを閉成し、この状態で高周波
信号を発振させる。このときの高周波信号の周波数をｆ
２とする。しかるに、Ｓ／Ｈ回路１３のスイッチ１３ｃ
が、高周波発信回路７のスイッチ７ｂの開成から閉成へ
の切り換えに同期して開成され、位相差検出回路１２と
ＶＣＯ１４間を断絶する一方、ＶＣＯ１４が、上述の保
持電圧に基づく周波数ｆ１の高周波信号を発振する。す
ると、ミキサー回路９には、高周波発信回路７のスイッ
チ７ｂの切り換え前と後との高周波信号、即ち、周波数
ｆ1及びｆ2の高周波信号が供給され、このミキサー回路
９では、周波数ｆ1、ｆ2、ｆ1＋ｆ2、及びｆ1−ｆ2等の
高周波信号が生成される。そして、ＬＰＦ回路１０で、
周波数（ｆ1−ｆ2）のみの信号を通過させ、これを中間
周波数信号として取り出し、次の周波数電圧変換回路１
１で、かかる中間周波数信号をその周波数に比例した直
流電圧に変換する。変換された直流電圧は、マイコンよ
って、予め記憶されている測定対象の正常時の電圧値と
比較判定され、回路パターン２ａに対するショート・オ
ープン測定が完了する。

【００１９】回路パターン２ａが正常な場合には、周波
数（ｆ1−ｆ2）は所定の中間周波数信号として取り出さ
れるが、回路パターン２ｂなどとショートしている場合
には、コンデンサ７ａのキャパシタンスが増加している
ので、所定の中間周波数信号としては取り出されない。
また、オープンしている場合には、キャパシタンスが減
少するので、同様に所定の中間周波数信号としては取り
出されない。

【００２０】ちなみに、正常な回路パターンに横２．５
ｍｍで縦０．３ｍｍの回路パターンが接触した場合を想
定して上記ショート測定を行ったところ、周波数ｆ1＝
１０．０００ＭＨｚに対し周波数ｆ2＝９．９９４ＭＨ
ｚが得られた。したがって、所定の中間周波数信号の周
波数は６ＫＨｚであり、正常な回路パターンにこの周波
数に相当する分の変化が生じているのが検出でき、この
場合には、横２．５ｍｍで縦０．３ｍｍと等価な回路パ
ターンが接触していることを検出できるわけである。こ
のようにして、周波数（ｆ1−ｆ2）に基づきショートや
オープンを検出するようにしているので、譬え微少なシ
ョートやオープンが存在していても、これを安定して正
確に検出することが可能であり、しかも、コンデンサ７
ｃやコイル７ｄ等により高周波発信回路７の発振周波数
を調整して発振周波数を変えるようにすれば、より最適
な測定条件を設定し得る。

【００２１】

【発明の効果】本発明のベアボード回路パターン測定方
法によれば、ベアボードの回路パターンのショート・オ
ープン測定を短時間で、安定して正確に行うことができ
る。また、本発明のベアボード回路パターン測定装置に
よれば、ベアボードの回路パターンのショート・オープ
ン測定を短時間で、安定して正確に行うことができ、ま
た、これに加えて、この種の装置としては簡便で安価な
ものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係るベアボード回路パ
ターン測定装置による４層基板の測定態様の模式図であ
る。

【図２】 本装置の概略構成を示すブロック図である。

【図３】 従来から測定対象とされる４層基板の模式図
である。

【図４】 従来の測定回路の等価回路図である。

【図５】 図４の回路における電圧・電流波形図であ
る。

【符号の説明】

１ ベアボード回路パターン測定装置 ２ａ，２ｂ 電子回路パターン ３，４，５ 絶縁基板 ６ 測定電極 ７ 高周波発信回路 ８ フェーズロックドループ回路 ９ ミキサー回路（波形合成回路） １０ ＬＰＦ回路（低域フィルタ回路） １１ 周波数電圧変換回路 １２ 位相差検出回路 １３ Ｓ／Ｈ回路（サンプルホールド回路） １４ ＶＣＯ（電圧制御発信器）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子回路パターンが形成された複数の絶
   縁基板を積層してなるベアボード回路パターン測定方法
   において、前記絶縁基板の一つに形成された電子回路パ
   ターンを測定する場合に、該測定すべき電子回路パター
   ンが形成された絶縁基板におけるその電子回路パターン
   と該絶縁基板以外の他の絶縁基板と間でコンデンサを形
   成し、該コンデンサを有する高周波発信回路から僅かに
   異なる２つの高周波信号をそれぞれ発生させ、該発生さ
   せた高周波信号の差信号を中間周波数信号として取り出
   し、該中間周波数信号を電圧変換して電圧値として読み
   取って、該電圧値と予め記憶されている前記コンデンサ
   に対応する所定電圧値とを比較判定してなることを特徴
   とするベアボード回路パターン測定方法。
2. 【請求項２】 電子回路パターンが形成された複数の絶
   縁基板を積層してなる多層基板で、測定すべき前記電子
   回路パターンが形成された絶縁基板におけるその電子回
   路パターンと、該絶縁基板以外の他の絶縁基板と間で形
   成されるコンデンサをその構成要素の一つとする高周波
   発信回路と、 該高周波発信回路から入力される高周波信号の周波数に
   一致させるような出力発信周波数を前記入力側にフィー
   ドバックする一方、前記高周波発信回路における周波数
   の切り換えに同期して動作し、前記高周波発信回路から
   供給される前記切り換え直前の高周波信号を保持してな
   るフェーズロックドループ回路と、 前記高周波発信回路から供給される高周波信号と、前記
   フェーズロックドループ回路で保持されている高周波信
   号との供給を受けて、これら高周波信号の合成波形を生
   成する波形合成回路と、 該波形合成回路から生成された合成波形のうち前記高周
   波信号の差信号を中間周波数信号として取り出す低域フ
   ィルタ回路と、 該低域フィルタ回路から出力される前記中間周波数信号
   を電圧に変換するための周波数電圧変換回路と、を備え
   たことを特徴とするベアボード回路パターン測定装置。
3. 【請求項３】 前記高周波発信回路は、前記コンデンサ
   の絶縁基板に形成された、測定すべき電子回路パターン
   に接触させるための測定電極を備え、該測定電極の接触
   を、前記フェーズロックドループ回路に入力される高周
   波信号の前記切り換えに同期して断続させてなることを
   特徴とする請求項２に記載のベアボード回路パターン測
   定装置。
4. 【請求項４】 前記フェーズロックドループ回路は、前
   記高周波発信回路における周波数の前記切り換えに同期
   して動作するとともに、前記高周波発信回路から供給さ
   れる前記切り換え直前の高周波信号を電圧に変換して保
   持するサンプルホールド回路を備え、該サンプルホール
   ド回路の入力側に位相差検出回路を、また、前記サンプ
   ルホールド回路の出力側に電圧制御発信器を接続してな
   ることを特徴とする請求項２または３に記載のベアボー
   ド回路パターン測定装置。